JPS59125383A - 被加熱体加熱用トレイの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 １、　産業上の利用分野 本発明は、被加熱体を載置した状態で前記被加熱体全加
熱処理する際に用いられる被加熱体加熱用トレイ（例え
ばセラミックス電子部品焼成用の焼結皿）及びその製造
方法に関するものである。

２　従来技術 電子部品用セラミックスの近年における発達は誠に目覚
しく、その代表的なものがフェライトなどの強磁性体と
チタン酸バリウムなどの強誘電体である。　これらは何
れも成形品ｉ　１２００℃以上の高温において焼結して
造られる。　とくに最近開発された高性能の製品は、よ
り高温において焼結される傾向にあり、最高１６００℃
金越える高温焼結も行われている。

セラミックスの焼結は変形と均一加熱のため、成形品を
焼結皿に並べて炉に入れる。　この際に問題になるのが
セラミ２′クスと焼結皿との接触反応である。　接触反
応が起ればセラミックスの性質は極端に劣下する。　こ
のような反応を避けるために一般に用いられているのが
一ジルコニヤ粉末によるはく離剤である。　ジルコニヤ
は中性耐大物としてイブめて優れた性質をもっており、
高温における化学的安定性においても抜群である。

よって焼結皿の表面にジルコニヤ粉末ヲ敬さ、七の上に
セラミックス成形品を乗せて加熱すね、ば接触反応は起
らない。

しかし、この方法の欠点として、焼結皿の表面にいちい
ちジルコニヤ粉末金敷くことは、成形品の着脱の際手間
を増す。　とくに着脱を自動的に行なうとする場合に支
障となる。　よって、はく離剤としてでなく、焼結皿自
体をジルコニヤで造る試みも行われたが、周知のように
ジルコニヤ成形品を造ることは技術的に難しい。　とく
に、純ＺｒＯは高温変態のため焼結が困難であり、一般
に見られるジルコニヤ成形品はジルコニヤ１ｃｃａＯか
ＭｇＯを少量加えた安定化ジルコニヤてよって造られた
ものである０　しかし、このような安定化ジルコニヤは
化学的安定性において、純粋ジルコニヤよりも劣り接触
反応を起し易い。

３　発明の目的 本発明は、このようが在来の方法、または既存の焼結皿
のもつ欠点を改良することを目的とするものである。

４、発明の構成 本発明は、冒頭に記載したトレイにおいて、基体の被加
熱体載置面に、この載置面がら突出する如くに前記基体
とは異質のセラミックス微粒子が固着せしめられている
ことを特徴とする被加熱体加熱用トレイに係るものであ
る。　特に普通の耐火物による焼結皿の表面のみを純ジ
ルコニヤにすることを考えた。　たとえば、本体はムラ
イト製、表面の極めて薄い層ヲ純ジルコニヤとする。　
この」う合、そのような純ジルコニヤの表面層を塗型あ
るいはセラミックスコーティングのように溶射によって
造ることも考えられるが、そのような方法は何れもバイ
ンダー添加によるジルコニヤの純度低下、あるいに吹付
は面があらいため焼結皿には使えない。

こう（７たトレイを作成するために、本発明の製造方法
によれば、型材の型面に設けられた粘着膜にセラミック
ス微粒子全付着させる第１工程と、前記型材の型面に基
体材料を注入する第２工程と、前記基体材料全固化させ
て成形する第３工程と、この成形された基体側に前記セ
ラミックス微粒子が保持される如くに前記型材を離型す
る第４工程と全有すること’（ｒ４？徴とするものであ
る。

例えば、純ジルコニヤの表面金遣る方法として本発明に
おいては、先ず換型の表面に有機粘着剤ヲ塗り、その上
にジルコニヤの＊ｌＩＩ粒全ふりがける。

一方、粒度配合した耐火物をシリカゾルと混和してスラ
リーを作り、それにゲル化促進剤を添加したものを模型
上に注入する。　次にスラリーの硬化を待って離型する
と、ジルコニヤは本体と完全に密着して模型から離れる
。　このようにして離型した生型を乾燥、焼成すれば純
ＺｒＯの表面層もつ焼結皿が得られる。

５、実施例 以下、本発明を実施例について図面参照下に詳細に説明
する。

第１図は、本発明による方法を例示したものである。　
図中の１は模型、２は粘着剤、３はジルコニヤ粒−４Ｕ
コロイダルシリカによるスラリーである。　ここで最も
重要な点は、ジルコニヤ粒とスラリーとが接触する境界
の状態である。　そこでは上方から型１内に注入された
スラリーがジルコニャ粒の上部を埋めると共に、粒間に
も侵入する。　（−かし粒の粘Ｘ！膜に接した下部には
スラリーが侵入せず、したがって粒の頭が僅かにスラリ
ーから外に出た形になっている。　このような状態でス
ラリーのゲル化を待ってへｆ型すると、第２図のような
形になる。

第２図において５はジルコニヤ層、６はゲル化［また注
入体である。　なお粘着剤は模型表面に残るが、その一
部ははがれてジルコニヤ粒に付着しでいる。　そのよう
な付着した粘着剤は、焼成の際完全に焼失する。

第２１ｇに示すように、本発明の焼結皿は、その表面を
純ジルコニヤで被覆しているのが！４テ徴である。　ジ
ルコニヤ粒の粒間、および背面はシリカゲルによる酸性
耐火物によって埋められている。

しか１７、ジルコニヤ粒の表面は僅かに制大物層から頭
を出す形になっている。　したがって−焼結皿に乗ぜた
品物ば〜直接酸性耐火物にかれる恐１１゜がｌい。

次に、本発明全具体例によって更に詳細に説明する。　
まず−皿形模型の表面に酢酸ビニルエマルジョン型接着
剤を薄く一様に・塗布したのち、純ジルコニヤの細粒全
振りかけて表面層を作った。

この場合、純ジルコニヤは１００〜１５０メツシ二の粒
度のもので、微粉は取除いた。　次にムライトの粗粒と
細粒、それに７リカゾルにムライト粉末全混和して造っ
たスラリー會加えてプラスチック耐火物を作った。　そ
の耐火物にゲル化促進剤を加えたのち、振動を加えなが
ら模型上に流し込んで成形した。　硬化後離型するとジ
ルコニヤはそっくり面に付着して離れた。　これを乾燥
した後、１．２００℃に加熱して焼成した。

このようにして造った焼結皿は表面が平滑で、ジルコニ
ヤによって完全にコートされていた。

しかも、皿の本体はムライトで出来ているから、機械的
性質がよく、熱衝撃にも強かった。

化学的安定性をみるため、実際に各種電子部品用セラミ
ックスを乗せ、炉内試験を行なった。

その結果、ジルコニヤコートの耐食性は完全であった。

　また、繰返し加熱によるはく囲ｔも起らなかった。

【図面の簡単な説明】

第１図は焼結皿模型に耐火物を流し込んだ成形品の断面
図を示し、１は模型、２は粘着剤の薄膜、３はジルコニ
ヤ粒、４はスラリーである。 第２図はｒＩＥ型した焼結皿の断面図で、５にジルコニ
ヤ表向層、６はゲル化した耐火物である。 代理人　　弁理士　企　坂　　宏（他１名）第１　日 ＠２日

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被加熱体を載置した状態で前記被加熱体を加熱処理
   する際に用いられる被加熱体加熱用トレイにおいて、基
   体の被加熱体載置面に、この載置面から突出する如くに
   前記基体とは異質のセラミックス微粒子が固着せしめら
   れていることを特徴とする被加熱体加熱用トレイ。 ２、　セラミックス微粒子がジルコニヤからなる、特許
   請求の範囲の第１項に記載したトレイ。 ３　セラミックス微粒人の平均粒度が１００〜１５０メ
   ソシーであり、被加熱体載置面に一様な分布で固着され
   ている。、特許請求の範囲の第１項又は第２項に記載し
   たトレイ。 ４、　型材の型面に設けられた粘着膜にセラミックス微
   粒子を付着させる第１工程と一前記型材の型面に基体材
   料を注入する第２工程と、前記基体材料を固化きせて成
   形する第３工程と゛、この成形きれた基体側に前記セラ
   ミックス微粒子が保持される如くに前記型材全離型する
   第４工程とを有゛することを特徴とする被加熱体加熱用
   トレイの製造方法。 ５、　セラミックス微粒子を保持した基体金離型後に乾
   燥、焼成する、特許請求の範囲の第４項に記載した方法
   。 ６１．型材の型面に粘着剤を塗布し、次いでこの粘着剤
   層上にジルコニヤ微粒子を振り掛けて付着させるここに
   よって表面微粒子Ｍ’ｔｔ形成し、次いで基体材料とし
   ての耐火物スラＩＪ　−’ｒ前記表面微粒子層上に注入
   する、特許請求の範囲の第４項又は第５項に記載した方
   法。