JPS5863915A - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置Info
- Publication number
- JPS5863915A JPS5863915A JP56162499A JP16249981A JPS5863915A JP S5863915 A JPS5863915 A JP S5863915A JP 56162499 A JP56162499 A JP 56162499A JP 16249981 A JP16249981 A JP 16249981A JP S5863915 A JPS5863915 A JP S5863915A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- parabolic mirror
- point
- light beam
- cylindrical lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0025—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration
- G02B27/0031—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration for scanning purposes
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- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光走査装置に関する。
光走査装置は例えば電子写真等において、静電潜像形成
面に記録像に対応して光ビームを照射する場合、光ビー
ムを潜像形成面上で走査しつつ。
面に記録像に対応して光ビームを照射する場合、光ビー
ムを潜像形成面上で走査しつつ。
該光ビームの出力を制御して露光を行うのに用いられる
。
。
従来このような走査装置として、第１図に示すよ°うに
レーザ光源１からの光ビームを回転多面鏡２に導きその
反射光をハーフミラ−を介して放物面鏡４に入射せしめ
る。放物面鏡４の鏡面における入射光ビームの軌跡は破
線５で示す如く放物線を描く。放物面鏡５に照射された
光スポット６のうちこの放物線５上で反射された光ビー
ムは、投影面７（前述の電子写真の場合は静電潜像形成
面）付近を焦点とするのに対し、仁の放物線５に直交す
る方向に在ゐ光ビームは偏向角度θの増加に伴い投影面
７よシ遠い位置を焦点とする。辷れ祉。
レーザ光源１からの光ビームを回転多面鏡２に導きその
反射光をハーフミラ−を介して放物面鏡４に入射せしめ
る。放物面鏡４の鏡面における入射光ビームの軌跡は破
線５で示す如く放物線を描く。放物面鏡５に照射された
光スポット６のうちこの放物線５上で反射された光ビー
ムは、投影面７（前述の電子写真の場合は静電潜像形成
面）付近を焦点とするのに対し、仁の放物線５に直交す
る方向に在ゐ光ビームは偏向角度θの増加に伴い投影面
７よシ遠い位置を焦点とする。辷れ祉。
放物線と直交する放物面鏡上の曲線は走査角−が増加す
るに伴い、楕円形（の一部）となるからである。
るに伴い、楕円形（の一部）となるからである。
従って、との非点収差のため走査角−を大きくすること
社できず例えｄビーム径を２０ｊｍ とすると、焦点
距離６７２ｍの放物面鏡を用いた場合走査角は３＠が実
用上の限界であった。
社できず例えｄビーム径を２０ｊｍ とすると、焦点
距離６７２ｍの放物面鏡を用いた場合走査角は３＠が実
用上の限界であった。
本発明はかかる点に鑑みなされ良もので、走査角増加に
伴う非点収差を解消した新規な光走査装置を提供するこ
とを目的とする。
伴う非点収差を解消した新規な光走査装置を提供するこ
とを目的とする。
以下図面を参照しながら本発明の好ましい実施例につい
て鰺細に説明する。
て鰺細に説明する。
第２図は本発明の一実施例構成図である。
同図において、８．９はシリンドリカルレンズである。
第２図において回転多面鏡２によって偏向され九ビーム
は、シリンドリカルレンズ９に入射する。シリンドリカ
ルレンズ９かものビームは。
は、シリンドリカルレンズ９に入射する。シリンドリカ
ルレンズ９かものビームは。
ハーフさツー３を経て、放物面鏡４に入射し、放物面鏡
４により、投影面７上に集光される。
４により、投影面７上に集光される。
回転多面鏡２上の偏光点２′とシリンドリカルレンズ９
及び放物面鏡４の位置関係は、シリンドリカルレンズ焦
点距離ｆｅ、回転多面鏡１上の偏向点１′とシリンドリ
カルレンズの主点との距離ＩＣ９放物面鏡焦点距離ｆｐ
、回転多面鏡１上の偏向点１′と放物面鏡４の中心との
距離ｊｐがそれぞれ０〈ｌ ｃ ／ ｆ ｃ≦１．０．
５≦ｌｐ／ｆｐ≦ｏ、ｓを満足するように定める。
及び放物面鏡４の位置関係は、シリンドリカルレンズ焦
点距離ｆｅ、回転多面鏡１上の偏向点１′とシリンドリ
カルレンズの主点との距離ＩＣ９放物面鏡焦点距離ｆｐ
、回転多面鏡１上の偏向点１′と放物面鏡４の中心との
距離ｊｐがそれぞれ０〈ｌ ｃ ／ ｆ ｃ≦１．０．
５≦ｌｐ／ｆｐ≦ｏ、ｓを満足するように定める。
本実施例の場合９回転多面鏡２に入射する光束の光線８
＊ ＋ ８ ｂ ｅ ８ ｃは走査ビーム４ｍ、 ４
ｂ、 ４ｅを含む平面Ｐと平行な平面内では互いに平行
であり、この平面と喬直な平面Ｑ内では第３図（ａ）に
示すように９回転多面鏡に入射する光束内の光線８ｄ。
＊ ＋ ８ ｂ ｅ ８ ｃは走査ビーム４ｍ、 ４
ｂ、 ４ｅを含む平面Ｐと平行な平面内では互いに平行
であり、この平面と喬直な平面Ｑ内では第３図（ａ）に
示すように９回転多面鏡に入射する光束内の光線８ｄ。
８＠社シリンドリカルレンズ９の焦点へ収束する如きも
のである。
のである。
この光束内の光線はシリンドリカルレンズ９を通過、後
、走査角０°の場合には、互いに平行となシ（つ１０光
束の断面は円型）走査角−〜０°の場合には、光束内の
光線はＷ亨シリンドリカルレンズ９に対する斜め入射の
結果として平面Ｐ上では平行光、平面Ｑ上では第３図缶
）に示すように収束光とな夛、放物面鏡４に入射するた
め。
、走査角０°の場合には、互いに平行となシ（つ１０光
束の断面は円型）走査角−〜０°の場合には、光束内の
光線はＷ亨シリンドリカルレンズ９に対する斜め入射の
結果として平面Ｐ上では平行光、平面Ｑ上では第３図缶
）に示すように収束光とな夛、放物面鏡４に入射するた
め。
放物面鏡４によって反射されたビームＬ非点収差の小さ
な状態で投影面７付近に集光される。
な状態で投影面７付近に集光される。
前記ｆｃ、ｊｃ、ｊｐ、ｉｐの値の選択によシ、平面Ｑ
上での焦点を投影面７付近とし、非点収差を改善するこ
とが可能である０この非点収差の改善により、投影面７
上での光ビーム径偏差を補正できる〇 一例として／ ｅ ＝ｉ ０００■、ｊ ｅ−３Ｚ Ｏ
”’ｅ ／ ｐ冨６７２■、ｊｐ＝４４８１１１１．入
射光波長３６０ ｎ ｍ ＋シリンドリカルレンズ９の
屈折率１．５．厚さ１５簡の場合の特性を示したのが８
４図（＆）〜（イ）である。
上での焦点を投影面７付近とし、非点収差を改善するこ
とが可能である０この非点収差の改善により、投影面７
上での光ビーム径偏差を補正できる〇 一例として／ ｅ ＝ｉ ０００■、ｊ ｅ−３Ｚ Ｏ
”’ｅ ／ ｐ冨６７２■、ｊｐ＝４４８１１１１．入
射光波長３６０ ｎ ｍ ＋シリンドリカルレンズ９の
屈折率１．５．厚さ１５簡の場合の特性を示したのが８
４図（＆）〜（イ）である。
また、焦点距離６７２ ｍの放物面鏡、のみ４の場合。
（つまり前述し良従来の光走査装置の場合）の特性を示
し九のが第５図（ａ）〜（ロ）！ある。第４図、第５図
において、添字Ｍ、Ｓａ各々平ｉ１Ｐ、Ｑに平行な平面
上における特性を示す。
し九のが第５図（ａ）〜（ロ）！ある。第４図、第５図
において、添字Ｍ、Ｓａ各々平ｉ１Ｐ、Ｑに平行な平面
上における特性を示す。
これら両図において（ａ）ａ、光束径変化に対する球面
収差を示し９缶）は走査角変化に対する非点収差を示し
、（Ｃ）は走査角の変化に対する歪曲収差を示し、（菊
は走査角の変化に対する光束径の変化を示す。
収差を示し９缶）は走査角変化に対する非点収差を示し
、（Ｃ）は走査角の変化に対する歪曲収差を示し、（菊
は走査角の変化に対する光束径の変化を示す。
第４図（ｄ）、第５図（ｄ）において投影面７上での光
束径が２０４ｍ±５μｍ となゐ範囲を比較すると。
束径が２０４ｍ±５μｍ となゐ範囲を比較すると。
本実施例の場合最大走査角ａ２０＠であるのに対して、
従来の装置の如く放物面鏡のみを用い九場合。
従来の装置の如く放物面鏡のみを用い九場合。
最大走査角は３＠であ如、投影面上・での光束の拡がシ
が少く、また第４Ｅ伽）、第５図缶）から明らかなよう
に本実施例の場合走査角の広い範囲に亘って非点収査は
小さくなっている。
が少く、また第４Ｅ伽）、第５図缶）から明らかなよう
に本実施例の場合走査角の広い範囲に亘って非点収査は
小さくなっている。
一以上の説明から明らかな場合９本発明に係る光走査装
置は放物面鏡に付随する非点収差をシリントリーカルレ
ンズにより解消したもので、走査光束径の拡がシが少く
、又非点収差の小さい光ビームによる走査が可能となる
。
置は放物面鏡に付随する非点収差をシリントリーカルレ
ンズにより解消したもので、走査光束径の拡がシが少く
、又非点収差の小さい光ビームによる走査が可能となる
。
第１図は従来の、光走査装置の構成図、第２図は本発明
に係る光走査装置の一実施例構成図、第３図に）伽）は
光径路の説明図、籐４図（ａ）〜（尋は本発明に係る光
走査装置の光学特性図、第５図（１）〜（ロ）は従来の
光学走査装置の光学特性図で娶る。 １：光源、２：回転多面鏡、３：ハー７ミ２−９４：放
物面鏡、ｓ：放物線、６：光スポット。 ７：投影面ｓＬ９ニジリントリカルレンズ〇手続補正書
（ロ） 昭和 年 月 日 ５７、９．２′Ｌ 特許庁長官若杉和夫殿 １、事件の表示 昭和、＋４ 年特許願第１（忌４ｑ）号（２、発明の名
称莞丸１峻１ ３、補正をする者 事件との関係 特許出頼人 住所 神奈川県用崎市中原区上小田中１０１５番地（５
２２）名称富士通株式会社 ８、補正の内容 別紙の通り Ｌ 本願明細蓄第２頁第９行目「放物面鏡５に」とある
を、「放物面鏡４に」と補正する。 λ 同第３頁第１４行目「偏光点２′」とあるを「偏向
点２′」と補正する。 ３−゛ 同第３頁！１１６行目乃至第１７行目［回転多
面−１上の偏向点１′と］とあるを、［回転多面鏡２上
の偏向点２′」と補正する。 Ｌ 同第３貞第１８行目「回転多面１＃ｉｌ上の偏同、
点ｌｌＪとあるを、「回転多面−２上の偏向点２′」と
補正する。 ａＩｉＩｌ！第４頁ａ１第４廿ａ１！３５行目「走査ビ
ーム４ａ、４ｂ、４ｃを含む平面Ｐと平行な平面内では
互ｉに平行であり、この平面と−直な平面Ｑ内では」と
あるを、「放物面１１４にお−て交叉線δ上に入射する
光線であシ互匹に平行である。交叉線と−直な方向では
」と補正する０ 代 同第６頁第１６行目「走査角の変化に対する光束径
の変化を」とあるを、「走査角の変化に対するビーム径
の変化を」と補正する。 １ 本願明細誉添付図面第２図、第３図（すを別紙の通
り補正する。
に係る光走査装置の一実施例構成図、第３図に）伽）は
光径路の説明図、籐４図（ａ）〜（尋は本発明に係る光
走査装置の光学特性図、第５図（１）〜（ロ）は従来の
光学走査装置の光学特性図で娶る。 １：光源、２：回転多面鏡、３：ハー７ミ２−９４：放
物面鏡、ｓ：放物線、６：光スポット。 ７：投影面ｓＬ９ニジリントリカルレンズ〇手続補正書
（ロ） 昭和 年 月 日 ５７、９．２′Ｌ 特許庁長官若杉和夫殿 １、事件の表示 昭和、＋４ 年特許願第１（忌４ｑ）号（２、発明の名
称莞丸１峻１ ３、補正をする者 事件との関係 特許出頼人 住所 神奈川県用崎市中原区上小田中１０１５番地（５
２２）名称富士通株式会社 ８、補正の内容 別紙の通り Ｌ 本願明細蓄第２頁第９行目「放物面鏡５に」とある
を、「放物面鏡４に」と補正する。 λ 同第３頁第１４行目「偏光点２′」とあるを「偏向
点２′」と補正する。 ３−゛ 同第３頁！１１６行目乃至第１７行目［回転多
面−１上の偏向点１′と］とあるを、［回転多面鏡２上
の偏向点２′」と補正する。 Ｌ 同第３貞第１８行目「回転多面１＃ｉｌ上の偏同、
点ｌｌＪとあるを、「回転多面−２上の偏向点２′」と
補正する。 ａＩｉＩｌ！第４頁ａ１第４廿ａ１！３５行目「走査ビ
ーム４ａ、４ｂ、４ｃを含む平面Ｐと平行な平面内では
互ｉに平行であり、この平面と−直な平面Ｑ内では」と
あるを、「放物面１１４にお−て交叉線δ上に入射する
光線であシ互匹に平行である。交叉線と−直な方向では
」と補正する０ 代 同第６頁第１６行目「走査角の変化に対する光束径
の変化を」とあるを、「走査角の変化に対するビーム径
の変化を」と補正する。 １ 本願明細誉添付図面第２図、第３図（すを別紙の通
り補正する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 放物面鏡と、光源のビームを前記放物面鏡へ導く光学手
段とを有し、前記放物面鏡へ入射された前記光源の光ビ
ームを投影面上に投影し、走査するようにした光走査装
置において、前記光学手段から導出される前記光ビーム
を受け、前記放物面鏡へ入射せしめるシリンドリカルレ
ンズを配置し。 かつ前記光学手段の走査開始点が前記放物面鏡の焦点距
離ｊｐよりも内側、該放物面鏡の中心から０．５ｆｐ〜
０．８ｊｐの距離、かつ前記シリンドリカルレンズの焦
点距離ｆｃよシも内側に設定され。 前記投影面が放物面鏡の中心から骸放物面鏡焦点距離ｊ
ｐの距離に設定され九ことを特徴とする光走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56162499A JPS5863915A (ja) | 1981-10-12 | 1981-10-12 | 光走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56162499A JPS5863915A (ja) | 1981-10-12 | 1981-10-12 | 光走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5863915A true JPS5863915A (ja) | 1983-04-16 |
Family
ID=15755775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56162499A Pending JPS5863915A (ja) | 1981-10-12 | 1981-10-12 | 光走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5863915A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS613006A (ja) * | 1984-06-18 | 1986-01-09 | Koden Kogyo Kk | 平面形状測定装置 |
| JPS62189483A (ja) * | 1986-02-14 | 1987-08-19 | Minolta Camera Co Ltd | 半導体レ−ザ−による静電潜像形成装置 |
| JPS62275216A (ja) * | 1986-05-23 | 1987-11-30 | Hitachi Ltd | 光走査装置 |
| JPS6426817A (en) * | 1987-07-23 | 1989-01-30 | Hitachi Ltd | Optical scanning device |
| EP0408920A2 (de) * | 1989-07-18 | 1991-01-23 | Erwin Sick GmbH Optik-Elektronik | Vorrichtung zur Erzeugung eines Lichtvorhanges |
| US5004311A (en) * | 1989-10-27 | 1991-04-02 | Sri International | Beam scanning method and apparatus |
| EP0806691A2 (en) * | 1996-05-02 | 1997-11-12 | Xerox Corporation | Achromatic, telecentric f-theta scan lens optical system |
| US5812298A (en) * | 1994-11-24 | 1998-09-22 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Aspherical reflector and light beam scanning optical system using the same |
-
1981
- 1981-10-12 JP JP56162499A patent/JPS5863915A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS613006A (ja) * | 1984-06-18 | 1986-01-09 | Koden Kogyo Kk | 平面形状測定装置 |
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| JPS62275216A (ja) * | 1986-05-23 | 1987-11-30 | Hitachi Ltd | 光走査装置 |
| JPH0727125B2 (ja) * | 1986-05-23 | 1995-03-29 | 株式会社日立製作所 | 光走査装置 |
| JPS6426817A (en) * | 1987-07-23 | 1989-01-30 | Hitachi Ltd | Optical scanning device |
| EP0408920A2 (de) * | 1989-07-18 | 1991-01-23 | Erwin Sick GmbH Optik-Elektronik | Vorrichtung zur Erzeugung eines Lichtvorhanges |
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| EP0806691A3 (en) * | 1996-05-02 | 2000-05-24 | Xerox Corporation | Achromatic, telecentric f-theta scan lens optical system |
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