JPH0369565A

JPH0369565A - 焼成セッター

Info

Publication number: JPH0369565A
Application number: JP1207409A
Authority: JP
Inventors: Kenji Imae; 憲司井前; Kazuo Hata; 和男秦
Original assignee: IMAE KOGYO KK; Nippon Shokubai Co Ltd
Current assignee: IMAE KOGYO KK; Nippon Shokubai Co Ltd
Priority date: 1989-08-10
Filing date: 1989-08-10
Publication date: 1991-03-25

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］［従来の技術］焼成セッターーとは、トレーの１種であって、その上に
焼成すべき被焼成物を載置し、釜や炉にいれ、被焼成物
を焼成するためのものである。非常に小さい（数ｍｍ程
度）もの、例えば、セラ主ソクコンデンサー等の電子材
料用の原料、例えばフェライトの焼成には欠くべからざ
るものである。

この焼成セッターーは、高温に曝されるため、当然なが
ら耐熱性の高いものでなくてはならない。

更に、反応性がなく、取り扱い等の問題から軽量である
ことが望ましい。

よって、従来から焼成セッターーは、セラミノク製であ
った。例えば、二酸化ケイ素（シリカ）、アルξす等を
焼成したものを用いていた。

また、最近では、セラミソタフブイパーとバインダーを
混合し、焼成した後研磨や切削する方法や、プレス後焼
成するなどのものが使用されている。これは、軽量であ
り、且つ熱容量も小さいため、昇温時間の短縮には寄与
しているものである。

また、同しような考えで、アル大ナファイハーを用いた
ものも考案され使用されているが、これはある種の反応
性を考慮したものである。

［発明が解決しようとする課題］上記のような従来の焼成セッターーでは次のような欠点
があった。

まず、アルミナ等を用いたセラミック製のものでは、重
量が大きいために取り扱いが不便であり且つ熱容量が大
きいため焼成時に必要な熱量が大きくなる。

また、セラミックファイバーを使用した複合タイプは、
比較的脆いためクランクが生じやすくなる。

更に、本質的にセラミックを用いたものは、気孔が存在
し、それによっである種の製品、例えば、フェライトや
コンデンサー等を焼成する際、セラ夙ソク成分が透出し
、その透出成分が被焼成物に混入、付着等をするため被
焼成物の製品劣化が生しる。

また、逆に被焼成物から溶出する成分をセラミックが吸
収し、それによってセラミックにクランクが生したり、
破壊される等によりセッターー自身の寿命が短くなる。

そこで、ポーラスな表面を被覆するという考えが生しる
。この目的のため、セラミック基板をアルミナやジルコ
ニア等でコーティングすることも考えられるが、根本的
には解決されていない。

セラミック製基板へのコーティングにはスプレー等によ
る塗布や溶射等の方法があるが、いずれの場合もピンホ
ールやボイドの発生を防くことができず、緻密な被覆層
を有するものは得られていない。そのため、上記のよう
に被焼成物から溶出する成分をセラミックが吸収し、そ
れによってセラさソクにクランクが生じ、さらには破壊
される等によりセッターー自身の寿命が短くなる問題が
残されている。

［課題を解決するための手段］上記のような現状に鑑み、本発明者は鋭意研究の結果、
本発明焼成セラターを完成させたものであり、その特徴
とするところは、セラくソク製基板上に、微粒子状の金
属酸化物を有機バインダーに混合しフィルム化し焼成し
て得た緻密なセラさソクフィルムを載置被覆した点にあ
る。

ここで、セラｉ　７り型基板とは、通常のセラよソクか
ら成るものであって、本発明セッターーの本体となるべ
きものをいう。セラ大ソク自体はどのようなものでもよ
い。上部を後述するフィルムで被覆するため、多孔性で
あってもよい。また、形状や大きさ等は被焼成物の大き
さ等によって適宜選択すればよい。通常は、積層して使
用するため周囲に立ち上がり部を有する盆状がよく、大
きさも５０Ｘ５０ｃｍ程度が好適である。

金属酸化物とは、アルミニウムやジルコニウムの酸化物
が好適である。微粒子とは、粉体という程度の意味であ
り、粒子自体の大きさは特に限定するものではないが、
１μ以下が好適である。

更に、これらの金属酸化物に酸化ケイ素、酸化マグネシ
ウム、酸化カルシウム、酸化セシウム、酸化イソ１−リ
ウム、酸化チタン等を、１種以上添加してもよい。これ
らの混合比率は添加物の種類によって異なるが、０．０
１〜２０％程度である。特にジルコニアの　〜　可能で
ある。

有機バインダーは、金属酸化物を焼成（焼結）する場合
の、焼成面の保形材であり焼結時には通常燃焼、消失す
るものである。このバインダーには、種々の樹脂が使用
できるが、アクリル系高分子が好適である。

また、このバインダーには、他の成分を混入することも
可能である。他の成分の代表例としては別の金属酸化物
がよい。例えば、酸化イソトリウム、酸化ケイ素、酸化
チタン等である。これらの混合比率は、種類によって異
なるが、０．０１〜１５％程度が好適である。特にジル
コニアの場合、安定化剤として酸化インドリウムを使用
するが、反応性の観点より、数％〜十数％混入すること
も可能である。

フィルム化とは、金属酸化物とバインダーを混大したも
のを厚み０．０１ｍｍ〜０．５ｍｍ程度に成型すること
をいう。

焼成とは、このフィルム化したものを、１０００℃〜１
５００℃程度で焼き、緻密なセラ”＝７クフイルムを得
ることを言い、焼成の方法は通常の方法でよい。

載置被覆とは、前記したセラミソク製基板を焼成したセ
ラよソクフィルムでカバーすることをいい、特別固着す
る必要はない。

カバーする範囲も全体であっても、部分的、即ち被焼成
物が載置される部分だけであってもよく特に限定するも
のではない。通常は、前記した盆形状と同様の形状に成
型し、焼成し、固化したものを基板に被せる方法が好ま
しい。

［実施例］第１図は、本発明焼成セッターー１の実施例を示す斜視
図である。基板２は、通常のセラミンク性であり、その
上方に有機バインダーを混合しフィルム化して焼成して
得た緻密なセラｊ７タフイルムからなるカバ一部材３が
載置されている。

この例では、金属酸化物の粉体としては主成分はジルコ
ニアであり、その中に酸化イ・７トリウム（Ｙ２Ｏ２）
を重量比で１３．７％、アルミナを０．０９％、シリカ
を０．０３％混合したものを使用している。

バインダーは、ポリメタアクリル酸メチルを使用してい
る。

次に本発明セラミソク製基板と従来のコーティングされ
たセラさソク製基板とを比較する。

１２　　　　　　　１４　　　　　　３０従来例　　　
目視できる　　破損クランクなし　　　　なし　　　　なし焼成温度：　１３００℃ 回数：焼成の繰り返し回数被Ｓ戊物：酸化コバルト／チタン酸バリウム３　Ｘ　２
ｍｍ、　　１ｍｍ　（厚み）ペレノトこの結果から、本
発明基板が非常に寿命が長いことが分かる。

［発明の効果］本発明焼成セラターによると、次のような効果がある。

■　軽量で取り扱いが簡単である。

■　反応性がない。

■　表面がポーラスでないため、成分の透出や浸透がな
い。

■　全体がセラミンクであるため、耐熱性は高い。

■　カバ一部材の剥離や、湾曲が生しない。

■　クランクが生し難い。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例を示す斜視図である。１・・・焼成セッターー２・・・基板３・・・カバ一部材９手続補正書（ｒ！釦事件の表示平底１年特許願第２０７４０９号発明の名称焼成セノタ補正をする者事件との関係　特許出願人住所　大阪市中央区高麗橋４丁目１番１号名称　日本触
媒化学工業株式会社

Claims

【特許請求の範囲】

１．　セラミック製基板上に、微粒子状の金属酸化物を
有機バインダーに混合しフィルム化し焼成したものを載
置被覆したことを特徴とする焼成セッター。
２．　金属酸化物は、アルミナ又はジルコニアである特
許請求の範囲第１項記載の焼成セッター。
３．　有機バインダーは、アクリル系樹脂である特許請
求の範囲第１項又は第２項記載の焼成セッター。