JPS59129775A - 被覆硬質部材の製造法 - Google Patents
被覆硬質部材の製造法Info
- Publication number
- JPS59129775A JPS59129775A JP611683A JP611683A JPS59129775A JP S59129775 A JPS59129775 A JP S59129775A JP 611683 A JP611683 A JP 611683A JP 611683 A JP611683 A JP 611683A JP S59129775 A JPS59129775 A JP S59129775A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating layer
- layer
- inner coating
- hard member
- nitrogen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
- C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
超硬合金の表面に、これより耐摩耗性に優れたＴｉＯ、
ＴｉＮ 、 Ａ７０ などの硬質物質の一種又は二
３ 種以上の単層又は複数層を被覆した被覆超硬合金は既に
実用に供されている。その中でもＡｌ２Ｏ３を外層とし
た二重被覆超硬合金工具は、ＡＩ Ｏのも ３ つ耐熱性、耐酸化性等のため優れた耐摩耗性を示すこと
が知られている。しかしＡｌＯ自体は脆性 ３ 材料で靭性に劣るという欠点があり、そのため被覆する
母材としては靭性の高い超硬合金を用いる必要があった
。一方切削工具に要求される切削条件は年々荷酷になっ
てきており、切削速度も３００ｍ／ｍ ｉ ｎを超える
場合も多く、より高靭性、耐摩耗性の高い切削工具用部
材が要求されている。
ＴｉＮ 、 Ａ７０ などの硬質物質の一種又は二
３ 種以上の単層又は複数層を被覆した被覆超硬合金は既に
実用に供されている。その中でもＡｌ２Ｏ３を外層とし
た二重被覆超硬合金工具は、ＡＩ Ｏのも ３ つ耐熱性、耐酸化性等のため優れた耐摩耗性を示すこと
が知られている。しかしＡｌＯ自体は脆性 ３ 材料で靭性に劣るという欠点があり、そのため被覆する
母材としては靭性の高い超硬合金を用いる必要があった
。一方切削工具に要求される切削条件は年々荷酷になっ
てきており、切削速度も３００ｍ／ｍ ｉ ｎを超える
場合も多く、より高靭性、耐摩耗性の高い切削工具用部
材が要求されている。
本発明はこうした要求に答え、より耐摩耗性、靭性の優
れた切削工具用の被覆硬質部材とその製造法を提供する
ことにあり、他の目的は、他の各種の広範囲の用途に使
用しうる安価な被覆硬質部材とその製造法を提供するこ
とにある。
れた切削工具用の被覆硬質部材とその製造法を提供する
ことにあり、他の目的は、他の各種の広範囲の用途に使
用しうる安価な被覆硬質部材とその製造法を提供するこ
とにある。
本発明は」―記の目的を達成するため特許請求の範囲に
記載の被覆硬質部材及びその製造法を構成したことにあ
る。
記載の被覆硬質部材及びその製造法を構成したことにあ
る。
Ａｔ ＯとＡＩＨの混合層はＡＩＮが含有されること３
によって緻密で密着性がよく、従って靭性もＡ／！２０
３のみからなる被覆層より高い。しかしＡｌＮを含有す
ることによってＡＩＯのみからなる層に比し耐３ 摩耗性が若干劣る。本発明は、外側被覆層をＡｌ２Ｏ３
のみからなる層とし、基体である硬質部材と外側被覆層
との間にＡｔ２０３とＡＩＮからなる内側被覆層を介在
せしめることにより、ＡｔＯのみからなる ３ 耐摩耗性に優れた外側被覆層の靭性と密着性を改善した
被覆硬質部材を構成したものである。
３のみからなる被覆層より高い。しかしＡｌＮを含有す
ることによってＡＩＯのみからなる層に比し耐３ 摩耗性が若干劣る。本発明は、外側被覆層をＡｌ２Ｏ３
のみからなる層とし、基体である硬質部材と外側被覆層
との間にＡｔ２０３とＡＩＮからなる内側被覆層を介在
せしめることにより、ＡｔＯのみからなる ３ 耐摩耗性に優れた外側被覆層の靭性と密着性を改善した
被覆硬質部材を構成したものである。
外側被覆層の厚みは７〜１０μｍで耐摩耗性を発揮させ
ることができる。７μｍ未満では、耐摩耗性を発揮でき
ず、７０８ｍを越えると靭性の低下が大きいため好まし
く′ない。内側被覆層の厚みは０．３〜．２０μｍの範
囲であれば効果が認められるが好ましい範囲は２〜３３
ｍである。
ることができる。７μｍ未満では、耐摩耗性を発揮でき
ず、７０８ｍを越えると靭性の低下が大きいため好まし
く′ない。内側被覆層の厚みは０．３〜．２０μｍの範
囲であれば効果が認められるが好ましい範囲は２〜３３
ｍである。
Ａｔ２０３とＡｔＨの混合層あるいは一固溶体層は、Ａ
ｌのハロゲン化物と水素と、Ｎ １アンモニアガス等を
用いることによって形成しうるが、層の硬質部材への密
着性が不充分で、多孔質の層を生じたり、層中に塩化ア
ンモニウム等の副生成物を生じ反応を妨害する等の現象
が生じるため好ましい方法ではない。
ｌのハロゲン化物と水素と、Ｎ １アンモニアガス等を
用いることによって形成しうるが、層の硬質部材への密
着性が不充分で、多孔質の層を生じたり、層中に塩化ア
ンモニウム等の副生成物を生じ反応を妨害する等の現象
が生じるため好ましい方法ではない。
本発明はＡｌのハロゲン化物と水素と共に一酸化窒素、
二酸化窒素の一方又は両方をグ００〜／ 、２００Ｃで
反応せしめ」二重の問題を解決した内側被覆層を形成す
る際、内側被覆層の硬質部材からＳμｍ以内の厚さの層
を形成する際、前記反応系に窒素、アンモニアの一方又
は両方を窒素供給源として存在させ、内側被覆層の平均
の窒素含有量より５０〜９０％窒素含有量を富化するこ
とにより、内側被覆層と硬質部材との密着性を著しく向
上できることを見出したものである。このとき窒素の富
化層の窒素富化量が内側被覆層平均の３０％未満では密
着性の向上が現われず、９０％を越えると耐摩耗性が悪
くなる。
二酸化窒素の一方又は両方をグ００〜／ 、２００Ｃで
反応せしめ」二重の問題を解決した内側被覆層を形成す
る際、内側被覆層の硬質部材からＳμｍ以内の厚さの層
を形成する際、前記反応系に窒素、アンモニアの一方又
は両方を窒素供給源として存在させ、内側被覆層の平均
の窒素含有量より５０〜９０％窒素含有量を富化するこ
とにより、内側被覆層と硬質部材との密着性を著しく向
上できることを見出したものである。このとき窒素の富
化層の窒素富化量が内側被覆層平均の３０％未満では密
着性の向上が現われず、９０％を越えると耐摩耗性が悪
くなる。
本発明は、又、内側被覆層の外側被−覆層に最も近いＳ
μｍ以内の層をＡｌのハロゲン化物、水素及び−酸化窒
素、二酸化窒素の一方又は両方を反応させて形成する際
、反応系に一酸化炭素、二酸化炭素、水蒸気のうちの一
つ以上を酸素供給源として存在させ、内側被覆層の平均
の酸素含有量よりり０〜ｑＯ％酸素含有量を富化するこ
とにより、内側被覆層と外側被覆層の密着性を向上でき
ることを見出したものである。このとき酸素富化量が３
０％未満では外側被覆層との密着性の゛向上に効果が薄
く、ワＯ％を越えると、靭性が損なわれるので好ましく
ない。
μｍ以内の層をＡｌのハロゲン化物、水素及び−酸化窒
素、二酸化窒素の一方又は両方を反応させて形成する際
、反応系に一酸化炭素、二酸化炭素、水蒸気のうちの一
つ以上を酸素供給源として存在させ、内側被覆層の平均
の酸素含有量よりり０〜ｑＯ％酸素含有量を富化するこ
とにより、内側被覆層と外側被覆層の密着性を向上でき
ることを見出したものである。このとき酸素富化量が３
０％未満では外側被覆層との密着性の゛向上に効果が薄
く、ワＯ％を越えると、靭性が損なわれるので好ましく
ない。
上記窒素含有量は反応系中の一酸化窒素、二酸化窒素、
の比率を、また酸素含有量は一酸化炭素、二酸化炭素、
水蒸気の比率を調整することにより変化させることがで
きる。
の比率を、また酸素含有量は一酸化炭素、二酸化炭素、
水蒸気の比率を調整することにより変化させることがで
きる。
上記被覆層を形成する温度はグθ０〜／２００ Ｃてあ
れば良いが、好ましくは９００〜１０００ Ｃである。
れば良いが、好ましくは９００〜１０００ Ｃである。
／、２θ０Ｃ以上では反応性が高くなり制御が難かしく
、グ００Ｃ以下では成長速度が遅すぎる。この被覆層は
化学蒸着法（０−ＣＶＤ）は勿論のことプラズマ化学蒸
着法（Ｐ−ＣＶＤ）、物理蒸着法でも生成可能である。
、グ００Ｃ以下では成長速度が遅すぎる。この被覆層は
化学蒸着法（０−ＣＶＤ）は勿論のことプラズマ化学蒸
着法（Ｐ−ＣＶＤ）、物理蒸着法でも生成可能である。
上記の被覆層は、従来のＡｔＯ単体からなる被 ３
電層よりも靭性が高いため、基体の硬質部材としては超
硬合金の他、■ａ 、 Ｖａ 、 ■ａ族元素の炭−化
物、窒化物、炭窒化物等の硬質相のみからなるサーメッ
ト、及びＡｔ Ｏを主成分とするセラミック、 ３ あるいはＳｉｎ、ＳｉＮ のセラミックなど靭性の低
い硬質部材を使用することができる。またこれら硬質相
を７０容Ｎ％（以下％は容量％を現わす）以下のＣｏ、
Ｎｉ、Ｏｒ、ＭＯ，ＷＳＦｅを結合相として結合した硬
質部材を基体として使用することもできる０この硬質部
材において結合相が７０％を越えると靭性が高くなり、
本発明の待機である被覆層の有する高靭性、密着性を発
揮しえなくなる０実施例／ 乙０ ％ ＴｉＣ％ ｇ ％ ＴｉＮ Ｘ 、２
％ Ｍｏ Ｃ、，２汐 ％ ｗａ。
硬合金の他、■ａ 、 Ｖａ 、 ■ａ族元素の炭−化
物、窒化物、炭窒化物等の硬質相のみからなるサーメッ
ト、及びＡｔ Ｏを主成分とするセラミック、 ３ あるいはＳｉｎ、ＳｉＮ のセラミックなど靭性の低
い硬質部材を使用することができる。またこれら硬質相
を７０容Ｎ％（以下％は容量％を現わす）以下のＣｏ、
Ｎｉ、Ｏｒ、ＭＯ，ＷＳＦｅを結合相として結合した硬
質部材を基体として使用することもできる０この硬質部
材において結合相が７０％を越えると靭性が高くなり、
本発明の待機である被覆層の有する高靭性、密着性を発
揮しえなくなる０実施例／ 乙０ ％ ＴｉＣ％ ｇ ％ ＴｉＮ Ｘ 、２
％ Ｍｏ Ｃ、，２汐 ％ ｗａ。
５％Ｃ０１Ｎｉ （Ｃｏ／Ｎ１−））結合相の組成か
らなる硬質部材を基体とし、その表面に３％ＡｌＣｌ３
．９０％Ｈ，＆％Ｎｏのガス雰囲気を１０００ Ｃで反
応させ、Ｓμｍの厚さの内側被覆層を形成した。この内
側被覆層を、オージェ外米分析をＸ線回折で調べたとこ
ろ、Ｉ Ｏに窒素が固溶されていて、一部３ 分は酸素を含んだｉＮも検出された。この外表面にり％
Ａｌ０ｌ、 ７０％ｃｏ 、、ｇ左％Ｈのガス雰囲気３
２ ２を反
応させ、０．汐、／、左、１０．２０μｍの厚さの外側
被覆層を形成した。別に比較品として上記基体に／、１
０μｍのＡｌＯ１−０μｍの厚さの被覆層を ３ それぞれ一層形成した切削用チップを作り、下記の条件
で切削試験を行なった。その結果を第１表 ゛に
示す。
らなる硬質部材を基体とし、その表面に３％ＡｌＣｌ３
．９０％Ｈ，＆％Ｎｏのガス雰囲気を１０００ Ｃで反
応させ、Ｓμｍの厚さの内側被覆層を形成した。この内
側被覆層を、オージェ外米分析をＸ線回折で調べたとこ
ろ、Ｉ Ｏに窒素が固溶されていて、一部３ 分は酸素を含んだｉＮも検出された。この外表面にり％
Ａｌ０ｌ、 ７０％ｃｏ 、、ｇ左％Ｈのガス雰囲気３
２ ２を反
応させ、０．汐、／、左、１０．２０μｍの厚さの外側
被覆層を形成した。別に比較品として上記基体に／、１
０μｍのＡｌＯ１−０μｍの厚さの被覆層を ３ それぞれ一層形成した切削用チップを作り、下記の条件
で切削試験を行なった。その結果を第１表 ゛に
示す。
明細書の浄書（内容に変更なし）
切削条件 被削材 １１０２！ｒ切削速度 ４
００ ｍ／ｍｉｍ 送り θ、３ｔＪｗ／ｒＯｖ 切り込み ／、ｊ；ｍ＋＋＋ 第１表 実施例 Ｃ０１Ｎｉ （Ｃｏ ／ Ｎｉ ＝ ２ ）の結合相
が０．１０、−０％で、４０％’ｒ：ｔｃＸｇ％ＴｉＮ
％ ２ＭＯ２０ｚ残がｗｅからなる硬質部材を基体と
し、その表面に、Ｓ％Ａｌａｌ、ｓ％ＮＯ１，２％ＮＯ
ζｇｇ％Ｈのガス雰囲気３
２ ２を１０００ Ｃて反応さ
せ、０．汐、５１１０１．３０ μｍの厚さのＡｌＯと
ＡＩＮとからなる内側被覆層をそれぞ ３ れに形成した。この内側被覆層の表面に、実施例／と同
様にして３μｍの厚さのＡＩＯからなる外側３ 被覆層を形成した切削用チップを作った。比較品として
前記基体の表面にＡ７！ Ｏの３μｍの厚さの被３ 電層を一層のみ設けた切削用チップを作り、下記の条件
で切削試験を行なった。試験結果を第２表に示す。
００ ｍ／ｍｉｍ 送り θ、３ｔＪｗ／ｒＯｖ 切り込み ／、ｊ；ｍ＋＋＋ 第１表 実施例 Ｃ０１Ｎｉ （Ｃｏ ／ Ｎｉ ＝ ２ ）の結合相
が０．１０、−０％で、４０％’ｒ：ｔｃＸｇ％ＴｉＮ
％ ２ＭＯ２０ｚ残がｗｅからなる硬質部材を基体と
し、その表面に、Ｓ％Ａｌａｌ、ｓ％ＮＯ１，２％ＮＯ
ζｇｇ％Ｈのガス雰囲気３
２ ２を１０００ Ｃて反応さ
せ、０．汐、５１１０１．３０ μｍの厚さのＡｌＯと
ＡＩＮとからなる内側被覆層をそれぞ ３ れに形成した。この内側被覆層の表面に、実施例／と同
様にして３μｍの厚さのＡＩＯからなる外側３ 被覆層を形成した切削用チップを作った。比較品として
前記基体の表面にＡ７！ Ｏの３μｍの厚さの被３ 電層を一層のみ設けた切削用チップを作り、下記の条件
で切削試験を行なった。試験結果を第２表に示す。
切削条件 被削材 ＳＭＣグ３Ｓ切削速度 ３
００ ｍ／ｍ１ｎ 送す０．２ ｍＱ／ｒｅｖ 切込み ／、り朋 明細書の浄書（内容に変更なし） 第２表 内５ｊＱ被８層 結合相量 試り角結果（厚さμｍ
） （％） （個／切刃）実施例３ ９３％ｈｔｏ−ｓ％Ｔｉｏのセラミックからなる硬
３ 質部材を基体とし、内側被８５層を実施例λと同一条件
で！；／Ｊｒａの厚さに形成した。このＳμｍの厚さの
内側被覆層のうち基体に近い２μｍの厚さの層の生成中
に、全ガス流層の３％、７０％を窒素、アンモニアを流
して形成し、内側波ＷＡ−Ｗ形成後、その外側に実施例
／と同様にして５μｍの厚さのＡｌ。
００ ｍ／ｍ１ｎ 送す０．２ ｍＱ／ｒｅｖ 切込み ／、り朋 明細書の浄書（内容に変更なし） 第２表 内５ｊＱ被８層 結合相量 試り角結果（厚さμｍ
） （％） （個／切刃）実施例３ ９３％ｈｔｏ−ｓ％Ｔｉｏのセラミックからなる硬
３ 質部材を基体とし、内側被８５層を実施例λと同一条件
で！；／Ｊｒａの厚さに形成した。このＳμｍの厚さの
内側被覆層のうち基体に近い２μｍの厚さの層の生成中
に、全ガス流層の３％、７０％を窒素、アンモニアを流
して形成し、内側波ＷＡ−Ｗ形成後、その外側に実施例
／と同様にして５μｍの厚さのＡｌ。
ａ
からなる外側波Ｍ層を形成した切削用チップを９種作っ
た。
た。
別に、上記と同じ基体に同厚さの内側被覆層を形成した
。この内側被覆層の表面から２μｍの厚さの部分を生成
中に、全ガス流量の夕％のｃｏＸａｏ。
。この内側被覆層の表面から２μｍの厚さの部分を生成
中に、全ガス流量の夕％のｃｏＸａｏ。
ＨＯガス、／θ％ＨＯガスを流して形成した。内側２
２被覆層を形
成後、その外側に左μｍの厚さのＡ７！２０３からなる
外側被覆層を実施例／と同様にして形成した９種の切削
用チップを作った。
２被覆層を形
成後、その外側に左μｍの厚さのＡ７！２０３からなる
外側被覆層を実施例／と同様にして形成した９種の切削
用チップを作った。
これらデツプの内側被覆層について、オージェ分光分析
、Ｘ線回折を行なって組成を分析し、内側被覆層の平均
酸素含有散に対する、内側被覆層中の内側及び外側λμ
ｍ厚層の酸素（窒素）相対比較量を求めたところ第３表
の結果が得られた。
、Ｘ線回折を行なって組成を分析し、内側被覆層の平均
酸素含有散に対する、内側被覆層中の内側及び外側λμ
ｍ厚層の酸素（窒素）相対比較量を求めたところ第３表
の結果が得られた。
第３表
特に添加したガス 酸素（窒素）の相対比較用Ａ
、ｌｔ％窒素 （／、り）Ｂ ３
％アンモニア （／、７）ａ ｉｏ％
窒素 （／、ｇ）Ｄ １０％ア
ンモニア （／、ｑ）Ｋ ＆％ＣＯ
ガス ７．７′Ｆ 左％ＣＯガス
／、り０ １５％ＨＯ／、ｇ Ｈ／θ％Ｈ〇 八ツ上記基体にＡ
ｌＯを一層のみＳμｍ１７０μｍの厚 ３ さに被覆した切削用チップを比較量ａＸｂとして作り、
実施例コと同条件で切削試験を行なった。
、ｌｔ％窒素 （／、り）Ｂ ３
％アンモニア （／、７）ａ ｉｏ％
窒素 （／、ｇ）Ｄ １０％ア
ンモニア （／、ｑ）Ｋ ＆％ＣＯ
ガス ７．７′Ｆ 左％ＣＯガス
／、り０ １５％ＨＯ／、ｇ Ｈ／θ％Ｈ〇 八ツ上記基体にＡ
ｌＯを一層のみＳμｍ１７０μｍの厚 ３ さに被覆した切削用チップを比較量ａＸｂとして作り、
実施例コと同条件で切削試験を行なった。
試験結果を第９表に示す。
明細書の浄書（内容に変更なし）
第 ｔ 表
個／切刃
出願人、 住友電気工業株式会社
代理人 弁理土中村Ｈ成
手続袖正書 （方式）
昭和３ｇ年 特 許 願第００乙／／乙号２発明の名
称 被覆硬質部材とその製造法３ 補正をする者 事件との関係 出 願 人 ４、代理人
称 被覆硬質部材とその製造法３ 補正をする者 事件との関係 出 願 人 ４、代理人
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１） ＩＶａ族、ｖａ族、Ｖｉａ族元素の炭化物、
窒化物、炭窒化物、酸化物、Ａ７！２０３、Ｓｉの炭化
物、窒化物のうちの一種以上からなるか、これらにＦｅ
、Ｃｏ、Ｎ１、Ｏｒ、Ｗ、Ｍｏのうちの一種以上を７０
容量゛％以下含有する硬質部材の表面に、０．５〜２０
μｍの厚さのｉ ０ とＡＩＮの混合層と ３ ／又は固溶体層からなる内側被覆層と、内側被覆層の外
側に被覆された７〜１０μｍの厚さのＡ４０ からな
る外側波Ｈ層を有することを特徴 ３ とする被覆硬質部材。 （２Ｊ ＩＶａ族、Ｖａ族、Ｖｌａ族元素の炭化物、
窒化物、炭窒化物、酸化物、Ａｔ’Ｏ、Ｓｉの炭化物、
３ 窒化物のうちの一種以上からなるか、これらにＦｅ、Ｃ
ｏ、Ｎｉ 、 Ｏｒ 、 ＷＸＭｏのうちの一種以上を
７０容量％以下含有する硬質部材の表面に、Ａｔのハロ
ゲン化物、水素、および−酸化窒素、二酸化窒素の一方
又は両方を反応せしめて０．５〜．２０μｍの厚さのＡ
４０ とＡＩＮの混合層と／又 ３ は固溶体層からなる内側被覆層を形成する際、前記反応
系に窒素アンモニアの一方又は両方を存在させ内側被覆
層の硬質部材から３μｍ以内の厚さ層の窒素、含有量を
内側被覆層の窒素含有量の平均値よりり０〜９０％富化
せしめた内側被覆層を形成し、内側被覆層の外側にＡｌ
のハロゲン化物と水素及び二酸化炭素、水蒸気の一方又
は両方を反応せしめｉ ０ からなる外側被覆層３ を形成することを特徴とする被覆硬質部材の製造法。 （３） ＩＶａ族、ｖａ族、■ａ族元素の炭化物、窒
化物、炭窒化物、酸化物、ＡＩ Ｏ、Ｓｉの炭化物、窒
３ 化物のうちの一種以上からなるか、これらにＦｅ 。 ００、、Ｎｉ、Ｏｒ、ＷＸＭｏのうちの一種以上を７０
容量％以下含有する硬質部材の表面に、Ａｌのハロゲン
化物、水素、および−酸化窒素、二酸化窒素の一方又は
両方を反応せしめて０．５〜．２０μｍの厚さのＡＡ
ＯとＡＩＮの混合層と／又は固 ３ 溶体層からなる内側被覆層を形成する際、前記反応系に
一酸化炭素、二酸化炭素、水蒸気のうちの少なくとも一
つを存在させ、内側被覆層の外側から３ ｔｔｍ以内の
層の酸素含有量を内側被覆層の酸素含有量、の平均値よ
り３０〜７０％富化せしめた内側被覆層を形成し、この
外側にＡ４のハロゲン化物と水素及び二酸化炭素、水蒸
気の一方又は両方を反応せしめてｉ ０ の被覆層を
３ 形成することを特徴とする被覆硬質部材の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP611683A JPS59129775A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | 被覆硬質部材の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP611683A JPS59129775A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | 被覆硬質部材の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59129775A true JPS59129775A (ja) | 1984-07-26 |
| JPS6360831B2 JPS6360831B2 (ja) | 1988-11-25 |
Family
ID=11629528
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP611683A Granted JPS59129775A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | 被覆硬質部材の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59129775A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4840853A (en) * | 1986-03-08 | 1989-06-20 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Surface structure of AlN substrate and a process for producing the same |
| US4892792A (en) * | 1987-10-01 | 1990-01-09 | Gte Laboratories Incorporated | A1N coated silicon nitride based cutting tools |
| US5712030A (en) * | 1994-12-01 | 1998-01-27 | Sumitomo Electric Industries Ltd. | Sintered body insert for cutting and method of manufacturing the same |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5429185A (en) * | 1977-08-05 | 1979-03-05 | Ngk Spark Plug Co Ltd | High-speed cutting tool |
-
1983
- 1983-01-17 JP JP611683A patent/JPS59129775A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5429185A (en) * | 1977-08-05 | 1979-03-05 | Ngk Spark Plug Co Ltd | High-speed cutting tool |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4840853A (en) * | 1986-03-08 | 1989-06-20 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Surface structure of AlN substrate and a process for producing the same |
| US4892703A (en) * | 1986-03-08 | 1990-01-09 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Surface structure of A1N substrate and a process for producing the same |
| US4892792A (en) * | 1987-10-01 | 1990-01-09 | Gte Laboratories Incorporated | A1N coated silicon nitride based cutting tools |
| US5712030A (en) * | 1994-12-01 | 1998-01-27 | Sumitomo Electric Industries Ltd. | Sintered body insert for cutting and method of manufacturing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6360831B2 (ja) | 1988-11-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH068010A (ja) | 耐チッピング性にすぐれた表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具 | |
| JPH11256336A (ja) | 炭窒化チタン被覆工具 | |
| JPH03226576A (ja) | 耐摩耗性に優れたコーティングサーメットの製造法 | |
| JPH068008A (ja) | 耐チッピング性にすぐれた表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具 | |
| JPS63195268A (ja) | 表面被覆硬質合金製切削工具 | |
| JPS59129775A (ja) | 被覆硬質部材の製造法 | |
| JPS61163273A (ja) | 被覆硬質部材 | |
| JP2001239404A (ja) | 耐チッピング性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具 | |
| JPS586969A (ja) | 切削工具用表面被覆超硬合金部材 | |
| JPS61163275A (ja) | 被覆硬質部材 | |
| JPH0364469A (ja) | 被覆超硬質合金工具 | |
| JPH09125249A (ja) | 被覆超硬合金工具 | |
| JPS5824501B2 (ja) | タングステンカ−バイド被膜層の製造方法 | |
| JPS6119777A (ja) | 耐摩、耐熱性被覆超硬合金部材 | |
| JPS62290870A (ja) | 被覆硬質部材の製造法 | |
| JPH0234733B2 (ja) | ||
| JPH0433865B2 (ja) | ||
| JPS6123871B2 (ja) | ||
| JP2002192401A (ja) | 被覆工具及びその製造方法 | |
| JPS6214220B2 (ja) | ||
| JPS6234830B2 (ja) | ||
| JPH01180980A (ja) | 被覆工具材料 | |
| JPH0515786B2 (ja) | ||
| JP2001170804A (ja) | ジルコニウム含有膜被覆工具 | |
| JP2002205204A (ja) | 多層被覆工具 |