JPS59109805A - 位置検出装置 - Google Patents
位置検出装置Info
- Publication number
- JPS59109805A JPS59109805A JP57221408A JP22140882A JPS59109805A JP S59109805 A JPS59109805 A JP S59109805A JP 57221408 A JP57221408 A JP 57221408A JP 22140882 A JP22140882 A JP 22140882A JP S59109805 A JPS59109805 A JP S59109805A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- detected
- image
- circuit
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、工業用ロボットの位置検出装置に関するもの
である。
である。
従来例の構成とその問題点
工業用ロボットを用い作業を行う時、対象とする物体を
正確に位置決めする事が困難である場合、対象とする物
体の位置情報を得る為、位置検出装置が用いられる。
正確に位置決めする事が困難である場合、対象とする物
体の位置情報を得る為、位置検出装置が用いられる。
一般に、位置検出装置として工業用カメラが用いられて
いるが、高度な計算機能をもつ処理系が必要であり、使
用するにあたり価格面で問題が多かった。また、簡素化
された処理系による位置検出の7つの方法として、第1
図、第2図、第3図を参照して説明すると、駆動回路1
4a 、 14bより映像の移動速度がva>vbとな
る走査信号が出力され、水平・垂直走査用のガルバノメ
ータ6.7が駆動され、4分割の光電変換器4a、4b
。
いるが、高度な計算機能をもつ処理系が必要であり、使
用するにあたり価格面で問題が多かった。また、簡素化
された処理系による位置検出の7つの方法として、第1
図、第2図、第3図を参照して説明すると、駆動回路1
4a 、 14bより映像の移動速度がva>vbとな
る走査信号が出力され、水平・垂直走査用のガルバノメ
ータ6.7が駆動され、4分割の光電変換器4a、4b
。
4c、4d上に結像した被検出物体2の結像が三角波状
に移動する。前記光電変換器4a 、 4b 。
に移動する。前記光電変換器4a 、 4b 。
+c、4dの検出信号G1 、G2 、G3 、G4は
、加算回路sa、sbを経た後、演算回路9aに入力し
、l (Ql +G3 )−(G2!+G4 ) lが
出力される。前記被検出物体2の映像が前記光電変換器
4a、40上にきた時、予めEa))○となるようなあ
る値に設定されだEaと比較U、1(G1+G3)−、
(G2+G4)l)Eaとなり、ゲートd路10 aよ
り信号が出力される。次に、前記被検出物体2の映像が
前記光電変換器4a’、4cと前記光電変換器4b 、
4dの中間にきた時、予めEa::Oとなるようなあ
る値に設定されたFaと比較し、l (G1+G3)
−(G2+G4)+(Faとなり、比較回路11aより
信号が出力される。前記ゲート回路10aと前記比較回
路11aの信号出力により、AND回路12aば、サン
プリング回路13aにサンプリング信号、前記駆動回路
14aにホールド信号、前記駆動回路14bに変速信号
、AND回路12bに信号を出力する前記サンプリング
回路13aはサンプリング信号により、その時の前記駆
動回路14aの走査信号を読み取り、位置信号を出力す
る。前記駆動回路14aはホールド信号により、その時
の走査信号を維持し、映像の移動を停止する0前記駆動
回路14bは変速信号によシ、V a > V’bなる
速度vbからV b = V aなる速度に変速する。
、加算回路sa、sbを経た後、演算回路9aに入力し
、l (Ql +G3 )−(G2!+G4 ) lが
出力される。前記被検出物体2の映像が前記光電変換器
4a、40上にきた時、予めEa))○となるようなあ
る値に設定されだEaと比較U、1(G1+G3)−、
(G2+G4)l)Eaとなり、ゲートd路10 aよ
り信号が出力される。次に、前記被検出物体2の映像が
前記光電変換器4a’、4cと前記光電変換器4b 、
4dの中間にきた時、予めEa::Oとなるようなあ
る値に設定されたFaと比較し、l (G1+G3)
−(G2+G4)+(Faとなり、比較回路11aより
信号が出力される。前記ゲート回路10aと前記比較回
路11aの信号出力により、AND回路12aば、サン
プリング回路13aにサンプリング信号、前記駆動回路
14aにホールド信号、前記駆動回路14bに変速信号
、AND回路12bに信号を出力する前記サンプリング
回路13aはサンプリング信号により、その時の前記駆
動回路14aの走査信号を読み取り、位置信号を出力す
る。前記駆動回路14aはホールド信号により、その時
の走査信号を維持し、映像の移動を停止する0前記駆動
回路14bは変速信号によシ、V a > V’bなる
速度vbからV b = V aなる速度に変速する。
この時、前記光電変換器4a、4b、+c、4dの検出
信号G1.G2 、G3 、G4は、前述とおなしよう
にし玉、加算回路ac、sd、演算回路9bを経た後、
I’(G1+G2’)−(G3+G4 )lとなり、映
像の移動にともないEb 、Fbと比較されゲート回路
10b、比較回路11bより信号が出力され−る。前記
ゲート回路10bと前記比較回路11bと前記AND回
路12aの信号出力によりAND回路12bは、サンプ
リング回路13bにサンプリング信号を出力し、前記サ
ンプリング回路13bは、その時の前記駆動回路14b
の走査信号を読み取り、位置信号を出力する。その後、
前記被検出物体2の映像が前記光電変換器4a。
信号G1.G2 、G3 、G4は、前述とおなしよう
にし玉、加算回路ac、sd、演算回路9bを経た後、
I’(G1+G2’)−(G3+G4 )lとなり、映
像の移動にともないEb 、Fbと比較されゲート回路
10b、比較回路11bより信号が出力され−る。前記
ゲート回路10bと前記比較回路11bと前記AND回
路12aの信号出力によりAND回路12bは、サンプ
リング回路13bにサンプリング信号を出力し、前記サ
ンプリング回路13bは、その時の前記駆動回路14b
の走査信号を読み取り、位置信号を出力する。その後、
前記被検出物体2の映像が前記光電変換器4a。
4b上にきた時、l (Q1+G2 ) −(G3+G
4)1)Ebと再びなり、前記ゲート回路10bよりの
信号出力はなくなるとともに、前記ゲート回路10a1
前記駆動回路14bに各々リセット信号が出力される。
4)1)Ebと再びなり、前記ゲート回路10bよりの
信号出力はなくなるとともに、前記ゲート回路10a1
前記駆動回路14bに各々リセット信号が出力される。
リセット信号を入力した前記ゲート回路10 aは信号
出力を停止し、前記駆動回路14bは、V a>V b
fx ルモト(D速WV b K’RJする。
出力を停止し、前記駆動回路14bは、V a>V b
fx ルモト(D速WV b K’RJする。
この様に、4個に分割された光電変換器上に結像した映
像を走査装置により2次元移動させるものは、2次元走
査装置が必要であり、まだ、2次元走査する事により検
出時間が長くなる。
像を走査装置により2次元移動させるものは、2次元走
査装置が必要であり、まだ、2次元走査する事により検
出時間が長くなる。
発明の目的
本発明は、上記従来の問題点を解消するもので、簡素化
された処理系によるという特徴をそこなうことなく、1
次元走査装置の一回走査で、対象とする物体の2次元位
置検出を行う2次元位置検出装置を提供することを目的
とする。
された処理系によるという特徴をそこなうことなく、1
次元走査装置の一回走査で、対象とする物体の2次元位
置検出を行う2次元位置検出装置を提供することを目的
とする。
発明の構成
本発明は、被検出物体を照明する照明装置と、前記被検
出物体の像を結像させる結像装置と、前記結像光束を2
光束に分離させる光束分離装置と、結像面上に配置し像
の明るさを検出する2個に分割された光電変換器の組よ
りなる2組の検出装置と、像と前記光電変換器の相対位
置を結像面内で1次元移動させる走査装置と、前記結像
に歪像比を与える2組の歪像装置と、前記検出装置の検
出信号と前記走査装置の走査信号とにより前記被検出物
体の2次元位置を決定する決定手段から構成されており
、被検出物体の位置検出処理の簡素化をそこなうことな
く、1次元走査装置の一回走査で2次元位置検出をはか
るものである。
出物体の像を結像させる結像装置と、前記結像光束を2
光束に分離させる光束分離装置と、結像面上に配置し像
の明るさを検出する2個に分割された光電変換器の組よ
りなる2組の検出装置と、像と前記光電変換器の相対位
置を結像面内で1次元移動させる走査装置と、前記結像
に歪像比を与える2組の歪像装置と、前記検出装置の検
出信号と前記走査装置の走査信号とにより前記被検出物
体の2次元位置を決定する決定手段から構成されており
、被検出物体の位置検出処理の簡素化をそこなうことな
く、1次元走査装置の一回走査で2次元位置検出をはか
るものである。
実施例の説明
以下に本発明の一実施例を図にもとづいて説明する
第4図において、照明装置15で照明された被検出物体
16が結像レンズ17により結像する。
16が結像レンズ17により結像する。
前記結像レンズ17と結像面の間には、結像光束を2光
束に分離するビームスプリッタ−18が配置され、該ビ
ームスプリッタ−18により分離された2つの結像面上
には、各々互いに分割方向が直交する様に2分割された
光電変換器19a。
束に分離するビームスプリッタ−18が配置され、該ビ
ームスプリッタ−18により分離された2つの結像面上
には、各々互いに分割方向が直交する様に2分割された
光電変換器19a。
19b 、20a 、20bが配置されている。前記ビ
ームスプリッタ−18と前記光電変換器19a。
ームスプリッタ−18と前記光電変換器19a。
19bの間と、前記ビームスプリッタ−18と前記光電
変換器20a、20bの間には、各々前記光電変換器1
9a、19b、20a、20bの配列方向とレンズ軸が
一致する様に、正円柱レンズ21a、21b、22a、
22bが配置され、各々の配列方向に前記光電変換器の
配列方向長さをt11分割方向長さをt2.前記被検出
物体16の長さをLとすればL<2t1Mなる像倍率1
/M。
変換器20a、20bの間には、各々前記光電変換器1
9a、19b、20a、20bの配列方向とレンズ軸が
一致する様に、正円柱レンズ21a、21b、22a、
22bが配置され、各々の配列方向に前記光電変換器の
配列方向長さをt11分割方向長さをt2.前記被検出
物体16の長さをLとすればL<2t1Mなる像倍率1
/M。
各々の分割方向に像倍率1/N、歪像比M/N<1とな
るように、前記結像レンズ17.前記正円柱レンズ21
a 、21 b 、22a 、2.2bの各々の焦点
距離、焦線距離は設定されている。前記結像レンズ17
と前記ビームスプリンター18の間には、走査装置とし
てガルバノメータ23が配置され、制御装置24より出
力された走査信号で、前記光電変換器19a、19bと
20a、20bの各々の配列方向に斜めに映像が移動す
るように駆動され、前記結像レンズ17の光軸に垂直な
面と、前記ガルバノメータ23の揺動軸とのなす角が第
4図において時計回り方向にθとなる様に、前記ガルバ
ノメータ23は配置されている。
るように、前記結像レンズ17.前記正円柱レンズ21
a 、21 b 、22a 、2.2bの各々の焦点
距離、焦線距離は設定されている。前記結像レンズ17
と前記ビームスプリンター18の間には、走査装置とし
てガルバノメータ23が配置され、制御装置24より出
力された走査信号で、前記光電変換器19a、19bと
20a、20bの各々の配列方向に斜めに映像が移動す
るように駆動され、前記結像レンズ17の光軸に垂直な
面と、前記ガルバノメータ23の揺動軸とのなす角が第
4図において時計回り方向にθとなる様に、前記ガルバ
ノメータ23は配置されている。
次に第6図において、前記被検出物体16の位置を決定
する決定原理を説明すると、前記光電変換器19a 、
19bと20a、20bの各々ノ分割方向に映像が圧縮
されていることにより、配列方向に斜めに映像が移動し
ても、各々t2 sin ON +t2 CQSθNの
中肉に位置する被検出物体16の映像は、必らず前記光
電変換器19a、19bと2Qa、20bの各々の分割
線を横切り、また、前記光電変換器19a、19b、2
0a、20bB7)像の明るさの検出信号P1.P2.
Q1 、Q2の差P1−P2 、Ql−Q2を求めれば
、前記被検出物体16の映像が前記光電変換器19a、
19bの中間に位置する時ばP 1−P2;0 、20
a 。
する決定原理を説明すると、前記光電変換器19a 、
19bと20a、20bの各々ノ分割方向に映像が圧縮
されていることにより、配列方向に斜めに映像が移動し
ても、各々t2 sin ON +t2 CQSθNの
中肉に位置する被検出物体16の映像は、必らず前記光
電変換器19a、19bと2Qa、20bの各々の分割
線を横切り、また、前記光電変換器19a、19b、2
0a、20bB7)像の明るさの検出信号P1.P2.
Q1 、Q2の差P1−P2 、Ql−Q2を求めれば
、前記被検出物体16の映像が前記光電変換器19a、
19bの中間に位置する時ばP 1−P2;0 、20
a 。
20bの中間に位置する時はQl−Q2χ0.その近傍
ではl Pl−P2 +>O,lQl −021>0と
なる点に着目するものである。
ではl Pl−P2 +>O,lQl −021>0と
なる点に着目するものである。
制御装置24の構成の一例を示すと第6図のように、演
算回路25 a 、25b、ゲート回路26a。
算回路25 a 、25b、ゲート回路26a。
26b1比較回路27a 、27b、AND回路28a
、28b、サンプリング回路29 a 、 29b。
、28b、サンプリング回路29 a 、 29b。
駆動回路30から構成されている。前記光電変換器19
a 、 19bの検出信号P1.P2は、前記演算回路
25aで演算されl Pl−P21が出力される。前記
演算回路25aには前記ゲート回路26a1前記比較回
路27aが接続され、前記ゲート回路26aは、入力の
値IP1−P2+がある値以上になった時から次にある
値以上になるまでの聞出力信号を出し、前記比較回路2
7aは、入力の値IP1−P2+がある値以下になった
時に出力信号を出す。前記ゲート回路26aと前記比較
回路27aの出力は前記AND回路28aに接続され、
走査信号を出力する前記駆動回路3Qに接続された前記
サンプリング回路29aにサンプリング信号を与える。
a 、 19bの検出信号P1.P2は、前記演算回路
25aで演算されl Pl−P21が出力される。前記
演算回路25aには前記ゲート回路26a1前記比較回
路27aが接続され、前記ゲート回路26aは、入力の
値IP1−P2+がある値以上になった時から次にある
値以上になるまでの聞出力信号を出し、前記比較回路2
7aは、入力の値IP1−P2+がある値以下になった
時に出力信号を出す。前記ゲート回路26aと前記比較
回路27aの出力は前記AND回路28aに接続され、
走査信号を出力する前記駆動回路3Qに接続された前記
サンプリング回路29aにサンプリング信号を与える。
前記サンプリング回路29aは、サンプリング信号によ
り前記駆動回路3oの走査信号を読み取り、位置信号を
出力する。
り前記駆動回路3oの走査信号を読み取り、位置信号を
出力する。
また、前記光電変換器20a、2obの検出信号Q1.
Q2により前記サンプリング回路29bが位置信号を出
力することは、前述の通りであるので説明は省略する。
Q2により前記サンプリング回路29bが位置信号を出
力することは、前述の通りであるので説明は省略する。
次に上記のように構成した本実施例の位置検出装置につ
いて以下その動作を説明する。
いて以下その動作を説明する。
まず、前記駆動回路30より走査信号が出力され、前記
ガルバノメータ23が駆動され、前記光電変換器19a
、19bと20a、2ob上に各々結像した前記被検出
物体16の映像が前記光電変換器19a、19bと20
a、20bの各々の配列方向に対しtan(tanθ/
N)の角度をもって移動する。前記光電変換器19a、
19bの検出信号P1.P2は、前記演算回路25aに
入力し、l Pl−P21が出力される0前記被検出物
体16の映像が前記光電変換器19a上にきた時、予め
Sa>0となるようなある値に設定されたSaと比較し
、l Pl−P2 +μsaとなり、前記ゲート回路2
6aより信号が出力される。次に、前記被検出物体16
の映像が前記光電変換器19 a、19bの中間にきた
時、予めT a :Oとなるようなある値に設定された
Taと比較し、IPl−P21<Taとなり、前記比較
回路27aより信号が出力される。前記ゲート回路26
aと前記比較回路27aの信号出力により、前記AND
回路28aは、前記サンプリング回路29aにサンプリ
ング信号を出力し、前記サンプリング回路29aは、そ
の時の前記駆動回路30の走査信号を読み取り、前記光
電変換器19a 、 19bの配列方向の位置信号を出
力する。その後、前記被検出物体16の映像が前記光電
変換器19b上にきた時、IPl−P21)Saとなり
前記ゲート回路26aよりの信号はなくなる。また、前
記光電変換器20a。
ガルバノメータ23が駆動され、前記光電変換器19a
、19bと20a、2ob上に各々結像した前記被検出
物体16の映像が前記光電変換器19a、19bと20
a、20bの各々の配列方向に対しtan(tanθ/
N)の角度をもって移動する。前記光電変換器19a、
19bの検出信号P1.P2は、前記演算回路25aに
入力し、l Pl−P21が出力される0前記被検出物
体16の映像が前記光電変換器19a上にきた時、予め
Sa>0となるようなある値に設定されたSaと比較し
、l Pl−P2 +μsaとなり、前記ゲート回路2
6aより信号が出力される。次に、前記被検出物体16
の映像が前記光電変換器19 a、19bの中間にきた
時、予めT a :Oとなるようなある値に設定された
Taと比較し、IPl−P21<Taとなり、前記比較
回路27aより信号が出力される。前記ゲート回路26
aと前記比較回路27aの信号出力により、前記AND
回路28aは、前記サンプリング回路29aにサンプリ
ング信号を出力し、前記サンプリング回路29aは、そ
の時の前記駆動回路30の走査信号を読み取り、前記光
電変換器19a 、 19bの配列方向の位置信号を出
力する。その後、前記被検出物体16の映像が前記光電
変換器19b上にきた時、IPl−P21)Saとなり
前記ゲート回路26aよりの信号はなくなる。また、前
記光電変換器20a。
20bの検出信号Q1.Q2も前述の通りに処理され、
前記サンプリング回路29bは、前記光電変換器20a
、20bの配列方向の位置信号を出力する。
前記サンプリング回路29bは、前記光電変換器20a
、20bの配列方向の位置信号を出力する。
以上のように本実施例によれば、相対的に分割方向が直
交する様に配置された2組の2分割光電変換器」二に、
各々の分割方向に圧縮される歪像比をもつ様に結像した
映像を、走査装置により各々の2分割光電変換器の配列
方向に斜めに移動させ、2組の2分割光電変換器の検出
信号を各々演算処理することにより、簡素化された処理
系により1次元走査装置の1回走査C1被検出物体の2
次元位置検出ができる。
交する様に配置された2組の2分割光電変換器」二に、
各々の分割方向に圧縮される歪像比をもつ様に結像した
映像を、走査装置により各々の2分割光電変換器の配列
方向に斜めに移動させ、2組の2分割光電変換器の検出
信号を各々演算処理することにより、簡素化された処理
系により1次元走査装置の1回走査C1被検出物体の2
次元位置検出ができる。
なお、実施例において、歪像比をM / N < 1と
しだが、走査中が狭くても良い場合にはM/N−1とし
、歪像装置を用いなくても良く、第7図に示す様に光束
分離装置を用いずに2分割光電変換器を4分割光電変換
器におき換えても同様の結果が得られる事は、第5図と
第8図を比較すれは、言うまでもない。
しだが、走査中が狭くても良い場合にはM/N−1とし
、歪像装置を用いなくても良く、第7図に示す様に光束
分離装置を用いずに2分割光電変換器を4分割光電変換
器におき換えても同様の結果が得られる事は、第5図と
第8図を比較すれは、言うまでもない。
発明の効果
本発明は、相対的に分割方向が直交する様に配置された
2組の2分割光電変換器上に、各々の分割方向に圧縮さ
れる歪像比をもつ様に結像した映像を、走査装置により
各々の2分割光電変換器の配列方向に斜めに移動させ、
2組の2分割光電変換器の検出信号を各々演算処理する
ことにより、簡素化された処理系により1次元走査装置
の1回走査で、被検出物体の2次元位置を検出する効果
を得ることができる優れた位置検出装置を実現できるも
のである。
2組の2分割光電変換器上に、各々の分割方向に圧縮さ
れる歪像比をもつ様に結像した映像を、走査装置により
各々の2分割光電変換器の配列方向に斜めに移動させ、
2組の2分割光電変換器の検出信号を各々演算処理する
ことにより、簡素化された処理系により1次元走査装置
の1回走査で、被検出物体の2次元位置を検出する効果
を得ることができる優れた位置検出装置を実現できるも
のである。
第1図は、従来例としての位置検出装置の構成図、第2
図は、従来例の決定原理を示す原理図、第3図は、従来
例としての制御装置の構成図、第4図は、本発明の実施
例としての位置検出装置の構成図、第5 m式本発明の
決定原理を示す原理図、第6図は、本発明の実施例とし
ての制御装置の構成図、第7図は、本発明の第2の実施
例としての位置検出装置の構成図、第8図は、本発明の
第2の実施例の決定原理を示す原理図である01.15
.31・・・・・・照明装置、2,1.6.32・・・
・・・被検出物体、3 、17 、33・・・・・・結
像レンズ、4a、4b、4c、4d、19a、19b、
20a。 20b 、34a 、34b 、34c 、34d・・
−光電変換器、6.24.36・・・・・・制御装置、
6,7゜23.35・・・・・・ガルバノメータ、8a
、 sb 。 8 c 、 8 d ・−−加算回路、9a、9b、2
5a。 25 b−−−−演算回路、10a、10b、26a。 26 b ・=−・・ゲート回路、11 a 、 1
l b 、 27a。 27 b −・−=比較回路、12a 、 12b 、
28a 。 28 b・−−−AN、D回路、13a 、13b 、
29a。 29b・・・・・・サンプリング回路、14a、14b
。 30・・・・・・駆動回路、18・・・・・・ビームス
プリッタ−121a 、21 b 、22a 、22b
・・−・・正円柱レンズO 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第3
図 第4図 4 第5図 (b) 第6図 0 第7図 第8図
図は、従来例の決定原理を示す原理図、第3図は、従来
例としての制御装置の構成図、第4図は、本発明の実施
例としての位置検出装置の構成図、第5 m式本発明の
決定原理を示す原理図、第6図は、本発明の実施例とし
ての制御装置の構成図、第7図は、本発明の第2の実施
例としての位置検出装置の構成図、第8図は、本発明の
第2の実施例の決定原理を示す原理図である01.15
.31・・・・・・照明装置、2,1.6.32・・・
・・・被検出物体、3 、17 、33・・・・・・結
像レンズ、4a、4b、4c、4d、19a、19b、
20a。 20b 、34a 、34b 、34c 、34d・・
−光電変換器、6.24.36・・・・・・制御装置、
6,7゜23.35・・・・・・ガルバノメータ、8a
、 sb 。 8 c 、 8 d ・−−加算回路、9a、9b、2
5a。 25 b−−−−演算回路、10a、10b、26a。 26 b ・=−・・ゲート回路、11 a 、 1
l b 、 27a。 27 b −・−=比較回路、12a 、 12b 、
28a 。 28 b・−−−AN、D回路、13a 、13b 、
29a。 29b・・・・・・サンプリング回路、14a、14b
。 30・・・・・・駆動回路、18・・・・・・ビームス
プリッタ−121a 、21 b 、22a 、22b
・・−・・正円柱レンズO 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第3
図 第4図 4 第5図 (b) 第6図 0 第7図 第8図
Claims (1)
- 被検出物体を照明する照明装置と、前記被検出物体の像
を結像させる結像装置と、前記結像光束を2光束に分離
させる光束分離装置と、結像面上に配置U像の明るさを
検出する2個に分割されだ光電変換器の組よりなる2組
の検出装置と、像と前記光電変換器の相対位置を結像面
内で1次元移動させる走査装置と、前記結像に歪像比を
与える2組の歪像装置と、前記検出装置の検出信号と前
記走査装置の走査信号とにより前記被検出物体の2次元
位置を決定する決定手段とを備えた位置検出装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57221408A JPS59109805A (ja) | 1982-12-16 | 1982-12-16 | 位置検出装置 |
US06/562,182 US4623253A (en) | 1982-12-16 | 1983-12-16 | Position detecting apparatus |
DE8383307685T DE3372877D1 (en) | 1982-12-16 | 1983-12-16 | Position detecting apparatus |
EP83307685A EP0119355B1 (en) | 1982-12-16 | 1983-12-16 | Position detecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57221408A JPS59109805A (ja) | 1982-12-16 | 1982-12-16 | 位置検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59109805A true JPS59109805A (ja) | 1984-06-25 |
JPH0146002B2 JPH0146002B2 (ja) | 1989-10-05 |
Family
ID=16766269
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57221408A Granted JPS59109805A (ja) | 1982-12-16 | 1982-12-16 | 位置検出装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4623253A (ja) |
EP (1) | EP0119355B1 (ja) |
JP (1) | JPS59109805A (ja) |
DE (1) | DE3372877D1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6227604A (ja) * | 1985-07-29 | 1987-02-05 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | パタ−ン検出装置 |
WO2013054478A1 (ja) * | 2011-10-13 | 2013-04-18 | 株式会社メガチップス | 光学的位置検出装置 |
CN108375346A (zh) * | 2018-02-11 | 2018-08-07 | 西安知象光电科技有限公司 | 一种基于微振镜分光式投影装置的多线激光三维扫描方法 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1984004586A1 (en) * | 1983-05-17 | 1984-11-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Position-detecting apparatus |
JPS63163313A (ja) * | 1986-12-25 | 1988-07-06 | Mitaka Koki Kk | 非接触自動焦点位置合わせ装置 |
GB2206690B (en) * | 1987-06-30 | 1991-12-11 | Matsushita Electric Works Ltd | Optically scanning displacement sensor |
JPH0776144B2 (ja) * | 1988-11-21 | 1995-08-16 | 信越半導体株式会社 | 結晶引上ワイヤの偏芯量測定装置 |
US5059789A (en) * | 1990-10-22 | 1991-10-22 | International Business Machines Corp. | Optical position and orientation sensor |
GB2258576A (en) * | 1991-08-03 | 1993-02-10 | British Aerospace Space & Comm | A visible light detector assembly |
US5383368A (en) * | 1992-11-16 | 1995-01-24 | Southwest Research Institute | Deflection sensor for robot links |
US6055391A (en) * | 1997-02-10 | 2000-04-25 | Xerox Corporation | Vibration detection and control system for printers |
US5790255A (en) * | 1997-02-10 | 1998-08-04 | Xerox Corporation | Transparent light beam detectors |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57118643A (en) * | 1981-11-16 | 1982-07-23 | Hitachi Ltd | Positioning equipment |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1027457A (en) * | 1962-01-30 | 1966-04-27 | British Aircraft Corp A T Ltd | Improvements relating to two-dimensional photoelectric indicating means |
US3448284A (en) * | 1966-06-28 | 1969-06-03 | Bolkow Gmbh | Light beam direction detector with reciprocating lens |
SU475639A1 (ru) * | 1973-06-29 | 1975-06-30 | Ордена Трудового Красного Знамени Предприятие П/Я В-8337 | Электронно-оптический датчик координат |
US4097750A (en) * | 1977-03-18 | 1978-06-27 | General Motors Corporation | Method of orienting objects using optically smeared images |
JPS5593117A (en) * | 1978-12-30 | 1980-07-15 | Canon Inc | Two-dimensional scanning device |
JPS56141505A (en) * | 1980-04-04 | 1981-11-05 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Position detector |
JPH0241092B2 (ja) * | 1980-12-18 | 1990-09-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Kogakutekiichikenshutsusochi |
JPH0237004B2 (ja) * | 1980-12-18 | 1990-08-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Kogakutekiichikenshutsusochi |
US4480918A (en) * | 1982-03-04 | 1984-11-06 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Non-contact displacement sensing system for a compliance device |
-
1982
- 1982-12-16 JP JP57221408A patent/JPS59109805A/ja active Granted
-
1983
- 1983-12-16 EP EP83307685A patent/EP0119355B1/en not_active Expired
- 1983-12-16 US US06/562,182 patent/US4623253A/en not_active Expired - Fee Related
- 1983-12-16 DE DE8383307685T patent/DE3372877D1/de not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57118643A (en) * | 1981-11-16 | 1982-07-23 | Hitachi Ltd | Positioning equipment |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6227604A (ja) * | 1985-07-29 | 1987-02-05 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | パタ−ン検出装置 |
WO2013054478A1 (ja) * | 2011-10-13 | 2013-04-18 | 株式会社メガチップス | 光学的位置検出装置 |
JP2013088122A (ja) * | 2011-10-13 | 2013-05-13 | Shirinkusu Kk | 光学的位置検出装置 |
US9261975B2 (en) | 2011-10-13 | 2016-02-16 | Megachips Corporation | Apparatus and method for optical gesture recognition |
CN108375346A (zh) * | 2018-02-11 | 2018-08-07 | 西安知象光电科技有限公司 | 一种基于微振镜分光式投影装置的多线激光三维扫描方法 |
CN108375346B (zh) * | 2018-02-11 | 2020-07-07 | 西安知象光电科技有限公司 | 一种基于微振镜分光式投影装置的多线激光三维扫描方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0119355A1 (en) | 1984-09-26 |
JPH0146002B2 (ja) | 1989-10-05 |
US4623253A (en) | 1986-11-18 |
DE3372877D1 (en) | 1987-09-10 |
EP0119355B1 (en) | 1987-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5337081A (en) | Triple view imaging apparatus | |
US4930896A (en) | Surface structure measuring apparatus | |
JP2007528028A (ja) | 異なる焦点に合わせられた画像を生成する光学システム | |
JPS59109805A (ja) | 位置検出装置 | |
JPH05264221A (ja) | 半導体露光装置用マーク位置検出装置及びこれを用いた半導体露光装置用位置合わせ装置 | |
JPH08320430A (ja) | 自動焦点検出装置 | |
JPH01263508A (ja) | 位置検出装置 | |
JPH06273344A (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
JPS59174705A (ja) | 位置検出装置 | |
US6750436B2 (en) | Focus error detection apparatus and method having dual focus error detection path | |
JPH0373451U (ja) | ||
JPS61104658A (ja) | 半導体固体撮像素子アレイ | |
JPH0511856B2 (ja) | ||
JPH03154854A (ja) | 細線の微細欠陥検出装置 | |
JPH01263610A (ja) | 焦点合せ装置 | |
JPH07243981A (ja) | 異物検出閾値の切り換え制御方法 | |
JPH03251811A (ja) | 走査型顕微鏡の撮像方法 | |
JPS6127178A (ja) | 開先エツジ部の検出方法 | |
JPH10288733A (ja) | オートフォーカス装置 | |
JPS59108905A (ja) | 位置検出装置 | |
JPH01250177A (ja) | 画像入力方法 | |
JPH10268198A (ja) | 焦点検出装置 | |
JPS5994003A (ja) | 位置検出装置 | |
JPS6160413B2 (ja) | ||
JPH02216746A (ja) | 走査型電子回折装置の電子光学系 |