JPS588331Y2 - 空気濾過装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本案は無塵室への入室者の塵埃除去用シャワー用空気と
室内浄化用の空気とを共通の空気濾過器を用いて供給し
得る空気濾過装置に関するものである。

半導体装置の製造など無塵環境における作業を要求され
る場合には、空気濾過器により無塵化された空気の供給
が行われる無塵室が使用される。

この場合入室者に付着した塵埃が室内に持込まれて無塵
環境が阻害されるのを防止するため、例えば第１図に示
すように無塵室１０入口にシャワー室２を設けて、高速
かつ大風量の空気シャワー３を浴せるようにし、これに
より付着塵埃な吹払つたのち無塵室１内に入れるように
している。

ところでこの場合空気濾過装置として第２図に示す概略
断面構造図のように、シャワー用空気流を作るための容
量の大きい第１送風機４（例えば１．５ＫＷの電動機付
）と、無塵室用の空気を作るための第１送風機４より容
量の小さい第２送風機５（例えば１００Ｗの電動機付）
と、第１および第２の空気選択供給弁６，７および共通
送風室８に流入口を位置させた共通の空気濾過器９とよ
りなるものが使用されている。

この装置はシャワー室に入室者があったとき、例えば自
動的に第１送風機４を動作させると同時に第１空気選択
供給弁６を開放、第２空気選択供給弁７を閉塞して、図
中矢印Ａのように（第１送風機４→第１空気選択供給弁
６→共通送風室８→空気濾過器９→シャワー室の空気排
気口）の経過で、一定時間シャワー用空気流を作る。

またシャワー室内に入室者がないときには、第１空気選
択供給弁６を閉塞、第２空気選択供給弁７を開放させて
、図中矢印Ｂのように（第２送風機５→第２空気選択供
給弁Ｉ→共通送風室８→空気濾過器９→無塵室）の経路
で無塵空気の送入を行うもので、この装置によれば次の
ような利点が得られる。

即ち第１送風機４による送風は、第２空気選択供給弁Ｔ
の閉塞により、図中点線矢印Ｃのように第２送風機５を
介して送風が外部に側路されて弱められることなく濾過
器９に送入される。

また第２送風機５の送風も第１空気選択供給弁６の閉塞
により、図中点線矢印りのように大きい容量の第１送風
機４を介して外部に側路されて風量が少なくなることな
く行われ、しかも共通の空気濾過器を用いてシャワー用
空気流と無塵空気を作ることかでざる利点がある。

しかし一方この装置では第１送風機４による大きな風圧
によって第２空気選択供給弁７の閉塞性が阻害されて第
２送風機５側に送気漏れを生ずる事故を起し易く、これ
を防ぐためには高価な弁を用いなげればならない。

本案は以上の欠点の除去な目的としてなされたもので、
１箇の空気供給弁により上記従来装置と同等の作用を行
わせるようにして、故障発生の機会を少なくすると同時
に保守管理の容易化を図ったものである。

次に図面を用いてその詳細を説明する。

第３図は本案の一実施例を示す断面側面図であって、第
２図と同一符号は同等部分を示す。

図において４はシャワー用空気流を作る第１送風機、５
は無塵室用の空気を作る第２送風機、８は共通送風室、
９は空気濾過器、１０は吸排気室、１１は上記共通送風
室８と吸排気室１０間に設けた空気供給弁で、第１送風
機４の送気口４ａは吸排気室に開口するように設けられ
、吸気口４ｂは外界の空気を取込むように設けられる。

（図では第１送風機４を収容する室が図示されているが
、これは省略することができる。

）また第２送風機４の送気口５ａは共通送風室８内に直
接開口し、吸気口５ｂは吸排気室１０内に開口するよう
に設けられ、空気供給弁１１は第１送風機４の送風動作
時にのみ開設となるように作られる。

このように構成された本案では第１送風機４が動作して
送風を行うと空気供給弁１１が開放となるので、空気濾
過器９には図中矢印Ｅのように〔第１送風機４→吸排気
室１０→空気供給弁１１→共通送風室８→空気濾過器９
〕の経路で送風されてシャワー用空気流が作られる。

また第１送風機４が動作しないときには、第２送風機５
は図中矢印Ｆのように〔第１送風機４→吸排気室１０→
吸気口５ａｌの経路で空気を吸入して、空気選択供給弁
を介することなく直接共通送風室８内に送風し、空気濾
過器９により無塵空気を供給する。

以上のように本案では第２送風機５の吸気口５ｂは、第
１送風機４の送気口４ａが開口している吸排気室１０内
に開口している。

従って第１送風機４が動作し空気供給弁１１が開放され
ている状態では、共通送風室８と吸排気室１０内とは同
一圧力であるので、図中点線矢印Ｇのように共通送風室
８から第２送風機５に流れこむことがない。

また仮に流れこんだとしても外界に側路されることがな
いので、送風が少なくなることがない。

また第２送風機５による送風のみのときには空気供給弁
１１が閉塞されるので、第１送風機４を介して外界に側
路されるおそれは全くなく、また吸気も容量の大きい即
ち空気抵抗の小さい第１送風機４を介して行われるので
風量が少なくなることはない。

以上のように本案においては従来装置のように第１送風
機による大きな風圧によって破損し易い第２送風機用の
弁を必要とせず、容量の大きい第１送風機の動作時のみ
開放する１箇の弁を備えるのみで、共通の濾過器を用い
てシャワー用空気流と無塵空気の双方をよい状態で送風
できる。

従って従来表置の欠点を一掃した故障が少なく構造簡単
安価な空気濾過装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はシャワー室を設けた無塵室の概略平面図、第２
図は従来の空気濾過装置の概略断面側面図、第３図は本
案の一実施例を示す断面側面図である。 １・・・・・−１塵室、２・・・・・・シャワー室、３
・・・・・・シャワー用空気流、４・・・・・・シャワ
ー空気送風用の第１送風機、５・・・・・・無塵空気送
風用の第２送風機、６゜、７・・・・・・第１．第２空
気選択供給弁、８・・・・・・共通送風室、９・・・・
・・空気濾過器、１０・・・・・・吸排気室、１１・・
・・・・空気供給弁。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 第１送風機によるシャワー用空気と、第２送風機による
   無塵空気とを共通送風室を介して空気濾過器に送り込む
   ようにした空気濾過装置において、上記第１送風機動作
   時にのみ開放する空気供給弁により、上記共量送風室と
   連通ずる吸排気室を上記共通送風室に連設すると共に、
   上記第２送風機をその送気口が共通送風室に開口し、吸
   気口が吸排気室内に開口するように設け、また上記第１
   送風機をその送気口が上記吸排気室内に開口し、吸気口
   が外界に開口するように設けた空気濾過装置。