JPS6227604A - パタ−ン検出装置 - Google Patents
パタ−ン検出装置Info
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- JPS6227604A JPS6227604A JP16600085A JP16600085A JPS6227604A JP S6227604 A JPS6227604 A JP S6227604A JP 16600085 A JP16600085 A JP 16600085A JP 16600085 A JP16600085 A JP 16600085A JP S6227604 A JPS6227604 A JP S6227604A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、半導体製品に設けられたパターンを光学系の
顕微鏡手段によって拡大投影し、上記の拡大投影像をラ
イン形のＣＣＤによって検出する装置に関するものであ
る。
顕微鏡手段によって拡大投影し、上記の拡大投影像をラ
イン形のＣＣＤによって検出する装置に関するものであ
る。
ＣＣＤとは電荷結合素子（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅ
ｄ Ｄｅｖｉｃｅ）の略で、半導体基板表面の絶縁膜上
に近接して多数の転送電極を配列した構造である。この
ＣＣＤは自己走査機能と記憶機能とを併せ持っており、
その構成は公知（特公昭４９−３８０７１号）である。
ｄ Ｄｅｖｉｃｅ）の略で、半導体基板表面の絶縁膜上
に近接して多数の転送電極を配列した構造である。この
ＣＣＤは自己走査機能と記憶機能とを併せ持っており、
その構成は公知（特公昭４９−３８０７１号）である。
上記の多数の転送電極を直線状に配列したライン形のＣ
ＣＤは光のラインセンサとして高精度の分解能を有して
いる。
ＣＤは光のラインセンサとして高精度の分解能を有して
いる。
第３図は、上記のラインＣＣＤを用い、半導体製品のパ
ターンを拡大投影して検出する従来装置の１例を示す光
路図である。
ターンを拡大投影して検出する従来装置の１例を示す光
路図である。
被検物１に対向せしめて光学系の顕微鏡手段２が設けら
れる。２ａは対物レンズ、２ｂは投影レンズ、２Ｃは絞
りであり、ｚ−ｚ ’は光軸である。
れる。２ａは対物レンズ、２ｂは投影レンズ、２Ｃは絞
りであり、ｚ−ｚ ’は光軸である。
上記顕微鏡装置２の結像面３に、前述のラインＣＣＤ４
が設けられる。
が設けられる。
被検物１０表面像は顕微鏡２によってラインＣＣＤ４の
受光部に拡大されて投影され、該ラインＣＣＤ ４によ
ってそのパターンを検出される。
受光部に拡大されて投影され、該ラインＣＣＤ ４によ
ってそのパターンを検出される。
しかし、上記の検出装置（第３図）においては被検物１
のパターンを直線的に、即ち１次元に関して検出できる
のみであって、平面的即ち２次元形状を検知できない。
のパターンを直線的に、即ち１次元に関して検出できる
のみであって、平面的即ち２次元形状を検知できない。
第３図の例においては、紙面と平行なｘ−ｘ ’軸方向
のパターンを検知できるが、紙面と直角方向のパターン
は検知できない。
のパターンを検知できるが、紙面と直角方向のパターン
は検知できない。
本発明は上述の事情に鑑みて為されたもので半導体製品
のパターンを光学系によって拡大投影し、投影面上に設
けたラインＣＣＤによって上記のパターンを検出する場
合、１個の操作で被検出パターンの平面的形状（２次元
的形状）を検出、測定できる装置を提供しようとするも
のである。
のパターンを光学系によって拡大投影し、投影面上に設
けたラインＣＣＤによって上記のパターンを検出する場
合、１個の操作で被検出パターンの平面的形状（２次元
的形状）を検出、測定できる装置を提供しようとするも
のである。
〔発明の概要〕
上述の目的を達成するため、本発明に係るパターンの検
出装置は、直交３軸Ｘ、Ｙ、Ｚを設定し、ｘｙ平面上に
位置せしめた被検出パターンに対してＸ軸方向の対物レ
ンズを正対せしめ、かつ、上記対物レンズの光軸上にハ
ーフミラ−を設置して映像光束を分岐せしめ、分岐した
それぞれの光軸上に、それぞれＸ軸方向のラインＣＣＤ
、及びＹ軸方向のラインＣＣＤを設置したことを特徴と
する。
出装置は、直交３軸Ｘ、Ｙ、Ｚを設定し、ｘｙ平面上に
位置せしめた被検出パターンに対してＸ軸方向の対物レ
ンズを正対せしめ、かつ、上記対物レンズの光軸上にハ
ーフミラ−を設置して映像光束を分岐せしめ、分岐した
それぞれの光軸上に、それぞれＸ軸方向のラインＣＣＤ
、及びＹ軸方向のラインＣＣＤを設置したことを特徴と
する。
次に、本発明の１実施例について、第１図を参照しつつ
説明する。
説明する。
水平な直交２軸Ｘ−Ｘ’、Ｙ−Ｙ’および垂直軸Ｚ−ｚ
’を設定する。
’を設定する。
軸ｚ−ｚ’と交わる位置に被検物１としてパターンを有
する半導体製品を置く。
する半導体製品を置く。
軸ｚ−ｚ’と同心状に対物レンズ５、投影レンズ７Ｘ、
シリンドリカルレンズ８Ｘ％及びラインＣＣＤ９ｘを配
設し、上記のシリンドリカルレンズ８ｘ及びラインＣＣ
Ｄ９ｘはｘ−ｘ ’軸と平行に設置する。
シリンドリカルレンズ８Ｘ％及びラインＣＣＤ９ｘを配
設し、上記のシリンドリカルレンズ８ｘ及びラインＣＣ
Ｄ９ｘはｘ−ｘ ’軸と平行に設置する。
前記の対物レンズ５と投影レンズ７ｘとの間に、軸ｚ−
ｚ ’に対して４５°に傾斜させてハーフミラ−６を設
置し、光軸ｚ−ｚ ’を９０°に分岐せしめ、分岐光軸
１１と同心状に投影レンズ７ｙを設置する。
ｚ ’に対して４５°に傾斜させてハーフミラ−６を設
置し、光軸ｚ−ｚ ’を９０°に分岐せしめ、分岐光軸
１１と同心状に投影レンズ７ｙを設置する。
ミラー１０によって前記の分岐光軸１１を更にｚ−ｚ
’軸方向に屈折させる。１２は屈折した光軸である。
’軸方向に屈折させる。１２は屈折した光軸である。
上記の屈折光軸１２上にシリンドリカルレンズ８ｙおよ
びラインＣＣＤ９ｙを配設し、それぞれＹ−Ｙ ’軸と
平行に設置する。
びラインＣＣＤ９ｙを配設し、それぞれＹ−Ｙ ’軸と
平行に設置する。
前記の対物レンズ５とハーフミラ−６との間に、光軸ｚ
−ｚ ’と４５″に傾斜させてハーフミラ−１３を設け
て光軸ｚ−ｚ ’を分岐させ、分岐した光軸１５上に光
源バルブ（本例においてはハロゲンランプ）１４を設置
する。
−ｚ ’と４５″に傾斜させてハーフミラ−１３を設け
て光軸ｚ−ｚ ’を分岐させ、分岐した光軸１５上に光
源バルブ（本例においてはハロゲンランプ）１４を設置
する。
以上のように構成したパターン検出装置を用いて被検物
１の表面のパターンを検出するには、光源１４から出た
光をハーフミラ−１３で矢印Ｚ′力方向反射させ、対物
レンズ５で集光して被検物１の表面を照明する。
１の表面のパターンを検出するには、光源１４から出た
光をハーフミラ−１３で矢印Ｚ′力方向反射させ、対物
レンズ５で集光して被検物１の表面を照明する。
照明された被検物１の表面のパターンは対物レンズ５に
より、該対物レンズ５の焦点Ｆに結像する。Ｆ位置に結
ばれた実像は、ハーフミラ−６によって分解され、主光
軸に沿って矢印Ｚ方向に進んだ投影レンズ７Ｘによって
ラインＣＣＤＱｘ上に拡大投影される。上記の拡大投影
像はシリンドリカルレンズ８ｘによってｘ−ｘ ’軸方
向の線状に調えられ、ラインＣＣＤ９ｘによってｘ−ｘ
’方向のパターンが検出される。
より、該対物レンズ５の焦点Ｆに結像する。Ｆ位置に結
ばれた実像は、ハーフミラ−６によって分解され、主光
軸に沿って矢印Ｚ方向に進んだ投影レンズ７Ｘによって
ラインＣＣＤＱｘ上に拡大投影される。上記の拡大投影
像はシリンドリカルレンズ８ｘによってｘ−ｘ ’軸方
向の線状に調えられ、ラインＣＣＤ９ｘによってｘ−ｘ
’方向のパターンが検出される。
上記の作動と併行して、ハーフミラ−６によって分岐光
軸１１方向に反射した光は投影レンズ７ｙによって投影
され、シリンドリカルレンズ８ｙによってＹ−Ｙ ’方
向の線状に整えられ、ラインＣＣＤ９ｙによってＹ−Ｙ
’軸方向のパターンが検出される。
軸１１方向に反射した光は投影レンズ７ｙによって投影
され、シリンドリカルレンズ８ｙによってＹ−Ｙ ’方
向の線状に整えられ、ラインＣＣＤ９ｙによってＹ−Ｙ
’軸方向のパターンが検出される。
本実施例の装置によれば、以上説明した作用により、ｘ
−ｘ ’軸方向のパターンとＹ−Ｙ’軸方向のパターン
とが同時に検出される。
−ｘ ’軸方向のパターンとＹ−Ｙ’軸方向のパターン
とが同時に検出される。
第３図は前記と異なる実施例を示す。第１図に比して異
なるところは、ミラー１０を省略して、分岐光軸１１上
にシリンドリカルレンズ８ｙおよびラインＣＣＤ ９ｙ
をＹ−Ｙ ’軸と平行に設置した点である。本例の如く
構成しても前記実施例（第１図）と同様の作用、効果が
得られる。
なるところは、ミラー１０を省略して、分岐光軸１１上
にシリンドリカルレンズ８ｙおよびラインＣＣＤ ９ｙ
をＹ−Ｙ ’軸と平行に設置した点である。本例の如く
構成しても前記実施例（第１図）と同様の作用、効果が
得られる。
以上詳述したように、本発明のパターン検出装置によれ
ば、１回の操作で被検パターンの平面的形状（２次元デ
ータ）を検出することができるという優れた実用的効果
を奏する。
ば、１回の操作で被検パターンの平面的形状（２次元デ
ータ）を検出することができるという優れた実用的効果
を奏する。
第１図及び第２図はそれぞれ本発明の１実施例を示す光
路図、第３図は従来のパターン検出装置の光路図である
。 １・・・被検物、２・・・顕微鏡手段、２ａ・・・対物
レンズ、２ｂ・・・投影レンズ、２Ｃ・・・絞り、３・
・・焦点面、４・・・ライン形ＣＣＤ、５・・・対物レ
ンズ、６・・・ハーフミラ−１７ｘ、？ｙ・・・投影レ
ンズ、ｓｘ、ｓｙ・・・シリンドリカルレンズ、９ｘ、
９Ｙ・・・ラインＩｃ ＣＤ、 １０・・・ミラー、１
１・・・分岐光軸、１２・・・屈折光軸、１３・・・ハ
ーフミラ−１１４・・・光源。 代理人 弁理士 秋 本 正 実 第 １ 図 第 ３７ Ｚ Ｚ
路図、第３図は従来のパターン検出装置の光路図である
。 １・・・被検物、２・・・顕微鏡手段、２ａ・・・対物
レンズ、２ｂ・・・投影レンズ、２Ｃ・・・絞り、３・
・・焦点面、４・・・ライン形ＣＣＤ、５・・・対物レ
ンズ、６・・・ハーフミラ−１７ｘ、？ｙ・・・投影レ
ンズ、ｓｘ、ｓｙ・・・シリンドリカルレンズ、９ｘ、
９Ｙ・・・ラインＩｃ ＣＤ、 １０・・・ミラー、１
１・・・分岐光軸、１２・・・屈折光軸、１３・・・ハ
ーフミラ−１１４・・・光源。 代理人 弁理士 秋 本 正 実 第 １ 図 第 ３７ Ｚ Ｚ
Claims (1)
- 半導体製品のパターンを光学系によって拡大投影し、投
影面上に設けたラインＣＣＤによって上記のパターンを
検出する装置において、直交３軸Ｘ、Ｙ、Ｚを設定し、
ＸＹ平面上に位置せしめた被検出パターンに対してＺ軸
方向の対物レンズを正対せしめ、かつ、上記対物レンズ
の光軸上にハーフミラーを設置して映像光束を分岐せし
め、分岐したそれぞれの光軸上に、それぞれＸ軸方向の
ラインＣＣＤ、及びＹ軸方向のラインＣＣＤを設置した
ことを特徴とする半導体製品のパターン検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16600085A JPS6227604A (ja) | 1985-07-29 | 1985-07-29 | パタ−ン検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16600085A JPS6227604A (ja) | 1985-07-29 | 1985-07-29 | パタ−ン検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6227604A true JPS6227604A (ja) | 1987-02-05 |
Family
ID=15823014
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16600085A Pending JPS6227604A (ja) | 1985-07-29 | 1985-07-29 | パタ−ン検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6227604A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01254803A (ja) * | 1988-03-04 | 1989-10-11 | American Teleph & Telegr Co <Att> | 基板検査方法 |
| JPH03538A (ja) * | 1989-05-30 | 1991-01-07 | Hino Motors Ltd | 自動車の駆動制御装置 |
| JPH0648189A (ja) * | 1992-07-24 | 1994-02-22 | Nissan Motor Co Ltd | ハイブリッド自動車 |
| US5428274A (en) * | 1991-11-22 | 1995-06-27 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Drive control apparatus of series hybrid vehicle |
| EP0901931A2 (en) | 1997-09-14 | 1999-03-17 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Motor controlling apparatus for a hybrid car |
| US6334364B1 (en) | 1998-09-16 | 2002-01-01 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Torque sensor unit for regulating axial movement and axial load |
| RU2640314C2 (ru) * | 2014-06-04 | 2017-12-27 | Ахметсалим Сабирович Галеев | Способ измерения положения лазерного пятна и устройство для его осуществления |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57168105A (en) * | 1981-03-11 | 1982-10-16 | Fujitsu Ltd | Pattern checking device |
| JPS59109805A (ja) * | 1982-12-16 | 1984-06-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 位置検出装置 |
-
1985
- 1985-07-29 JP JP16600085A patent/JPS6227604A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57168105A (en) * | 1981-03-11 | 1982-10-16 | Fujitsu Ltd | Pattern checking device |
| JPS59109805A (ja) * | 1982-12-16 | 1984-06-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 位置検出装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US5428274A (en) * | 1991-11-22 | 1995-06-27 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Drive control apparatus of series hybrid vehicle |
| JPH0648189A (ja) * | 1992-07-24 | 1994-02-22 | Nissan Motor Co Ltd | ハイブリッド自動車 |
| EP0901931A2 (en) | 1997-09-14 | 1999-03-17 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Motor controlling apparatus for a hybrid car |
| US6260644B1 (en) | 1997-09-14 | 2001-07-17 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Motor controlling apparatus for a hybrid car |
| US6334364B1 (en) | 1998-09-16 | 2002-01-01 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Torque sensor unit for regulating axial movement and axial load |
| RU2640314C2 (ru) * | 2014-06-04 | 2017-12-27 | Ахметсалим Сабирович Галеев | Способ измерения положения лазерного пятна и устройство для его осуществления |
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