JPS5890149A - 小形状金属試料の直接溶解発光分光分析方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 置では形や大きさのＭｉｌｌ限看：受けて対象とならな
い小形状の金属試刺を高温で路岸トしながら面接発元分
光分析する方法及び装置に関するものである。

金属製造業における金属や合金の製造工程管理あるいは
製品の品質管理には、主成分や含有される微量成分の分
析が必須で、この分析には一般に固体発光分光分析法が
最も活用されている。発光分光分析法は、金属試料片と
対電極間に高電圧をかけてスパーク放電あるいはアーク
放電等を行なわせ、蒸発した各成分に基づく励起光を分
光して、各成分の分析線対における発光スペクトル線強
度から試料中の各成分含有率を求める分析方法である。

この場合、放電を行なわせる装置構造から対象とする分
析試料の形状は一定の制限を受ける。

通常、直径１５．、φ以上の平面を有していることが必
要であり、これより小形状の塊状試料、シェーバ−やド
リルで採取した切削状試料あるいは粉末状試料などにつ
いての分析は困難である。これらの小形状試料は、一旦
高温で溶解して冷却固化させ、上述の固体発光分光分析
に適した形状に造り変える方法もあるが、再溶解処理が
煩雑である上に成分偏析が起カ易い等の問題から実用さ
れにくい。従って、ほとんどの場合、小形状試料を鉱酸
などで溶解して溶液試料としたあと、吸光光度法、原子
吸光法あるいは溶液発元分元法等各種分析法によって分
析している。これらの分析法は操作が煩雑で時間がかか
り、個人誤差が生じ易いなど多くの問題があることから
、小形状金属試料を直接、簡単・迅速に分析することが
できる新規分析装置の開発が強く要語されていた。

本発明はかかる問題点に鑑み、小形状金属試料を直接発
光分光分析するための研究開発を実施し、高周波誘導加
熱溶解−高エネルギー二次加熱−蒸発微粒子搬送−プラ
ズマ励起発光分光分析法を基本原理とし、簡単，迅速で
かつ定量精度に優れる新規分析方法及び装置を提供する
にいたったものである。

第１図，第２図に示した本発明の実施例に基づいて本発
明の詳細な説明する。

本発明装置は、分析試料３を高周波誘導加熱装置６によ
って溶解し、次にこの溶湯面にス・９−り、アーク、プ
ラズマアーク等の高エネルギーの二次（５） 加熱源を照射して過熱し、分析試料を微粒子として蒸発
させる微粒子発生装置１、発生した微粒子を不活性気体
の流れによって搬送するための微粒子搬送管１８、微粒
子及び搬送気体の一部を系外に排出して一部を分析装置
へ導入するための搬送気体分配装置２０及びプラズマ２
９中で微粒子を励起発光させ、励起光を分光検出して試
料中の諸成分の含有率を求めるプラズマ励起源を有する
分光分析装置２４を生体に構成され、小形状金属試料を
加熱溶解して蒸発微粒子と成し、グラズマ発元分元分析
をする分析方法及び装置である。

微粒子発生装置１は、分析試料３′ｌｔ収答する耐火ル
ツぎ４、これをほとんど密閉状態で収容する微粒子発生
用円筒管２、円筒管２の外周にルツボ４の高さに見合う
位置に設定された高周波誘導加熱装置６、溶湯表面の中
心に対して垂面位置の周囲４５°までの傾斜で挿入され
た二次加熱装置７。

８、円筒管２の内部の所定位置にルツボ４′（ｉｌ−挿
入設置して円筒管内を密閉状に保持し、二次加熱源の対
極ともなりうるルツボ設定装置９、円筒管２（６） 内を不活性雰囲気に保ち蒸発微粒子を分析装置２４へ搬
送するための搬送気体供給装置１６及び蒸発微粒子搬送
口１４などから構成される。この微粒子発生装置１？′
ｉ微粒子搬送管１８によって、搬送気体排出管２１及び
分析装置への微粒子導入管２３が取シ付けられた円筒管
から成る搬送気体分配装置２０に接続されている。プラ
ズマ励起源を有する発光分光分析装置２４は、微粒子導
入管２３、プラズマガス供給管２５、冷却ガス供給管２
６＼プラズマトーチ２７、トーチ上部に取９付けた高周
波発生装置２８などから成るプラズマ発光部、プラズマ
部２９中で励起発光した微粒子成分の発光ス波りトルの
栄光レンズ３０、スリット、反射鏡３３、回折格子３４
などからなる分光器３１、各成分のスペクトル線強度を
測定する検出器３２及び含有率算出演算装置３５などか
ら構成される。

耐火ルツボ４中に入れた小形状金属試料片３ケま高周波
加熱装置６によって短時間に溶解され、試料は溶融状態
に保持される。次に二次加熱源７，８によって試料の溶
湯表面を過熱し、試料３を微粒子として蒸発させる。高
周波誘導加熱のみでも微粒子の蒸発は起るが、高周波誘
導加熱によって試料を迅速に溶解し溶融状態を保持して
おいて更に高エネルギーをもつ二次加熱装置で微粒子を
蒸発させる方法は、試料中の蒸発しにくい成分の蒸発を
確実とし、蒸発量を多くでき、蒸発微粒子の粒度分布を
狭くすることができるなどの効果があシ、定量精度の向
上、分析時間の短縮に寄与する。試料を微粒子として蒸
発させで分析する時間は通常数分の短かい時間であるの
で、試料湿解のための高周波加熱と試料を微粒子として
蒸発させるための二次加熱とは、試料溶解後高周波加熱
は止めて二次加熱のみで微粒子を蒸発させる、両者の加
熱を併行して行ない微粒子を蒸発させるなどの方法があ
るが、先ず最初に試料ｆ：Ｍ周波誘導加熱によって溶解
し溶融状態とした後、高周波電流を溶湯の攪拌が起らな
い程度に低下させて二次加熱によって微粒子を蒸発させ
る方法が適当であった〇二次加熱装置は、第１図ではプ
ラズマアーク銃、第２図ではスパークあるいはアーク放
電装置を示したが、そのほか電子ビーム発生装置やレー
ザービーム発振装置など高エネルギーの加熱源を使用で
きる。二次加熱源は金属の溶湯表面を更に高温の過熱状
態として蒸発を促進するためのものであるが、その加熱
源の溶湯面への照射方法は金属の蒸発効率に大きく影響
する。特に溶湯面への照射角度及び湯面との距離が１要
である。第１図は溶湯面に対して斜め方向から、第２図
はその口上から照射した笑施例を示した。溶湯面を過熱
状態に保ち、なおかつ蒸発微粒子を効率よく分析装置へ
搬送するためには、第２図に示すようにルツボ中の溶湯
面の中心に対して皿上から二次加熱源を照射する方法が
最も有効であった。ただし、第１図に示すように二次加
熱装置が大型となって小型の円筒管２の上部への設置が
困難な場合は、溶湯面の中心に対する垂直位置の周囲４
５°までの傾斜角度内からの照射も適用できた。ただし
、垂直位置に対して４５°以上傾斜した位置、すなわち
溶湯面に対して水平に近い角度で照射した場合、二次加
（９） 熱源による湯面の照射位置の高温過熱が不均一になり易
くなって効率が悪く、又プラズマアークの場合などはプ
ラズマ炎が湯面で反対方向に反射されて蒸発微粒子はこ
の流れに乗って飛散してしまうなど分析装置への搬送に
困難をきたす。上述のいずれの二次加熱源についても溶
湯面との距離は、それぞれの最適位置に保たなければな
らない。これは、溶湯面を効率よく過熱状態に保つこと
と、本発明の目的は蒸発微粒子を補集して製造すること
でなく連続的に搬送して分析するためであるので常時一
定速度での蒸発を確保しなければならないためである。

蒸発加熱時間は短かいのでその際の湯面変動は起らない
が、毎回の分析試料毎の湯面位置は一定とする必要があ
る。本発明では二次加熱源位置とルッ？設定位置は一定
とし、ルツボ中に投入する試料を一定重量に規制して湯
面位置の一定化及び二次加熱源と湯面との間隔の一定化
をはかった。

ルツボ４は高温で浸食されにくいアルミナ、マグネシア
あるいは炭素などで製作したものが適当（１０） である。電子ビームやレーザーと一ムを二次加熱源とす
る場合は必要ないか、アークやプラズマアークを使用す
る場合はルツボ４の底部に銅電極５を取り付けたものを
用いる。プラズマ発光分光分析装置２４は検出感度が高
いために分析試料量は数グラムの少量でよく、従ってル
ツボ４は小型のもので十分である。分析試料の蒸発及び
分析は数分間の短時間で終了してしまうため、微粒子発
生用円筒管２内に分析試料を設定するルツボ設定装置９
による試料交換操作は迅速、簡単に行わなければならな
い。本発明実施例には最も容易に行える例として上部に
ルツＭ４をのせたルツボ設定装置９の上下動操作による
試狛父換方法を採用した。

ルツボ設定装置９は熱伝導率及び電気伝導率にすぐれる
銅などで製作したたて長状のもので途中には受は台１０
を取りつけてあシ、試料交換を行った後微粒子発生用円
筒管２の下端に取り付けたバッキング１１を上方に押し
つけて円筒管２内全密閉状態に保つことができる。又、
ルツボ設定装置９には冷却水供給管１２及び同排出管１
３を取り付けて、ルツボ４底 の冷却を行っている。又、スパーク、アーク、プラズマ
アークを二次加熱源として用いる場合はルツボ設定装置
９はその対電極の役割も兼ねる。ルツボ設定装置９に取
り付けられた受は台１０あるいは微粒子発生用管２の上
部には搬送気体吹込み管１５を取シ付け、これには気体
流量を数段階に調節できる流量調節器１７を備えた搬送
気体供給装置１６を接続しである。分析試料の高周波誘
導加熱による溶解及び二次加熱装置による微粒子の蒸発
は、金属の酸化反応を防止するなどのために通常不活性
気体の雰囲気で行なう。又蒸発微粒子は搬送管１８等へ
の内壁への付着残留を防ぐために高流速の不活性気体に
よって運び去られなければならない。搬送された微粒子
を励起発光させるプラズマも通常Ａｒガスで行うことか
ら上述の各操作はすべて搬送気体吹込み装置１６がら供
給される不活性気体、王としてＡｒあるいはＨｅ　、窒
素ガス等で行うのがよい。従って、蒸発微粒子は搬送気
体によって希釈されるが、希釈倍率が高くなり過ぎると
感度が不足して定量できなくなる。そのためには、微粒
子を発生させる空間、すなわち微粒子発生用円筒管２の
内容積を極力小さくすることが必要である。従って、円
筒管２はその内側に設置されるルツボ４の外径との距離
をなるべく近づけた小径のものを用いる。円筒管２の材
質は熱伝導性、耐熱性にすぐれる石英ガラス等が適当で
ある。

耐火ルツボ４中で溶解された分析試料３がら煙状となっ
て発生する微粒子は熱による対流から通常溶湯表面上に
上昇する動きをと９、その後に周囲に拡散してゆく。蒸
発微粒子を粉体として補集することが目的の場合は、拡
散による多少の損失も問題にならないが、試料の成分量
を分析する本発明に於ては、蒸発微粒子の全量あるいは
常時安定した一定割合量を搬送気体と共に分析装置へ送
シ込まなければならない。蒸発微粒子を補集して製造す
る場合とはこの点が太いに異なり、より効率の良い微粒
子の搬送技術が必須となる。溶湯表面に対して水平に近
い斜め方向から搬送気体を吹（１３） きつけて微粒子をその反対側の水平方向へ送り込む方法
なども考えられるが、本発明で必須となる定量的な微粒
子の搬送を目的とする場合には、溶湯表面よ多発生して
直上方向に立ち昇った微粒子を周囲への拡散が起る前に
、やけ多情湯面を直上方向に向って流れる搬送気体の流
れに乗せて迅速に運び去る方法が最も効率良く、適切で
あった。

すなわち、微粒子搬送口１４は、ルッざ４中の溶湯表面
から一定間隔をもってその直上に垂直に設置されるべき
である。搬送口１４の開口部の形状はルツボ４の内径よ
りも小径の円筒管ないしはルツボの外径近くまで先端を
円錐形状に拡げたものが適当である。搬送気体は吹込み
管１５から吹込まれて円筒管２内を不活性雰囲気に保つ
が、出口は微粒子搬送口だけなので溶湯表面近傍を通っ
てその開口部に向う気体の流れができる。溶湯面から二
次過熱源によって発生させられ上昇した微粒子は、その
搬送気体の気流に引き込まれて、常時一定希釈倍率をも
って搬送口１４へ送り込まれる。

二次加熱源を溶湯直上部から照射する場合、第２（１４
） 図に示す如く加熱源の周囲を同心円状に囲った円筒管を
搬送口１４とする構造が適当でおる。第１図に示すよう
に二次加熱源を斜め方向から照射する場合は、照射中心
面面上に搬送口１４を設けるのがよい。プラズマアーク
銃を用いる場合に於ても、その設置鶏胚を溶湯面に対し
て垂直位置を中心に４５°以内の傾斜角度とするならば
、プラズマの照射の強さにも影響されるが、通常の場合
プラズマ炎によって微粒子は多少の拡散を生じるが搬送
気体の気流に乗ぜられてほとんど確実に面上部の搬送口
１４へと送り込まれる。円筒管２の内壁及び微粒子搬送
口１４は、高温の溶融試料による加熱でかなりの高温と
なっているために微粒子は付着しにくい。微粒子が円筒
管２内に拡散浮遊してしまうと、次の試料の分析に移る
前にそれらを予め排除しなければならず非常に煩雑にな
るが、本方式によれば微粒子が浴湯面より発生して上昇
する流れを一種のエアーカーテン状の搬送気体の気流で
包み込んでしまうので微粒子の拡散は起シにくくその心
配はない。

微粒子の蒸発発生速度及び粒径は、蒸発させる雰囲気の
圧力、加熱温度、雰囲気気体の種類等によって犬きく影
響される。雰囲気を減圧にすれば蒸発速度は犬となり、
よシ多量の微粒子を得られる。従って、微粒子発生量を
多くする必要がある場合には、実施例の説明図には示し
ていないが、微粒子発生用円筒管２内全最初に真空にし
てＡｒ等の不活性気体を導入して減圧状態に保持し、微
粒子を発生させ、次に大気圧に戻すと共に分析装置へ搬
送するなどの方法を採用する。微粒子の粒径は、プラズ
マを励起源とする発光分光分析装置２４で分析する際に
定量精度に影響するので重要であり、特に粒径を極力小
さくし、その粒度分布を狭くする必要がある。本発明装
置によって鉄鋼試料を対象に発生させた微粒子を電子顕
微鏡観察によって調査したところ、粒径は大略０．１μ
ｍ以下の極めて微粒であり、粒度分布の巾も比較的狭く
、プラズマ発光分光分析には最適であった。微小粒径の
蒸発微粒子を得る条件としては、発生雰囲気の圧力を低
くする、加熱温度をあ１り高くしない、雰囲気気体に原
子量の小さいＡｒ＆とを用いることが最も適当であった
。本発明の微粒子搬送口１４を溶湯の中心の表面皿上に
一定間隔をもって設置する方法は、プラズマアークなど
二次加熱源で発生したスプラッシーによる粗大粒子は自
重によって落下して搬送口１４へは到達しないなど微粒
子の粒度を整えるためにも効果が認められた。

蒸発微粒子は吹込んだ気体に乗せられて搬送管】８を通
って搬送気体分配装置２０に搬送されるが、ここで微粒
子を搬送管１８の内壁等に付着残存させないことが最も
重要な問題となる。単に同一蒸発微粒子を補集する場合
には多少の残留は問題にならないが、本発明のように微
粒子を分析してもとの試料中の成分量を求める場合には
、付着残留によって搬送気体中の微粒子濃度が変動した
り、次の分析試料に対するコンタミネーションとなって
正確な分析値が得られなくなる。蒸発微粒子は遅く静か
な流れでの搬送や温度の低下が起ると微粒子間の凝集や
壁面への付着残留が起υ易くなる。従って、搬送管１８
はなるべく小径として（１７） 搬送気体の流速を速くする必要がある。又、搬送管を数
十ｍのように長尺とする場合には、微粒子の多少の付着
残留が起シ易くなるが、この場合にはこの残留割合を常
時一定するように搬送条件を考慮し、なおかつ１試料分
析終了時点で確実に除去しておかなければ次の試料のコ
ンタミネーションの原因になる。種々の実験の結果、管
内壁等に付着した蒸発微粒子は付着後短時間内に搬送気
体を高速で吹きつけてやれば容易に剥離して排除できる
ことが判明したので、１試料の分析終了直後毎に搬送気
体の吹込み流ｉを増大させて排除する方法を採用した。

この搬送気体の流量制御は、搬送気体供給装置１６の流
量調節弁１７の自動切替操作で行った。搬送気体の流量
調節は例えば、分析試料を微粒子発生用円筒管２内に挿
入した時点で１０〜１５！／−で流して円筒管２内等を
不活性雰囲気に置換し、次に試料を高周波誘導加熱及び
二次加熱装置で加熱した時点で３〜５！／關の一定流量
で流して蒸発微粒子を搬送管１８へ搬送し、数分間以内
で行なわれるプラズマ発光強度の測定長（１８） 了直後に１０〜２０！／−の高速で流して円筒管２、搬
送管１８、気体分配装置２０等の内部に残存する可能性
のある浮遊微粒子及び付着残留微粒子を糸外に排除する
方法をとった。又、搬送管１８内壁の微粒子の付着を更
に防ぐ方法として、第１図に示すように管外壁にヒータ
ー１９等を取り付けて加熱しておく、あるいは管内を流
れる搬送気体を乱流とするために搬送管１８をらせん状
とするか、乱流が起るように管内面に加工を施す等の工
夫が特に長尺の搬送管に有効であった。搬送管１８の材
質は金属、石英ガラス、あるいはフッ素樹脂などの耐熱
合成樹脂などが適当である。

搬送気体分配装置２０は、搬送管１８より搬送気体と共
に送られてきた微粒子を一旦空間部分で拡散させ更に均
一化する、プラズマ部２９へ導入する搬送気体の最適流
量を得るためにある一定部分を糸外に排出して搬送気体
の分配を行うあるいは搬送されて来る間に凝集が進んで
特に粗大化した粒子を糸外に排除して微粒子のみをプラ
ズマ部２９へ送り込む分粒などを行う働きをする。分配
装置は外周に加熱用ヒーター１９を取り付けた小径の円
筒管で微粒子搬送管１８を側壁より挿入して管末端部を
上向きに、又微粒子導入管２３を円筒管の上部よシ管１
８末端部と相対するように一定間隔をもって垂直に取ｐ
付け、円筒管底部に流量調節弁２２を備えだ搬送気体排
出管２１を取り付けである。この３本の管はいずれも１
０．、以下の細管である。粗大粒子及び分配された微粒
子の一部分は余剰の搬送気体と共に底部排出管２１よ多
系列に排出され、残りの微粒子は一定流量の搬送気体と
共に導入管２０へ導入される。流量調節弁２２の作動は
、上述の搬送気体供給装置１６の流量調節弁１７の作動
と連動させることは当然である。

微粒子導入管２３から導入された微粒子は、第１図に示
す如く導入管２３、プラズマガス供給管２５、冷却ガス
供給管２６から成る３重管のプラズマトーチ２７に運び
込まれ、高周波発生装置２８によって形成されている高
温のプラズマ部２９に達して励起発光される。プラズマ
ガス及び冷却ガスは通常Ａｒガスを用いるが本発明の実
施例では微粒子搬送にもＡｒガスを用い、各々の流量は
プラズマガス】〜１．５１，７ｍ　、冷却ガス１０〜１
５７／、＃、微粒子搬送ガス０．５〜１に／―が適当で
あった。励起された微粒子の発光スペク）・ルは前述の
構成から成るプラズマ発光分光分析装置２４によって各
スペクトル線強度が決定され、分析試料中の各成分含有
率が迅速に求められる。微粒子を励起発光させる分析装
置には高周波訪導結合型発光分元分析装置が最も適して
いたが、そのほか各種のアーク放電、ブロー放電あるい
はレーザーを励起源とした発光分光分析装置あるいは原
子吸光分析装置などを使用することができる。

本発明によれば、分析試料の微粒子発生装置への挿入か
ら微粒子を発生させて試料中の各成分の含有率を求める
までの分析所要時間は約５分以内の短時間で、はとんど
人手を用いずに簡単に分析することができる。定量精度
についても、試料を鉱酸で溶解して、操作が煩雑で長時
間を要する吸元元度分析法などと比較して遜色のない良
好な結（２１） 果を得ることができた。以上説明したように、本発明に
よってこれまで直接発光分光分析が困難であった小形状
金属試料に対して簡単・迅速な回接発光分元分析が可能
になった。又、これまでの一定形状のブロック試料を対
象とするス・Ｐ−り、アークあるいはグロー放電による
固体発光分光分析で、試料形状制限以外に問題となって
いた試料の熱処理履歴による金属組織や試料内の各成分
の偏析に基づく定１精度の低下等の問題解決も成し得る
ことができた。

本発明は、金属製造業に於る工程管理あるいは品質管理
などに必須である金属材料中に含有される各成分を試料
形状、金属組織あるいは成分偏析の影響を受けずに簡単
・迅速に高精度で分析する新規分析方法及び装置を提供
したものであり、この分野に於て多大の貢献を成すもの
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例の説明図、第２図は第１図とは異
なる本発明の微粒子発生装置部分の実施例説明図である
。 （２２） ｌ・・・微粒子発生装置、　　２・・・微粒子発生用円
筒管、３・・・分析試料、　　　　　４・・・耐火ルツ
ボ、６・・・高周波誘導加熱装置、７・・・アーク又は
スパーク電極、８・・・プラズマアーク銃、９・・・ル
ツボ設置装置、１４・・・蒸発粒子搬送口、１６・・・
搬送気体供給装置、１８・・・微粒子搬送管、　　２０
・・・搬送気体分配装置、２３・・・微粒子導入管、 ２４・・・プラズマ励起源を有する発光分光分析装動゛
、２７・・・プラズマトーチ、２９・・・プラズマ部、
３１・・・分光器。 代理人　　谷　山　輝　雄 本　　多　　小　　平 岸　　１）　正　　行１ 新　　部　　興　　治 （２３） 第　１　図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）小容積の密閉状容器中に設置した耐火ルッが中で
   、小形状の金属試料片を一次加熱源の高周波誘導加熱に
   よって溶解し、次にスパーク、アーク、プラズマアーク
   、電子ビーム、レーザービーム等の二次加熱源′！ｆ−
   溶湯表面面上ないしはその垂直位置の周囲４５°までの
   傾斜角度範囲内の位置から照射し、蒸発した金属試別微
   粒子の全量ないしは一定量を、二次加熱源が照射する溶
   湯表面の中心に対してｍ上方向へ、常時一定流速で搬送
   気体によって搬送管を介して高周波誘導結合プラズマ等
   のプラズマ励起源を有する発光装置に導入し、発生した
   励起光を分光分析装置に導入して分光し、各成分のスペ
   クトル線強度から分析試料中に含有される各成分量を測
   定することを特徴とする小形状金属試料の直接溶解発光
   分光分析方法。
2. （２）初回の分析試料を加熱して蒸発した微粒子を励起
   発光し、その励起光のスペクトル線強度から試料中の各
   成分含有率を測定後、直ちに微粒子搬送用気体をその測
   定時よりも更に高流速で吹き込み、その圧送力によって
   搬送管内壁等にわずかに残留する微粒子を糸外に排出し
   てから、次の分析試料の測定操作に移ることを特徴とす
   る特許請求の範囲紀１項記載の小形状金属試料の亘接溶
   解発光分元分析方法。
3. （３）分析試料を入れる小型耐火ルッ？、この４火ルツ
   ボの外周を直近にとりまく小径でたて長の密閉状円筒管
   、このルツボの高さに見合い、かっこの円筒管の外周に
   設置した一次加熱源としての高周波誘導加熱装置、ルツ
   ボ中溶湯表面の中心に対して直上ＩＩいしはその山上位
   置の周囲４５°までの傾斜角度をもって円筒管を介して
   取り付けたスパーク、アーク、プラズマアーク、電子ビ
   ーム、レーザービーム等の二次加熱装置、流量調節器を
   備えて円筒管の下部ないしは上部に吹込み管を設置した
   微粒子搬送気体供給装置、円筒管の底部に設置してルツ
   〆の出し入れが可能で、二次加熱装置の対電極を兼ね、
   冷却機構を有し、かつ円筒管の密閉状態を保持できるル
   ツボ設定装置、及び一端が二次加熱源が照射するルツボ
   中浴湯表面の中心部に対して面上部に垂直に開口し他端
   頂部が微粒子搬送管と接続する６′１．粒子搬送口から
   成る微粒子発生装置、一端が微粒子搬送口に他端が搬送
   ガス分配装置に接続する小径の微粒子搬送管、この搬送
   管末端部、発光装置への微粒子導入管及び流量調節器２
   備えた余剰の搬送気体の排出管を取り付けた搬送気体分
   配装置１、微粒子導入管、高周波誘導結合型プラズマ等
   のプラズマ励起源を有するプラズマ発光装置、分光器、
   検出器および成分含有率演算装置等から成る発光分光分
   析装置を生体に構成することを特徴とする小形状金属試
   料の直接浴解発元分元分析装置。