JPS5872037A - ガスセンサ - Google Patents

ガスセンサ

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JPS5872037A
JPS5872037A JP56172214A JP17221481A JPS5872037A JP S5872037 A JPS5872037 A JP S5872037A JP 56172214 A JP56172214 A JP 56172214A JP 17221481 A JP17221481 A JP 17221481A JP S5872037 A JPS5872037 A JP S5872037A
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JP
Japan
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infrared
gas
infrared rays
rays
filter
Prior art date
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Pending
Application number
JP56172214A
Other languages
English (en)
Inventor
Yukinori Kuwano
桑野 幸徳
Shoichi Nakano
中野 昭一
Toshiaki Yokoo
横尾 敏昭
Kenichi Shibata
賢一 柴田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanyo Electric Co Ltd
Sanyo Denki Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
Sanyo Denki Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Priority to US06/407,582 priority patent/US4485305A/en
Priority to GB08223932A priority patent/GB2105033B/en
Publication of JPS5872037A publication Critical patent/JPS5872037A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3504Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/10Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
    • G01J5/34Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using capacitors, e.g. pyroelectric capacitors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
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    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/314Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry with comparison of measurements at specific and non-specific wavelengths

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、焦電型赤外線検出体を内蔵して、特定ガスを
高精度、高信頼性の下に検出するようKしたガスセンサ
に関する。
vJ1図は既にW案されたガスセンサを示す。10はタ
ンクル酸リチクム(LiTa03)単結晶などの焦電材
料から成り入射赤外線変化量に応じて電荷を発生する焦
電型赤外線検出体で、該検出体は矢印a方向に分極され
ている。(2)及び(3)は夫々上記赤外線検出体+1
1の表、裏面にニクロム蒸着膜にて形成された表、炎面
↑1!極、+4 ) #−を銅、燐古銅などからなる金
属性支持台で、該支持台」−には、上記裏向電極(3)
を支持名[4)1面に対向するようにして、上記赤外線
検出体illが銀ベーストなとの導電性接着剤(6)に
て向肴されている。
(611i上記赤外線検出体(1)が高抵抗であるが故
に斯る高抵抗を低抵抗に変換するだめのインピーダンス
変換回WJ(7+が配置さ)またアルミナ基板、(8)
は金属性のキャップ(9)及びヘッダ(lO)からなる
収納体で、該収納体内の上記ヘッダ(lO)上には」−
記渋持台(4)及び基板(6)が固定されている。(I
llは」1記ヘッダ+101 K直接的に植設されたア
ース端子で、該端子は上記支持台(4)及び接着剤+f
i+を介して」二記衷面電極(3)に電気的に接続され
ている。(12)及び(1311ま夫々上記へツタ(l
O)に絶縁材を介して植設されたリード端子、(14)
は上記表面電極(2)とインピーダンス変換回fj11
(7)どを結線するリード線、(1b)、(16)は夫
々」二記インビーグンス父換回路(7)とリード端子(
12)、(1り(とを結線するリード線である。
Qηは上記赤外線検出体tllに表面電極(2)側り・
ら赤外線を入射せしめるべく上記キャップ(9)に穿設
された開口、(+81は波長2〜20.gmの赤外線を
透過するシリコン又はゲルマニウムからなり上記開口0
′7)を閉塞する赤外線フィルタ、吐は該フィルタの内
面に形成され被検出ガスの吸収赤外線だけを実質的に透
過する狭帯域赤外線フィルタで、該フィルタはテルル化
鉛(PbTe)の如き高屈折率物質及び硫化亜鉛(Zn
S)の如き低屈折率物質を多層に重ねた構造からなって
いる。今、被検出ガスをメタン(CH4)、−酸化炭素
(CO)、−酸化窒素(NO)又は二酸化窒素(NO2
)とし第2図はL耐ガスセンサの回路を示し、上記イン
ピーダンス変換回路(7)は1010〜1011Ωの高
入力抵抗−)、FET(電界効果トランジスタ)(21
)及び約10にΩの出力抵抗−にて構成されている。
而して、通常、上記ガスセンサ内部へは、ガスセンサ外
部の常温物体から放射され」二記赤外線フ赤外線が上記
狭帯域赤外線フィルタ(19)を透過して今の赤外線が
ガスセンサ外部へ透過17ており、所るガスセンサ外部
へ透過する赤外線は上述のガスセン゛す内部へ透過する
赤外線と相殺され、この状態で上記赤外線検出体ill
へ入射する赤外線量#−i変化ぜず一定である。
この様な状態において、何らかの原因でCH4、C0X
N01又はNO2ガスが上記ガスーレンザの     
  1吸−収され、従って上記狭帯域赤外線フィルタ(
19)をガスセンサ外部から透過する赤外線がなくなる
から上記相殺が行なわれなくなる。即ち、上記赤外線検
出イ木(1)へ入射する赤外線量が波長士−己、4゜化
(減少)する。萌る変化が生じると表面電極(2)側に
負信号が生起しリード端子(1勇に検知信号が出力され
、よってCH4、Co、NO又はNO2ガスの漏れか検
出される。
しかし乍ら、上記構造では、ガス漏れ発生時、即ち所る
ガスにより所定波長の赤外線が吸収されて上記赤外線検
出体(1)の入射赤外線鼠が変化した時点でしか上記リ
ード端子(+31に検知信号が出力されず、従ってガス
セン丈周辺にガスか充満した後の状態では最早入射赤外
量には変化が生じないから、この場合はガス漏れが発生
しでいるKも拘わらずガス漏れ検出がなされない。
又、ガス漏れ量が僅かずりしか増大しない場合、即ち漏
れガスによる赤外me−収量が僅かずつしか増大しない
場合、・ま、上記赤外線検出体j1)の入射赤外線胤の
変化が小さく、従って上記リード端子(+31に出力さ
れる検知信号が小さいからSN比が極めて悪い、J 本発明は所る点に鑑みてなされたもので、以下本発明実
DI5.倒ガスセンサを第3図に基づいて詳述する。尚
、第1図、第2比1と同一部分には同一符号を記してそ
の説明を省略する、。
(23)、(支))・・・はアルミニクt1、金、銀な
どの赤外線非透過材料からなり、上記狭帯域赤外線フィ
ルタ(+9)の下面にて紙面に垂直方向に延設された線
状の第1赤外線非透過体で、該非透過体の幅W)J: 
1 rsm −2ttm 、厚さDHo、1−1 On
pmどな−、ている。更に上記第1赤外線非透過悼1゛
ハ)、(ロ)・・・は互いに所定寸法【を有して離間し
ており、その寸法tに上記帽Wの寸法と同一である。(
241fd上上載収納体ε)内において間隔d (= 
0.1 p m −1cm )を有して上記狭帯域赤外
#、フィルタ(I帽で近接対向する赤外線透過体で、該
透過体け−に記赤外w9.フィルタO@と同様(て波長
2〜207mの赤外線を透過するシリコン又はゲルマニ
ウムからなっている。(社)、妨・・・行上記赤外線透
過体!24)の」二面にて上記@1赤外線非透温休瞥、
(n)・・・と向一方向(紙面に垂面な方向)に延設さ
れた線状の第2赤外線非透刺体で、該非透過体は十記第
1赤外線非透過体(イ))、噛)・・・と同様にアルミ
ニウム、金、銀などの赤外線非透過材料からなり、第2
赤外線非透過体し5)、(頌・・・の幅Wは17m〜2
W+1厚さdけ0.11−1O0zとなっている。更に
、上記第2赤外線非透過体体)、幼・・・け互いに所定
寸法t′を有して離間しており、その寸法t′は上記幅
Wの寸法と同一である。
し6)は2枚の圧電板を張り合わせて形成された振動体
、即ちバイモルフで、該バイモルフは下端にて上記ヘッ
ダ(lO)に設けられた絶縁台−に固定され、上端には
上記赤外線透過体124)が取着されている。
上記バイモルフ□□□の形状は直方体であり、その高さ
hは1−3m、厚みmけ50zm−5sim、幅(紙面
に垂直方向の寸法) #′i0.5〜15mである。
そして、上記バイモルフ(ハ)は水晶、ロッシェル塩、
酒石酸エチレン、ジアミン、酒石酸カリ、第一リン酸カ
リ、第一リン酸アンモン、5#1酸リチクム、チタン酸
バリクム、硫酸グリシンなどの単結晶や、チタン酸パリ
クム系磁器、ジルコン酸・チタン酸鉛系磁器、ニオブ酸
系磁器などの磁器材料からなっている。(ハ)及び(2
9)は夫々史に上記ヘッダ(10)に絶縁材を介して植
設されたリード端子で、該リード端子は大々上記バイモ
ルフ(イ)の両面に形成された電極例、叫)に結線され
ている。
而して、w1゛る電極−1@1)間にリード端子(2眠
四を介して所定振幅の交流信号を印加すると、上記バイ
モルフ(2(2)は交流信号の周波数に応じて拉んで赤
外線透過体例を矢印へ方向に周期的に振動せしめ、これ
により上記第2赤外線非透過体し眠(2))・・・は上
記第1赤外線非透過体(23)、(イ))・・・又は上
記狭帯域赤外線フィルタ(19)において第1赤外線非
透過休tt<+、(O)・・・が存在しない部分(1部
分)に周期的に移動して鹸なる。、 そして、まずCH4、C01NO又はNO2ガスの漏れ
が発生していないとする。この状態で上記第2赤外線非
透過休しくへ)、動)・・・が狭帯域赤外線フィルタ(
19)の1部分に叡なった場合、ガスセンサ外線)透過
が阻止される。
一方、上記第2赤外線非透過体伝戦□□□・・・が上記
9モ1赤外線非透過体(23)、(イ))・・・に重な
った場合、上記狭帯域赤外線フィルタ(I匈の1部分の
領域においては第1図のガスセンサと同様にガスセンサ
外部と内部の赤外線検出体(1)側との間で透過する赤
外線が互いに相殺される。この状態は上記赤外線透過が
阻止された場合と実質的に同じである。又、上記@1、
第2赤外線非透過体(財)、(ロ)・・・及び陵、(2
均・・・の領域においては同様にガスセンサ外部と内部
の赤外線検出体fll側との間での赤外線透過が阻止さ
れる。
従って、ガス漏れが発生1−ていない時は、−上記第2
赤外線非透過休シ敷(25)・・・の移動に拘わらず上
記赤外線検出体fl)へ入射する赤外線量は変化せず一
定である。
而して、CH4、C01NO又はNO2ガスの3又t′
i6.2 p mの赤外線が殆ど吸収されるから、上記
第2赤外線非透過体(社)、(2)・・・が上記第1赤
外線非透過休t、’3)、t231・・・に重なっノも
場合における上記相殺状態が崩れる。即ち、上記赤外線
検出体(1)の入射赤外線量が変化(減少)する。尚、
−1−、記第1赤外WA昇透過体(%L @d、・・・
が狭帯域赤外ηQ 7 、tルタ(19)の1部分に重
なった場合CL1赤外線検出体illの入射赤外線量は
ガス漏れ非発生時と同じでf)る。
従って、上記ガス漏れ発生中f/j J?いて〇よ、」
二記赤外線検出体t1)の入射赤外線ゼ:は第2赤外線
非透過田t)6:、125゛・・・の周期的移動に伴っ
て周J9:l (fjJに変化するから、ガスaI+検
出は継続的になさねる。しかも、入射赤外線rt&′i
勺酸に大1!<変化するから、リード1巷子(1萄((
出力さノ]5る検知信号は充分子大き(S N Jtは
極めて良い。
かくして、水弁5Li:IがスセンサVζJ:れLr1
特定ガスを高情Jf、高信頼性の下(τ検出できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は既に捉¥されたガスセンサの断rli tU、
第2図りま同回路図、第3図14’本発明′東施例ガス
センサの断面図である。、 (1)・・・赤外線検出体、(8)・・・収納体、Q@
・・・狭帯域赤外線フィルタ、 匈)、□□□・・・第1赤外線非透過体、(ロ)、妬・
・・・第2赤外線非透過体、暗・・・バイモルフ。 出願人 三洋電機株式会社9、〈畳丁7)1、代理人 
弁理士 佐野静笑 4ソ (「 α〕 区             区 210− 区      ) 0) 0 琺

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. +11  収納体内に設けられ入射赤外線変化量に応じ
    て電荷を発生する焦電型赤外線検出体、上記収納体外か
    ら上記赤外線検出体へ入射する赤外線の通過域に設けら
    れ被検出ガスの吸収赤外線だけを実質的に透過する狭帯
    域赤外線フィルタ、該フィルタを透過する赤外線を断続
    するための断続手段を備えたことを特徴とするガスセン
    サ。
JP56172214A 1981-08-20 1981-10-27 ガスセンサ Pending JPS5872037A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP56172214A JPS5872037A (ja) 1981-10-27 1981-10-27 ガスセンサ
US06/407,582 US4485305A (en) 1981-08-20 1982-08-12 Infrared detector with vibrating chopper
GB08223932A GB2105033B (en) 1981-08-20 1982-08-19 Infrared ray detector

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP56172214A JPS5872037A (ja) 1981-10-27 1981-10-27 ガスセンサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5872037A true JPS5872037A (ja) 1983-04-28

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ID=15937704

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP56172214A Pending JPS5872037A (ja) 1981-08-20 1981-10-27 ガスセンサ

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JP (1) JPS5872037A (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4952696A (ja) * 1972-09-19 1974-05-22
JPS5558438A (en) * 1978-10-25 1980-05-01 Horiba Ltd Device for measuring concentration by infrared ray

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4952696A (ja) * 1972-09-19 1974-05-22
JPS5558438A (en) * 1978-10-25 1980-05-01 Horiba Ltd Device for measuring concentration by infrared ray

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