JPS59103259A - マクロアナライザ−の検出感度補正装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はマクロアナフィザー（粒子ビーム励起マツピン
グ分析装晋〕における装置固有の周期性を有する検出感
度特性を、その周期成分を除去して、フヲソトな特性に
改善する事に関するものである。

粒子ビームを照射する際、ビームの走査を行ない、粒子
ビームにより試料を励起し、それによ多発生するＸ線強
度の情報から分析を行なう装置において、ビームの走査
を行なうため、ビーム位置によ５Ｘ線が検出器に入射す
る経路が異なってくる。そのため検出感度がビーム位置
によフ異なつてくる、従って大きい試料をビーム走査と
試料の機械的移動の組合せで全面をマツピングすると、
Ｘ線強度がビーム走査中の周期をもってくる。この周期
性をもった検出感度特性が、測定精度に重大な悪影響を
及はしていた。

従来、この特性を改善する方法として、Ｘ線分光系の改
善のような物理的な方法と、パワースペクトルを求め、
周期成分を抽出し、それを除去するデーター処理による
方法があった。前者は、調整が困難でかつ多大の時間を
要し、後者はＦ　Ｂ’　Ｔ等の膨大な計算を要するため
、高速処理するにはアレイプロセッサーを用いなければ
ならず、小形計算機には適していなかった。本発明は、
隣接するデーターの差分を求め、さらにその結果を量子
化し、統計変動と有志デークー及び境界データーの識別
をし、装置固有の周期の近似量子化値のピークの有無に
よシ、周期性の有無を判定し、周期性が認められた時は
、量子化値の平均値を用いて帰還をかける事なく、補正
を行なう事を特徴とブるマクロアナフィザーの検出感度
補正装置である。

以下発明の実施例について説明する。

装置構成は、第１図のようになっておシ、マクロアナフ
ィザ−５により得られた２次元マツピングデーターを記
憶する記憶装置１．前記差分演算、量子化、及び量子化
値の平均演算をする演算装置２１周期性の有無を判定す
る周期性判定器３及びデーター補正を行なうデーター補
正器４からなっている。

今記憶装置１には第二図のようなマツピングデーターが
記憶され、Ｘ方向に検出感度が周期性をもっていたとす
る。まず１式によυプロフィルを求めると、第３図のよ
うになる。

Ｍ（’　ｐ　ｊ）は２次元マツピングデーター■〔ｊ〕
はＸ方向に１式によシ加算した結果でＸ方向に沿ったプ
ロフィルを表わす。

一般に検出感度特性は、ノコギリ波状になっておシ、デ
ーターとしては第１図のように前記ノコギリ波に、有意
なデーターＰが重なっている。

ここで、隣接するデーターの差分を２式により求めると
、第４図のようになる。

Ｄ（ｌｊ）　＝工１ｊ）＝１（ｊ−１）　　、　、　、
　（２１Ｄ（ｉ）は差分 さらに、統計変動と有意なデーターの識別を行なうため
に、統計変動（２α〜３α）程度で、３式によシ量子化
を行なうと、第５図のようになる。

ＤｑＣｉ）　＝　Ｄ＋ｊ）／（−６百π石〒−１））　
＋＄６　＋３１これによシ装置固有の周期性があれば、
第５図のように装置固有の周期でピークＰｇがあられれ
る。

従って周期性判定器３により　Ｂｑの有無によシ周期性
有無を判定する。なお実際は有意なデーターＰｄがＰｇ
に重さなる場合があるので、境界の８０チ以上の箇所で
Ｐｌ、・が認められた場合の時のみ周期性があると判定
をする。

以上のようにして、周期性が認められた時、有意なデー
ターＰｄ及び境界データＰｑを除去して残ったＤｌｊ）
の平均値Ａを、４式によシ求める。

Ａ＝址Ｄｌｊ）　　、。、【４） この人が前記ノコギリ波の傾向になるので５式によシ各
データーに補正を行なう。

Ｍ（ｊｌｊ）＝Ｍ（ｉｔｊ）−（ｊ−１−’ＮＴ（？：
／Ｔ）＊Ｔ−Ｔ／２）＊Ａ、、、１５＋Ｔは装置固有周
期 この補正をデーター補正器４によシ行ない、補正データ
ーを出力する。そのデーターが第６図である。

以上の補正を行なう事によシ、測定精度に重大な悪影響
を及ばず装置固有の周期性を有する検出感度特性を、一
様な検出感度特性に改善する事ができ、測定精度を向上
させる事ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、装置の構成図で、ｌは記憶装置、２は演算装
置、３は周期性判定器、４はデーター補正器、５はマク
ロアナフィザーである。 第２図は、記憶装置１に記憶されている２次元マツピン
グデーター、第３図は装置固有周期成分を含んだ測定デ
ーター、Ｐは有意なデーターのピーク、Ｃはノコギリ波
の中点、第４図は、２式によル求めた差分データＰ（Ｚ
：）でＰｂは境界データーのピークを示す。 第５図は、差分量子化値Ｄｇｌｊ）のデーターでＰｇは
境界データーのピークをなす。 第６図は、本発明による補正を行なったデーターである
。 以　　　上 出願人　株式会社第二精工舎 代理人　弁理士最　上　　務 第１図 第２図 ％ 第３図 ■ 。　　　　　第４図 肩

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. マクロアナフィザーの検出器感度特性が、装置固有の周
   期性を持つ時、その特性を一様な特性に改善する装置に
   関して、マクロアナフィザーからの検出データーを記憶
   する記憶装置と、この記憶装置から出書れるデーターに
   基づいて、隣接するデーターの差分演算、統計変動を単
   位とした前記演算結果に対する量子化及びその量子化値
   の平均演算をする演算装置と、周期性の有無を判定する
   周期性を判定器及びこの平均値にもとづき補正を行なう
   データー補正器とからなシ、前記量子化を行なう事によ
   シ有意なデーター及び各周期の境界にあるデーター（境
   界データー）と統計変動を識別し、前記装置固有の周期
   の所に量子化値のピーク有無によシ、周期性有無を判定
   し、周期性が認められた時は、前記検出感度特性をノコ
   ギリ波状と仮定し、前記量子化値の平均値をノコギリ波
   の傾きとし、データー補正器によシ、前記傾きに、ノコ
   ギリ波の中点から名データーまでの距離を乗算した値を
   前記名データーから減算して補正を行なう事によシ、装
   置固有の周期性をもった検出器感度特性を一様な特性に
   改善する事を特徴とする検出感度補正装置。