JPS5879835A - 光フアイバプリフオ−ムの表面処理方法 - Google Patents
光フアイバプリフオ−ムの表面処理方法Info
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- JPS5879835A JPS5879835A JP17796081A JP17796081A JPS5879835A JP S5879835 A JPS5879835 A JP S5879835A JP 17796081 A JP17796081 A JP 17796081A JP 17796081 A JP17796081 A JP 17796081A JP S5879835 A JPS5879835 A JP S5879835A
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- glass tube
- glass
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は光フアイバプリフォーム（以下、プリフォー
ムと称Ｔ）の表面の傷、Ｊｌ物
ムと称Ｔ）の表面の傷、Ｊｌ物
【除去する処瀧方法にＭ
Ｔるものである。 光７アイパは、一般＆：はプリフォーム化よばれるジッ
ド状のガラス母材を港融紡糸することによって製造され
ている。こＵ】ようにして得られる光ファイバの引張強
さ、曲げ！１１１ざなどの初期強度は素材となるプリフ
ォームの表面の傷、異物の存在によって大きく影響を受
ける。プリ７オ一五表面に傷や異物が存在Ｔると、この
プリフォームより形成した光７アイパ１１面にも、その
傷、異物が残留し、光７アイパに外力が加わった場合に
破壊の起点となり、初期強度の大きい光ファイバを得る
ことは不可能となる。したかつて、プリフォーム１１面
の傷１異物をできるかぎり除去Ｔることが必要となる。 このプリフォーム１１面の傷、異物を除去Ｔるには、従
来火炎研磨、フッ酸水溶液によるエツチングなどが行わ
れてきた。しかし、火炎研磨の場合にはプリフォームが
外気中にさらされ町状謝で大炎による処理が行なわれる
ため、逆に外気中のチリ、ホコリかプリ７オー・五表面
に取り込まれ易い。また、会声バーナな用いる場合には
バーナのチップからの金属粉かプリフォーム１ｌＦＷ＋
に付着することかあり、この金属粉が次第にプリフォー
ム中に侵入してゆくので火炎研磨でこの金属粉【除来し
きれないこともある・ざら＆：％数ｌＯ声諷の傷、異物
などを除去Ｔるのに５時間以上【要し、非能率的であっ
た。また、プリフォーム【高温で加熱Ｔるので〜ＯＨ基
のプリフォーム中への拡散が進行して光ファイバの特性
劣化をもたらしたり、プリフォーム表面が失透し１かえ
ってプリフォームの強度低下を来たＴことがあるなどの
欠点がある・一方、フッ酸水溶液による処理は、比較的
高濃度（＊、ｔｗｔ％）の７ツ酸水溶液を用いても、エ
ツチング速度が遅く、数ｌＯ声ｍ程度の傷の除４Ｒ＆：
約Ｉ時間を必要とし、やはり非能率的であった。また、
フッ酸水濱液にプリフォーム【浸ｆｌｌ［Ｔるので、プ
リフォーム１１面の傷にフッ酸が櫟（侵入し、水洗等で
は容易に７ツ酸な除去できず、ａｗした７ツ酸かプリフ
ォーム表面の微少傷の成長な助長してし重うことかある
。ざらに、プリフォーム１１面に接触する７ツ酸水溶液
の７ツ酸濃度をプリフォーム全体に均一に保つことか銀
かＬ＜、１１１１−にエツチングすることか固層である
。 また、プリフォーム表面に存在する傷、異物の大きざは
、数百μ篤から数戸ｍまでと大きくバラツキがあり〜大
きなキスも小さなキズも均一に除去Ｔるには７ツ酸水溶
液の７ツ酸濃度【微妙に鉤節せねばならないなどの欠点
かあった。 ニの発明は上記事情に鑑みてなされたもので隻プリフォ
ームＩ１面の傷、異物【短時間に均一に除去でき％操作
が簡単で、エツチング度合【容易に調節できるプリフォ
ームの表面処理方法を提供Ｔること【目的とし、゛プリ
フォーム【ガラス管内に同軸的に取りつけ、ガラス管を
回転させつつガラス管内に、７〕化物ガスおよび水蒸気
をヘリウムガスおよび（または）酸素ガスとともに供給
し、ガラス管外酩から移動加熱源によって加熱して、プ
リフォーム１１１１エツチングすること【４ｖ微とする
ものである。 以下、図面管参照してこの発明の詳細な説明■るＯ 図面はこの発明のプリフォームの表１処珈方法【実施Ｔ
るに好適な装置の一例【示すものである。 （２）中符号ｌは光７アイパの母材となる丸棒状のプリ
フォームである。このプリフォームｌは、ＭＣＶＤ法、
ｏｖｐｏ法、ＶＡＤ法などによって得られた多孔質ガラ
ス母材管加熱して透明ガラス化したものである。このプ
リフォーム１の一端には、プリフォームｌとほぼ同一径
の丸棒状の石英ガラスなどから形！ａされたダミー俸３
が融着されている・このダミー俸Ｂは１プリフオームｉ
Ｔｅ後述Ｔるガラス管６に取りつける際の操作を容易に
するためのものである。ダミー俸Ｓが接続されたプリ７
オー＾ｌは、プリフォームｌの先端部および後端慕にガ
ラス製九票８．３が取りつけられて、プリフォームｌの
外径より大きな内径【有Ｔる石英ガラス−のガラス管６
内に挿入され１ガラス管８に対して同軸的に取りつけら
れる。 ついで１プリフオームＩＩ内蔵したガラス管番は、ガラ
ス旋盤（図示曽ず）の一つのチャック５．５に１転自在
に固定される。そして、ガラス管６の７〕化物ガス人口
備にはスリ合せのり−タリジ璽イントロが接続薯れ、管
？【介して７ツ化物ガスなどのエツチングガス供給５ｌ
ｆｔ （ＩＩＮ示せず）に接Ｍされ、他方には排気装置
（図示せず）かスリ合せ接続される。また、ガラス管番
の直下には、ガラス管６の軸方向に往復移動し、ガラス
管６【外部から加熱する酸水素炎バーナ８が設けられて
いる。 以上のようにして処理装置が組み立てられると、まず、
ガラス族−によってガラス管６が回転させられ、酸水素
炎バーナ８が燃焼し、往復移動しはじめる。ついで、管
？管通してエツチングガス供給装置から７フ化物ガスお
よび水蒸気およびヘリウムガスかガラス管番に供給され
る。ここで用いられる７ツ化物ガスにしては、ｃｐ４．
８ｉＦ、、８Ｆ、 、ＣＣｊＩＦ、などの非金属元素の
７ツ化物で常温付近でガス状態となっているもので、特
に８’Ｆ４が好ましく用いられる。フッ化物ガスと水蒸
気はガラス管４内で酸水素炎バーナ８によって加熱され
１例えば、７ツ化物ガスとして８１１？４１用いた場合
には、 ８亀Ｆ、＋２Ｈ，０→４４ｎｒ＋ｓｊｏ。 の反応式によってガス状のフッ化水素（フッｉ１１）か
生成Ｔる０このフッ化水素ガスはプリフォームｌの表面
のガラスをエツチングし、プリフォーム１＃３１！ＩＩ
の傷、異物が除去される・７ツ化水素ガスの生成量はフ
ッ化物ガス量、水蒸気量、加熱温度によって変化するの
で、フッ化物ガス量、水蒸気量および加熱濃度な調節す
ることにより生成７ツ化水素ガス量な調節でき、プリフ
ォーム１１１面の傷、異物の大きざに応じてエツチング
速度【容易に調節することができる。プリフォーム１１
１面の傷の内、大きな傷かほぼ取り除かれたならば１水
蒸気の供給な止め、７ツ化物ガスとヘリウムガス管ガラ
ス管ｉ内に流Ｔ０フッ化物ガスはガラス管６内で加熱さ
れて解離し、活性状態のフッ素原子か生成する・この活
性状態のフッ素原子もプリフォーム１１１面のガラスを
エツチングＴるが、７ツ化水素ガスよりもエツチング速
度が遅く、約りであるので１プリフオームｌのｌ１Ｗｙ
＆：残留する微少な傷、異物の＃ＩＷｔ−おだやかにエ
ツチングし〜エツチングされたガラス中の８−ｉｏ、は
ｓ ｉ＠４として揮散してゆく。 プリフォーム１１１１１の微少な傷が消滅したならば、
フッ化物ガスの供給を止め、ヘリウムガスと酸素ガス【
ガラス管番内に供給し、加熱【続けんヘリウムガスは１
プリフオームｌの表面＆：＠着し残留している７ツ化水
素ガスおよび７ツ化物ガスな脱着し、過度のエツチング
な防止Ｔる。また１酸素ガスは、エツチング中にプリフ
ォームｌの表面のガラスの８１−０結合かフッ素に置換
された８ｉ−Ｆ結合＠５ｉ−ｏ結合に再置換し、完全な
ガラス質表ＩとＴる◎ 以上の処理によって、プリフォームｌの表面のガラスは
、７ツ化水素ガスおよび活性フッ素原子によって溶解さ
れ、エツチングされてゆくか、７ツ化物ガス、水蒸気な
ど【気体状勤で導入し、気相で反応させて７フ化水素ガ
スおよび活性フッ素原子【生成させているので、フッ化
水素ガスおよび活性フッ素原子の濃度を簡単に調節でき
、プリ７オ”−ムｌの表面の傷 Ｊｌｌ愉に大小があっ
ても１均一に且つ完全に傷、異物な除去できるとともら
短時間で除去しうる。また、エツチング終了後に酸素ガ
ス１人してガラＸ１８ ｔ−Ｆ結合管修復しているので
１プリフオームｌの表面のガラス質が完全なものとなる
。 エツチング終了後の終ったプリフォームｌはガラス管会
から取り出され、通常の港融紡糸などの手段によって光
７アイパとされるが、これによって得られた光ファイバ
は、傷、異物のほとんどないプリフォームｌから形＊ｇ
れたものであるので、光７アイパ慶面に、傷、異物がな
く、シたかって初期強度か高く、強度にバラツキのない
Ｔぐれたものとなる。 以下、実施例に基づいてこの発明【具体的＆：ＷＲ明Ｔ
る・ （実施例） 図面に示した装置において、ＭＣＶＤ法によってＩＩ造
した直＠ＩＡ！ｗｍ％長さ７００簡のグレデイツｙ妊ン
デツクスｌｉ屈折率分布のプリフォーム１を、内ｌＩｌ
五６■、外径２０ｍの石英ガラス管番に同軸的に取りつ
け１ガラス管４Ｉ【Ｉｇｌ＆させつつ１往復移動する酸
水素バーナ８＆：よって加熱した・ガラス管６＆：、ま
ず８ｆｆｉｌ＋１４ガス 参〇ｃｃ／分、Ｈ１０ガス
１ＪＯｃｃ／分、Ｈｅガス ｔ１７分を供給し、ガラ
ス管４内ｒｅ１０００〜７３００℃で２時間加熱したの
ち、８ｉＦ４ガス 参０（Ａ／分、Ｈｅｙｘ ／ｊ／
分を供給し、ｔａｏｏ 〜ｉｓ；ｏ。 ℃で１時間加熱し、ついで、Ｈｅガス ｌ）７分、ｏ、
カｘ ／ Ｊ ７分を供給し、１Ｊｏｏ、ｉｚｏ。 ℃で参０分間加熱し、処理した。以上の処理でプリフォ
ーム１の外径は／！、１簡から／ ｌ ９ｗｒに減少し
％（ｍＡ■エツチングされた。このプリフォームｌの表
ｗＩ【キ七ノンランプ【用いて傷の検出【行ったところ
、検出限界である３声講以上の大きざの傷は検出されな
かった・また１このプリアオ初期引張強度はｔｑ／−で
あった。この値は、エツチングしないプリフォームから
得られた光ファイバの初期引張強度の約１倍である・ 以上説明したように１この発明の光７アイパプリフオー
ムの６ｍ処理方法は、プリフォーム【ガラス管内に同軸
的に取りつけ、ガラス管を１転８曾つつガラス管内にフ
ッ化物ガスおよび水蒸気【ヘリウムガスおよび（また番
よ）酸素とともに供給し、ガラス管外部から移動加熱源
によって加熱して１プリフォーム＊ｒｉ７ｊｔ−エツチ
ングＴるものであるので、エツチングが気相状態で行わ
れるため、勉時間でプリフォーム表面の傷１興物が除＊
され、フッ化物ガスなどのエツチング媒体をガス状態で
導入Ｔるようにしたので１工ツチング速度を容易に調節
でき、プリフォームの表面の傷、異物の状１１ｃ応じた
処理ができ、均一なエツチングか可能となり１傷、異物
の除来がまんべんなく行なえる。 従って（この処珈方法によって処ｌＩすれたプリフォー
ムから得られる光ファイバは、高い初期強度と、均一な
強度を有する優れたものとなる０
Ｔるものである。 光７アイパは、一般＆：はプリフォーム化よばれるジッ
ド状のガラス母材を港融紡糸することによって製造され
ている。こＵ】ようにして得られる光ファイバの引張強
さ、曲げ！１１１ざなどの初期強度は素材となるプリフ
ォームの表面の傷、異物の存在によって大きく影響を受
ける。プリ７オ一五表面に傷や異物が存在Ｔると、この
プリフォームより形成した光７アイパ１１面にも、その
傷、異物が残留し、光７アイパに外力が加わった場合に
破壊の起点となり、初期強度の大きい光ファイバを得る
ことは不可能となる。したかつて、プリフォーム１１面
の傷１異物をできるかぎり除去Ｔることが必要となる。 このプリフォーム１１面の傷、異物を除去Ｔるには、従
来火炎研磨、フッ酸水溶液によるエツチングなどが行わ
れてきた。しかし、火炎研磨の場合にはプリフォームが
外気中にさらされ町状謝で大炎による処理が行なわれる
ため、逆に外気中のチリ、ホコリかプリ７オー・五表面
に取り込まれ易い。また、会声バーナな用いる場合には
バーナのチップからの金属粉かプリフォーム１ｌＦＷ＋
に付着することかあり、この金属粉が次第にプリフォー
ム中に侵入してゆくので火炎研磨でこの金属粉【除来し
きれないこともある・ざら＆：％数ｌＯ声諷の傷、異物
などを除去Ｔるのに５時間以上【要し、非能率的であっ
た。また、プリフォーム【高温で加熱Ｔるので〜ＯＨ基
のプリフォーム中への拡散が進行して光ファイバの特性
劣化をもたらしたり、プリフォーム表面が失透し１かえ
ってプリフォームの強度低下を来たＴことがあるなどの
欠点がある・一方、フッ酸水溶液による処理は、比較的
高濃度（＊、ｔｗｔ％）の７ツ酸水溶液を用いても、エ
ツチング速度が遅く、数ｌＯ声ｍ程度の傷の除４Ｒ＆：
約Ｉ時間を必要とし、やはり非能率的であった。また、
フッ酸水濱液にプリフォーム【浸ｆｌｌ［Ｔるので、プ
リフォーム１１面の傷にフッ酸が櫟（侵入し、水洗等で
は容易に７ツ酸な除去できず、ａｗした７ツ酸かプリフ
ォーム表面の微少傷の成長な助長してし重うことかある
。ざらに、プリフォーム１１面に接触する７ツ酸水溶液
の７ツ酸濃度をプリフォーム全体に均一に保つことか銀
かＬ＜、１１１１−にエツチングすることか固層である
。 また、プリフォーム表面に存在する傷、異物の大きざは
、数百μ篤から数戸ｍまでと大きくバラツキがあり〜大
きなキスも小さなキズも均一に除去Ｔるには７ツ酸水溶
液の７ツ酸濃度【微妙に鉤節せねばならないなどの欠点
かあった。 ニの発明は上記事情に鑑みてなされたもので隻プリフォ
ームＩ１面の傷、異物【短時間に均一に除去でき％操作
が簡単で、エツチング度合【容易に調節できるプリフォ
ームの表面処理方法を提供Ｔること【目的とし、゛プリ
フォーム【ガラス管内に同軸的に取りつけ、ガラス管を
回転させつつガラス管内に、７〕化物ガスおよび水蒸気
をヘリウムガスおよび（または）酸素ガスとともに供給
し、ガラス管外酩から移動加熱源によって加熱して、プ
リフォーム１１１１エツチングすること【４ｖ微とする
ものである。 以下、図面管参照してこの発明の詳細な説明■るＯ 図面はこの発明のプリフォームの表１処珈方法【実施Ｔ
るに好適な装置の一例【示すものである。 （２）中符号ｌは光７アイパの母材となる丸棒状のプリ
フォームである。このプリフォームｌは、ＭＣＶＤ法、
ｏｖｐｏ法、ＶＡＤ法などによって得られた多孔質ガラ
ス母材管加熱して透明ガラス化したものである。このプ
リフォーム１の一端には、プリフォームｌとほぼ同一径
の丸棒状の石英ガラスなどから形！ａされたダミー俸３
が融着されている・このダミー俸Ｂは１プリフオームｉ
Ｔｅ後述Ｔるガラス管６に取りつける際の操作を容易に
するためのものである。ダミー俸Ｓが接続されたプリ７
オー＾ｌは、プリフォームｌの先端部および後端慕にガ
ラス製九票８．３が取りつけられて、プリフォームｌの
外径より大きな内径【有Ｔる石英ガラス−のガラス管６
内に挿入され１ガラス管８に対して同軸的に取りつけら
れる。 ついで１プリフオームＩＩ内蔵したガラス管番は、ガラ
ス旋盤（図示曽ず）の一つのチャック５．５に１転自在
に固定される。そして、ガラス管６の７〕化物ガス人口
備にはスリ合せのり−タリジ璽イントロが接続薯れ、管
？【介して７ツ化物ガスなどのエツチングガス供給５ｌ
ｆｔ （ＩＩＮ示せず）に接Ｍされ、他方には排気装置
（図示せず）かスリ合せ接続される。また、ガラス管番
の直下には、ガラス管６の軸方向に往復移動し、ガラス
管６【外部から加熱する酸水素炎バーナ８が設けられて
いる。 以上のようにして処理装置が組み立てられると、まず、
ガラス族−によってガラス管６が回転させられ、酸水素
炎バーナ８が燃焼し、往復移動しはじめる。ついで、管
？管通してエツチングガス供給装置から７フ化物ガスお
よび水蒸気およびヘリウムガスかガラス管番に供給され
る。ここで用いられる７ツ化物ガスにしては、ｃｐ４．
８ｉＦ、、８Ｆ、 、ＣＣｊＩＦ、などの非金属元素の
７ツ化物で常温付近でガス状態となっているもので、特
に８’Ｆ４が好ましく用いられる。フッ化物ガスと水蒸
気はガラス管４内で酸水素炎バーナ８によって加熱され
１例えば、７ツ化物ガスとして８１１？４１用いた場合
には、 ８亀Ｆ、＋２Ｈ，０→４４ｎｒ＋ｓｊｏ。 の反応式によってガス状のフッ化水素（フッｉ１１）か
生成Ｔる０このフッ化水素ガスはプリフォームｌの表面
のガラスをエツチングし、プリフォーム１＃３１！ＩＩ
の傷、異物が除去される・７ツ化水素ガスの生成量はフ
ッ化物ガス量、水蒸気量、加熱温度によって変化するの
で、フッ化物ガス量、水蒸気量および加熱濃度な調節す
ることにより生成７ツ化水素ガス量な調節でき、プリフ
ォーム１１１面の傷、異物の大きざに応じてエツチング
速度【容易に調節することができる。プリフォーム１１
１面の傷の内、大きな傷かほぼ取り除かれたならば１水
蒸気の供給な止め、７ツ化物ガスとヘリウムガス管ガラ
ス管ｉ内に流Ｔ０フッ化物ガスはガラス管６内で加熱さ
れて解離し、活性状態のフッ素原子か生成する・この活
性状態のフッ素原子もプリフォーム１１１面のガラスを
エツチングＴるが、７ツ化水素ガスよりもエツチング速
度が遅く、約りであるので１プリフオームｌのｌ１Ｗｙ
＆：残留する微少な傷、異物の＃ＩＷｔ−おだやかにエ
ツチングし〜エツチングされたガラス中の８−ｉｏ、は
ｓ ｉ＠４として揮散してゆく。 プリフォーム１１１１１の微少な傷が消滅したならば、
フッ化物ガスの供給を止め、ヘリウムガスと酸素ガス【
ガラス管番内に供給し、加熱【続けんヘリウムガスは１
プリフオームｌの表面＆：＠着し残留している７ツ化水
素ガスおよび７ツ化物ガスな脱着し、過度のエツチング
な防止Ｔる。また１酸素ガスは、エツチング中にプリフ
ォームｌの表面のガラスの８１−０結合かフッ素に置換
された８ｉ−Ｆ結合＠５ｉ−ｏ結合に再置換し、完全な
ガラス質表ＩとＴる◎ 以上の処理によって、プリフォームｌの表面のガラスは
、７ツ化水素ガスおよび活性フッ素原子によって溶解さ
れ、エツチングされてゆくか、７ツ化物ガス、水蒸気な
ど【気体状勤で導入し、気相で反応させて７フ化水素ガ
スおよび活性フッ素原子【生成させているので、フッ化
水素ガスおよび活性フッ素原子の濃度を簡単に調節でき
、プリ７オ”−ムｌの表面の傷 Ｊｌｌ愉に大小があっ
ても１均一に且つ完全に傷、異物な除去できるとともら
短時間で除去しうる。また、エツチング終了後に酸素ガ
ス１人してガラＸ１８ ｔ−Ｆ結合管修復しているので
１プリフオームｌの表面のガラス質が完全なものとなる
。 エツチング終了後の終ったプリフォームｌはガラス管会
から取り出され、通常の港融紡糸などの手段によって光
７アイパとされるが、これによって得られた光ファイバ
は、傷、異物のほとんどないプリフォームｌから形＊ｇ
れたものであるので、光７アイパ慶面に、傷、異物がな
く、シたかって初期強度か高く、強度にバラツキのない
Ｔぐれたものとなる。 以下、実施例に基づいてこの発明【具体的＆：ＷＲ明Ｔ
る・ （実施例） 図面に示した装置において、ＭＣＶＤ法によってＩＩ造
した直＠ＩＡ！ｗｍ％長さ７００簡のグレデイツｙ妊ン
デツクスｌｉ屈折率分布のプリフォーム１を、内ｌＩｌ
五６■、外径２０ｍの石英ガラス管番に同軸的に取りつ
け１ガラス管４Ｉ【Ｉｇｌ＆させつつ１往復移動する酸
水素バーナ８＆：よって加熱した・ガラス管６＆：、ま
ず８ｆｆｉｌ＋１４ガス 参〇ｃｃ／分、Ｈ１０ガス
１ＪＯｃｃ／分、Ｈｅガス ｔ１７分を供給し、ガラ
ス管４内ｒｅ１０００〜７３００℃で２時間加熱したの
ち、８ｉＦ４ガス 参０（Ａ／分、Ｈｅｙｘ ／ｊ／
分を供給し、ｔａｏｏ 〜ｉｓ；ｏ。 ℃で１時間加熱し、ついで、Ｈｅガス ｌ）７分、ｏ、
カｘ ／ Ｊ ７分を供給し、１Ｊｏｏ、ｉｚｏ。 ℃で参０分間加熱し、処理した。以上の処理でプリフォ
ーム１の外径は／！、１簡から／ ｌ ９ｗｒに減少し
％（ｍＡ■エツチングされた。このプリフォームｌの表
ｗＩ【キ七ノンランプ【用いて傷の検出【行ったところ
、検出限界である３声講以上の大きざの傷は検出されな
かった・また１このプリアオ初期引張強度はｔｑ／−で
あった。この値は、エツチングしないプリフォームから
得られた光ファイバの初期引張強度の約１倍である・ 以上説明したように１この発明の光７アイパプリフオー
ムの６ｍ処理方法は、プリフォーム【ガラス管内に同軸
的に取りつけ、ガラス管を１転８曾つつガラス管内にフ
ッ化物ガスおよび水蒸気【ヘリウムガスおよび（また番
よ）酸素とともに供給し、ガラス管外部から移動加熱源
によって加熱して１プリフォーム＊ｒｉ７ｊｔ−エツチ
ングＴるものであるので、エツチングが気相状態で行わ
れるため、勉時間でプリフォーム表面の傷１興物が除＊
され、フッ化物ガスなどのエツチング媒体をガス状態で
導入Ｔるようにしたので１工ツチング速度を容易に調節
でき、プリフォームの表面の傷、異物の状１１ｃ応じた
処理ができ、均一なエツチングか可能となり１傷、異物
の除来がまんべんなく行なえる。 従って（この処珈方法によって処ｌＩすれたプリフォー
ムから得られる光ファイバは、高い初期強度と、均一な
強度を有する優れたものとなる０
図面はこの発明の処珈方法【実施するに好適な装置の一
例な示す概略＊ｇ馳である。 ｌ・・・・・・プリフォーム、番・・・・・・ガラス管
、７・・・・・・管、８・・・・・・酸水素炎バーナ。 出―人日本電信電話公社 藻倉電ｉｉｉ株式会社 ７、−′−鱗、 代理人 弁理士 志 賀 正 藏、、’））、Ｉ’、、
ｎ、、。
例な示す概略＊ｇ馳である。 ｌ・・・・・・プリフォーム、番・・・・・・ガラス管
、７・・・・・・管、８・・・・・・酸水素炎バーナ。 出―人日本電信電話公社 藻倉電ｉｉｉ株式会社 ７、−′−鱗、 代理人 弁理士 志 賀 正 藏、、’））、Ｉ’、、
ｎ、、。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 光フアイバプリフォームを、このプリフォームの外径よ
り大きい内径【有マるガラス管内に同軸的に取りつけ、
このガラス管１ａ転させつつガラス管内に、７ツ化物ガ
スおよび水魚気管ヘリウムガスおよび（または）酸素ガ
スとともに供給し、ガラス管外−から移動加熱源によっ
て加熱して光フアイバプリフォームの＊面ｔ−エツチン
グすることｔ特徴とする光フアイバプリフォームの１１
面処瀧方決。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17796081A JPS5879835A (ja) | 1981-11-06 | 1981-11-06 | 光フアイバプリフオ−ムの表面処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17796081A JPS5879835A (ja) | 1981-11-06 | 1981-11-06 | 光フアイバプリフオ−ムの表面処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5879835A true JPS5879835A (ja) | 1983-05-13 |
Family
ID=16040084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17796081A Pending JPS5879835A (ja) | 1981-11-06 | 1981-11-06 | 光フアイバプリフオ−ムの表面処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5879835A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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1981
- 1981-11-06 JP JP17796081A patent/JPS5879835A/ja active Pending
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