JPS5899107A - オゾン発生装置 - Google Patents
オゾン発生装置Info
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- JPS5899107A JPS5899107A JP19505081A JP19505081A JPS5899107A JP S5899107 A JPS5899107 A JP S5899107A JP 19505081 A JP19505081 A JP 19505081A JP 19505081 A JP19505081 A JP 19505081A JP S5899107 A JPS5899107 A JP S5899107A
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- air
- ozone generator
- generator
- cooling
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はオゾン発生装置、特に高濃度オゾン（例えば
４０〜５５ ｆｌ／Ｎｒｎ” ）を生成する空気原料方
式オゾン発生装置に関するものである。
４０〜５５ ｆｌ／Ｎｒｎ” ）を生成する空気原料方
式オゾン発生装置に関するものである。
近年オゾンの利用分野は益々広がっているが、なかでも
高濃度オゾンを化学合成プラントに使用する傾向がある
。このようなオゾンを製造するための空気原料を用いる
オゾン発生装置は、商業ベースで約５０〜５５ ｉ／Ｎ
ｍ”が高濃度のものである。
高濃度オゾンを化学合成プラントに使用する傾向がある
。このようなオゾンを製造するための空気原料を用いる
オゾン発生装置は、商業ベースで約５０〜５５ ｉ／Ｎ
ｍ”が高濃度のものである。
第１図は従来のオゾン発生装置を示すフロー図であり、
図におりて、（１）は原料空気を圧送するプロア、（２
）はこのプロアの吐出側に設けられた空気冷却除湿装置
、（３）はこの除湿装置の流出側に設けられた吸着剤式
乾燥装置、（４）はこの乾燥装置の流出側に設けられた
オゾン発生器、’ （５１はこのオゾン発生器に給電す
るための高周波用高圧変圧器、（６）はこの高圧変圧器
ｌこ接続するインバータを組込んだ操作盤、（７〜１）
〜（７−３）は風量およびそれぞれの機器の内圧を調整
するバルブ、（８−１）、（８−２） Ｈ’原料空気お
よび冷水用の流量計、（９）はオゾン発生器（４）とプ
ラインクー：５０Ｉとの間に冷水を循環する循環ポンプ
である。
図におりて、（１）は原料空気を圧送するプロア、（２
）はこのプロアの吐出側に設けられた空気冷却除湿装置
、（３）はこの除湿装置の流出側に設けられた吸着剤式
乾燥装置、（４）はこの乾燥装置の流出側に設けられた
オゾン発生器、’ （５１はこのオゾン発生器に給電す
るための高周波用高圧変圧器、（６）はこの高圧変圧器
ｌこ接続するインバータを組込んだ操作盤、（７〜１）
〜（７−３）は風量およびそれぞれの機器の内圧を調整
するバルブ、（８−１）、（８−２） Ｈ’原料空気お
よび冷水用の流量計、（９）はオゾン発生器（４）とプ
ラインクー：５０Ｉとの間に冷水を循環する循環ポンプ
である。
次ｌｃ！ｋｌ１１作について説明する。プロア（１）に
より大気圧の空気を約１． ＯＪｔ４／／ｃｄＯ！こ昇
圧して所定の流量で圧送する。ブロア（１）から出た空
気には多量の水分が含まれており、空気冷却除湿装置（
２）により５℃前後箇で冷却して除湿する。オゾン発生
器（４）の原料用空気としては、大気圧露点で一５０℃
以下番こする必要があるため、さら番こ吸着剤（吸湿剤
）方式の乾燥装置（３）でｔｌは完全なまでに水分を取
り除く。乾燥された空気は流量計（８−１）を通りオゾ
ン発生器（４）に入る。オゾン発生器（４）へ供給する
空気流量およびオゾン発生器（４）の缶体内圧はバルブ
（７−２）、（７−３）で調整する。バルブ（７−１）
はプロア（１）が定容積形のため、余分の空気を排気す
るバイパス弁である。
より大気圧の空気を約１． ＯＪｔ４／／ｃｄＯ！こ昇
圧して所定の流量で圧送する。ブロア（１）から出た空
気には多量の水分が含まれており、空気冷却除湿装置（
２）により５℃前後箇で冷却して除湿する。オゾン発生
器（４）の原料用空気としては、大気圧露点で一５０℃
以下番こする必要があるため、さら番こ吸着剤（吸湿剤
）方式の乾燥装置（３）でｔｌは完全なまでに水分を取
り除く。乾燥された空気は流量計（８−１）を通りオゾ
ン発生器（４）に入る。オゾン発生器（４）へ供給する
空気流量およびオゾン発生器（４）の缶体内圧はバルブ
（７−２）、（７−３）で調整する。バルブ（７−１）
はプロア（１）が定容積形のため、余分の空気を排気す
るバイパス弁である。
操作１１１（６１におりて、定電流形インバータにより
周波数変換されて供給される電力は、さらに高圧変圧器
（５）にて昇圧され、オゾン発生器（４）に供給される
。オゾン発生器（４）では誘電体（一般的にはガラス）
を介してその両側の電極（一般にはステンレスあるいは
アルミニウム電極）に交番高電圧を印加し、無声数′成
を生じさせ、その放電空隙に上記乾燥空気を通すことに
より、空気中の酸素をオゾンに変換することができる。
周波数変換されて供給される電力は、さらに高圧変圧器
（５）にて昇圧され、オゾン発生器（４）に供給される
。オゾン発生器（４）では誘電体（一般的にはガラス）
を介してその両側の電極（一般にはステンレスあるいは
アルミニウム電極）に交番高電圧を印加し、無声数′成
を生じさせ、その放電空隙に上記乾燥空気を通すことに
より、空気中の酸素をオゾンに変換することができる。
しかしながらインバータより投入される電力の約５−の
エネルギーがオゾン生成番こ用いられるたけて、残りの
９５俤は熱になるので、外部からこの熱を除去しないと
放電電極が高温になって破損したり、オゾンが自己分解
してオゾン収率（単位電力当りのオゾン発生量）が低下
する。この友めブラインクーラＱｌを用いて冷水を作り
、この冷水を循環ポンプ（９）にて循環することにより
、オゾン発生器（４）の缶体を冷却する。
エネルギーがオゾン生成番こ用いられるたけて、残りの
９５俤は熱になるので、外部からこの熱を除去しないと
放電電極が高温になって破損したり、オゾンが自己分解
してオゾン収率（単位電力当りのオゾン発生量）が低下
する。この友めブラインクーラＱｌを用いて冷水を作り
、この冷水を循環ポンプ（９）にて循環することにより
、オゾン発生器（４）の缶体を冷却する。
このようにしてオゾンが生成されるが、オゾン生成には
種々の条件がオゾン収率に大きな影響を与える。第２図
番こ単位空気量ろたりの投入電力とオゾンｌｌ１度との
関係を示す。オゾン濃度が比較的低く ２０９７Ｎｍ”
ぐらいでは、単位空気量おたりの投入電力とオゾン濃度
゛とは直線的であり、オゾン生成への外部条件（例えば
大気圧露点、冷水温度、放電密度、空気入口ガス温度等
）の影響は比較的少ないが、オゾン濃度が５０〜５５９
７Ｎがと高濃度の場合で、単位空気量あたりの投入電力
が８０〜９０ ｗａｔｔ・ｍｌｎ／Ｎｌのときには、多
少の外部条件の変動もオゾン濃度の変動として現われる
。外部条件のうち冷水温度、放電密度等はコントロール
をしたり紋針値を決めることにょ゛り設定できるが、空
気入口ガス温度は外的条件により左右される。
種々の条件がオゾン収率に大きな影響を与える。第２図
番こ単位空気量ろたりの投入電力とオゾンｌｌ１度との
関係を示す。オゾン濃度が比較的低く ２０９７Ｎｍ”
ぐらいでは、単位空気量おたりの投入電力とオゾン濃度
゛とは直線的であり、オゾン生成への外部条件（例えば
大気圧露点、冷水温度、放電密度、空気入口ガス温度等
）の影響は比較的少ないが、オゾン濃度が５０〜５５９
７Ｎがと高濃度の場合で、単位空気量あたりの投入電力
が８０〜９０ ｗａｔｔ・ｍｌｎ／Ｎｌのときには、多
少の外部条件の変動もオゾン濃度の変動として現われる
。外部条件のうち冷水温度、放電密度等はコントロール
をしたり紋針値を決めることにょ゛り設定できるが、空
気入口ガス温度は外的条件により左右される。
第３図に従来のオゾン発生装置におけるオゾン濃度と入
口ガス温度の昼間と夜間の経時変化を示した。ただし冷
水温度、インバーターこよる投入電力は一定でるる。こ
れ番こよると入口空気温度が２０℃から２８℃前後で変
化すると、オゾン濃度が４６〜５０ ｆｉ／Ｎｍ３の範
囲で変化することがわかる。そして入口空気温度が上が
るとオゾン濃度は低下し、逆に下カルシン濃度が設定の
５０ ｇ／Ｎｍ’ １で上がする。このように、従来の
オゾン発生装置においては、オゾン濃度が高い場合には
、外的条件によシ設定値が下がるという欠点を有してい
る。
口ガス温度の昼間と夜間の経時変化を示した。ただし冷
水温度、インバーターこよる投入電力は一定でるる。こ
れ番こよると入口空気温度が２０℃から２８℃前後で変
化すると、オゾン濃度が４６〜５０ ｆｉ／Ｎｍ３の範
囲で変化することがわかる。そして入口空気温度が上が
るとオゾン濃度は低下し、逆に下カルシン濃度が設定の
５０ ｇ／Ｎｍ’ １で上がする。このように、従来の
オゾン発生装置においては、オゾン濃度が高い場合には
、外的条件によシ設定値が下がるという欠点を有してい
る。
この発明は入口ガス温度を一定値以下に冷却することに
より、常に安定して高濃度オゾンを生成することができ
るオゾン発生装置を提供することを目的としている。
より、常に安定して高濃度オゾンを生成することができ
るオゾン発生装置を提供することを目的としている。
本発明ではオゾン発生器缶体への入口ガス温度をおる一
定値（好ましくは２０℃）以下に下げるための冷却装置
を設ける。第４図は本発明の一実施例によるオゾン発生
装置を示すフロー図であり、図において（１）ないしく
１０）は第１図と同−筐たは相当部分を示す。０υはオ
ゾン発生器（４）への空気流路に設けられたプレート・
フィン形エアクーラで、ブラインクーラＱｌからの冷水
を循環するように接続しており、（８−３）はエアクー
レαυ冷却用の冷水ｆＬ蓋計である。
定値（好ましくは２０℃）以下に下げるための冷却装置
を設ける。第４図は本発明の一実施例によるオゾン発生
装置を示すフロー図であり、図において（１）ないしく
１０）は第１図と同−筐たは相当部分を示す。０υはオ
ゾン発生器（４）への空気流路に設けられたプレート・
フィン形エアクーラで、ブラインクーラＱｌからの冷水
を循環するように接続しており、（８−３）はエアクー
レαυ冷却用の冷水ｆＬ蓋計である。
上記のように構成されたオゾン発生装置にお９て、ブロ
ア（１）より圧送された空気は空気冷却除湿装＃（２）
で５℃前後まで冷却され、乾燥装置（３）曇こて一５０
℃以下の露点筒で乾燥される。バルブ（７−２）で圧力
調整された空気は原料空気流量計（ｓ−ｉ）を通り、エ
アクーラ１ｌｌＩＪに入る。一般的番こ乾燥装置（３）
は吸着剤方式のドライヤーでおり、水分吸着時、吸着エ
ネルギーによる発熱現象により、原料空気温度が上昇す
る。ＩＶ！に夏場の＠Ｖｈ時期や機器の設置場所が高温
、高湿の場合には、その現象が著しく現われる。エアク
ーラ０υに入った空気は冷水との熱交換により、所定の
温度まで冷却され、オゾン発生器（４）の缶体をこ入り
オゾンを含有する空気となる。冷水はブラインクーラＯ
Ｑで作られ、オゾン発生器（４）とエアクーラＵυとに
循環ポンプ（９）＃こより＃１項供給され、冷却を行う
。エアクーラ０υはプレート・フィン形が最も一般的で
あり、冷水温度が一定範囲でコントロールされているた
め、ガス出口温度も一定範囲でコントロールされる。そ
のため、外気温度が大幅に変化しても、オゾン発生器（
４）に入る原料空気の温度は常に一定ｌこコントロール
される。
ア（１）より圧送された空気は空気冷却除湿装＃（２）
で５℃前後まで冷却され、乾燥装置（３）曇こて一５０
℃以下の露点筒で乾燥される。バルブ（７−２）で圧力
調整された空気は原料空気流量計（ｓ−ｉ）を通り、エ
アクーラ１ｌｌＩＪに入る。一般的番こ乾燥装置（３）
は吸着剤方式のドライヤーでおり、水分吸着時、吸着エ
ネルギーによる発熱現象により、原料空気温度が上昇す
る。ＩＶ！に夏場の＠Ｖｈ時期や機器の設置場所が高温
、高湿の場合には、その現象が著しく現われる。エアク
ーラ０υに入った空気は冷水との熱交換により、所定の
温度まで冷却され、オゾン発生器（４）の缶体をこ入り
オゾンを含有する空気となる。冷水はブラインクーラＯ
Ｑで作られ、オゾン発生器（４）とエアクーラＵυとに
循環ポンプ（９）＃こより＃１項供給され、冷却を行う
。エアクーラ０υはプレート・フィン形が最も一般的で
あり、冷水温度が一定範囲でコントロールされているた
め、ガス出口温度も一定範囲でコントロールされる。そ
のため、外気温度が大幅に変化しても、オゾン発生器（
４）に入る原料空気の温度は常に一定ｌこコントロール
される。
このようにして一定温度となった原料空気性オゾン発生
器（４）に入り、オゾン化され、一定のオゾン濃度のオ
ゾン化空気となる。本発明は特にオゾン濃度４０〜５５
ｇバーの高濃度オゾンを生成するオゾン発生装置に適し
ている。
器（４）に入り、オゾン化され、一定のオゾン濃度のオ
ゾン化空気となる。本発明は特にオゾン濃度４０〜５５
ｇバーの高濃度オゾンを生成するオゾン発生装置に適し
ている。
なお、上記実施例ではエアクーラαυで冷水と空気とを
熱交換して空気を冷却し、冷水をブラインター２輪で冷
却するようにしたが、冷却水温度が低い場合には直接冷
却水をエアクーラａυに流しても、上記実施例と同様の
効果を奏する。
熱交換して空気を冷却し、冷水をブラインター２輪で冷
却するようにしたが、冷却水温度が低い場合には直接冷
却水をエアクーラａυに流しても、上記実施例と同様の
効果を奏する。
ただしこれは冷却水温度が年間を通しほとんど変らない
、例えば井水とか水量の多い河川水の場合に適している
。また第５図に示すように、エアクーラＱυに代えて冷
凍機０２により原料空気を冷却してもよい。この場合、
冷凍機０３は水冷式でも空冷式でもよい。冷凍機Ｑ７Ｊ
により常に原料を気を一足温度にコントロールできるの
で。
、例えば井水とか水量の多い河川水の場合に適している
。また第５図に示すように、エアクーラＱυに代えて冷
凍機０２により原料空気を冷却してもよい。この場合、
冷凍機０３は水冷式でも空冷式でもよい。冷凍機Ｑ７Ｊ
により常に原料を気を一足温度にコントロールできるの
で。
上記実施例と同様の効果を奏する。さらにブラインター
２ＱＩの代りＶＣチリングユニットを用いてもよい。
２ＱＩの代りＶＣチリングユニットを用いてもよい。
また上記実施例では原料ガスとして空気を使用する場合
について説明したが、他の酸素含有ガスでもよく、ガス
の冷却装置としても他の構造のものが採用可能である。
について説明したが、他の酸素含有ガスでもよく、ガス
の冷却装置としても他の構造のものが採用可能である。
以上のように、この発明によれば、オゾン発生器缶体入
口ガス温度を一定値以下に制御し冷却する冷却装置を設
けることｌこより、外的条件が変化しても高濃度のオゾ
ンを常に安定して生成するオゾン発生装置を提供するこ
とができ、化学合成プラントの高効率化お゛よび製品の
安定性ｉこ寄与することが大きい。
口ガス温度を一定値以下に制御し冷却する冷却装置を設
けることｌこより、外的条件が変化しても高濃度のオゾ
ンを常に安定して生成するオゾン発生装置を提供するこ
とができ、化学合成プラントの高効率化お゛よび製品の
安定性ｉこ寄与することが大きい。
第１図は従来のオゾン発生装置を示すフロー図、第２図
はオゾン発生特性曲線図、第３図はオゾン＃度と入口空
気温度の経時変化曲線図、第４図は本発明の一実施例に
よるオゾン発生装置を示すフロー図、第５図は他の実施
例を示すフロー図である。 図において、（１）はプロア、（２）は空気冷却除湿装
置、（３）は乾燥装置、（４）はオゾン発生器、（５）
は高圧変圧器、（６）はインバータ付操作盤、（９）は
循環ポンプ、ＯＩはブラインクーラ、０υはエアクーラ
、ｕ邊は冷＄Ｌｍである。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 葛 野 信 −（外１名） 手続補正書 ↑Ｙ許庁長宮殿 １、 ４４件の表示 特願昭５６−１９５０５０
号２、発明の名称 オゾン発生装置 ３、補正をする台 小作との関係 特許出願人 住 所 東京都丁・代［（１置火の内二丁目２
番３号名 称（６０１） 三菱電機株式会社代表台
片＋Ｉ＋仁八部 ４、代理人 住 所 東京都千代ＦＴＩ区丸の内二丁目２番
３号三菱電機株式会社内 ５、補正命令の日付 自発補正 ６、 補正圧より増加する発明の数 ０７、補正の対
象 発明の詳細な説明の欄 ８、補正の内容 明細書第２頁第１３行および第５頁第７行ｒ５０Ｊ ｔ
−ｒ４０Ｊに訂正する。
はオゾン発生特性曲線図、第３図はオゾン＃度と入口空
気温度の経時変化曲線図、第４図は本発明の一実施例に
よるオゾン発生装置を示すフロー図、第５図は他の実施
例を示すフロー図である。 図において、（１）はプロア、（２）は空気冷却除湿装
置、（３）は乾燥装置、（４）はオゾン発生器、（５）
は高圧変圧器、（６）はインバータ付操作盤、（９）は
循環ポンプ、ＯＩはブラインクーラ、０υはエアクーラ
、ｕ邊は冷＄Ｌｍである。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 葛 野 信 −（外１名） 手続補正書 ↑Ｙ許庁長宮殿 １、 ４４件の表示 特願昭５６−１９５０５０
号２、発明の名称 オゾン発生装置 ３、補正をする台 小作との関係 特許出願人 住 所 東京都丁・代［（１置火の内二丁目２
番３号名 称（６０１） 三菱電機株式会社代表台
片＋Ｉ＋仁八部 ４、代理人 住 所 東京都千代ＦＴＩ区丸の内二丁目２番
３号三菱電機株式会社内 ５、補正命令の日付 自発補正 ６、 補正圧より増加する発明の数 ０７、補正の対
象 発明の詳細な説明の欄 ８、補正の内容 明細書第２頁第１３行および第５頁第７行ｒ５０Ｊ ｔ
−ｒ４０Ｊに訂正する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１１酸素を含む原料ガスを送風するプロアーと、その
原料ガスより水分を取り除く気体冷却除湿装置および気
体乾燥装置と、その乾燥ガスを誘電体を介し交番高電圧
を印加して無声放電を起こす空隙に通すことによりオゾ
ンを生成するオゾン発生器とを有するオゾン発生装置に
おいて、前記乾燥ガスをオゾン発生器へ通す前にめらか
しめ所定の温度まで冷却する冷却装置を備えたことを特
徴とするオゾン発生装置。 （２）乾燥ガスの温度をオゾン発生器入口で少なくとも
２０℃以下の温度にて供給するようにしたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のオゾン発生装置。 （３）冷却装置は気体乾燥装置とオゾン発生器との間に
配置されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
または第２項記載のオゾン発生装置。 （４）冷却装置は冷水によるエアクーラーまたは冷凍機
であることを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第
３項のいずれかに記載のオゾン発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19505081A JPS6059162B2 (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19505081A JPS6059162B2 (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | オゾン発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5899107A true JPS5899107A (ja) | 1983-06-13 |
| JPS6059162B2 JPS6059162B2 (ja) | 1985-12-24 |
Family
ID=16334708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19505081A Expired JPS6059162B2 (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6059162B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01278401A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-08 | Teru Kyushu Kk | オゾン発生装置 |
| US5947190A (en) * | 1996-11-22 | 1999-09-07 | Zexel Corporation | Heater core mounting structure |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62105054A (ja) * | 1985-10-31 | 1987-05-15 | Iwatsu Electric Co Ltd | オシロスコ−プののこぎり波発生回路 |
-
1981
- 1981-12-03 JP JP19505081A patent/JPS6059162B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01278401A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-08 | Teru Kyushu Kk | オゾン発生装置 |
| US5947190A (en) * | 1996-11-22 | 1999-09-07 | Zexel Corporation | Heater core mounting structure |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6059162B2 (ja) | 1985-12-24 |
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