JPS5862817A - 磁気抵抗効果型磁気ヘツド及びその製造方法 - Google Patents
磁気抵抗効果型磁気ヘツド及びその製造方法Info
- Publication number
- JPS5862817A JPS5862817A JP16027281A JP16027281A JPS5862817A JP S5862817 A JPS5862817 A JP S5862817A JP 16027281 A JP16027281 A JP 16027281A JP 16027281 A JP16027281 A JP 16027281A JP S5862817 A JPS5862817 A JP S5862817A
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- Japan
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- electrode part
- thin film
- electrode
- magnetic head
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
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- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
闇の
本発明は磁気抵抗効果型磁気ヘッド及イ造方法に係り、
更に詳しくは磁気抵抗効果素子と電極部との電気的な接
続状態の信頼性を向上させると共に生産性を向上させ、
出力のばらつきを減少させることができるように構成し
た磁気抵抗効果型磁気ヘッド及びその製造方法に関する
ものである。
更に詳しくは磁気抵抗効果素子と電極部との電気的な接
続状態の信頼性を向上させると共に生産性を向上させ、
出力のばらつきを減少させることができるように構成し
た磁気抵抗効果型磁気ヘッド及びその製造方法に関する
ものである。
磁気抵抗効果型磁気ヘッド（以下ＭＲヘッドという）は
ガラス等の基板上に磁気抵抗効果素子（以下ＭＲ素子と
いう）の薄膜を蒸着等の手段で堆積し、エツチング工程
を経てＭＲ素子の感知部分と、これよりの大面積の電極
部分とを１つの工程で形成することにより生産性の向上
を計っている。
ガラス等の基板上に磁気抵抗効果素子（以下ＭＲ素子と
いう）の薄膜を蒸着等の手段で堆積し、エツチング工程
を経てＭＲ素子の感知部分と、これよりの大面積の電極
部分とを１つの工程で形成することにより生産性の向上
を計っている。
ところが、感知部分と電極部とを電気的に接続するため
に両者間をボンディング装置により自動的にワイヤポン
ドをする場合（二は、ＭＲ素子の感知部分の膜厚が一般
に４００〜７００人と極めて薄く、不可能であった。
に両者間をボンディング装置により自動的にワイヤポン
ドをする場合（二は、ＭＲ素子の感知部分の膜厚が一般
に４００〜７００人と極めて薄く、不可能であった。
そこで、電極部にアルミニウム等の金属薄膜をマスク蒸
着等の手段で形成していたが、このような方法を採用す
ると電極部分の位置合わせは困難で、歩留りが悪く、工
程数も増加し、生産性が悪くなる。
着等の手段で形成していたが、このような方法を採用す
ると電極部分の位置合わせは困難で、歩留りが悪く、工
程数も増加し、生産性が悪くなる。
このような欠点を改良するものとして基板面に厚膜印刷
等の手段で電極を形成し、ＭＲ素子薄膜を電極と重ねた
状態で薄膜堆積法により形成し、ワイヤボンディングを
省こうとする方法が提案された。
等の手段で電極を形成し、ＭＲ素子薄膜を電極と重ねた
状態で薄膜堆積法により形成し、ワイヤボンディングを
省こうとする方法が提案された。
このような方法を採用するとＭＲ素子薄膜を形成する際
（−電極の厚みによる段差があり、この段差部が接触の
信頼性を失なわせ、歩留りの悪い製品となってしまう。
（−電極の厚みによる段差があり、この段差部が接触の
信頼性を失なわせ、歩留りの悪い製品となってしまう。
そこで、電極の厚みが１０００λ前後と薄いものとし、
これを形成した後、電極と一部が重なるようにしてＭＲ
素子を蒸着により形成する方法が提案され、段差部分の
電気的接触の信頼性を得ることができるよう（二なった
。
これを形成した後、電極と一部が重なるようにしてＭＲ
素子を蒸着により形成する方法が提案され、段差部分の
電気的接触の信頼性を得ることができるよう（二なった
。
しかし、この方法を採用しても蒸着工程が増加し、マス
ク蒸着等の困難が伴い□、コスト高となる欠点があった
。
ク蒸着等の困難が伴い□、コスト高となる欠点があった
。
更に、わずかな面積を有する１個ずつの基板に対しＭＲ
素子薄膜と、電極部とを形成するには小さな基板１個ず
つに対して各部分を形成しなければならず、生産性が悪
く、コスト高になるという欠点があった。
素子薄膜と、電極部とを形成するには小さな基板１個ず
つに対して各部分を形成しなければならず、生産性が悪
く、コスト高になるという欠点があった。
本発明は以上のような従来の欠点を除去するためになさ
れたものでＭＲ素子と電極部分との電気的な接続を確実
にし、製造工程を簡略化し、生産性の向上を計ったＭＲ
〜ツド及びその製造方法を提供することを目的としてい
る。
れたものでＭＲ素子と電極部分との電気的な接続を確実
にし、製造工程を簡略化し、生産性の向上を計ったＭＲ
〜ツド及びその製造方法を提供することを目的としてい
る。
本発明においては上記の目的を達成するために電極部分
の表面が基板の表面と同一平面となるように基板に埋設
し、この基板上にＭＲ素子薄膜を薄膜堆積法により形成
し、エツチングによりＭＲ素子の感知部分を残した構造
を採用した。
の表面が基板の表面と同一平面となるように基板に埋設
し、この基板上にＭＲ素子薄膜を薄膜堆積法により形成
し、エツチングによりＭＲ素子の感知部分を残した構造
を採用した。
以下、図面に示す実施例（二基づいて本発明の詳細な説
明する。
明する。
第１６図〜第４図は本発明の一実施例を説明するもので
、図において符警１１で示すものは基板で、ガラス板或
いはアルミナ板等を用いている。この基板１１には例え
ば第１図に示すように十字状（二交羨する割り線１２を
形成し全く同一の大きさの４個の独立した基板１１ａを
画成しである。
、図において符警１１で示すものは基板で、ガラス板或
いはアルミナ板等を用いている。この基板１１には例え
ば第１図に示すように十字状（二交羨する割り線１２を
形成し全く同一の大きさの４個の独立した基板１１ａを
画成しである。
このような基板１１を用いて、まず１０００λ程度の厚
みで電極部１３を左右１対ずつ形成する。
みで電極部１３を左右１対ずつ形成する。
各電極部１３の一端には後述するＭＲ素子の感知部分と
接続される突出部１３ａが形成されている。
接続される突出部１３ａが形成されている。
これら電極部１３は第２９図の拡大断面図に示すように
基板１１の表面と各電櫨部１３の表面とが同一表面とな
り段差が生じないように工夫されている。この電極部１
３の表面を第２図（＝符号２１で丞す。
基板１１の表面と各電櫨部１３の表面とが同一表面とな
り段差が生じないように工夫されている。この電極部１
３の表面を第２図（＝符号２１で丞す。
このようにして電極部１３を形成した後、電極部１３に
重ねてＭＲ素子薄膜を薄膜堆積法により形成しエツチン
グにより第３図に示すようにＭＲ素子の感知部分３１を
形成する。この時、電極部分１３と感知部分３１とは電
極の突出部１３ａを介して上下に重ねられた状態で形成
される。
重ねてＭＲ素子薄膜を薄膜堆積法により形成しエツチン
グにより第３図に示すようにＭＲ素子の感知部分３１を
形成する。この時、電極部分１３と感知部分３１とは電
極の突出部１３ａを介して上下に重ねられた状態で形成
される。
このようにして得られた基板１１を割り線１２のｆｌか
ら分割して各部分を独立させ、独立した基板１１ａとし
、第４図に示すようにＭＲヘッドの素子として用いる。
ら分割して各部分を独立させ、独立した基板１１ａとし
、第４図に示すようにＭＲヘッドの素子として用いる。
＠４図において符号４１は磁気テープを示し符号ｄはＭ
Ｒ素子の感知部分３１と磁気テープとの間の間隔を示す
。
Ｒ素子の感知部分３１と磁気テープとの間の間隔を示す
。
このようにして得られた基板は電極部分１３の表面が基
板の表面と同一平面内にあり、ＭＲ素子薄膜の重ね合わ
せ部分に段差がなぐ、電気的な接続を確実に行なえ、断
線等の発生がなく、信頼性が向上する。又、製造工程が
簡略化されると共に、複数個の基板を同時に形成し、割
り線の部分から切断し独立した個々の基板を得る構造を
採用しているため、生産性が向上する。更に、ＭＲ素子
の感知部分と磁気記録媒体との間隔は割り線の精度で決
定されるため、その精度を一定に保てば前述した間隔を
一定に保つことが可能となり、素子間の出力のばらつき
を減少させることも可能となる。
板の表面と同一平面内にあり、ＭＲ素子薄膜の重ね合わ
せ部分に段差がなぐ、電気的な接続を確実に行なえ、断
線等の発生がなく、信頼性が向上する。又、製造工程が
簡略化されると共に、複数個の基板を同時に形成し、割
り線の部分から切断し独立した個々の基板を得る構造を
採用しているため、生産性が向上する。更に、ＭＲ素子
の感知部分と磁気記録媒体との間隔は割り線の精度で決
定されるため、その精度を一定に保てば前述した間隔を
一定に保つことが可能となり、素子間の出力のばらつき
を減少させることも可能となる。
以上の説明から明らかなように本発明によれば基板上に
電極部の表面と基板の表面と同一になる状態で電極を埋
設し、これらの電極に重ねてＭＲ素子の感知部分を形成
した構造を採用しているため、両者の接続部に段差がな
く確実な電気的接続を保つことができ、信頼性が向上す
ると共に、割り線な設けることにより同時に複数個の基
板を得ることができ生産性が向上する。
電極部の表面と基板の表面と同一になる状態で電極を埋
設し、これらの電極に重ねてＭＲ素子の感知部分を形成
した構造を採用しているため、両者の接続部に段差がな
く確実な電気的接続を保つことができ、信頼性が向上す
ると共に、割り線な設けることにより同時に複数個の基
板を得ることができ生産性が向上する。
図は本発明の一実施例を説明するもので、第１図は電極
を形成した状態の基板の平面図、第２図は第１図のＡ−
Ｒに沿ったａ部拡大断面図、第３図は素子の感知部分を
形成した状態の平面図、第４図は使用状態を説明する斜
視図である。 １１・・・基板 １２・・・割り線１３・
・・電極部 ３１・・・感知部分。
を形成した状態の基板の平面図、第２図は第１図のＡ−
Ｒに沿ったａ部拡大断面図、第３図は素子の感知部分を
形成した状態の平面図、第４図は使用状態を説明する斜
視図である。 １１・・・基板 １２・・・割り線１３・
・・電極部 ３１・・・感知部分。
Claims (2)
- （１） 基板表面に金属電極部をその表面が基板表面
とほぼ同一平面となるように埋設し、基板表面に磁気抵
抗効果素子薄膜を前記金属電極部と接続された状態で所
定のパターンに堆積したことを特徴とする磁気抵抗効果
型磁気ヘッド。 - （２）基板表面に金属電極部をその表面が基板表面とほ
ぼ同一平面となるように埋設し、基板表面に磁気抵抗効
果素子薄膜を前記金属電極部と接続された状態で所定の
パターンに堆積した複数組の金属電極部と磁気抵抗効果
素子薄膜とを形成し、各紐間には分割用の割り線を形成
し、該割り線に沿って切断し、複数の磁気ヘッドを形成
したことを特徴とする磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16027281A JPS5862817A (ja) | 1981-10-09 | 1981-10-09 | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16027281A JPS5862817A (ja) | 1981-10-09 | 1981-10-09 | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5862817A true JPS5862817A (ja) | 1983-04-14 |
Family
ID=15711406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16027281A Pending JPS5862817A (ja) | 1981-10-09 | 1981-10-09 | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5862817A (ja) |
-
1981
- 1981-10-09 JP JP16027281A patent/JPS5862817A/ja active Pending
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