JPS59107621A - 弾性表面波装置 - Google Patents

弾性表面波装置

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JPS59107621A
JPS59107621A JP21710182A JP21710182A JPS59107621A JP S59107621 A JPS59107621 A JP S59107621A JP 21710182 A JP21710182 A JP 21710182A JP 21710182 A JP21710182 A JP 21710182A JP S59107621 A JPS59107621 A JP S59107621A
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JP
Japan
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acoustic wave
surface acoustic
electrode
electrodes
adjacent
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Pending
Application number
JP21710182A
Other languages
English (en)
Inventor
Kiyobumi Yamashita
山下 清文
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPS59107621A publication Critical patent/JPS59107621A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/02535Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02818Means for compensation or elimination of undesirable effects
    • H03H9/02874Means for compensation or elimination of undesirable effects of direct coupling between input and output transducers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野] 本発明は弾性表面波フィルタ等の弾性表面波装置に係り
、特に周波数特性の異なる複数の弾性表面波素子を1枚
の基板上に形成してなる弾性表面波装置の改良にylす
る。
[発明の技術的背景] 従来弾性表面波装置における弾性表面波フィルタは、例
えばマリンレーダ用のバンドパスフィルタにおいて、中
間周波回路の無調整化を図るため第1図に示すように、
用いられている。
すなわちマリンレーダ用のバンドパスフィルタは、共通
の入力端子1にそれぞれ増幅回路2.3を接続し、一方
の増幅回路2の出力端にパッケージされた短距離用(湾
内用)弾性表面波素子4を接続する一方、他方の増幅回
路3に同様にパッケージされた長距離用(洋上用)弾性
表面波素子5を接続し、類距離用および長距離用弾性表
面波索子4.5の出力をスイッチ6によって切換え接続
するとともにこのスイッチ6に出力用増幅回路7を接続
して構成されている。
このようなマリンレーダ用バンドパスフィルタにあって
は、短距離用弾性表面波素子4によって、第2図に示す
ような17 M Hz程度の通過帯域を有リ−る振幅時
t11を得る一方、長距離用弾性表面波素子5によって
、第3図に示ずJ:うに、4.5MIIZ程度の帯域特
性を有する振幅特性を得ている。
ところが、近年マリンレーダ用電子機器の小形化および
信頼↑4の向上が要求されるようになり、第4図に概略
で示すように、1枚の圧電基板81に短距離用および長
距離用弾性表面波素子4.5を形成して装置の簡素化を
図るようになつ−Cきた。
そして、1枚の圧電基板8上に短距離用および長距離用
弾性表面波素子4.5を形成した弾性表面波フィルタの
具体的構成としては、第5図に示すようなものが提案さ
れている。
すなわち、1枚の圧電塞板8の一生面上に重み付けされ
た入力電極9および正規形出内電極10からなる短距離
1用弾性表面波索子4と、重み付けされた入力電極11
および正規形出内電極12からCLる長距離用弾性表面
波素子5が、それぞれ伝播路13.14が平行になるよ
うに形成された構造を有している。
なお、第5図において符号15は、圧電基板8の端部に
塗布された吸音剤である。
[背景技術の問題点1 しかしながら、このJ:うに異なる周波数特性を有する
複数の弾性表面波素子4.5を同一の圧電基板8上に形
成した弾性表面波フィルタは、一般に重み付された電極
9.11より6正規形電極10.12の方が面積が狭い
うえ、それぞれの弾性表面波素子4.5において電極面
積の広い小み(=1(ブされた電極9.11を入力側に
隣合うにうに用いていたので、面積の広い電極どうしが
圧電基板8上で近接しC配置されることとなり、電極間
の静電容量Cが電極面8iSに比例することから入力電
極9.11間の静電容量Cが大きくなって、入力電極9
.11間の結合が無視できない。
そのため、入力出力電極9.11間の結合により、振幅
特性等の周波数特性が悪化したり、特性の異なる弾性表
面波素子4.5間の干渉が生ずる等の欠点が生ずる。
なお、入力出力電極9.11間の間隔を広くすれば、あ
る程度特性の劣化を抑えることが可能で3− あるが、圧電基板8の形状が大形化するのでコトス高と
なる動点がある。
このように、従来の弾性表面波装置にあっては、装置の
小形化および周波数特性の維持が困難となっている。
[発明の目的] 本発明はこのJ:うな従来の欠点を解決するためになさ
れたもので、小形でかつ弾性表面波素子間の結合を抑え
て周波数特性の良好な弾性表面波装置の提供を目的とす
る。
[発明の概要」 この目的を達成するために本発明は、基板の主面に、電
極面積の異なる入出力電極からなる弾性表面波素子を、
間隔をおいて複数段並設してなる弾性表面波装置におい
て、前記複数の弾性表面波素子のうち第1の弾性表面波
素子にお【プる面積の広い電極と、この第1の弾性表面
波素子に隣合う弾性表面波素子における面積の広い電極
よりも面積の狭い電極とを近接させて前記複数の弾性表
面波素子を配置してなることを特徴とし、隣合う弾4− 性表面婢素子間の間隔をつめることが可能であるととも
に隣合う弾性表面波素子における隣合う電極間の結合を
抑えてなるものである。
[発明の実施例1 以下本発明の詳細を図面を参照して説明する。
なお従来例と共通する部分には同一の符号を付す。
第6図は本発明の弾性表面波装置の一実施例をマリンレ
ーダ用バンドパスフィルタに使用される弾性表面波フィ
ルタを例にして示す平面図である。
図において、l−i TiO2や1−iNbo3等から
なる圧電基板8の一生面」−には周波数特性の異なる2
つの弾性表面波素子4.5が従来公知のホットエツチン
グ法等によって形成されている。
第1の弾性表面波素子4は、電極指を交互に差し込んぐ
重み付けされた入力電極9と、この入力電極9から所定
の間隔をおいて配置され電極指を交互に差し込んで形成
された正規形出内電極10からなっており、入力電極9
が出力電極10よりも面積が広くなっている。
また、第2の弾性表面波素子5は、同様に電極指を交亙
に差()込むようにし′C重み付けされた入力電極11
ど、この入力電極11から所定の間隔を隔(C形成され
た正規形出力電極12からなつでd−3す、入力型VM
11の方が出力電極12よりも面積/J” 広<なって
いるとともに、入力電極11が出力電極10に隣合うよ
うに、また出力電極12が入力電極9に隣合うように配
置されている。
それぞれの人出力゛電極9.10.11.12には、こ
の圧電基板8を止着するパッケージステムに植設された
リードビンとの間をボンディングワイヤ(いずれも図示
省略)で接続する電極バット16が形成され−Cいる。
第6図申付号15は吸音剤である。
この弾性表面波フィルタは、第1図に示すように、それ
ぞれの入出力電極9.10.11.12の−hをアース
リ−るとともに増幅回路2.3およびスイッチ6に接続
して使用され、それぞれの弾性表面波索子4.5におけ
る周波数特性は上述の第2図おにび輌3図に示すものと
ほぼ同様である。
このように構成された弾性表面波フィルタは、隣合う弾
性表面波素子4.5において面積の広い電極すなわち入
力電極9.11相互が遠ざ(プられ、弾性表面波索子4
の入力型$M9には隣合う弾性表面波索子5の面積の狭
い電極すなわち出力電極12が隣接するので、隣合う弾
性表面波素子4.5の電極間の静電容量が低下して電極
間の結合が抑えられる。
その結果、同一の圧電基板8十において弾性表面波索子
4.5間の間隔を狭くしても、それぞれの弾性表面波索
子4.5における周波数特性の劣化を抑えることが可能
となり、弾性表面波フィルタの小形化および特性の維持
向上という双方の要求を満たすことが可能となる。
第7図は本発明の他の実施例を示す平面図であり、周波
数特性の異なる第1〜第3の弾性表面波素子4.5.1
7を3段それぞれの伝播路13.14.18が並列する
ように配置してなるものである。なお、第7図申付号1
9は重み付された入力電極であり、符号20は正規形の
出力電極である。
7− この実施例においCも、それぞれの弾性表面波索子4.
5.17にあつC例えば中間の弾性表面波索子4を基準
にすると、その入力電極9には隣合うそれぞれの弾性表
面波素子5.17における面積の狭い電極ずなわち出力
電極12.20を近接配置し、面積の広い電極11.1
9を遠ざ【プるように構成したものである。
このように、それぞれの弾性表面波素子4.5.17・
・・にお(プる入出電極9〜12.19.20の配置を
工夫することにより、特性の異なる複数の弾性表面波素
子4.5.17・・・を1枚の圧電基板8に形成しても
、弾性表面波素子4.5.17・・・間の間隔を狭くし
て圧電基板8の小形化を図るとともに特性の低化を防止
することができる。
なお、上述の実施例においては、各弾性表面波素子の入
力電極に着目して構成したが、出力電極においても実施
可能であるし、重み付けされた電極を有する弾性表面波
素子に限らず、電極面積の異なる入出力電極からなるも
のにおいても有用である。
8− さらにまた、上述のマリンレーダ用の弾性表面波フィル
タに限らず、広く弾性表面装置に応用可能である。
[発明の効果] 以上説明したように本発明の弾性表面波装置【よ、基板
の主面に形成した複数の弾性表面波素子のうち第1の弾
性表面波素子にお【ノる面積の広い電極と、この第1の
弾性表面波素子に隣合う特性の異なる弾性表面波素子に
おける面積の狭い電極とを近接させて複数の弾性表面波
素子を配置したので、隣合う弾性表面波素子間における
隣接する電極間の結合が小さく、弾性表面波素子間の間
隔を狭くして圧電基板の小形化を図ることが可能となる
ばかりか、周波数特性の悪化も防止することが可能であ
る。
例えば、本発明者の実験によれば、上述の第6図に示す
ような弾性表面波フィルタにおいて、圧電基板の面積を
10〜30%小形化することができた。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の弾性表面波装置を用いた電子機器(マリ
ンレーダ)のバンドパスフィルタを示1ブロック図、第
2図および第3図は第1図に示す弾性表面波装置の特性
図、第4図は従来にお(プる弾性表面波装置を用いたバ
ンドパスフィルタを示すブロック図、第5図は第4図に
示す弾性表面波装置を示す平面図、第6図は本発明の弾
性表面波装置の一実施例を示す平面図、第7図は本発明
の他の実施例を示す平面図Cある。 1・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・入力端
子2.3.7・・・・・・・・・増幅回路4.5.17
・・・・・・弾性表面波素子6・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・スイッチ8・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・基板(圧電基板)9.11.1
9・・・面積の広い電極 (入力電極) 10.12.20・・・面積の狭い電極(出力電極) 13.14.18・・・伝播路 代坤人弁理士   則 近 憲 佑 (ほか1名) 11− 104

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基板の主面に、電極面積の異なる入出力電極Ds
    らなる弾性表面波素子を間隔をおいて複数段並設してな
    る弾性表面波装置において、前記複数の弾性表面波素子
    のうち第1の弾性表面波素子における面積の広い電極と
    、この第1の弾性表面波素子に隣合う弾性表面波素子に
    おける面積広い電極よりも面積の狭い電極とを近接させ
    て前記複数の弾性表面波素子を配置してなることを特徴
    とする弾性表面波装置。
  2. (2)弾性表面波素子における面積の広い電極が重み付
    けされた電極からなるとともに、面積の狭い電極が正規
    形電極からなることを特徴する特許請求の範囲第1項記
    載の弾性表面波装置。
JP21710182A 1982-12-13 1982-12-13 弾性表面波装置 Pending JPS59107621A (ja)

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JP21710182A JPS59107621A (ja) 1982-12-13 1982-12-13 弾性表面波装置

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JP21710182A JPS59107621A (ja) 1982-12-13 1982-12-13 弾性表面波装置

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ID=16698856

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JP21710182A Pending JPS59107621A (ja) 1982-12-13 1982-12-13 弾性表面波装置

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JP (1) JPS59107621A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62105514A (ja) * 1985-11-01 1987-05-16 Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> 弾性表面波フイルタバンク
JPS6481517A (en) * 1987-08-19 1989-03-27 Samsung Electronics Co Ltd Elastic surface wave filter for eliminating ground to ground interference of sattelite communication

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62105514A (ja) * 1985-11-01 1987-05-16 Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> 弾性表面波フイルタバンク
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