JPS587367A - オンデマンド形ノズルアセンブリの製造法 - Google Patents
オンデマンド形ノズルアセンブリの製造法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はオンデマイド截インクジェットノズルの製法に
関するものであり、特にガラスによるノズルの製造法に
関する。
関するものであり、特にガラスによるノズルの製造法に
関する。
オンデマンド製ノズルアセンブリの製造法へ、ホトセラ
きツクやシリコン板にエツチングを施してエツチング溝
による流路及びインク室を形成し、このようにして得ら
れた加工板と平板のサポートホルダを接着したものをノ
ズルアセノブ１ノの基本とする方法がある。このような
方法において、ホトセラミックを用いる場合には、材料
コストが高価であること並びに接着において加工精度の
バラツキが多くなり、量産時の精度の確保が離し−とい
う欠点があった。またシリコン［Ｋエツチングで溝を形
成し、よく知られてｈるアノ−ディックボンデインク法
による無接着剤接着を施す製法においては、シリコンの
結晶性を利用した高精度エツチング並びに接着時に接着
剤を用いなめ方法により加工精度の問題は解決できるけ
れども、シリコンのノズルを加工する工程が長く、かく
複雑であるため、それらの点でコストアップがまぬがれ
得ない状態となっていた。
きツクやシリコン板にエツチングを施してエツチング溝
による流路及びインク室を形成し、このようにして得ら
れた加工板と平板のサポートホルダを接着したものをノ
ズルアセノブ１ノの基本とする方法がある。このような
方法において、ホトセラミックを用いる場合には、材料
コストが高価であること並びに接着において加工精度の
バラツキが多くなり、量産時の精度の確保が離し−とい
う欠点があった。またシリコン［Ｋエツチングで溝を形
成し、よく知られてｈるアノ−ディックボンデインク法
による無接着剤接着を施す製法においては、シリコンの
結晶性を利用した高精度エツチング並びに接着時に接着
剤を用いなめ方法により加工精度の問題は解決できるけ
れども、シリコンのノズルを加工する工程が長く、かく
複雑であるため、それらの点でコストアップがまぬがれ
得ない状態となっていた。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくし、製
造法が極めて容昌でＴｏ秒短時閾に加工ができ、しかも
ノズルの加工精度に秀れ、ノズル製造上の歩留妙の極め
てよいノズル製造法を提供することにある。
造法が極めて容昌でＴｏ秒短時閾に加工ができ、しかも
ノズルの加工精度に秀れ、ノズル製造上の歩留妙の極め
てよいノズル製造法を提供することにある。
本発明を要約すると次のとおりである。
ガラス素材を皺ガラス素材に固有のガラス弊化点温変近
傍の温度に保つ手段と、骸ガラス軟化点温度近傍の温度
に保たれたガラス素材を押し金型によリプレスすること
により凹部を形成するプレス手段と、前記プレス面と別
途用意する被覆ガラス素材の接着面とを鏡面研摩する手
段と、該鏡面研摩された両面を相接して重ね合わせる手
段と、鋏重ね合わせる手段は前記２つの素材をその素材
に固有のガラス歪点以上で、かつ軟化点以下の温ｆ、に
保つ手段と、前記２つの素材を例えば１ ｐ Ｋ％ ２
等の所定圧以下の圧力で押圧する手段とからなるインク
流路形成手段を含むオンデマンド形ノスルアセ／プリの
製造法である。
傍の温度に保つ手段と、骸ガラス軟化点温度近傍の温度
に保たれたガラス素材を押し金型によリプレスすること
により凹部を形成するプレス手段と、前記プレス面と別
途用意する被覆ガラス素材の接着面とを鏡面研摩する手
段と、該鏡面研摩された両面を相接して重ね合わせる手
段と、鋏重ね合わせる手段は前記２つの素材をその素材
に固有のガラス歪点以上で、かつ軟化点以下の温ｆ、に
保つ手段と、前記２つの素材を例えば１ ｐ Ｋ％ ２
等の所定圧以下の圧力で押圧する手段とからなるインク
流路形成手段を含むオンデマンド形ノスルアセ／プリの
製造法である。
以下色面を用いて本発明の詳細な説明する。
飢１図は本発明になるところのオンデマンド形ノズルア
センブリの製造法を示す縦断面図である。
センブリの製造法を示す縦断面図である。
ｌｌｌ１１図はその製作法を理解しやすぐするために６
つの工程に分けてそれぞれ断面図で示しである。
つの工程に分けてそれぞれ断面図で示しである。
ムはガラス素材にプレス手段によ抄凹部を形成する工程
である。１はガラス素材で、一般には自ガラス、實ガラ
ス、はうけ−酸ガラスなどの材質が用ｉられる。２は熱
板で内ｌＩＫ設置されて−るヒータ５によ抄高温虻保た
れ、前記ガラス素材１０温変をガラス軟化点温度近傍の
温ｇＫ保りようになりている。４は押し金型で、そのガ
ラスＩＫ対向するＩｉＫは帥記ガラス素材１０表面に凹
部を形成させるぺく、凸形の模様５が機械加工、化学エ
ツチング、彫刻等によ秒設けられて−る。前記押し金１
ｉ４の内部には好ましくは内部ヒータ６が設けられてい
て、前記押し金１１４で前記ガラス゛素材１を押圧する
際、前記ガラス素材１と押し金１１４とが温度的にはｙ
等しくなるように配慮されて−る。
である。１はガラス素材で、一般には自ガラス、實ガラ
ス、はうけ−酸ガラスなどの材質が用ｉられる。２は熱
板で内ｌＩＫ設置されて−るヒータ５によ抄高温虻保た
れ、前記ガラス素材１０温変をガラス軟化点温度近傍の
温ｇＫ保りようになりている。４は押し金型で、そのガ
ラスＩＫ対向するＩｉＫは帥記ガラス素材１０表面に凹
部を形成させるぺく、凸形の模様５が機械加工、化学エ
ツチング、彫刻等によ秒設けられて−る。前記押し金１
ｉ４の内部には好ましくは内部ヒータ６が設けられてい
て、前記押し金１１４で前記ガラス゛素材１を押圧する
際、前記ガラス素材１と押し金１１４とが温度的にはｙ
等しくなるように配慮されて−る。
第１図Ｂは接合しようとする２つのガラス素材の様態を
模式的に示したものでガラス−ガラス接着に入る前の工
程を示す断Ｍａｌである。７−は押圧され変形した帥記
ガラス素材１０表面である。表面７は非常圧凹凸が激し
く、表面も汚染されて−る九め、この１１で相手素材と
接着させることはできな−。相手素材と接着させるため
には表面を少なくとも鏡面研摩により平面度を出す必要
のあることが我々の検討結果から明らかになりた。９は
その目的で鏡面研摩された前記ガラス素材１０表面であ
る。１０は被覆ガラス素材で、該素材１０辻前記素材１
と接合される鏡面研摩された面１１をその一面に有して
−る。オた該素材１０にはインク、流路１．２が貫通さ
れている。
模式的に示したものでガラス−ガラス接着に入る前の工
程を示す断Ｍａｌである。７−は押圧され変形した帥記
ガラス素材１０表面である。表面７は非常圧凹凸が激し
く、表面も汚染されて−る九め、この１１で相手素材と
接着させることはできな−。相手素材と接着させるため
には表面を少なくとも鏡面研摩により平面度を出す必要
のあることが我々の検討結果から明らかになりた。９は
その目的で鏡面研摩された前記ガラス素材１０表面であ
る。１０は被覆ガラス素材で、該素材１０辻前記素材１
と接合される鏡面研摩された面１１をその一面に有して
−る。オた該素材１０にはインク、流路１．２が貫通さ
れている。
第１図Ｃの工程は、前記ガラス素材１と前記素＄１０と
を接着剤を用−ることなく互に接着させる工程である。
を接着剤を用−ることなく互に接着させる工程である。
前記素材１の鏡面研摩面９と、前記素材１０の鏡面研摩
面１１は相接して前記熱板２上に載置される。前記素材
１０の接着面と反対側の面には、加圧加熱を目的とした
ヒータ１４を内蔵した加熱抑圧手段１！１があって２個
のガラス素材１．１０を加熱・加圧するように１にりて
いる。
面１１は相接して前記熱板２上に載置される。前記素材
１０の接着面と反対側の面には、加圧加熱を目的とした
ヒータ１４を内蔵した加熱抑圧手段１！１があって２個
のガラス素材１．１０を加熱・加圧するように１にりて
いる。
さらに補助手段として前記熱板１と前記押圧手段１５と
の間には直流高圧電源１５１り直流電圧が印加されｂよ
うＫｅりて埴る。こＯ直流高圧電源は前記２枚のガラス
素材１．１０を静電的に密着させ両者の接触状態をよ如
棗好に保つ役割を果すものである。
の間には直流高圧電源１５１り直流電圧が印加されｂよ
うＫｅりて埴る。こＯ直流高圧電源は前記２枚のガラス
素材１．１０を静電的に密着させ両者の接触状態をよ如
棗好に保つ役割を果すものである。
第２図と第３図には本発明より得られたノズルアセンブ
リをオンデマンド形のノズルアセンブリに適用する実施
例の一例を示して−る。
リをオンデマンド形のノズルアセンブリに適用する実施
例の一例を示して−る。
１と１０は第１図の場合と同じく、それぞれ、ガラス素
材と被覆ガラス素材である。前記ガラス素材ＩＫはイン
ク導入流路１６、インク室１７、インク導出流路１８が
押し金ＩＩＫより押圧され凹部をなしている。このよう
に凹ＩＩ（溝部）を形成された前記素材１は鏡面研摩さ
れ、もう−板の鏡面研摩された被覆ガラス素材１０と接
着剤を用−ることなく貼り合わされる。前記素材１の凹
部と被覆ガラス素材１０との間では容島忙想像がつくよ
うに空間が形成される。第２図ではこのようにして作ら
れた空間がインク導入流路１６、インク室１７、インク
導出流路１８を形成して訃りそれらは前記被覆ガラス素
材ｉｏ＜穿孔されたインク流路１２及び前記２つのガラ
ス素材１．１００接合Ｍにおいて形成されるオリフィス
部１９と一体となってノズルを形成させることが可能で
ある。
材と被覆ガラス素材である。前記ガラス素材ＩＫはイン
ク導入流路１６、インク室１７、インク導出流路１８が
押し金ＩＩＫより押圧され凹部をなしている。このよう
に凹ＩＩ（溝部）を形成された前記素材１は鏡面研摩さ
れ、もう−板の鏡面研摩された被覆ガラス素材１０と接
着剤を用−ることなく貼り合わされる。前記素材１の凹
部と被覆ガラス素材１０との間では容島忙想像がつくよ
うに空間が形成される。第２図ではこのようにして作ら
れた空間がインク導入流路１６、インク室１７、インク
導出流路１８を形成して訃りそれらは前記被覆ガラス素
材ｉｏ＜穿孔されたインク流路１２及び前記２つのガラ
ス素材１．１００接合Ｍにおいて形成されるオリフィス
部１９と一体となってノズルを形成させることが可能で
ある。
実際のオンデマンド形インクジェットノズルにお−ては
、前記被覆ガラスｌＩＡ＄１０において、前記インク室
１７に対向する位置に圧電性物質２０が接着され該圧電
性物質２０と前記被覆ガラス素材１０とのバイモルフ効
果により、インク粒子を形成し得ることは該当業者であ
れば周知の事実である。２１はインク導入端子である。
、前記被覆ガラスｌＩＡ＄１０において、前記インク室
１７に対向する位置に圧電性物質２０が接着され該圧電
性物質２０と前記被覆ガラス素材１０とのバイモルフ効
果により、インク粒子を形成し得ることは該当業者であ
れば周知の事実である。２１はインク導入端子である。
実験・検討を進めた結果、本発明の効果を十分に引出す
ためには、次のような条件を満たすことが望ましいこと
が分かった。
ためには、次のような条件を満たすことが望ましいこと
が分かった。
（１） 第１図ムの工程においては、前記ガラス素材
１は少なくともガラスに特有の軟化点温度以上に加熱さ
れていｂこと。
１は少なくともガラスに特有の軟化点温度以上に加熱さ
れていｂこと。
（２）第１図Ｂの１１１においてはガラス同志の接着面
は両者とも二島−トンリングが一体以下の平ＷＭ度に仕
上げられていること。
は両者とも二島−トンリングが一体以下の平ＷＭ度に仕
上げられていること。
（３） 第３図００工ｌ！においてはガラス素材１．
１０は両者とも歪点以上の温ｇＫ加熱されていて、かつ
軟化点以下の温度であること。
１０は両者とも歪点以上の温ｇＫ加熱されていて、かつ
軟化点以下の温度であること。
（４）第１図Ｃの工程におけるガラス素材１．１０の押
圧力は１０Ｋｊ％−以下であること。
圧力は１０Ｋｊ％−以下であること。
（５）２つのガラス素材１．１０は同一材質であるかあ
るいははソ同一の熱膨張率を有すること。
るいははソ同一の熱膨張率を有すること。
などである。
上記実施例にお−ては、ガラス素材１．１０の加熱手段
に熱板を用−るものとし九が、これらの目的はガラス素
材の加熱をすることが目的であり、熱板に限るものでは
ない、電気炉、恒温槽等により全体を均一な温度に上昇
させ得ることができればよく、このように電気炉等を使
用する場合には熱板や押し金型、加熱抑圧手段等の内蔵
しているヒータは不要とな慨、全体の雰囲気温度で制御
されるため、作業時に場所によゐ温度むらがなくな抄、
作業中に応力歪を発生するのを極めて少なくすることが
できる。
に熱板を用−るものとし九が、これらの目的はガラス素
材の加熱をすることが目的であり、熱板に限るものでは
ない、電気炉、恒温槽等により全体を均一な温度に上昇
させ得ることができればよく、このように電気炉等を使
用する場合には熱板や押し金型、加熱抑圧手段等の内蔵
しているヒータは不要とな慨、全体の雰囲気温度で制御
されるため、作業時に場所によゐ温度むらがなくな抄、
作業中に応力歪を発生するのを極めて少なくすることが
できる。
本発明は以上のように構威し九から、次のような効果を
奏することができる。
奏することができる。
（１）機械的な押しｍによりプレス加工するのて高精度
の溝加工ができる。
の溝加工ができる。
（２）溝部の形成されたガラス素材と被覆ガラス素材を
接着する際Ｋ１１着剤を用いることなく、シかもガラス
軟化点以下で接着するので高精度に溝部流路を形成する
ことが可能である。
接着する際Ｋ１１着剤を用いることなく、シかもガラス
軟化点以下で接着するので高精度に溝部流路を形成する
ことが可能である。
Ｃ）ブ曹セスがガラスのエツチングやシリコンのエツチ
ングに比べ極めて単純であ楓製造コストが低減される。
ングに比べ極めて単純であ楓製造コストが低減される。
（４）素材のコストが極めて廉価である。
第１図は本発明のガラスノズルアセンブリの製造法の一
実施例を示すとζろの縦断面図である。 図にシーで、１はガラス素材、２は熱板、４は押し金型
、９．１１は鏡面研摩面、１０は被覆ガラス素材、１３
は抑圧手段である。 菖２図及び第３図は第１図の工程を経て作られゐオンデ
マンド型インクジェットノズルの斜視図である，図忙お
いて、１６はインク導入流路、１７はインク室、１Ｂは
インク導出流路、１９はオリフィス部、２０は圧電性物
質、２１はインク′導入端子である。
実施例を示すとζろの縦断面図である。 図にシーで、１はガラス素材、２は熱板、４は押し金型
、９．１１は鏡面研摩面、１０は被覆ガラス素材、１３
は抑圧手段である。 菖２図及び第３図は第１図の工程を経て作られゐオンデ
マンド型インクジェットノズルの斜視図である，図忙お
いて、１６はインク導入流路、１７はインク室、１Ｂは
インク導出流路、１９はオリフィス部、２０は圧電性物
質、２１はインク′導入端子である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｔ オンデマンド形ノズルアセンブリにおいて、ガラス
素材を鋏ガラス素材Ｋｌ！有のガラス軟化点温度近傍の
温度に保り手段と、該ガラス軟化点温度近傍の温度に保
たれ九ガラス素材を押し金１１によりプレスすることに
より凹部を形成するプレス手段と、前記プレス面と別途
用意する被覆ガラス素材の接着面とを鏡面研摩する手段
と、該鏡面研摩され九両面を相接して重ね合せる手段と
からなり、該重ね合わせる手段は前記２つの素材をその
素＃に固有のガラス歪点以上であ抄、かつ軟化点以下の
温度に保り手段と、前記２０素材を１０Ｋ１７．、ｓ以
下の圧力で押圧する手段とから成るインク、流路形成手
段を含むことを特徴とするオンデマンド形ノズルアセン
ブリの製造法。 ２、前記ガラス素材１と前記被覆ガラス素材１０とはそ
の熱＊ｉ係数においては譬等しい値を有して一石ことを
特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のオンデマンド
形ノズルアセンブリの製造法。 五 前記ガラス素材１及び前記被覆ガラス素材１０の接
着面はニュートンリング１以下の千面畷に仕上げられて
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のオ
ンデマンド形ノズルアセンブリの製造法。 （前記ガラス素材１及び前記被覆ガラス素材１０を相接
して重ね合わせ、接着する工程において画素材の関に実
質的に直流高電圧を印加することを特徴とする特許請求
の範囲第１項に記載のオンデマンド製ノズルアセンブリ
の製造法っ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10587081A JPS587367A (ja) | 1981-07-06 | 1981-07-06 | オンデマンド形ノズルアセンブリの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10587081A JPS587367A (ja) | 1981-07-06 | 1981-07-06 | オンデマンド形ノズルアセンブリの製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS587367A true JPS587367A (ja) | 1983-01-17 |
Family
ID=14418980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10587081A Pending JPS587367A (ja) | 1981-07-06 | 1981-07-06 | オンデマンド形ノズルアセンブリの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS587367A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0978492A1 (de) * | 1998-08-04 | 2000-02-09 | Cerdec Aktiengesellschaft Keramische Farben | Verfahren zur Verringerung des Heissverklebens bei Formgebungsprozessen sowie Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens |
| US6499836B1 (en) | 1999-01-12 | 2002-12-31 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric ink jet recording head formed by press working |
| WO2003014037A1 (de) * | 2001-08-09 | 2003-02-20 | Schott Glas | Verfahren und vorrichtung zur erkennung einer bevorstehenden grenzflächenhaftung zwischen einem zu formenden glaskörper und einem formgebenden werkzeug |
| CN100379563C (zh) * | 2004-06-11 | 2008-04-09 | 精工爱普生株式会社 | 电极基板及其制造方法、静电致动器、液滴喷吐头 |
| WO2010002446A1 (en) * | 2008-07-02 | 2010-01-07 | Corning Incorporated | Method of making shaped glass articles |
-
1981
- 1981-07-06 JP JP10587081A patent/JPS587367A/ja active Pending
Cited By (10)
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