JPS59103260A - マクロアナライザ−の検出感度補正装置 - Google Patents
マクロアナライザ−の検出感度補正装置Info
- Publication number
- JPS59103260A JPS59103260A JP21245782A JP21245782A JPS59103260A JP S59103260 A JPS59103260 A JP S59103260A JP 21245782 A JP21245782 A JP 21245782A JP 21245782 A JP21245782 A JP 21245782A JP S59103260 A JPS59103260 A JP S59103260A
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- JP
- Japan
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明マクロアナライザー（粒子ビーム励起マツピンク
分析装置）における装置固有の周期性を有する検出感度
特性を、その周期成分を除去して、フラットな特性に改
善するようにした構成に関するものである。
分析装置）における装置固有の周期性を有する検出感度
特性を、その周期成分を除去して、フラットな特性に改
善するようにした構成に関するものである。
粒子ビームを照射する際、ビームの走査を行ない、粒子
ビームにより試料を励起し、そ几により発生するＸ線強
度の情報から分析を行なう装置において、ビームの走査
を行なうため、ビーム位置によりＸ線が検出器に入射す
る経路が異につてぐる。そのため検出感度がビーム位置
により異なってぐる。従って大きい試料をビーム走査と
試料の機械的移動の組合せで全面をマツピングすると、
Ｘ線強度がビーム走査中の周期をもってくる。この周期
性をもつ几検出感度特性が、測定精度に重大な悪影響を
及ぼしていた。
ビームにより試料を励起し、そ几により発生するＸ線強
度の情報から分析を行なう装置において、ビームの走査
を行なうため、ビーム位置によりＸ線が検出器に入射す
る経路が異につてぐる。そのため検出感度がビーム位置
により異なってぐる。従って大きい試料をビーム走査と
試料の機械的移動の組合せで全面をマツピングすると、
Ｘ線強度がビーム走査中の周期をもってくる。この周期
性をもつ几検出感度特性が、測定精度に重大な悪影響を
及ぼしていた。
従来、この特性を改善する方法として、ｘ綜分光原の改
善のような物理的な方法と、パワースペクトルを求め、
周期成分を抽出し、そＷｅ除去するデーター処理による
方法があった。前者は、調整が困難でかつ多大の時間を
要し、後者はＦＦＴ等の膨大な計算を要するため、高速
処理するにはアレイプロセッサーを用いなけｎばならず
、小形計算機には適していなかった。本発明は、自己相
関関数を求め、周期成分の抽出除去ではなく、周期性の
有無を判定し、データーに対して周期性がなくなるまで
帰還を行ない、周期成分を除去して一様な検出感度特性
が得らする事を特徴とするマクロアナライザーの検出感
度補正装置である。
善のような物理的な方法と、パワースペクトルを求め、
周期成分を抽出し、そＷｅ除去するデーター処理による
方法があった。前者は、調整が困難でかつ多大の時間を
要し、後者はＦＦＴ等の膨大な計算を要するため、高速
処理するにはアレイプロセッサーを用いなけｎばならず
、小形計算機には適していなかった。本発明は、自己相
関関数を求め、周期成分の抽出除去ではなく、周期性の
有無を判定し、データーに対して周期性がなくなるまで
帰還を行ない、周期成分を除去して一様な検出感度特性
が得らする事を特徴とするマクロアナライザーの検出感
度補正装置である。
以下発明の実施例について説明する。
装置構成は、第１図のようになっており、マクロアナラ
イザー５により得らした２次元マツピングデーターを記
憶する記憶装置１、前記記憶装置のデーターの自己相関
関数を演算する演算装置２、前記自己相関関数から周期
性の有無を判定する周期性判定器３、及び周期性の有無
によりデーターに補正の帰還をかけるデーター補正器か
らなっている。
イザー５により得らした２次元マツピングデーターを記
憶する記憶装置１、前記記憶装置のデーターの自己相関
関数を演算する演算装置２、前記自己相関関数から周期
性の有無を判定する周期性判定器３、及び周期性の有無
によりデーターに補正の帰還をかけるデーター補正器か
らなっている。
今記憶装置１には第２図のようなマツビ／グデーターが
記憶さｎ、’ｔｔ方同に検出感度が周期性をもっていた
とする。まず１式によりプロフィルを求めると、第３図
のようになる。
記憶さｎ、’ｔｔ方同に検出感度が周期性をもっていた
とする。まず１式によりプロフィルを求めると、第３図
のようになる。
■〔ｊ〕＝、２Ｍ〔ｉ、ｊ〕 、。、（１）＄＝１
ＭＣｉ＊ｊ〕は２次元マツビングデーター工〔ｊ〕はＸ
方間に一式により加算した結果でｙ方向に沿ったプロフ
ィルを表わす。
方間に一式により加算した結果でｙ方向に沿ったプロフ
ィルを表わす。
一般に検出感度特性は、ノコギリ波状になっており、デ
ータとしては第１図のように前記ノコギリ波に、有意な
データーＰが重さなっている。
ータとしては第１図のように前記ノコギリ波に、有意な
データーＰが重さなっている。
ここで自己相関関数Ｒ（１）を２式により求めると第４
図のように、周期Ｔの２次曲線が得ら肚る。
図のように、周期Ｔの２次曲線が得ら肚る。
この時、周期Ｔで表わさ肚る装置固有の周期性をもつデ
ーターに関する自己相関は、前記同期Ｔに対応する所に
、第４図のＲ（Ｔ）のような極値をもつ一方、第５図の
ように、検出感度特性が装置固有の周期を持たない場合
は、自己相関関数は、第６図のように、前記周期Ｔに対
応する所に極値をもた々い。従って判定装置３では、次
の３式を満足する場合のみ、周期性ありと判定する。
ーターに関する自己相関は、前記同期Ｔに対応する所に
、第４図のＲ（Ｔ）のような極値をもつ一方、第５図の
ように、検出感度特性が装置固有の周期を持たない場合
は、自己相関関数は、第６図のように、前記周期Ｔに対
応する所に極値をもた々い。従って判定装置３では、次
の３式を満足する場合のみ、周期性ありと判定する。
Ω：判定基準値
に：周期数
３式の左辺が１に近いほど周期性がある事になる。
周期性が３式により認めらしる場合は、第３図に示した
ノコギリ波の中点Ｃと名データー位置との距離に補正係
数Ｂを乗算した値△工を刀口算して次の５式のようにチ
ーター補正′ｆ：第１図データ補正器４によシ行なう。
ノコギリ波の中点Ｃと名データー位置との距離に補正係
数Ｂを乗算した値△工を刀口算して次の５式のようにチ
ーター補正′ｆ：第１図データ補正器４によシ行なう。
以上の補正データーに対して、再度同様の事を行なって
、周期性を判定し、なお周期性がちｔは、次の６式のよ
うに補正係数Ｂを変化させてデーターの補正を行なう。
、周期性を判定し、なお周期性がちｔは、次の６式のよ
うに補正係数Ｂを変化させてデーターの補正を行なう。
Ｂ−Ｂ＋ΔＢ 、 、 、 （６）以上の処
理を周期性がなくなるまで反復する。
理を周期性がなくなるまで反復する。
この処理の結果、第７図のようにノコギリ波が除去さｎ
て、装置固有の周期Ｔがなくなったデーターが得ら肚る
。この時の補正係数Ｂを用いて全デークーに関して、次
の７式の補正を行なう。
て、装置固有の周期Ｔがなくなったデーターが得ら肚る
。この時の補正係数Ｂを用いて全デークーに関して、次
の７式の補正を行なう。
ＭＣ（、ｊ〕＝Ｍ〔ｉ、ｊ〕＋〔ｊ−工ＮＴＧ殉−Ｔ／
２：］＊Ｂ。６０．。（７） 以上述べたような処理を行なう事により、測距精度に重
大な悪影響を及ぼす装置固有の周期性を有する検出感度
特性をフラットな検出感度特性に改善する事ができるよ
うになるため、測距精度を向上させる事ができる。
２：］＊Ｂ。６０．。（７） 以上述べたような処理を行なう事により、測距精度に重
大な悪影響を及ぼす装置固有の周期性を有する検出感度
特性をフラットな検出感度特性に改善する事ができるよ
うになるため、測距精度を向上させる事ができる。
第１図は、装置の構成図で、１は記憶装置、２は演算装
置、３は周期性判定器、４はデーター補正器、５はマク
ロアナライザー、Ｄは補正前のデーター ］）Ｉは補正
後のデーター、Ｔは装置固有の周期、Ωは周期判定基準
値、Ｒ（ｔ）は自己和実実数、Ｂは補正係数、ΔＢは補
正係数Ｂの増分でらる。 第２図は、記憶装置に記憶さ扛ている２次元マツピング
データー、第３図は、装置固有の周期成分を含んだ測定
データー、Ｐは有意なデーターのピーク、Ｃはノコギリ
波の中点、第４図は、第３図のデーターの自己相関関数
、Ｔはその周期、第５図は、周期性をもたない測定デー
ター、第６図は、第５図のデーターの自己相関関数、第
７図は本発明による補正を第３図のデーターに対して行
なった補正データーである。 以上 出願人 株式会社第二精工舎 代理人 弁理士最上、 務 第 １ （τ１ 釘さ２ ロ 第４図 Ｔ −＋工 １！Ｉｓ 図 ＃６Ｅ イ止１【
置、３は周期性判定器、４はデーター補正器、５はマク
ロアナライザー、Ｄは補正前のデーター ］）Ｉは補正
後のデーター、Ｔは装置固有の周期、Ωは周期判定基準
値、Ｒ（ｔ）は自己和実実数、Ｂは補正係数、ΔＢは補
正係数Ｂの増分でらる。 第２図は、記憶装置に記憶さ扛ている２次元マツピング
データー、第３図は、装置固有の周期成分を含んだ測定
データー、Ｐは有意なデーターのピーク、Ｃはノコギリ
波の中点、第４図は、第３図のデーターの自己相関関数
、Ｔはその周期、第５図は、周期性をもたない測定デー
ター、第６図は、第５図のデーターの自己相関関数、第
７図は本発明による補正を第３図のデーターに対して行
なった補正データーである。 以上 出願人 株式会社第二精工舎 代理人 弁理士最上、 務 第 １ （τ１ 釘さ２ ロ 第４図 Ｔ −＋工 １！Ｉｓ 図 ＃６Ｅ イ止１【
Claims (1)
- マクロアナライザからの検出データを記憶する記憶装置
と、この記憶装置から出力さｎるデータに基づいて自己
相関関数を演算する演算装部と、前記自己相関関数を入
力し装置固有の周期性の有無を判定する周期性判定器と
からなり、前記周期性判定器が周期性布フと判定した場
合には、該判定器の出力に応じて補正係数を変化させデ
ーター補正器によシブ−ターの補正を装置固有の周期性
がなくなるまで反復する事により装置固有の周期性を有
する検出感度特性を周期成分を除去する事にエフフラッ
トな特性にする事を特徴とする検出感度補正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21245782A JPS59103260A (ja) | 1982-12-03 | 1982-12-03 | マクロアナライザ−の検出感度補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21245782A JPS59103260A (ja) | 1982-12-03 | 1982-12-03 | マクロアナライザ−の検出感度補正装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59103260A true JPS59103260A (ja) | 1984-06-14 |
Family
ID=16622939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21245782A Pending JPS59103260A (ja) | 1982-12-03 | 1982-12-03 | マクロアナライザ−の検出感度補正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59103260A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60245522A (ja) * | 1984-05-22 | 1985-12-05 | Shinwa Tec Kk | プラスチツク射出成形機用クリ−ンブ−ス |
| JPS60245533A (ja) * | 1984-05-22 | 1985-12-05 | Shinwa Tec Kk | プラスチツク射出成形機用クリ−ンブ−ス |
| JP2020159849A (ja) * | 2019-03-26 | 2020-10-01 | 株式会社リガク | 多結晶金属材料の劣化診断方法、装置およびシステム |
-
1982
- 1982-12-03 JP JP21245782A patent/JPS59103260A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60245522A (ja) * | 1984-05-22 | 1985-12-05 | Shinwa Tec Kk | プラスチツク射出成形機用クリ−ンブ−ス |
| JPS60245533A (ja) * | 1984-05-22 | 1985-12-05 | Shinwa Tec Kk | プラスチツク射出成形機用クリ−ンブ−ス |
| JPH0150578B2 (ja) * | 1984-05-22 | 1989-10-30 | Shinwa Tetsuku Kk | |
| JPH0150576B2 (ja) * | 1984-05-22 | 1989-10-30 | Shinwa Tetsuku Kk | |
| JP2020159849A (ja) * | 2019-03-26 | 2020-10-01 | 株式会社リガク | 多結晶金属材料の劣化診断方法、装置およびシステム |
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