JPS5851881B2 - 酸素リサイクルオゾン発生方法及び発生装置 - Google Patents

酸素リサイクルオゾン発生方法及び発生装置

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JPS5851881B2
JPS5851881B2 JP53093268A JP9326878A JPS5851881B2 JP S5851881 B2 JPS5851881 B2 JP S5851881B2 JP 53093268 A JP53093268 A JP 53093268A JP 9326878 A JP9326878 A JP 9326878A JP S5851881 B2 JPS5851881 B2 JP S5851881B2
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JP
Japan
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oxygen
purifier
gas
adsorbent
ozone
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JP53093268A
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JPS5520267A (en
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明 臼井
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Mitsubishi Electric Corp
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Mitsubishi Electric Corp
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  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
  • Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は酸素を原料に使用することにより、一定量の
オゾンを生成するのに空気を原料にする場合に比べて約
半分の電力消費で済む経済性の高い気液接触方式の酸素
リサイクルオゾン発生方法および酸素リサイクルオゾン
発生装置に関するものである。
従来、酸素を循環再利用する酸素リサイクルオゾン発生
装置としては第1図にその一例の構成を示すようなもの
があった。
以下、この装置の構成および動作について第1図によっ
て説明する。
図において、1は原料となる酸素を供給する酸素供給装
置、2は酸素リサイクル系の圧力変化の緩和をはかるバ
ッファタンクで、3はこのバッファタンク2から供給さ
れる酸素の一部をオゾンに変換するためのオゾン発生装
置である。
このオゾン発生器3は、例えば、ガラスやマイカなどの
誘電体を介して両側に電極を設け、この電極間に交番高
電圧を印加すると、その電極間に無声放電と呼ばれるグ
ロー放電が発生し、そこに酸素を含む気体を流すと、そ
の酸素の一部がオゾンに変換をするもので、酸素のみを
供給した場合には3〜4wt%濃度のオゾン含有酸素を
得ることが出来る。
4はこのオゾン含有酸素が供給される気液接触方式反応
槽で、この反応槽4で原水槽12からポンプ13により
送給され、処理水槽14に送られる液体によってオゾン
は消費される。
5はこの反応槽から未反応の酸素を吸引、圧送するリサ
イクル循環ブロア、6はこの未反応の酸素を除湿する冷
凍ドライヤーで、この冷凍ドライヤー6により未反応の
酸素は露点4〜5℃まで除湿される。
7はこの冷凍ドライヤー6で除湿された酸素を、さらに
−50℃以下の露点まで除湿する吸着剤方式の浄化器で
、この浄化器1で除湿された酸素はバッファタンク2に
戻り再使用される。
この浄化器1は通常2個以上の吸着剤を充填した吸着塔
IAおよび7Bで構成され、この浄化器1の内の1個の
吸着塔γAがリサイクルする酸素の除湿を行い、その間
に残りの吸着塔7Bは内部に充填した吸着剤の加熱再生
が行われ、四方弁10AおよびIOHの切換で、吸着塔
7Aと7Bを交互に、リサイクル系の酸素の除湿と、充
填された吸着剤の加熱再生を繰り返すことになる。
11は浄化器7の吸着剤を加熱再生するための気体、通
常吸着剤加熱再生用の酸素を循環させる再生ブロア、8
はこの再生ブロアで送られた気体を加熱するヒータで、
気体はこのヒータ8で約200℃に加熱される。
この加熱した気体は浄化器Tの再生中の吸着塔7Bを通
り内部の吸着剤の加熱再生を行なう。
9はこの吸着剤から水分を放出させた高温・高湿の気体
を冷却する冷却器で、22はこの冷却器9のドレーント
ラップである。
20はこの冷却器9で冷却した気体からさらに水分を分
離するドレーンセパレータ、21はこのドレインセパレ
ータ20から排水された水を貯えるドレーンタンクであ
る。
このドレーンセパレータ20から出た気体は、再度、再
生ブロアに吸込まれ、完全な閉ループで吸着剤の加熱再
生を続行する。
吸着剤の除湿が終ると、ヒータ8を切ってさらに気体の
循環を続けて、吸着剤がその吸着作用を充分発揮するよ
うに、吸着剤の冷却を行って、吸着剤の加熱再生は完了
する。
このように構成された従来の酸素リサイクルオゾン発生
装置については、浄化器Tでリサイクル系の酸素の水分
は除去出来るが、反応槽4から出る酸素以外の気体、例
えば、CO2、N2、揮発性有機物の内、水に対する溶
解度の高いもの以外は除去することが出来ず、これらの
ガスがリサイクル系に除々にたまって来る。
この結果、オゾン発生器3の収率(一定の供給電力量に
対するオゾン生成量)が酸素の純度が低下するにしたが
いしだいに減少し、効率が低下する上、揮発性有機物が
酸素リサイクル系内に蓄積されて爆発する危険があると
言う欠点があった。
この発明は上記、従来の欠点を除去し、高い収率でオゾ
ンが安全に得られることを目的とするものである。
以下、この発明の一実施例について第2図によって説明
する。
なお、図において従来例と同一符号は同一または相当す
る部分を示すものである。
γはリサイクル系の酸素から水分その他の気体を除去し
て高純化する浄化器で、この浄化器Tは、水分および吸
着する必要のある気体に対応する複数の吸着剤が充填さ
れた。
通常2個以上の吸着塔27Aおよび27Bからなってい
る。
吸着塔27Bの吸着剤を再生するには、まず切換バルブ
19から空気を吸入し、吸着剤加熱再生装置8でこの空
気を200℃〜300℃に加熱して吸着塔27Bに吹込
み、吸着剤を加熱再生した上、再びバルブ19から外部
に放出する。
この加熱再生が終了すると切換バルブ19を切換え90
’回転させ図示一点鎖線のようにして、内部の空気が連
環するようにした上、加熱再生装置8を停止して吸着剤
冷却装置9によって連環する空気を冷却するそして、吸
着剤の冷却を行なう。
15は浄化器Iの再生が完了した吸着塔27B内の空気
をフィルタ16を介して排出する真空ポンプで、バルブ
17Bを開いて真空引きした後にバルブ18Bを開いて
酸素を注入して浄化器27B内の空気の酸素との置換え
を行なう。
このように構成されたオゾン発生装置の酸素リサイクル
系においては、浄化器1の吸着塔27Aおよび27Bに
充填された吸着剤は、常に新しい加熱された空気で加熱
再生し、さらに連環する空気で冷却されて再生処理され
るので、浄化器7内には空気以外の気体はほとんど無く
なり、再度各種気体を吸着することが出来るように再生
された上、この空気は完全に酸素と置換えされて、酸素
リサイクル系内に空気が混入して酸素の純度が低下する
のを防止している。
以上、この発明の一実施例について説明したが、切換バ
ルブ19より乾燥した空気を吸入し吸着剤加熱再生装置
8で加熱してやれば、さらに除湿効果がよくなり、また
吸着剤加熱再生装置8に空気の代りに窒素などを切換バ
ルブ19から供給して吸着剤の加熱再生をしてもよい。
また、この浄化器は他の方法の浄化器と併用して使用し
ても効果があることは言うまでもない。
以上説明したように、この発明においてはリサイクルす
る酸素を高純度する浄化器の吸着塔に充填された吸着剤
を再生するのに、従来のように閉ループを循環する、例
えば酸素などの気体で行なうのではなく、常に新しい空
気などの気体を外部から吸入して吸着剤の加熱再生を行
なった上で、その気体を冷却しながら連環して、吸着剤
を冷却した上、浄化器内の気体を酸素と置換えするよう
にしたものであるので、酸素リサイクル系における吸着
剤の不純ガスの吸着効率は従来の方法に比べてかなりよ
くなり、リサイクル系の酸素の純度の低下がきわめて少
ないので、オゾンの収率が低下せず、また揮発性有機物
が増加することによる爆発の危険もなくなる効果はきわ
めて大きいものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の酸素リサイクルオゾン発生装置の一例の
構成図、第2図はこの発明の一実施例の酸素リサイクル
オゾン発生装置の構成図である。 図において、同一符号は同一または相当する部分を示し
、1は酸素供給装置、2はオゾン発生器、3は反応槽、
1は浄化器、8は吸着剤加熱再生装置、9は吸着剤冷却
装置、15は真空ポンプを示す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 酸素を原料として、この酸素の一部をオゾン発生器
    でオゾンに変換し、この変換したオゾンを気液接触方式
    の反応槽で消費し、この反応槽から出た酸素を吸着剤方
    式の浄加器で高純度化して再使用するオゾン発生方法に
    おいて、上記浄化器内の吸着剤を再生するために、この
    浄化器内に高温の気体を送給し、続いて浄化器内の気体
    を冷却しながら巡壊させて吸着剤を冷却した後、浄化器
    内の気体を酸素と置換することを特徴とする酸素リサイ
    クルオゾン発生方法。 2 浄化器内に送給する高温の気体が空気であることを
    特徴とする特許請求の範囲第1項記載の酸素リサイクル
    オゾン発生装置。 3 酸素を原料として、この酸素の一部をオゾンに変換
    をするオゾン発生器と、このオゾン発生器で発生したオ
    ゾンを消費する気液接触方式の反応槽と、この反応槽か
    ら出た酸素を高純度化するための吸着剤方式の浄化器と
    から構成された酸素リサイクルオゾン発生装置において
    、上記浄化器内に外部から気体を吸入した上で加熱して
    吹込む吸着剤加熱再生装置と、上記浄化器内の気体を冷
    却しながら巡環させる吸着剤冷却装置と、上記浄化器内
    の気体を真空引きした上で酸素を注入する置換装置とを
    備えたことを特徴とする酸素リサイクルオゾン発生装置
    。 4 吸着剤加熱再生装置に外部から吸入する気体が空気
    であることを特徴とする特許請求の範囲第3項記載の酸
    素リサイクルオゾン発生装置。
JP53093268A 1978-07-31 1978-07-31 酸素リサイクルオゾン発生方法及び発生装置 Expired JPS5851881B2 (ja)

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JPS5520267A JPS5520267A (en) 1980-02-13
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