JPH07192222A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

薄膜磁気ヘッド

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JPH07192222A
JPH07192222A JP34824393A JP34824393A JPH07192222A JP H07192222 A JPH07192222 A JP H07192222A JP 34824393 A JP34824393 A JP 34824393A JP 34824393 A JP34824393 A JP 34824393A JP H07192222 A JPH07192222 A JP H07192222A
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JP
Japan
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gap
narrow
wide
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magnetic
Prior art date
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Pending
Application number
JP34824393A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeru Shoji
司 茂 庄
Atsushi Toyoda
田 篤 志 豊
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Yamaha Corp
Original Assignee
Yamaha Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 高密度記録再生特性と書込時のオーバライト
特性を両立させる。 【構成】 ポール部38に形成されるギャップ17のう
ちポール先端部40は狭ギャップg1に形成し、その奥
側は広ギャップg2に形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、インダクティブタイ
プの薄膜磁気ヘッドに関し、高密度記録再生特性と書込
時のオーバライト特性を両立させたものである。
【0002】
【従来の技術】薄膜磁気ヘッドは磁気ディスク装置の記
録および再生手段として用いられている。磁気ディスク
装置に使用されている従来の薄膜磁気ヘッドを図2に示
す。図2において(a)は正面図、(b)は(a)のA
−A矢視図、(c)は(b)のポール部の拡大図であ
る。ここでは導体コイルを3層とした場合について示し
ている。
【0003】この薄膜磁気ヘッド1は、鏡面研磨された
清浄なスライダ基板10として、例えばAl2 3 −T
iC系セラミック板等を有し、この基板10上にはスパ
ッタ法等によりSiO2 ,Al2 3 等の保護層12が
10数μmの厚さに付着され、その上に下コア14が電
気メッキ等により積層されている。下コア14の上には
磁気ギャップ層16がスパッタ法等により積層されて、
磁気ギャップ17を形成している。磁気ギャップ層16
は保護層12と同様にSiO2 ,Al2 3 等で作られ
ている。
【0004】磁気ギャップ層16上には第1絶縁層18
が積層されている。絶縁層には通常、ポジ型のホトレジ
ストが用いられ、熱処理を加えて安定に硬化されてい
る。第1絶縁層18の上には、第1コイル層20がCu
等で電気メッキ等により数μmの厚さに形成されてい
る。第1コイル層20の上には、さらに同様の方法で第
2絶縁層22、第2コイル層24、第3絶縁層26、第
3コイル層28、第4絶縁層30が順次積層されてい
る。
【0005】第4絶縁層30の上には上コア32が電気
メッキ等により形成されている。上コア32のポール部
38と反対側の後部は、下コア14と密着している。上
コア32の上には、保護層30がSiO2 ,Al2 3
等でスパッタ法等により積層されて、全体を覆ってい
る。
【0006】従来の薄膜磁気ヘッドは、図2(c)に示
すように、ギャップ長gがスロートハイト(ポール部3
8の長さ)S全体にわたって均一に形成されていた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】図2のような均一ギャ
ップ長を有する薄膜磁気ヘッドにおいては、書込磁束分
布の大きさはギャップ長gに比例する。すなわち、ギャ
ップ長gが狭い場合は、図3(a)に示すように書込磁
束分布は小さくなり、ギャップ長gが広い場合は、図3
(b)に示すように書込磁束分布は大きくなる。したが
って、媒体記録面における磁界の強さもギャップ長gに
応じて変化する。すなわち、図4はヘッド先端と媒体記
録面との間のスペースが0.1μmの場合の媒体記録面
での書込磁界強度の分布を示したもので(ギャップ長方
向をX,−X方向とし、ギャップ長の中央位置をX=0
としている(図2(c)参照))、ギャップ長が狭い場
合は図4(a)に示すように、磁界の強さは小さくな
り、ピーク半値幅Pw50も小さくなる。また、ギャップ
長が広い場合は図4(b)に示すように、磁界の強さは
大きくなり、ピーク半値幅Pw50も大きくなる。
【0008】ところで、最近高Hc(保持力)磁気記録
媒体の出現により、高密度記録化が実現されつつある。
この場合、オーバライト(再書込)特性の向上のため、
媒体記録面での書込磁界強度が大きいことが望まれる。
そのためには、図3,4から明らかなように広ギャップ
が適している。しかし、広ギャップにすると、再生時の
分解能が悪くなる。また、前述のように、書込磁界分布
のピーク半値幅Pw50が大きくなる。このため、従来の
薄膜磁気ヘッドでは高密度記録再生特性とオーバライト
特性を両立させることができなかった。
【0009】この発明は、前記従来の技術における問題
点を解決して、高密度記録再生特性とオーバライト特性
を両立させた薄膜磁気ヘッドを提供しようとするもので
ある。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明は、ポール部に
形成される磁気ギャップが、ポール部先端部において狭
いギャップ長に形成された狭ギャップ部と、ポール部先
端部から奥に入った部分において前記狭ギャップ部より
も広いギャップ長に形成された広ギャップ部を具えてな
るものである。
【0011】
【作用】この発明によれば、ギャップ長をポール部先端
部では狭く、その奥側では広くしたので、書込時には磁
束の一部がポール部先端部の上下コア対向面に集中して
この部分を磁気飽和させる。このため、磁束の多くはポ
ール部先端部の飽和部分を徐けて外部空間に漏洩する。
したがって、書込時には実効ギャップ長が広がって広ギ
ャップヘッドとして動作し、書込磁束分布が大きくなっ
て媒体記録面における磁界の強さが大きくなり、良好な
オーバライト特性が得られる。しかも、磁界強度分布は
従来の広ギャップヘッドに比べて急俊になり、書込密度
を高めることができる。また、再生時には媒体からの再
生磁束によっては狭ギャップ部は飽和しないので、狭ギ
ャップ部が有効に機能して狭ギャップヘッドとして動作
し、再生分解能が向上する。したがって、この発明によ
れば、高密度記録再生特性とオーバライト特性を両立さ
せることができる。
【0012】
【実施例】この発明の一実施例を図1に示す。この薄膜
磁気ヘッド2は、鏡面研磨された清浄なスライダ基板1
0として、例えばAl2 3 −TiC系セラミック板等
を有し、この基板10上にはスパッタ法等によりSiO
2 ,Al2 3 等の保護層12が10数μmの厚さに付
着され、その上に下コア14が電気メッキ等により積層
されている。下コア14の上には磁気ギャップ層16が
スパッタ法等により積層されて、磁気ギャップ17を形
成している。磁気ギャップ層16は保護層12と同様に
SiO2 ,Al2 3 等で作られている。
【0013】磁気ギャップ層16には絶縁層およびコイ
ル導体層19が順次積層されている。絶縁層およびコイ
ル導体層19の上には上コア32が電気メッキ等により
形成されている。上コア32のポール部38は磁気ギャ
ップ層16と密着している。一方、ポール部38と反対
側の後部(図示せず)は、下コア14と密着している。
上コア32の上には、保護層30がSiO2 ,Al2
3 等でスパッタ法により積層されて、全体を覆ってい
る。
【0014】上コア32のポール部38は図1(b)に
拡大して示すように2段構造とされており、これにより
ギャップ長がポール部先端部40とその奥側で異なる2
重ギャップを構成している。すなわち、スロートハイト
(ポール部の長さすなわち磁気ギャップ17の深さ)S
のうちポール部先端面42から距離S1の区間はポール
幅全体にわたって短いギャップ長g1に形成されて狭ギ
ャップ部17aを構成し、その奥の距離S2(S=S1
+S2)の区間はポール幅全体にわたって長いギャップ
長g2に形成されて広ギャップ部17bを構成してい
る。
【0015】この場合、ギャップ長g1,g2は、g1
<g2であって、例えば、 0.10μm<g1<0.25μm 0.25μm<g2<0.6μm に設定するのが好ましい。すなわち、g1は狭ギャップ
による高い再生分解能特性が得られる範囲に設定し、g
2は広ギャップによる良好なオーバライト特性が得られ
る範囲に設定する。また、狭ギャップ部17aの奥行S
1と広ギャップ部17bの奥行S2は例えば S1/S2<0.5 S1≧0.5μm に設定するのが好ましい。すなわち、S1が小さすぎる
と、再生時に狭ギャップ部を通る磁束が少なくなって再
生感度が低下して狭ギャップの効果が減少し、またS1
がS2に比べて大きすぎると書込磁束の多くが狭ギャッ
プ部を通って外部に漏洩する磁束が減って広ギャップの
効果が減少するので、書込時には広ギャップの効果が良
好に得られ、再生時には狭ギャップの効果が良好に得ら
れる範囲にS1とS2の値を設定する。
【0016】図1のギャップ構造による磁界メカニズム
を図5を参照して説明する。図5(a)は書込時のギャ
ップ17における磁束分布を示したものである。書込時
には、狭ギャップ部17aはギャップ長が狭いので、磁
束の一部がここに集中し、上コア32のポール部の下方
に突出した部分32aが磁気飽和する。このため、磁束
の多くはこの飽和した部分を徐けて外部空間に漏洩す
る。したがって、書込時には実効ギャップ長が広がって
広ギャップヘッドとして動作する。図5(b)はこの時
の媒体記録面での書込磁界強度分布である。ここではヘ
ッド先端(ポール先端面42)と媒体記録面との間のス
ペースを0.1μmに設定し、ギャップ長方向をX,−
X方向、ギャップ長の中央位置をX=0としている。点
線はギャップ長をg2均一とした場合の広ギャップヘッ
ドの特性(図4(b)に相当)である。これによれば、
広ギャップヘッドと同様の書込磁界強度が得られてお
り、良好なオーバライト特性が得られる。また、図4
(b)よりも強度分布の勾配が急俊であり、ピーク半値
幅Pw50も狭くなっている。したがって、線記録密度を
高めることができる。
【0017】すなわち、書込時、磁束はスローハイトの
先端部の磁気飽和によって、ギャップから発生する磁界
の垂直成分が、ギャップ部全体がほぼギャップ長g2程
度に広がった時のものと同等になると考えられる。一
方、書込磁界の水平成分は狭ギャップ部17aのバイパ
ス効果によって小さくなる。従って、これらの組合わせ
として、ギャップ17の中心から発生する書込磁界は垂
直方向(記録媒体方向)に押し出された(すなわち、磁
界強度分布が急俊になったあるいは半値幅Pw50が狭く
なった)形になる。磁界強度分布が急俊になると、書込
磁界の反転周期が短くなっても書込磁界のピークどうし
が干渉しにくくなるので(書込磁界の上下ピークの干渉
は、ピークを打ち消しあうように作用するので、ピーク
高さの減少をもたらし、所望の書込状態が得られなくな
る)、書込密度を高めることができる。
【0018】再生時には、図5(c)に示すように、媒
体からの再生磁束によっては狭ギャップ部17aは磁気
飽和しないので、狭ギャップ部17aが有効に機能し
て、狭ギャップヘッドとして動作し、再生分解能が向上
する。したがって、高保持力媒体に対しても高密度記録
再生特性とオーバライト特性を両立させることができ
る。
【0019】
【他の実施例】図1の実施例では上コア32側のポール
部の厚さを先端部と奥側で異ならせることにより2重ギ
ャップ長を構成したが、図6(a)に示すように下コア
14側のポール部の厚さを先端部と奥側で異ならせるこ
とにより、2重ギャップを構成することもできる。ギャ
ップ長g1,g2、スロートハイトS1,S2を図1と
同じにした場合の媒体記録面での磁界強度分布を図6
(b)に示す。この場合は書込時は下コア14のポール
の上方に突出した部分14aが磁気飽和し、広ギャップ
ヘッドとして動作するので、大きな書込磁界強度が得ら
れる。また、再生時には媒体からの再生磁束によっては
下コア14の突出部14aは磁気飽和しないので狭ギャ
ップヘッドとして動作し、再生分解能が向上する。した
がって、高保持力媒体に対しても高密度記録再生特性と
オーバライト特性を両立させることができる。
【0020】図7(a)の実施例は、下コア14および
上コア32のポール部の厚さをともに先端部と奥側で異
ならせることにより、2重ギャップを構成したものであ
る。ギャップ長g1,g2、スロートハイトS1,S2
を図1と同じにした場合の磁界強度分布を図7(b)に
示す。この場合は書込時は下コア14のポールの上方に
突出した部分14aと上コア32のポールの下方に突出
した部分32aが磁気飽和し、広ギャップヘッドとして
動作するので、大きな書込磁界強度が得られる。また、
再生時には媒体からの再生磁束によっては下コア14の
突出部14aおよび上コア32の突出部32aは磁気飽
和しないので狭ギャップヘッドとして動作し、再生分解
能が向上する。したがって、高保持力媒体に対しても高
密度記録再生特性とオーバライト特性を両立させること
ができる。
【0021】また、ピーク半値幅Pw50は前記図1、図
6のものよりもさらに減少し、線記録密度をさらに高め
ることができる。
【0022】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、ギャップ長をポール部先端部では狭く、その奥側で
は広くしたので、書込時には実効ギャップ長が広がって
広ギャップヘッドとして動作し、書込磁束分布が大きく
なって媒体記録面における磁界の強さが大きくなり、良
好なオーバライト特性が得られる。しかも、磁界強度分
布は従来の広ギャップヘッドに比べて急俊になり、書込
密度を高めることができる。また、再生時には媒体から
の再生磁束によっては狭ギャップ部は飽和しないので、
狭ギャップ部が有効に機能して狭ギャップヘッドとして
動作し、再生分解能が向上する。したがって、この発明
によれば、高密度記録再生特性とオーバライト特性を両
立させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の一実施例を示す薄膜磁気ヘッドの
断面図およびそのポール部分の拡大図である。
【図2】 従来の薄膜磁気ヘッドを示す平面図、断面図
およびポール部分の拡大図である。
【図3】 従来の均一ギャップヘッドにおけるギャップ
長による書込磁束分布の違いを示す図である。
【図4】 図3(a)の狭ギャップヘッドと同(b)の
広ギャップヘッドによる媒体記録面での磁界強度分布を
示す図である。
【図5】 図1の2重ギャップ薄膜磁気ヘッドの書込時
および再生時の動作説明図である。
【図6】 この発明の他の実施例を示す断面図および媒
体記録面での磁界強度分布を示す図である。
【図7】 この発明の他の実施例を示す断面図および媒
体記録面での磁界強度分布を示す図である。
【符号の説明】
2 薄膜磁気ヘッド 17 磁気ギャップ 17a 狭ギャップ部 17b 広ギャップ部 38 ポール部 40 ポール先端部 g1 狭いギャップ長 g2 広いギャップ長

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ポール部に形成される磁気ギャップが、ポ
    ール部先端部において狭いギャップ長に形成された狭ギ
    ャップ部と、ポール部先端部から奥に入った部分におい
    て前記狭ギャップ部よりも広いギャップ長に形成された
    広ギャップ部を具えてなる薄膜磁気ヘッド。
JP34824393A 1993-12-24 1993-12-24 薄膜磁気ヘッド Pending JPH07192222A (ja)

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JP34824393A JPH07192222A (ja) 1993-12-24 1993-12-24 薄膜磁気ヘッド

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JP34824393A JPH07192222A (ja) 1993-12-24 1993-12-24 薄膜磁気ヘッド

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JP34824393A Pending JPH07192222A (ja) 1993-12-24 1993-12-24 薄膜磁気ヘッド

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6266868B1 (en) 1998-03-31 2001-07-31 Tdk Corporation Method of manufacturing a combination thin film magnetic head

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6266868B1 (en) 1998-03-31 2001-07-31 Tdk Corporation Method of manufacturing a combination thin film magnetic head
US6404602B2 (en) 1998-03-31 2002-06-11 Tdk Corporation Combination type thin film magnetic head having a stepped magnetic layer

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