JPS59113303A - 直動型サ−ボ弁 - Google Patents
直動型サ−ボ弁Info
- Publication number
- JPS59113303A JPS59113303A JP57222028A JP22202882A JPS59113303A JP S59113303 A JPS59113303 A JP S59113303A JP 57222028 A JP57222028 A JP 57222028A JP 22202882 A JP22202882 A JP 22202882A JP S59113303 A JPS59113303 A JP S59113303A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spool
- servo valve
- direct
- bobbin
- force motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
- F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
- F15B13/04—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor
- F15B13/0401—Valve members; Fluid interconnections therefor
- F15B13/0402—Valve members; Fluid interconnections therefor for linearly sliding valves, e.g. spool valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
- F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
- F15B13/04—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor
- F15B13/044—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor operated by electrically-controlled means, e.g. solenoids, torque-motors
- F15B13/0446—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor operated by electrically-controlled means, e.g. solenoids, torque-motors with moving coil, e.g. voice coil
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/86493—Multi-way valve unit
- Y10T137/86574—Supply and exhaust
- Y10T137/86622—Motor-operated
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Servomotors (AREA)
- Magnetically Actuated Valves (AREA)
- Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は試験機などに使用される直動型サーボ弁に関す
るものである。
るものである。
従来のこの種サーボ弁はヨーク、永久磁石およびボビン
からなるフォースモータにより、ボディ内に軸方向に移
動自在に設けたスプールを直接に駆動するように構成さ
れていることは周知のとおシである。このようなサーボ
弁では、そのスプールの位置決めに機械的手段例えばば
ねまたは電気的手段列えばセンサなどが1吏用されてい
るが、前者のばねを用いたものはサーボ弁の応答性が悪
く、また後者のセンサを用いたものは超高度の応答性を
うろことが困難である。
からなるフォースモータにより、ボディ内に軸方向に移
動自在に設けたスプールを直接に駆動するように構成さ
れていることは周知のとおシである。このようなサーボ
弁では、そのスプールの位置決めに機械的手段例えばば
ねまたは電気的手段列えばセンサなどが1吏用されてい
るが、前者のばねを用いたものはサーボ弁の応答性が悪
く、また後者のセンサを用いたものは超高度の応答性を
うろことが困難である。
本発明は上記にかんがみ簡単な構造により、超高度の応
答性を有する直動型サーボ弁を提供することを目的とす
るものである。
答性を有する直動型サーボ弁を提供することを目的とす
るものである。
本発明は上記目的を達成するために、フォースモータに
よりスプールを直後に、駆動するように構成した直嚇謔
サーボ弁にお込て、前記スプールのフォースモータ側お
よび反フォースモータ側の各端部にスプールの速度検出
器および変位検出器をそれぞれ設けたことを特徴とする
ものである。
よりスプールを直後に、駆動するように構成した直嚇謔
サーボ弁にお込て、前記スプールのフォースモータ側お
よび反フォースモータ側の各端部にスプールの速度検出
器および変位検出器をそれぞれ設けたことを特徴とする
ものである。
実施例
以下本発明の一実櫂例を9図面について説明する。
第1図において、Aはフォースモータで、このフォース
モータAは大ヨーク1と、この大ヨーク1内に収付けら
れた大永久磁石2と、大ヨーク1内に軸方向に移動可能
に挿入されだ円尚状大ボビン3とからなシ、この大ボビ
ン3は後述するボディ6に取付けられた板ばね5により
支持されている。また大ボビン3の円筒部にはコイル4
が巻回されており、このコイル4に通電することにより
大ボビン3は軸方向に移【助される。
モータAは大ヨーク1と、この大ヨーク1内に収付けら
れた大永久磁石2と、大ヨーク1内に軸方向に移動可能
に挿入されだ円尚状大ボビン3とからなシ、この大ボビ
ン3は後述するボディ6に取付けられた板ばね5により
支持されている。また大ボビン3の円筒部にはコイル4
が巻回されており、このコイル4に通電することにより
大ボビン3は軸方向に移【助される。
Bは油圧部で、この油圧部Bは前記大ヨーク1と一体に
結合さnたボディ6と、このボディ6の内周面に装着さ
れたスリーブ7と、このスリーブ7内に軸方向に摺動自
在に収′納されたスプール8とからなり、このスプール
8の一端(図では右端)は板ばね5に固着され、その他
端には一対の磁石9a、9bが相対向するように取付け
られている。
結合さnたボディ6と、このボディ6の内周面に装着さ
れたスリーブ7と、このスリーブ7内に軸方向に摺動自
在に収′納されたスプール8とからなり、このスプール
8の一端(図では右端)は板ばね5に固着され、その他
端には一対の磁石9a、9bが相対向するように取付け
られている。
前記両磁石9a、9bと、この両磁石9a、9b間に介
設された応答性の良好な磁気抵抗素子片9Cとによシス
プール変位演出a9が構成されている。前記1磁気抵抗
素子片9Cはボディ6に収付けたカバー10の内聞に固
着されている。また前記ボディ6およびスリーブ7には
、スプール室15とアクチュエータ(図示せず)とを連
通ずる制御ポート14a、14b、圧油供給ポート16
aおよび圧油排出ポー)16b、16cが設けられてい
る。
設された応答性の良好な磁気抵抗素子片9Cとによシス
プール変位演出a9が構成されている。前記1磁気抵抗
素子片9Cはボディ6に収付けたカバー10の内聞に固
着されている。また前記ボディ6およびスリーブ7には
、スプール室15とアクチュエータ(図示せず)とを連
通ずる制御ポート14a、14b、圧油供給ポート16
aおよび圧油排出ポー)16b、16cが設けられてい
る。
前記フォースモータAの大ポビン3内には、スプール速
度検出器11が設けられている。このスプール速度検出
器11は小ヨークllaと、この小ヨークllaの内側
に取付けられた小永久磁石11bと、これらの小ヨーク
llaと小永久磁石11bとの間に挿入された小ボビン
llcとからなシ、この小ボビン11Cは、その円筒部
にコイル11dが巻回され、かつフォースモータAの大
ボビン3の中央部内側に一体に結合されている。
度検出器11が設けられている。このスプール速度検出
器11は小ヨークllaと、この小ヨークllaの内側
に取付けられた小永久磁石11bと、これらの小ヨーク
llaと小永久磁石11bとの間に挿入された小ボビン
llcとからなシ、この小ボビン11Cは、その円筒部
にコイル11dが巻回され、かつフォースモータAの大
ボビン3の中央部内側に一体に結合されている。
また上記小ボビンllcの内−中央部にはコイルばね1
3の一端が固着され、このコイルばね13の他端は前記
大、小ヨーク1.llaおよび大、小永久磁石2.ll
bにねじ込まれた中立点調節部材12内に固着されてい
るっしたがって中立点調節部材12を軸方向に移動させ
てコイルばね13の力を調節す゛れば、スプール8をフ
ォースモータAの大ボビン3を介して軸方向に移動させ
、油圧的に中立位置にセットすることができる。
3の一端が固着され、このコイルばね13の他端は前記
大、小ヨーク1.llaおよび大、小永久磁石2.ll
bにねじ込まれた中立点調節部材12内に固着されてい
るっしたがって中立点調節部材12を軸方向に移動させ
てコイルばね13の力を調節す゛れば、スプール8をフ
ォースモータAの大ボビン3を介して軸方向に移動させ
、油圧的に中立位置にセットすることができる。
14a〜14Cはボディ6およびスリーブ7に設けられ
、スプール室15とアクチュエータ(図示せず)とを連
通ずる油圧ポートである。
、スプール室15とアクチュエータ(図示せず)とを連
通ずる油圧ポートである。
次に上記のような構成からなる本実癩例の作用について
説明する。
説明する。
フォースモータAの大ボビン3に巻回したコイル4に通
電すると、大ヨーク1と大永久磁石2により形成される
磁気回路により、大ボビン3はフレミングの法則によシ
・浦方向の力を発生する。この大ボビン3に発生する力
により、板ばね5を介してスプール8はスリーブ7内を
軸方向に移動するので、油圧ボート14a〜14Cは交
互に切換えられ、アクチュエータに油圧を給排するから
アクチュエータは駆動される。
電すると、大ヨーク1と大永久磁石2により形成される
磁気回路により、大ボビン3はフレミングの法則によシ
・浦方向の力を発生する。この大ボビン3に発生する力
により、板ばね5を介してスプール8はスリーブ7内を
軸方向に移動するので、油圧ボート14a〜14Cは交
互に切換えられ、アクチュエータに油圧を給排するから
アクチュエータは駆動される。
この場合、フォースモータA内に設けた速度検出器11
によシスプール8の速度を、スプール8の先端に取付け
た変位検出器9によりスプール8の変位をそれぞれ正確
に検出することができる。
によシスプール8の速度を、スプール8の先端に取付け
た変位検出器9によりスプール8の変位をそれぞれ正確
に検出することができる。
前記変位検出器9は、その振動しゃすい;磁気抵抗素子
9cがカバー10に固定され、小永久磁石9a、9bの
みがスプール8と一緒に移動するだけであるため、スプ
ール8の変位を確実に検出することができるから、いか
なる高周波にも対応して高精度の応答性を発揮する。ま
た大、小ボビン3、llcは板ばね5により支持され、
かつコイルばね13を介して調節に連動するように構成
されているので、その調節ポルト12を操作することに
よシスプール8を中立位置に保持すると共に、その回転
を抑止することができる。
9cがカバー10に固定され、小永久磁石9a、9bの
みがスプール8と一緒に移動するだけであるため、スプ
ール8の変位を確実に検出することができるから、いか
なる高周波にも対応して高精度の応答性を発揮する。ま
た大、小ボビン3、llcは板ばね5により支持され、
かつコイルばね13を介して調節に連動するように構成
されているので、その調節ポルト12を操作することに
よシスプール8を中立位置に保持すると共に、その回転
を抑止することができる。
第2図は制御回路のモデルのブロック図を示したもので
、前記のように速度検出器11および変位検出器9によ
り、サーボ弁Sのスプール8(第1図参照)の速度Vお
よび変位Xをそれぞれ検出し、これらの検出値v、xを
ゲインに7.に8で増幅してす〜ボ弁Sの入力側にフィ
ードバックし、指令値xcとつき合せて偏差信号でサー
ボ弁Sの変位を、1l11tllするようにしたもので
ある。
、前記のように速度検出器11および変位検出器9によ
り、サーボ弁Sのスプール8(第1図参照)の速度Vお
よび変位Xをそれぞれ検出し、これらの検出値v、xを
ゲインに7.に8で増幅してす〜ボ弁Sの入力側にフィ
ードバックし、指令値xcとつき合せて偏差信号でサー
ボ弁Sの変位を、1l11tllするようにしたもので
ある。
以上説明したように本発明によれば、サーボ弁のスプー
ルの速度および変位を確実に検出し、主サーボ涜にフィ
ードバックさせることにより、ゲインを高めて応答性を
超高度に向上させることができる。
ルの速度および変位を確実に検出し、主サーボ涜にフィ
ードバックさせることにより、ゲインを高めて応答性を
超高度に向上させることができる。
第1図は本発明の直動準サーボ弁の一実施例を示す断面
図、第2図は同実砲例の制御回路図である。 A・・・フォースモータ、3.llc・・・ボビン、5
・・・板ばね、8・・・スプール、9・・・スプール変
位検出器、9a、9b、llb・・・磁石、9C・・・
磁気抵抗素子、11・・・スプール速度検出器、11a
・・・ヨーク、12・・・中立点調節部材、13・・・
コイルばね、16・・・主サーボ系。
図、第2図は同実砲例の制御回路図である。 A・・・フォースモータ、3.llc・・・ボビン、5
・・・板ばね、8・・・スプール、9・・・スプール変
位検出器、9a、9b、llb・・・磁石、9C・・・
磁気抵抗素子、11・・・スプール速度検出器、11a
・・・ヨーク、12・・・中立点調節部材、13・・・
コイルばね、16・・・主サーボ系。
Claims (1)
- 1.7オーズモータによジスプールを直接に駆動するよ
うに構成した直動型サーボ弁において、前記スプールの
フォースモータ側および反フォースモータ側の各端部に
スプールの速度検出器および変位検出器をそれぞれ設け
たことを特徴とする直動型サーボ弁。 2、前記スプール速度検出器は、フォースモータのボビ
ンの内側に設けた小ヨークおよび小磁石と、この小ヨー
クと小磁石との間に介設され、かつ前記フォースモータ
のボビンと一体に結合された小ポビンとからなることを
特徴とする特許請求の範囲第1゛項記・成の直動型サー
ボ弁。 3、前記スプール変位検出器は、スプールの反フォース
モータ側端部に相対向するように設けた一対の磁石と、
この両磁石間に介設した磁気抵抗素子とからなることを
特徴とする特許請求の範囲第1項記載の直動型サーボ弁
。 4、フォースモータのボビンをボディに取付けだ板ばね
によシ支持すると共に、コイルばねを介して中立点調節
部材に連結したことを特徴とする特許請求の範囲第1項
ないし第3項記載のうちのいずれか一項記載の直曲型サ
ーボ弁。 5、前記スプールの速度検出器および変位検出器により
それぞれ検出した値をゲインで増1扁し、サーボ弁の入
力側にフィートノ々ツクさせることを特徴とする特許請
求の範囲第1項ないし第4項のうちのいずれか一項記載
の直動型サーボ弁。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57222028A JPS59113303A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | 直動型サ−ボ弁 |
US06/560,177 US4544129A (en) | 1982-12-20 | 1983-12-12 | Direct-acting servo valve |
DE19833345880 DE3345880A1 (de) | 1982-12-20 | 1983-12-19 | Direktwirkendes steuerventil |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57222028A JPS59113303A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | 直動型サ−ボ弁 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59113303A true JPS59113303A (ja) | 1984-06-30 |
JPS6349083B2 JPS6349083B2 (ja) | 1988-10-03 |
Family
ID=16775956
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57222028A Granted JPS59113303A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | 直動型サ−ボ弁 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4544129A (ja) |
JP (1) | JPS59113303A (ja) |
DE (1) | DE3345880A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6024902U (ja) * | 1983-07-27 | 1985-02-20 | 株式会社 明石製作所 | 直動型サ−ボ弁 |
Families Citing this family (10)
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JPS59194106A (ja) * | 1983-04-19 | 1984-11-02 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 直動型電気・流体圧サ−ボ弁 |
NL8501647A (nl) * | 1985-06-06 | 1987-01-02 | Volvo Car Bv | Brandstofinjector. |
GB8814777D0 (en) * | 1988-06-22 | 1988-07-27 | Renishaw Plc | Controlled linear motor |
US5012722A (en) * | 1989-11-06 | 1991-05-07 | International Servo Systems, Inc. | Floating coil servo valve |
DE59006623D1 (de) * | 1990-03-31 | 1994-09-01 | Honeywell Bv | Vorrichtung zur Hubbegrenzung. |
DE59206920D1 (de) * | 1992-05-19 | 1996-09-19 | New Sulzer Diesel Ag | Vorrichtung zum Steuern des Durchflusses eines hydraulischen Druckmittels, insbesondere für die Brennstoffeinspritzung einer Hubkolbenbrennkraftmaschine |
US5960831A (en) * | 1993-05-07 | 1999-10-05 | Robohand, Inc. | Electromechanical servovalve |
DK170121B1 (da) * | 1993-06-04 | 1995-05-29 | Man B & W Diesel Gmbh | Gliderventil og stor totakts forbrændingsmotor |
US20080099705A1 (en) * | 2006-10-25 | 2008-05-01 | Enfield Technologies, Llc | Retaining element for a mechanical component |
JP7566607B2 (ja) * | 2020-12-10 | 2024-10-15 | 住友重機械工業株式会社 | スプール型流量制御弁およびその製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US3749128A (en) * | 1971-04-08 | 1973-07-31 | Koehring Co | High frequency response servo valve |
US3850196A (en) * | 1973-11-05 | 1974-11-26 | Gen Motors Corp | Metering rod with position indicating means |
JPS5510161A (en) * | 1978-07-10 | 1980-01-24 | Hitachi Ltd | Hydraulic servo valve |
JPS5814954B2 (ja) * | 1979-07-02 | 1983-03-23 | 株式会社日立製作所 | 直動形サ−ボ弁 |
US4456031A (en) * | 1982-05-03 | 1984-06-26 | Vickers, Incorporated | Electro-hydraulic servo valve system |
JPH0834570B2 (ja) * | 1987-07-15 | 1996-03-29 | 株式会社日立製作所 | 固体撮像装置 |
-
1982
- 1982-12-20 JP JP57222028A patent/JPS59113303A/ja active Granted
-
1983
- 1983-12-12 US US06/560,177 patent/US4544129A/en not_active Expired - Lifetime
- 1983-12-19 DE DE19833345880 patent/DE3345880A1/de active Granted
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6024902U (ja) * | 1983-07-27 | 1985-02-20 | 株式会社 明石製作所 | 直動型サ−ボ弁 |
JPS6323602Y2 (ja) * | 1983-07-27 | 1988-06-29 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3345880C2 (ja) | 1990-12-13 |
DE3345880A1 (de) | 1984-06-20 |
JPS6349083B2 (ja) | 1988-10-03 |
US4544129A (en) | 1985-10-01 |
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