JPS59124587A - マニピュレータの速度制御方法 - Google Patents
マニピュレータの速度制御方法Info
- Publication number
- JPS59124587A JPS59124587A JP23390782A JP23390782A JPS59124587A JP S59124587 A JPS59124587 A JP S59124587A JP 23390782 A JP23390782 A JP 23390782A JP 23390782 A JP23390782 A JP 23390782A JP S59124587 A JPS59124587 A JP S59124587A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- speed
- manipulator
- time
- speed control
- distance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１） 発明の技術分野
本発明はマニピュレータの速度制御装置に係り特に直流
サーホモータを用いてマニピュレータをＸ軸、Ｙ軸取い
はＺ軸方向に移動させる時の速度制御装置に関するもの
である。
サーホモータを用いてマニピュレータをＸ軸、Ｙ軸取い
はＺ軸方向に移動させる時の速度制御装置に関するもの
である。
（２） 技術の背景
各種の電気部品又は集積回路用チップ等を自動組立また
は自動検査する場合には被組立物または被検査物を所定
位置に迅速に移動させて組立または検査等の次の工程に
運搬させる必要があり、これら被組立物または被検査物
（以下これらをワーク（ｗｏｒｋ）と記す）を仕事する
場所、すなわちステーションから次のステーション迄搬
送する方法としては基本的には間欠搬送、連続搬送、フ
リーサイクル搬送等があるが本発明ではワークを連続搬
送する場合の速度制御装置について提案するものである
。
は自動検査する場合には被組立物または被検査物を所定
位置に迅速に移動させて組立または検査等の次の工程に
運搬させる必要があり、これら被組立物または被検査物
（以下これらをワーク（ｗｏｒｋ）と記す）を仕事する
場所、すなわちステーションから次のステーション迄搬
送する方法としては基本的には間欠搬送、連続搬送、フ
リーサイクル搬送等があるが本発明ではワークを連続搬
送する場合の速度制御装置について提案するものである
。
ワークを連続搬送する場合のワークの速度制御装置とし
ては時間または距離により速度を求めワークを速度制御
しているが低または高速度時に高精度制御が得にくい問
題があり、簡単な速度制御で高精度が得られる制御装置
が望まれていた。
ては時間または距離により速度を求めワークを速度制御
しているが低または高速度時に高精度制御が得にくい問
題があり、簡単な速度制御で高精度が得られる制御装置
が望まれていた。
（３） 従来技術と問題点
ワークをＸ、ＹまたはＺ軸方向に搬送させるための従来
の速度制御装置として速度Ｖを求めるためにはｖ＝ｓ７
’ｔの関係からワークの移動距離Ｓ。
の速度制御装置として速度Ｖを求めるためにはｖ＝ｓ７
’ｔの関係からワークの移動距離Ｓ。
またはステーションからステーションまでの所要時間ｔ
から速度を求める方法が一般的であった。
から速度を求める方法が一般的であった。
すなわち時間ｔによって速度Ｖを求める場合は時間ｔを
基準にしてマイクロコンピュータ等で時間毎に所定速度
Ｖとなるような制御をすればよい。
基準にしてマイクロコンピュータ等で時間毎に所定速度
Ｖとなるような制御をすればよい。
この場合の時間ｔを横軸に、速度Ｖを縦軸にとった場合
の関係曲線は第１図の曲線１の如くなる。
の関係曲線は第１図の曲線１の如くなる。
このような速度制御装置によればワークを駆動するメカ
の劣化によって速度が変わった場合には移動距離に対す
る影響が大きい。すなわち時間のみをパラメータとして
いるために速度の変化は検知できない。
の劣化によって速度が変わった場合には移動距離に対す
る影響が大きい。すなわち時間のみをパラメータとして
いるために速度の変化は検知できない。
更に高速度でワークが動いた場合の高精度の制御が得に
くい問題がある。
くい問題がある。
また、距離Ｓによって速度Ｖを求める場合はステーショ
ンからステーションまでの移動距離を何等分かした距離
を基準にしてマイコン等で所定基準距離毎に所定速度Ｖ
となるように制御すれば第２図に示す如く距離Ｓを横軸
に速度Ｖを縦軸にとった場合の関係曲線は曲線２の如く
なる。
ンからステーションまでの移動距離を何等分かした距離
を基準にしてマイコン等で所定基準距離毎に所定速度Ｖ
となるように制御すれば第２図に示す如く距離Ｓを横軸
に速度Ｖを縦軸にとった場合の関係曲線は曲線２の如く
なる。
このような速度制御装置によればワークを駆動するメカ
の劣化によって速度誤差が生じたときには移動時間への
影響が大きくなる。更に低速度でワークが動いた場合に
は高精度の制御が得にくい問題があった。
の劣化によって速度誤差が生じたときには移動時間への
影響が大きくなる。更に低速度でワークが動いた場合に
は高精度の制御が得にくい問題があった。
（４） 発明の目的
本発明は上記従来の欠点に鑑み、低速時及び高速時にお
いても高精度の速度制御を行い得る速度制御装置を提供
することを目的とするものである。
いても高精度の速度制御を行い得る速度制御装置を提供
することを目的とするものである。
（５） 発明の構成
そしてこの目的は本発明によれば、マニピュレータの駆
動モータによる速度制御において上記マニピュレータの
低速度移動時には時間経過によって速度を定める時間速
度制御手段による制御を。
動モータによる速度制御において上記マニピュレータの
低速度移動時には時間経過によって速度を定める時間速
度制御手段による制御を。
高速度移動時には該マニピュレタの移動距離によって速
度を定める移動距離速度制御手段による制御を行なうこ
とを特徴とするマニピュレータの速度制御装置によって
達成される。
度を定める移動距離速度制御手段による制御を行なうこ
とを特徴とするマニピュレータの速度制御装置によって
達成される。
（６）発明の実施例
以下９本発明の実施例を図面によって詳述する。
第３図は本発明のマニピュレータの機構部分の１例を示
すもので加速減速によって駆動部を動かしたときウェー
ハ等のワークに振動を与えないように速度制御しようと
するものでＸ軸及びＹ軸方向に作動させる場合について
の一部を断面とする側面図であり、基板３上にはう・ツ
ク４ａの刻設されたレール４があり、所定の位置でワー
クの／％ンドリング等がなされる。ケーシング７内には
ケーシング全体をレールのＸ−Ｘ軸方向に移動させるた
めの直流駆動モータ６が配設され該駆動モータ６の駆動
軸５ａにはピニオン５が嵌着され、上記レール４の側面
に形成したう・ツク４ａと噛合されてケーシング７をＸ
−Ｘ軸方向に往復移動させるようになされる。ケーシン
グ７が所定位置に持ち来たされるとモータと同軸に配設
したロータリーエンコーダ１７ａよりの検出信号に基づ
いて駆動モータ６のＸ−Ｘ軸方向への駆動が停止される
。
すもので加速減速によって駆動部を動かしたときウェー
ハ等のワークに振動を与えないように速度制御しようと
するものでＸ軸及びＹ軸方向に作動させる場合について
の一部を断面とする側面図であり、基板３上にはう・ツ
ク４ａの刻設されたレール４があり、所定の位置でワー
クの／％ンドリング等がなされる。ケーシング７内には
ケーシング全体をレールのＸ−Ｘ軸方向に移動させるた
めの直流駆動モータ６が配設され該駆動モータ６の駆動
軸５ａにはピニオン５が嵌着され、上記レール４の側面
に形成したう・ツク４ａと噛合されてケーシング７をＸ
−Ｘ軸方向に往復移動させるようになされる。ケーシン
グ７が所定位置に持ち来たされるとモータと同軸に配設
したロータリーエンコーダ１７ａよりの検出信号に基づ
いて駆動モータ６のＸ−Ｘ軸方向への駆動が停止される
。
更にケーシング７には送りネジ１３と螺合する軸受部１
２が固定され、該軸受部１２に螺合した送りネジがＺ−
Ｙ軸方向に移動するようになされ、送りネジ１３に嵌着
したプーリとケーシング７内に配設した直流駆動モータ
８の駆動軸８ａに嵌着したプーリ６間に無端的に掛は渡
したベルト１０によって駆動モータ８の回転力を送りネ
ジ１３に伝え、送りネジ先端に取り付けられたメカチャ
ックをＺ−Ｙ軸方向に移動させる。メカチャックの構造
としては種々のものが提案されているが、カム１４と該
カムに対接するローラ１５とハンド部材１６が示されて
いるが２本発明の構成はこれらに限定されるものでない
ことは明らかである。
２が固定され、該軸受部１２に螺合した送りネジがＺ−
Ｙ軸方向に移動するようになされ、送りネジ１３に嵌着
したプーリとケーシング７内に配設した直流駆動モータ
８の駆動軸８ａに嵌着したプーリ６間に無端的に掛は渡
したベルト１０によって駆動モータ８の回転力を送りネ
ジ１３に伝え、送りネジ先端に取り付けられたメカチャ
ックをＺ−Ｙ軸方向に移動させる。メカチャックの構造
としては種々のものが提案されているが、カム１４と該
カムに対接するローラ１５とハンド部材１６が示されて
いるが２本発明の構成はこれらに限定されるものでない
ことは明らかである。
ｚ−Ｙ軸方向の移動停止はロークリエンコーダ１７ｂの
検出信号でなされる。
検出信号でなされる。
これらの制御装置の系統図を第４図に示す。駆動モータ
６または８の回転数は該駆動モータ６または８に同軸的
に取り付けられたエンコーダ１７ａまたは１７ｂの出力
と共にマイクロコンピュータ１８に与えられる。１９は
時間ｔに対応した速度信号を記憶したＲ Ａ、 Ｍまた
はＲＯＭであり２０は距離Ｓに対応した速度信号を記憶
した、ＲＡＭまたはＲＯＭである。すなわちエンコーダ
及び駆動モータより与えられた時間または距離信号情報
はマイクロコンピュータ１８内でＲＯＭまたはＲＡＭ等
の記憶装置に記憶した時間または距離信号情幸Ｈに対応
する速度信号と時時刻刻比較照合され駆動モータ６また
は８を速度制御１８ａする。
６または８の回転数は該駆動モータ６または８に同軸的
に取り付けられたエンコーダ１７ａまたは１７ｂの出力
と共にマイクロコンピュータ１８に与えられる。１９は
時間ｔに対応した速度信号を記憶したＲ Ａ、 Ｍまた
はＲＯＭであり２０は距離Ｓに対応した速度信号を記憶
した、ＲＡＭまたはＲＯＭである。すなわちエンコーダ
及び駆動モータより与えられた時間または距離信号情報
はマイクロコンピュータ１８内でＲＯＭまたはＲＡＭ等
の記憶装置に記憶した時間または距離信号情幸Ｈに対応
する速度信号と時時刻刻比較照合され駆動モータ６また
は８を速度制御１８ａする。
この速度制御方法を第５図並びに第６図について説明す
る。第５図は制御方法の流れ図を示すものであり、第６
図は横軸にステーション２１から他ステーションまでの
距離または時間を縦軸は速度Ｖで取ったものである。
る。第５図は制御方法の流れ図を示すものであり、第６
図は横軸にステーション２１から他ステーションまでの
距離または時間を縦軸は速度Ｖで取ったものである。
第６図に示す駆動モータスタート時、ずなわち駆動モー
クロがＸ−Ｘ軸方向の第１のステーション位置２１にあ
る状態から第５図に示すように起動２３を開始した第１
の領域ではエンコーダ１７ａよりの検出信号、すなわち
時間に対応する信号と記憶装置１９内の速度信号との比
較出力により時間による速度制御２４がなされ第１図ま
たは第２図に示すような急激な速度変化のない制御がな
される。次にエンコーダ１７ａよりの出力が所定の値に
達すると（成る定められた値）切り換えるか否かの応答
２４がマイクロコンピュータ１８内で行なわれＹＥＳで
あれば第６図で示す第■領域の速度制御領域に移る。す
なわちこの状態ではエンコーダ１７ａの検出信号と距離
に対応する記憶装置２０との比較出力によって移動距離
による速度制御２５がなされる。この状態の制御か所定
の値に達するとエンコーダ１７ａの出力により切り換え
か否かの応答２６がマイクロコンピュータ１８内で行な
われて第６図で示す第■領域の制御に移り、第１領域と
同様に時間による速度制御２７が行なわれて徐々に所定
値に達し第２のステーション２２位置であるか否か３０
の確認がなさ＼ れ正確に停止３１がなされる。
クロがＸ−Ｘ軸方向の第１のステーション位置２１にあ
る状態から第５図に示すように起動２３を開始した第１
の領域ではエンコーダ１７ａよりの検出信号、すなわち
時間に対応する信号と記憶装置１９内の速度信号との比
較出力により時間による速度制御２４がなされ第１図ま
たは第２図に示すような急激な速度変化のない制御がな
される。次にエンコーダ１７ａよりの出力が所定の値に
達すると（成る定められた値）切り換えるか否かの応答
２４がマイクロコンピュータ１８内で行なわれＹＥＳで
あれば第６図で示す第■領域の速度制御領域に移る。す
なわちこの状態ではエンコーダ１７ａの検出信号と距離
に対応する記憶装置２０との比較出力によって移動距離
による速度制御２５がなされる。この状態の制御か所定
の値に達するとエンコーダ１７ａの出力により切り換え
か否かの応答２６がマイクロコンピュータ１８内で行な
われて第６図で示す第■領域の制御に移り、第１領域と
同様に時間による速度制御２７が行なわれて徐々に所定
値に達し第２のステーション２２位置であるか否か３０
の確認がなさ＼ れ正確に停止３１がなされる。
尚、より正確な位置決めを行うために第５図の流れ図に
点線で示すように時間による速度制御２７の終了寸前時
、すなわち目的地のセンサーに達したときに切り換え２
８をなし再び移動距離による速度制御２９に切り換えて
第■領域の速度制御をして目的地か否か３０を確認して
停止させるようにするを可とする。
点線で示すように時間による速度制御２７の終了寸前時
、すなわち目的地のセンサーに達したときに切り換え２
８をなし再び移動距離による速度制御２９に切り換えて
第■領域の速度制御をして目的地か否か３０を確認して
停止させるようにするを可とする。
上記実施例ではＸ−Ｘ軸方向にマニピュレータを制御す
る場合について述べたが勿論Ｙ軸取いはＸ軸方向の速度
制御においても本発明が適用出来ることは明白である。
る場合について述べたが勿論Ｙ軸取いはＸ軸方向の速度
制御においても本発明が適用出来ることは明白である。
（７） 発明の効果
以上、詳細に説明したように本発明のマニピュレー・夕
の速度制御装置によれば高精度の速度制御を行うことが
出来ると共に速度誤差による移動距離及び移動時間への
影響を最小限にすることが出来る特徴を有する。
の速度制御装置によれば高精度の速度制御を行うことが
出来ると共に速度誤差による移動距離及び移動時間への
影響を最小限にすることが出来る特徴を有する。
第１図は従来の速度制御装置の時間と速度との関係を示
す曲線図、第２図は従来の速度制御装置の移動距離と速
度の関係を示す曲線図、第３図は本発明に用いるマニピ
ュレータの機構の１例を示す一部を断面とする側面図、
第４図は本発明のマニピュレータの制御装置の系統図、
第５図は本発明のマニピュレータの制御装置の動作を説
明する流れ図、第６図は本発明の速度制御装置の時間ま
たは距離と速度の関係を示す曲線図である。 ３・・・基板、 ４・・・レール、 ４ａ・・・ラ
ック、 ５・・・ピニオン、 ７・・・ケーシ
ング、 ６，８・・・駆動モータ、９．１１・・・
プーリ、 １２・・・軸受部、１３・・・送りネジ
、 １４・・・カッ２．１５・・・ローラ、 １
６・・・ハンド、 □１７ａ、１７ｂ・・・エ
ンコーダ、 １８・・・マイクロコンピュータ、
１９．２０・・・記憶装置、 ２１．２２・・・
センサー。
す曲線図、第２図は従来の速度制御装置の移動距離と速
度の関係を示す曲線図、第３図は本発明に用いるマニピ
ュレータの機構の１例を示す一部を断面とする側面図、
第４図は本発明のマニピュレータの制御装置の系統図、
第５図は本発明のマニピュレータの制御装置の動作を説
明する流れ図、第６図は本発明の速度制御装置の時間ま
たは距離と速度の関係を示す曲線図である。 ３・・・基板、 ４・・・レール、 ４ａ・・・ラ
ック、 ５・・・ピニオン、 ７・・・ケーシ
ング、 ６，８・・・駆動モータ、９．１１・・・
プーリ、 １２・・・軸受部、１３・・・送りネジ
、 １４・・・カッ２．１５・・・ローラ、 １
６・・・ハンド、 □１７ａ、１７ｂ・・・エ
ンコーダ、 １８・・・マイクロコンピュータ、
１９．２０・・・記憶装置、 ２１．２２・・・
センサー。
Claims (1)
- マニピュレータの駆動モータによる速度制御において上
記マニピュレータの低速度移動時には時間経過によって
速度を定める時間速度制御手段による制御を、高速度移
動時には該マニピュレタの移動距離によって速度を定め
る移動距離速度制御手段による制御を行なうことを特徴
とするマニピュレータの速度制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23390782A JPS59124587A (ja) | 1982-12-29 | 1982-12-29 | マニピュレータの速度制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23390782A JPS59124587A (ja) | 1982-12-29 | 1982-12-29 | マニピュレータの速度制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59124587A true JPS59124587A (ja) | 1984-07-18 |
| JPH0520235B2 JPH0520235B2 (ja) | 1993-03-18 |
Family
ID=16962450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23390782A Granted JPS59124587A (ja) | 1982-12-29 | 1982-12-29 | マニピュレータの速度制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59124587A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62218085A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-25 | 株式会社日立製作所 | ロボツト装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57113112A (en) * | 1980-12-29 | 1982-07-14 | Fujitsu Ltd | Control system for robot |
-
1982
- 1982-12-29 JP JP23390782A patent/JPS59124587A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57113112A (en) * | 1980-12-29 | 1982-07-14 | Fujitsu Ltd | Control system for robot |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62218085A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-25 | 株式会社日立製作所 | ロボツト装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0520235B2 (ja) | 1993-03-18 |
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