JPS59127211A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
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- JPS59127211A JPS59127211A JP312483A JP312483A JPS59127211A JP S59127211 A JPS59127211 A JP S59127211A JP 312483 A JP312483 A JP 312483A JP 312483 A JP312483 A JP 312483A JP S59127211 A JPS59127211 A JP S59127211A
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- Japan
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- magnetic
- thin film
- carbon material
- film
- magnetic head
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
- G11B5/3106—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing where the integrated or assembled structure comprises means for conditioning against physical detrimental influence, e.g. wear, contamination
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、磁気記録部品に書込みおよび読取りを行う磁
気ヘットに関する。特に、高密度磁気記録を行うに適す
る薄膜磁気ヘッドに関するものである。
気ヘットに関する。特に、高密度磁気記録を行うに適す
る薄膜磁気ヘッドに関するものである。
磁気記録の高記録密度化、狭トランク化に伴い、磁気ヘ
ッドの形状寸法はますまず小型化、高精度化される傾向
にある。
ッドの形状寸法はますまず小型化、高精度化される傾向
にある。
従来のフェライトコアを使用した磁気ヘッドは、周波数
が１０．０００ｋＨｚを超えると、フェライトの透磁率
が急激に低下することや、狭小化したトランク幅に合わ
せて構造的に変換ギャップを機械加工することが困難な
こと等の理由から、記録の高密度化には限界があるとさ
れている。
が１０．０００ｋＨｚを超えると、フェライトの透磁率
が急激に低下することや、狭小化したトランク幅に合わ
せて構造的に変換ギャップを機械加工することが困難な
こと等の理由から、記録の高密度化には限界があるとさ
れている。
このため、ＩＣ製造等に用いられているフォトエツチン
グ技術を利用して、微細かつ高精度な形状に形成された
薄膜磁気ヘッドが開発されている（特開昭５５−８４０
１８ ）。この薄膜磁気ヘッドは、コア材料として高周
波透磁率が高く、飽和磁束密度もフェライトに比較して
格段に高いパーマロイが用いら−れる。またこの薄膜磁
気ヘットは、記録に寄与するヘッド磁界が急峻で、高分
解能の記録ができ、インダクタンスも小さいため広い周
波数範囲で使用することができ、さらに薄膜磁気ヘッド
を構成する主要部分は真空蒸着またはスパッタリングで
形成されるため、機械加工による困難性も少ない優れた
磁気ヘッドである。
グ技術を利用して、微細かつ高精度な形状に形成された
薄膜磁気ヘッドが開発されている（特開昭５５−８４０
１８ ）。この薄膜磁気ヘッドは、コア材料として高周
波透磁率が高く、飽和磁束密度もフェライトに比較して
格段に高いパーマロイが用いら−れる。またこの薄膜磁
気ヘットは、記録に寄与するヘッド磁界が急峻で、高分
解能の記録ができ、インダクタンスも小さいため広い周
波数範囲で使用することができ、さらに薄膜磁気ヘッド
を構成する主要部分は真空蒸着またはスパッタリングで
形成されるため、機械加工による困難性も少ない優れた
磁気ヘッドである。
このような優れた特性をもつ薄膜磁気へノドと金属薄膜
の磁気記録媒体またはＣｏ被被着−酸化鉄塗布膜の磁気
記録媒体とを組み合わせることにより、高密度の磁気記
録を実現することができる。
の磁気記録媒体またはＣｏ被被着−酸化鉄塗布膜の磁気
記録媒体とを組み合わせることにより、高密度の磁気記
録を実現することができる。
第１図〜第３図は従来例薄膜磁気ヘッドの構造を示す図
である。第１図〜第３図において、１は板状の非磁性基
体であって、次に述べる下部磁極パーマロイ膜２を蒸着
するために表面の平滑性が良い厚さ１龍〜５ｎｍのアル
ミナ系セラミックスで形成される。この非磁性基体１の
上面には、゛軟磁性体薄膜である下部磁極パーマロイ膜
２が蒸着またはスパンクリングにより形成され、その上
面には非磁性絶縁膜であるアルミナ膜３がスパッタリン
グにより形成されギャップスペーサとなる。
である。第１図〜第３図において、１は板状の非磁性基
体であって、次に述べる下部磁極パーマロイ膜２を蒸着
するために表面の平滑性が良い厚さ１龍〜５ｎｍのアル
ミナ系セラミックスで形成される。この非磁性基体１の
上面には、゛軟磁性体薄膜である下部磁極パーマロイ膜
２が蒸着またはスパンクリングにより形成され、その上
面には非磁性絶縁膜であるアルミナ膜３がスパッタリン
グにより形成されギャップスペーサとなる。
このアルミナ膜３の上面には、厚いフォトレジスト膜４
が重ねられる。このフォトレジスト膜４の上面には、８
クーン、１層スパ≧ラル巻きの薄膜コイル５が形成され
る。この薄膜コイル５の上面にはフォトレジスト膜６が
重ねられ、このフォトレジスト膜６の上にさらに上部磁
極パーマロイ膜７が蒸着されコアが形成される。
が重ねられる。このフォトレジスト膜４の上面には、８
クーン、１層スパ≧ラル巻きの薄膜コイル５が形成され
る。この薄膜コイル５の上面にはフォトレジスト膜６が
重ねられ、このフォトレジスト膜６の上にさらに上部磁
極パーマロイ膜７が蒸着されコアが形成される。
第３図に示すように、上部磁極パーマロイ膜７の上面に
は、薄膜コイル５を保護するアルミナ膜８がスパッタリ
ングにより形成される。このアルミナ膜８の上面には、
比較的低温で接着可能なガラス層９を接着剤として非磁
性保護板１０が接着される。この非磁性保護板１０は厚
さ１００μｍ以下であって、前記下部磁極パーマロイ膜
２からアルミナ膜８までを保護し、主にシリカ（Ｓｉ
０２ ）で形成される。この非磁性保護板１０および非
磁性基体１の先端面（第３−図Ｂで示される面）が磁気
記録媒体と接触する面である。非磁性保護板１０は非磁
性基体ｌに比べてその厚さは小さいため、主として非磁
性基体１が磁気記録媒体に接触する。第１図に示す１１
は磁気記録媒体であって、磁性Ｊｉｌｌａと非磁性層１
１ｂにより構成される。また第２図に示す１２および１
３は電気信号端子である。
は、薄膜コイル５を保護するアルミナ膜８がスパッタリ
ングにより形成される。このアルミナ膜８の上面には、
比較的低温で接着可能なガラス層９を接着剤として非磁
性保護板１０が接着される。この非磁性保護板１０は厚
さ１００μｍ以下であって、前記下部磁極パーマロイ膜
２からアルミナ膜８までを保護し、主にシリカ（Ｓｉ
０２ ）で形成される。この非磁性保護板１０および非
磁性基体１の先端面（第３−図Ｂで示される面）が磁気
記録媒体と接触する面である。非磁性保護板１０は非磁
性基体ｌに比べてその厚さは小さいため、主として非磁
性基体１が磁気記録媒体に接触する。第１図に示す１１
は磁気記録媒体であって、磁性Ｊｉｌｌａと非磁性層１
１ｂにより構成される。また第２図に示す１２および１
３は電気信号端子である。
しかし、従来の薄膜磁気ヘッドの非磁性基体は、上述し
たようにその上面にパーマロイ膜が蒸着またはスパンク
リングにより形成されるために、基体の材質は表面平滑
性が得られるアルミナ系セラミックスの材料が多用され
ている。このアルミナ系セラミックスの材料は硬度が高
く、非磁性基体に摺動する記録媒体の表面を傷つけ易い
。特に、薄膜磁気ヘッドを金属薄膜の磁気ディスクや磁
気テープの記録媒体に用いる場合には、金属薄膜の記録
媒体の表面粗さが小さく、薄膜磁気ヘッドとの実際の接
触面積が大きくなるため、薄膜磁気ヘッドとの摺動性が
悪くなり記録媒体を損傷する欠点がある。
たようにその上面にパーマロイ膜が蒸着またはスパンク
リングにより形成されるために、基体の材質は表面平滑
性が得られるアルミナ系セラミックスの材料が多用され
ている。このアルミナ系セラミックスの材料は硬度が高
く、非磁性基体に摺動する記録媒体の表面を傷つけ易い
。特に、薄膜磁気ヘッドを金属薄膜の磁気ディスクや磁
気テープの記録媒体に用いる場合には、金属薄膜の記録
媒体の表面粗さが小さく、薄膜磁気ヘッドとの実際の接
触面積が大きくなるため、薄膜磁気ヘッドとの摺動性が
悪くなり記録媒体を損傷する欠点がある。
この欠点を解消するため、従来、記録媒体が摺動するＮ
膜磁気ヘッドの非磁性基体の表面に／ｌｉ！’ｌｋ剤を
塗布したり、あるいは記録媒体に保護膜を被覆したりし
ているか、／ｒｌ？ｆｋ剤を塗布しても揮散等により潤
滑作用を長時間持続させておくことは困難で、定期的に
Ｉ％ｉｌ滑剤を再塗布しなければならない欠点かあり、
記録媒体に保護膜を設けることは保護膜を被覆するため
の工程か増え、かつ薄膜磁気ヘットと記録媒体との間隔
を増大させる欠点があった。
膜磁気ヘッドの非磁性基体の表面に／ｌｉ！’ｌｋ剤を
塗布したり、あるいは記録媒体に保護膜を被覆したりし
ているか、／ｒｌ？ｆｋ剤を塗布しても揮散等により潤
滑作用を長時間持続させておくことは困難で、定期的に
Ｉ％ｉｌ滑剤を再塗布しなければならない欠点かあり、
記録媒体に保護膜を設けることは保護膜を被覆するため
の工程か増え、かつ薄膜磁気ヘットと記録媒体との間隔
を増大させる欠点があった。
本発明は、磁気ヘッドの表面に潤屑剤を塗布することな
く、また磁気記録媒体の表面に保護膜を形成することな
く、磁気記録媒体の表面を永久的に損傷させず、かつ磁
気記録媒体との接触面の摩耗が少ない薄膜磁気ヘッドを
提供することを目的とする。
く、また磁気記録媒体の表面に保護膜を形成することな
く、磁気記録媒体の表面を永久的に損傷させず、かつ磁
気記録媒体との接触面の摩耗が少ない薄膜磁気ヘッドを
提供することを目的とする。
第一発明の特徴は、板状の非磁性基体と、この非磁性基
体の一つの面の上に形成された書込みまたは読取り用変
換ギャップ層を含む複数の薄膜層で作られた書込みまた
は読取り変換器と、上記薄膜層を被覆する非磁性保護板
とを備えた薄膜磁気ヘッドにおいて、上記非磁性基体が
ガラス状カーホン材料からなる点にあり、また第二発明
の特徴は、上記非磁性基体がガラス状カーボン材料およ
び熱硬化性樹脂を含む複合材料である点にある。
体の一つの面の上に形成された書込みまたは読取り用変
換ギャップ層を含む複数の薄膜層で作られた書込みまた
は読取り変換器と、上記薄膜層を被覆する非磁性保護板
とを備えた薄膜磁気ヘッドにおいて、上記非磁性基体が
ガラス状カーホン材料からなる点にあり、また第二発明
の特徴は、上記非磁性基体がガラス状カーボン材料およ
び熱硬化性樹脂を含む複合材料である点にある。
なお、上記非磁性保護板もガラス状カーボン材料からな
ることが好ましい。
ることが好ましい。
本発明を補足説明すると、本発明に用いられるカーボン
材料の例としては、ポリアクリルニトリル系カーボン材
料、セルロース系カーホン材料、レーヨン系カーボン材
料、ピンチ系カーボン材料、リブニンポリビニルアルコ
ール系カーボン材料、フェノール系カーボン材料、黒鉛
、カーボンブランク、コークス、ピンチ等がある。
材料の例としては、ポリアクリルニトリル系カーボン材
料、セルロース系カーホン材料、レーヨン系カーボン材
料、ピンチ系カーボン材料、リブニンポリビニルアルコ
ール系カーボン材料、フェノール系カーボン材料、黒鉛
、カーボンブランク、コークス、ピンチ等がある。
上記カーボン材料は、磁気記録媒体である金属薄膜ある
いはその保護膜上を摺動するときに、金属薄膜あるいは
その保護膜が損傷する前に、カーボン材料自体が先に摩
耗する適度の減摩性を有する材料であることが必要であ
り、非結晶状態のカラス状カーホン材料である。
いはその保護膜上を摺動するときに、金属薄膜あるいは
その保護膜が損傷する前に、カーボン材料自体が先に摩
耗する適度の減摩性を有する材料であることが必要であ
り、非結晶状態のカラス状カーホン材料である。
また上記カーボン材料は、繊維状、粒子状または塊状等
のあらゆる形態のカーホン素材の集合体で構成される。
のあらゆる形態のカーホン素材の集合体で構成される。
その集合体の製造方法としては、圧縮成形、押出し成形
等の広く知られた各種成形法か採られる。
等の広く知られた各種成形法か採られる。
また本発明に用いられる熱硬化性樹脂としては、フェノ
ール樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、フラン樹
脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂等を挙げることができる
。
ール樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、フラン樹
脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂等を挙げることができる
。
これらの熱硬化性樹脂を前記カーボン材料と複合すれば
、熱硬化性樹脂はカーボン材料同士を固着するバインダ
として作用し、衝突等の機械的破壊に対して強度のある
堅牢な非磁性基体および非磁性保護板を得ることができ
る。しかし、熱硬化性樹脂をカーボン材料に対して多量
に複合させると、摩耗の大きい非磁性基体および非磁性
保護板となるため、複合材料中にはカーホン材料を４０
容量％以上、好ましくは５０容量％以上含ませることが
よい。
、熱硬化性樹脂はカーボン材料同士を固着するバインダ
として作用し、衝突等の機械的破壊に対して強度のある
堅牢な非磁性基体および非磁性保護板を得ることができ
る。しかし、熱硬化性樹脂をカーボン材料に対して多量
に複合させると、摩耗の大きい非磁性基体および非磁性
保護板となるため、複合材料中にはカーホン材料を４０
容量％以上、好ましくは５０容量％以上含ませることが
よい。
なお、本発明の薄膜磁気へノドは金属薄膜の磁気記録媒
体に使用するとき、この記録媒体の損傷を防止する点で
効果的であるが、金属薄膜の磁気記録媒体に限らず、Ｃ
ｏ被被着−酸化鉄塗布膜の形成された磁気記録媒体等に
対しても使用することができる。
体に使用するとき、この記録媒体の損傷を防止する点で
効果的であるが、金属薄膜の磁気記録媒体に限らず、Ｃ
ｏ被被着−酸化鉄塗布膜の形成された磁気記録媒体等に
対しても使用することができる。
以上述べたように、本発明によれば、金属薄膜の記録媒
体あるいはその保護膜との接触移動時に適度の減摩性の
あるガラス状カーボン材料またはガラス状カーボン材料
と熱硬化性樹脂との複合材料を用いることにより、上記
記録媒体との間で潤滑剤を用いることなく潤滑性を長時
間持続させることができ、しかも記録媒体の表面を損傷
させず、かつ非磁性基体自身の摩耗が少ない優れた薄膜
磁気ヘッドを得ることができる。
体あるいはその保護膜との接触移動時に適度の減摩性の
あるガラス状カーボン材料またはガラス状カーボン材料
と熱硬化性樹脂との複合材料を用いることにより、上記
記録媒体との間で潤滑剤を用いることなく潤滑性を長時
間持続させることができ、しかも記録媒体の表面を損傷
させず、かつ非磁性基体自身の摩耗が少ない優れた薄膜
磁気ヘッドを得ることができる。
特に、ガラス状カーホン材料と熱硬化性樹脂との複合材
料にすることにより、非磁性基体の密度が高（なり、非
磁性基体の機械的強度が高くなる利点もある。
料にすることにより、非磁性基体の密度が高（なり、非
磁性基体の機械的強度が高くなる利点もある。
また、カーホン材料の導電性により静電気が発生せず、
非磁性基体および記録媒体に塵埃が付着しない効果もあ
る。
非磁性基体および記録媒体に塵埃が付着しない効果もあ
る。
さらに、非磁性保護板にもカラス状カーホン材料を用い
れは、上記効果がより一層向上する。
れは、上記効果がより一層向上する。
以下本発明の薄膜磁気へ、ドの具体的態様を示すために
、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するか、以下
に示す例はあくまでも一例であって、これにより本発明
の技術的範囲を限定するものではない。
、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するか、以下
に示す例はあくまでも一例であって、これにより本発明
の技術的範囲を限定するものではない。
（実施例■）
見掛は比重１．５、ショア硬度１１２、熱伝導率３ｋｃ
ａｌ／ ｍ ｈｒ’Ｃの特性を有するガラス状カーボン
材料を第４図に示される形状および寸法に切出し、記録
媒体との摺動面Ｃを粗研磨から徐々に微細研磨して行き
、最終的にエメリー紙＃ １５０００で鏡面仕上げを行
ってほぼ四角柱体のモデルヘッド１５を作製した。
ａｌ／ ｍ ｈｒ’Ｃの特性を有するガラス状カーボン
材料を第４図に示される形状および寸法に切出し、記録
媒体との摺動面Ｃを粗研磨から徐々に微細研磨して行き
、最終的にエメリー紙＃ １５０００で鏡面仕上げを行
ってほぼ四角柱体のモデルヘッド１５を作製した。
（実施例■）
見掛は比重１，４５、ショア硬度７８、熱伝導率１５ｋ
ｃａｌ／ ｍ ｈｒ’ｃの特性を有するガラス状カーホ
ン材料を用いて、実施例Ｉと同様の方法で同一形状およ
び寸法のモデルヘッドを作製した。
ｃａｌ／ ｍ ｈｒ’ｃの特性を有するガラス状カーホ
ン材料を用いて、実施例Ｉと同様の方法で同一形状およ
び寸法のモデルヘッドを作製した。
（実施例■）
フェノール系ガラス状炭素繊維（日本カイノール（株製
、登録商標名カイノール）７０容量％と積層用汎用レゾ
ール樹脂３０容量％を圧縮成形にて成形し、複合ガラス
状カーボン材料を得た。この複合ガラス状カーボン材料
を用いて、実施例Ｉと同様の方法で同一形状および寸法
のモデルヘッドを作製した。
、登録商標名カイノール）７０容量％と積層用汎用レゾ
ール樹脂３０容量％を圧縮成形にて成形し、複合ガラス
状カーボン材料を得た。この複合ガラス状カーボン材料
を用いて、実施例Ｉと同様の方法で同一形状および寸法
のモデルヘッドを作製した。
（比較例Ｉ）
アルミナ系セラミックス（日本電気硝子＠製、商品名ネ
オセラム）を用いて、実施例■と同様の方法で同一形状
および寸法のモデルヘッドを作製した。
オセラム）を用いて、実施例■と同様の方法で同一形状
および寸法のモデルヘッドを作製した。
（比較例■）
市販の汎用メチルメタアクリレート樹脂を用いて、実施
例Ｉと同様の方法で同一形状および寸法のモデルヘット
を作製した。
例Ｉと同様の方法で同一形状および寸法のモデルヘット
を作製した。
（比較例■）
市販の汎用テフロン樹脂を用いて、実施例■と同様の方
法で同一形状および寸法のモデルヘッドを作製した。
法で同一形状および寸法のモデルヘッドを作製した。
（試験方法）
上記実施例Ｉ〜■および比較例Ｉ〜■のモデルヘッドと
記録媒体である金属薄膜（Ｎ１−Ｐメッキ膜）の動摩擦
特性、および上記実施例Ｉ〜■および比較例■のモデル
ヘッドと記録媒体であるＣｏ被被着−酸化鉄塗布膜の動
摩擦特性をそれぞれ摩擦試験装置により測定し、モデル
ヘッドの摺動面Ｃおよび磁気記録媒体膜面の状態を肉眼
で観察した。
記録媒体である金属薄膜（Ｎ１−Ｐメッキ膜）の動摩擦
特性、および上記実施例Ｉ〜■および比較例■のモデル
ヘッドと記録媒体であるＣｏ被被着−酸化鉄塗布膜の動
摩擦特性をそれぞれ摩擦試験装置により測定し、モデル
ヘッドの摺動面Ｃおよび磁気記録媒体膜面の状態を肉眼
で観察した。
この結果を第１表に示す。なお、測定に使用した摩擦試
験装置は特開昭５５−１２８１４２に記載される実際の
使用状態に近い状態で動摩擦特性を測定し得る装置であ
る。また表中「総合判定」は、磁気ヘッドの摺動面およ
び磁気記録媒体膜面の両面を総合的に観察したときの判
定結果を意味する。
験装置は特開昭５５−１２８１４２に記載される実際の
使用状態に近い状態で動摩擦特性を測定し得る装置であ
る。また表中「総合判定」は、磁気ヘッドの摺動面およ
び磁気記録媒体膜面の両面を総合的に観察したときの判
定結果を意味する。
さらに、ＣＯ被被着−酸化鉄塗布膜は次の配合比により
作製した。
作製した。
・レシチン ０．９・メチル
エチルケトン／トルエン ６１．１（重量比１：１） 上記混合物をボールミルで２４時間混練して磁性塗料を
作り、次いで５０μｍのアプリケータでポリエステルフ
ィルム上に塗布し、磁場配向を行った後、熱風乾燥を行
い、次いでカレンダ処理してＣｏ被被着−酸化鉄塗布膜
を得た。
エチルケトン／トルエン ６１．１（重量比１：１） 上記混合物をボールミルで２４時間混練して磁性塗料を
作り、次いで５０μｍのアプリケータでポリエステルフ
ィルム上に塗布し、磁場配向を行った後、熱風乾燥を行
い、次いでカレンダ処理してＣｏ被被着−酸化鉄塗布膜
を得た。
（以下本頁余白）
第１表
（実施例■）
実施例■で用いたガラス状カーボン材料で第１図〜第３
図に示した非磁性基体１および非磁性保護板１０を形成
する。この非磁性基体１および非磁性保護板１０で構成
された薄膜磁気ヘッドにＮ１−Ｐメッキ膜で形成された
金属薄膜の磁気ディスクを摺動させ、５０００ビット／
インチの記録密度の再生電圧の低下とエンヘローブ波形
を測定した。また３０万回ヘッドロード後の金属薄膜面
および薄膜磁気ヘッドの先端面の状態を肉眼で観察した
。その結果を第２表に示す。
図に示した非磁性基体１および非磁性保護板１０を形成
する。この非磁性基体１および非磁性保護板１０で構成
された薄膜磁気ヘッドにＮ１−Ｐメッキ膜で形成された
金属薄膜の磁気ディスクを摺動させ、５０００ビット／
インチの記録密度の再生電圧の低下とエンヘローブ波形
を測定した。また３０万回ヘッドロード後の金属薄膜面
および薄膜磁気ヘッドの先端面の状態を肉眼で観察した
。その結果を第２表に示す。
（実施例Ｖ）
実施例■で得られた複合ガラス状カーホン材料を用いて
実施例■と同様に第１図〜第３図に示した非磁性基体ｌ
および非磁性保護板１０を形成して薄膜磁気ヘッドを得
た。この薄膜磁気ヘッドとＮ１−Ｐメッキ膜で形成され
た金属薄膜の磁気ディスクを用いて実施例■と同一の測
定および観察を行った。その結果を第２表に示す。
実施例■と同様に第１図〜第３図に示した非磁性基体ｌ
および非磁性保護板１０を形成して薄膜磁気ヘッドを得
た。この薄膜磁気ヘッドとＮ１−Ｐメッキ膜で形成され
た金属薄膜の磁気ディスクを用いて実施例■と同一の測
定および観察を行った。その結果を第２表に示す。
（比較例■）
比較例Ｉで用いたアルミナ系セラミックスで実施例■と
同様に第１図〜第３図に示した非磁性基体１および非磁
性保護板１ｏを形成して薄膜磁気ヘッドを得た。この薄
膜磁気ヘッドとＮ１−Ｐメッキ膜で形成された金属薄膜
の磁気ディスクを用いて実施例■と同一の測定および観
察を行った。その結果を第２表に示す。
同様に第１図〜第３図に示した非磁性基体１および非磁
性保護板１ｏを形成して薄膜磁気ヘッドを得た。この薄
膜磁気ヘッドとＮ１−Ｐメッキ膜で形成された金属薄膜
の磁気ディスクを用いて実施例■と同一の測定および観
察を行った。その結果を第２表に示す。
（比較例Ｖ）
比較例■で得た薄膜磁気ヘッドの面に／Ｉｉ！Ｉ滑剤（
ステアリン酸アミド）を塗布し、布で軽くふき取って、
実施例■と同一の測定および観察を行った。
ステアリン酸アミド）を塗布し、布で軽くふき取って、
実施例■と同一の測定および観察を行った。
その結果を第２表に示す。
（以下本頁余白）
第２表
（試験結果ン
第１表〜第２表で明らかなように、本発明の薄膜磁気ヘ
ッドは、磁気記録媒体との潤滑性に優れ、かつへ・ノド
摺動面および記録媒体を損傷させず、さらに再生時の電
気的特性にも優れていることが判る。
ッドは、磁気記録媒体との潤滑性に優れ、かつへ・ノド
摺動面および記録媒体を損傷させず、さらに再生時の電
気的特性にも優れていることが判る。
第１図は従来例薄膜磁気ヘッドの使用状態を示す要部外
観斜視図。 第２図はその薄膜磁気ヘッドの非磁性保護板を外した状
態の平面図。 第３図はそのＡＡ’断面図。 第４図は本発明実施例薄膜磁気ヘッドに用いられる材料
により形成されたモデルヘットの外観斜視図。 １・・・非磁性基体、２・・・下部磁極パーマロイ膜、
３．８・・・アルミナ膜１，４．６・・・フォトレジス
ト膜、５・・・薄膜コイル、７・・・上部磁極パーマロ
イ膜、９・・・ガラス層、１０・・・非磁性保護板、１
１・・・磁気記録媒体、１２．１３・・・電気信号端子
、１５・・・モデルヘット。 特許出願人 花王石鹸株式会社 代理人 弁理士 井出直孝 第３図 手続補正書 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 １、事件の表示 昭和５８年特許願第００３１２４号 ２、発明の名称 薄膜磁気へノド ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都中央区日本橋茅場町−丁目１４ ＠
１ｏ号名 称 （０９１）花王石鹸株式会社代表者
丸田芳部 ４、代理人 ５、補正命令の日付 （自発補正） ６、補正により増加する発明の数 なし８、 補正の
内容 ＋１１ 明細書第９頁第１４行目と同頁第１５行目と
の間に、 「また上記説明では、薄膜磁気ヘッドの非磁性基体がガ
ラス状カーボン材料、あるいはガラス状カーホン材料お
よび熱硬化性樹脂を含む複合材料からなることを説明し
たが、これらの材料は薄膜磁気ヘッドに限らす、磁気記
録媒体が摺接する部材に応用することもてきる。」 を挿入する。 ６
観斜視図。 第２図はその薄膜磁気ヘッドの非磁性保護板を外した状
態の平面図。 第３図はそのＡＡ’断面図。 第４図は本発明実施例薄膜磁気ヘッドに用いられる材料
により形成されたモデルヘットの外観斜視図。 １・・・非磁性基体、２・・・下部磁極パーマロイ膜、
３．８・・・アルミナ膜１，４．６・・・フォトレジス
ト膜、５・・・薄膜コイル、７・・・上部磁極パーマロ
イ膜、９・・・ガラス層、１０・・・非磁性保護板、１
１・・・磁気記録媒体、１２．１３・・・電気信号端子
、１５・・・モデルヘット。 特許出願人 花王石鹸株式会社 代理人 弁理士 井出直孝 第３図 手続補正書 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 １、事件の表示 昭和５８年特許願第００３１２４号 ２、発明の名称 薄膜磁気へノド ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都中央区日本橋茅場町−丁目１４ ＠
１ｏ号名 称 （０９１）花王石鹸株式会社代表者
丸田芳部 ４、代理人 ５、補正命令の日付 （自発補正） ６、補正により増加する発明の数 なし８、 補正の
内容 ＋１１ 明細書第９頁第１４行目と同頁第１５行目と
の間に、 「また上記説明では、薄膜磁気ヘッドの非磁性基体がガ
ラス状カーボン材料、あるいはガラス状カーホン材料お
よび熱硬化性樹脂を含む複合材料からなることを説明し
たが、これらの材料は薄膜磁気ヘッドに限らす、磁気記
録媒体が摺接する部材に応用することもてきる。」 を挿入する。 ６
Claims (4)
- （１）板状の非磁性基体と、 この非磁性基体の一つの面の上に形成された書込みまた
は読取り用変換ギャップ層を含む複数の薄膜層で作られ
た書込みまたは読取り変換器と、上記薄膜層を被覆する
非磁性保護板と を備えた薄膜磁気ヘッドにおいて、 上記非磁性基体がガラス状カーボン材料からなることを
特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - （２） 非磁性保護板がガラス状カーボン材料からな
る特許請求の範囲第（１）項に記載の薄膜磁気ヘット。 - （３）板状の非磁性基体と、 この非磁性基体の一つの面の上に形成された書込みまた
は読取り用変換ギャップ層を含む複数の薄膜層で作られ
た書込みまたは読取り変換器と、上記薄膜層を被覆する
非磁性保護板と を備えた薄膜磁気ヘッドにおいて、 上記非磁性基体がガラス状カーボン材料および熱硬化性
樹脂を含む複合材料であることを特徴とする薄膜磁気ヘ
ッド。 - （４）非磁性保護板がガラス状カーボン材料からなる特
許請求の範囲第（３）項に記載の薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP312483A JPS59127211A (ja) | 1983-01-11 | 1983-01-11 | 薄膜磁気ヘツド |
| DE8383110808T DE3375435D1 (en) | 1982-11-04 | 1983-10-28 | Magnetic head |
| EP83110808A EP0108355B1 (en) | 1982-11-04 | 1983-10-28 | Magnetic head |
| US06/548,566 US4642720A (en) | 1982-11-04 | 1983-11-03 | Magnetic head comprised of an improved base substance for high density magnetic recording |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP312483A JPS59127211A (ja) | 1983-01-11 | 1983-01-11 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59127211A true JPS59127211A (ja) | 1984-07-23 |
| JPH0512763B2 JPH0512763B2 (ja) | 1993-02-18 |
Family
ID=11548606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP312483A Granted JPS59127211A (ja) | 1982-11-04 | 1983-01-11 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59127211A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4975124A (ja) * | 1972-11-20 | 1974-07-19 | ||
| JPS57176524A (en) * | 1981-04-20 | 1982-10-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Thin-film magnetic head |
| JPS58163019U (ja) * | 1982-04-26 | 1983-10-29 | アルプス電気株式会社 | 薄膜磁気ヘツド |
-
1983
- 1983-01-11 JP JP312483A patent/JPS59127211A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4975124A (ja) * | 1972-11-20 | 1974-07-19 | ||
| JPS57176524A (en) * | 1981-04-20 | 1982-10-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Thin-film magnetic head |
| JPS58163019U (ja) * | 1982-04-26 | 1983-10-29 | アルプス電気株式会社 | 薄膜磁気ヘツド |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0512763B2 (ja) | 1993-02-18 |
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