JPS5860433A - フオ−カス誤差検出装置 - Google Patents
フオ−カス誤差検出装置Info
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- JPS5860433A JPS5860433A JP8693481A JP8693481A JPS5860433A JP S5860433 A JPS5860433 A JP S5860433A JP 8693481 A JP8693481 A JP 8693481A JP 8693481 A JP8693481 A JP 8693481A JP S5860433 A JPS5860433 A JP S5860433A
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- JP
- Japan
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- light
- plane mirror
- focus error
- lens
- split
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B7/0908—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for focusing only
Landscapes
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光デイスク装置において、光源から放出され
た光束がレンズ等の手段によって、元ディスクの情報面
上に正しく集光したかどうかを検出するためのフォーカ
ス誤ρ検出装置に関する。
た光束がレンズ等の手段によって、元ディスクの情報面
上に正しく集光したかどうかを検出するためのフォーカ
ス誤ρ検出装置に関する。
ビデオ情報などを高密度で大量に記録する手段として、
ビデオディスクが実用化の段階に入った。
ビデオディスクが実用化の段階に入った。
ビデオディスクＶＣは大別して静電容量方式と光方式が
あるが、情報記録媒体としてのディスクと、情報再生手
段であるビックアノブとが非接触である光方式のビデオ
ディスクは，記碌情報への迅速なランダムアクセスかり
能であること，寿命が長いこと，などの特性から、静止
。
あるが、情報記録媒体としてのディスクと、情報再生手
段であるビックアノブとが非接触である光方式のビデオ
ディスクは，記碌情報への迅速なランダムアクセスかり
能であること，寿命が長いこと，などの特性から、静止
。
スロー、サーチなどの特殊再生が容易であるという利点
がある。
がある。
一方、光デイスク装置においては，その再生に当って，
レーヂー等の光源からの光束を光学系により微小スポッ
トと［７てディスクの情報面上に常に正しくフォーカス
されることが必蛯であり、そのためのフォーカス誤差検
出装置が備えらｉｔ−Ｃいる。
レーヂー等の光源からの光束を光学系により微小スポッ
トと［７てディスクの情報面上に常に正しくフォーカス
されることが必蛯であり、そのためのフォーカス誤差検
出装置が備えらｉｔ−Ｃいる。
第１図は，従来のこの種フォーカス誤差検出装置の一例
を示す概略図で，１けレーザー等の光源、２けレンズ、
６はディスクの情報面、４けビームスプリッタ、５は円
筒レンズ、６は４分割受光素子である。
を示す概略図で，１けレーザー等の光源、２けレンズ、
６はディスクの情報面、４けビームスプリッタ、５は円
筒レンズ、６は４分割受光素子である。
図において、光源１からの光束はレンズ２によって偵４
而３上に集光され、情報面５からの反射光はレンズ２を
通りビームスプリッタ４で反射されて同筒レンズ５Ｖｒ
−入射し、４分割受光素子６で受光される。
而３上に集光され、情報面５からの反射光はレンズ２を
通りビームスプリッタ４で反射されて同筒レンズ５Ｖｒ
−入射し、４分割受光素子６で受光される。
第２図〜第７図は、第１図の構成におけるフォーカス誤
差検出の原理を説明する図で、第２図、第４図および第
６図は、そ７′Ｌぞれ、レンズ２と情報面３との距りが
ジャストフォーカス時の位置から離れた場合、ジャスト
フォーカス時およびジャスヒフ１−カス時の位置より近
づいた場合、の４分割受光素子６への反射光の入射状態
を示し、第３図、第５図および第７図は。
差検出の原理を説明する図で、第２図、第４図および第
６図は、そ７′Ｌぞれ、レンズ２と情報面３との距りが
ジャストフォーカス時の位置から離れた場合、ジャスト
フォーカス時およびジャスヒフ１−カス時の位置より近
づいた場合、の４分割受光素子６への反射光の入射状態
を示し、第３図、第５図および第７図は。
そｙｔそれ、第２図、第４図および第６図に対応する４
分割受光素子６を構成する各受光素子６ａ６６ 、６ｃ
、 ６ｒＬへの入射光スポットの状態を示す図である。
分割受光素子６を構成する各受光素子６ａ６６ 、６ｃ
、 ６ｒＬへの入射光スポットの状態を示す図である。
光源からの光束が、情報面３上に正しく集光された状態
、すなわちジャストフォーカス時は第４図と第５図に示
すごとく、光スボツ）は４分割受光素子６の中央に真円
となるように形成され、各受光素子６ａ、６４．６ｏ、
６ｄに対して均等ＶＣ分刷さｉｔて、それらの各出力
信号（６ａ） 、 （６ｂ）＜６ｃ） 、Ｃ６ｄ） ｉ
’：ｔ 。
、すなわちジャストフォーカス時は第４図と第５図に示
すごとく、光スボツ）は４分割受光素子６の中央に真円
となるように形成され、各受光素子６ａ、６４．６ｏ、
６ｄに対して均等ＶＣ分刷さｉｔて、それらの各出力
信号（６ａ） 、 （６ｂ）＜６ｃ） 、Ｃ６ｄ） ｉ
’：ｔ 。
（６ａ） ＝ （６Ａ）＝ （６ｃ ）＝ （６ｃ＋
）と７よるように構成されている。
）と７よるように構成されている。
また、ジャストフォーカス時以外の場合は、レンズ２と
情報面ろとの間の距りの変動に応じて１円筒レンズ５−
＼の入射光束の収束位置が変化し、４分割受光素子６上
の光スポットの形が、真円から渭円状に変化する。
情報面ろとの間の距りの変動に応じて１円筒レンズ５−
＼の入射光束の収束位置が変化し、４分割受光素子６上
の光スポットの形が、真円から渭円状に変化する。
すなわち、レンズ２と情報面３との間の距りが離れ７ヒ
場合は、第２図と第６図に示したように、縦長の楕円ス
ボ２トとなり、また逆にこの距りが近づいた場合には、
第６図と第７図に示したように、横長の楕円スポットと
なる。そして、各受光素子の出力信号（６α）、（６ｂ
）、（６０）、（６ｄ）を （（６ａ ）＋Ｃ６ｃ））−（（ＳＡ）十（６ｄ））の
どとく演算して、これをフォーカス誤差信号とする。
場合は、第２図と第６図に示したように、縦長の楕円ス
ボ２トとなり、また逆にこの距りが近づいた場合には、
第６図と第７図に示したように、横長の楕円スポットと
なる。そして、各受光素子の出力信号（６α）、（６ｂ
）、（６０）、（６ｄ）を （（６ａ ）＋Ｃ６ｃ））−（（ＳＡ）十（６ｄ））の
どとく演算して、これをフォーカス誤差信号とする。
第８図は、第１図における円筒レンズ５に替えて、光軸
に関して光束を２分割する光学紫子としてウェッジを用
いた従来例の概略図である。
に関して光束を２分割する光学紫子としてウェッジを用
いた従来例の概略図である。
第８図において、１はレーザー等の光源、２はレンズ、
５はディスクの情報面、４はビームスブＩＪ ７り、７
はウェッジ、８け４分割受光素子である。また、第９図
、第１１図および第１３図は、それぞれレンズ２と１青
報而３との距りが離れた場合、ジャストフォーカス時お
よびレンズ２と情報面３との距りが近づいた場合、のウ
ェッジ７による４分割受光素子８への光束の入射状態を
示す図、第１０図、第１２図および第１４図はそれぞれ
、第９１菌、第１１図および第１３図に対応する４分割
受光素子８Ｆへの光スボツｌ−の状態を示す図である。
５はディスクの情報面、４はビームスブＩＪ ７り、７
はウェッジ、８け４分割受光素子である。また、第９図
、第１１図および第１３図は、それぞれレンズ２と１青
報而３との距りが離れた場合、ジャストフォーカス時お
よびレンズ２と情報面３との距りが近づいた場合、のウ
ェッジ７による４分割受光素子８への光束の入射状態を
示す図、第１０図、第１２図および第１４図はそれぞれ
、第９１菌、第１１図および第１３図に対応する４分割
受光素子８Ｆへの光スボツｌ−の状態を示す図である。
この例ｖｒ−ｔ？ｈでは、４分割受光素子は、第１図の
例が円周方向に４分割されているのに対し、縦方向に直
列に４分割されている。
例が円周方向に４分割されているのに対し、縦方向に直
列に４分割されている。
光源１からの光束が、レンズ２により情報面３上に正し
く集光されている場合、すなわちジャストフォーカス時
は、第１１園と第１２図に示したように、ウェッジ７へ
の入射光束は、ウェッジの頂点で、光軸に関して２分割
され、各分割受光素子Ｂａ、８ｂ、Ｂｃ、８ｄ Ｖｃ均
等Ｖこスポットが形成されて、谷分割受光素子８ａ、８
ｂ、Ｂｃ、８ｄの各出力信号（８ａ） 、 （８Ａ）、
（８ｃ）、（８ｄ）は。
く集光されている場合、すなわちジャストフォーカス時
は、第１１園と第１２図に示したように、ウェッジ７へ
の入射光束は、ウェッジの頂点で、光軸に関して２分割
され、各分割受光素子Ｂａ、８ｂ、Ｂｃ、８ｄ Ｖｃ均
等Ｖこスポットが形成されて、谷分割受光素子８ａ、８
ｂ、Ｂｃ、８ｄの各出力信号（８ａ） 、 （８Ａ）、
（８ｃ）、（８ｄ）は。
（８ａ） ＝ （８Ａ） ＝ （８ｃ） ＝ （ａｄ）
となるごとく構成されている。
となるごとく構成されている。
また、ジャストフォーカス時以外には、レンズ２と情報
面３との距りの変動に応じて、ウェッジ７への入射光束
の収束位置が変化して、ウェッジ７からの分割された各
光束は”、４分割受光素子８の上方向また下方向に移動
する。すなわち、レンズ２と情報面３との距りが離れた
場合は、第９図と第１０図のごとく、４分割受光素子８
の中央寄りに集まるように上下方向にスポ７）を形成し
、逆に上記距りが近づいた場合は第１５図と第１４図の
ごとく４分割受光素子８の端縁寄りに離散するように」
−１方向にスポットを形成する。
面３との距りの変動に応じて、ウェッジ７への入射光束
の収束位置が変化して、ウェッジ７からの分割された各
光束は”、４分割受光素子８の上方向また下方向に移動
する。すなわち、レンズ２と情報面３との距りが離れた
場合は、第９図と第１０図のごとく、４分割受光素子８
の中央寄りに集まるように上下方向にスポ７）を形成し
、逆に上記距りが近づいた場合は第１５図と第１４図の
ごとく４分割受光素子８の端縁寄りに離散するように」
−１方向にスポットを形成する。
したがって、各受光素子５ａ、 ８Ａ、 ８・、８ｄの
出力信号（８σ）、（８ｂ）、（８０）、（８Ｊ）を、
（（ｓａ）＋ （８，） ） −（（８ａ）＋（ｅ、＜
））のどとく演算して、これをフォーカス誤差信号とす
るものである。
出力信号（８σ）、（８ｂ）、（８０）、（８Ｊ）を、
（（ｓａ）＋ （８，） ） −（（８ａ）＋（ｅ、＜
））のどとく演算して、これをフォーカス誤差信号とす
るものである。
以上説５明した従来技術は、円筒レンズやウェッジのよ
う１１．高価な丸字素子を必」〃とすることや、これら
の光学素子ケ受光素子の仕様に合わせて設計しなけ１ｔ
ｔｒｓｔｒらないという欠点があった。
う１１．高価な丸字素子を必」〃とすることや、これら
の光学素子ケ受光素子の仕様に合わせて設計しなけ１ｔ
ｔｒｓｔｒらないという欠点があった。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠ルを解決し、簡
単な光字素子を用いて、かつ受光素子の仕様に合わせて
設Ｈ１できろ′ようにした光デイスク装置のフォーカス
誤差検出装置を提供するにある。
単な光字素子を用いて、かつ受光素子の仕様に合わせて
設Ｈ１できろ′ようにした光デイスク装置のフォーカス
誤差検出装置を提供するにある。
本発明は、上記目的を達成するために、受光素子への入
射光束を２分割する機能を、安価に入手できる平面鏡を
光軸に対して傾斜配置すると共に、入射光束の収束位置
と平面鏡の端縁を一致させることにより得るようにした
ことを特数とする。
射光束を２分割する機能を、安価に入手できる平面鏡を
光軸に対して傾斜配置すると共に、入射光束の収束位置
と平面鏡の端縁を一致させることにより得るようにした
ことを特数とする。
以下、第１５図〜第２１図により本発明を説明する。
第１５図は１本発明によるフォーカス誤差検出装置の一
実施例を示す概略構成図で、１はレーザー等ｏｉ源、２
はレンズ、３は光ディスクの１情報向、４にヒームスブ
ＩＪ ツタ、９は平面鏡、１０．１１は２分割受光素子
である。
実施例を示す概略構成図で、１はレーザー等ｏｉ源、２
はレンズ、３は光ディスクの１情報向、４にヒームスブ
ＩＪ ツタ、９は平面鏡、１０．１１は２分割受光素子
である。
また、第１６図、第１８図および第２０図は、それぞれ
レンズ２と情報面３との距りがジャストフォーカス時の
位置より離れた場合、ジャストフォーカス時、およびジ
ャストフォーカス時より近づいた場合の平面鏡９による
２分割受光素子１０．１１への光束の入射状態を示す図
で、第１７図、第１９回灯・よび第２１図は、それぞれ
、第１６図第１８図および第２０図に対応する２分割受
光素子１０．１１への光スポットの状態を示す図である
。
レンズ２と情報面３との距りがジャストフォーカス時の
位置より離れた場合、ジャストフォーカス時、およびジ
ャストフォーカス時より近づいた場合の平面鏡９による
２分割受光素子１０．１１への光束の入射状態を示す図
で、第１７図、第１９回灯・よび第２１図は、それぞれ
、第１６図第１８図および第２０図に対応する２分割受
光素子１０．１１への光スポットの状態を示す図である
。
なお、１０ａ−１０Ａおよび１１ａ、 １１ｂは、２分
割受光素子１０． Ｎの各分ｄｌＪされた受光素子であ
る。
割受光素子１０． Ｎの各分ｄｌＪされた受光素子であ
る。
第１５図Ｖこおいて、光源１からの光束は、レンズ２に
より情報面５ ＶＣ集光され、 ・ｒ＊報而面らの反射
光束は、ビームスプリッタ４ Ｌｃより平面嗅９の端縁
を介して２分割受光素子１０．１１に入射する。
より情報面５ ＶＣ集光され、 ・ｒ＊報而面らの反射
光束は、ビームスプリッタ４ Ｌｃより平面嗅９の端縁
を介して２分割受光素子１０．１１に入射する。
平面鏡９は、光軸に対して４５°傾斜して配置され、そ
の端縁が光軸上に一致し、かつジャストフォーカス時に
は、ビームスプリッタ４からの光束の収束位置が平面鏡
の端縁と一致するごとく設置される。平面鏡９の端縁を
通過した一方の光束は、２分割受光素子１１へ、また平
面鏡？で反射された他方の光束は、２分割受光素子１０
へ入射するように構成される。
の端縁が光軸上に一致し、かつジャストフォーカス時に
は、ビームスプリッタ４からの光束の収束位置が平面鏡
の端縁と一致するごとく設置される。平面鏡９の端縁を
通過した一方の光束は、２分割受光素子１１へ、また平
面鏡？で反射された他方の光束は、２分割受光素子１０
へ入射するように構成される。
上記の構成において、光ＦＡ１からの光束がレンズ２１
／こより情報面３上に正しく集光されている時、すなわ
ちジャストフォ−カス時は、第１８図と第１９図に示し
たように、平面鏡１９に入射した光束は、２分割受光素
子１０と１１に均等に入射され、それぞれの２分割受光
素子１０および１１の各受光素子１０ａ、１０Ａおよび
１１ａ、 １１Ａに対して等しくスポットが形成される
。このとき各受光素子１０ａ 、 １０Ａおよび１１（
１，１１Ａの出力信号（１０ａ）、（ＩＯＡ）および（
１１ａ） 、 （１１Ａ）は、（１０ａ’）＝ （１
０Ａ）＝ （１１α）＝ （１１Ａ）となるように構
成される。
／こより情報面３上に正しく集光されている時、すなわ
ちジャストフォ−カス時は、第１８図と第１９図に示し
たように、平面鏡１９に入射した光束は、２分割受光素
子１０と１１に均等に入射され、それぞれの２分割受光
素子１０および１１の各受光素子１０ａ、１０Ａおよび
１１ａ、 １１Ａに対して等しくスポットが形成される
。このとき各受光素子１０ａ 、 １０Ａおよび１１（
１，１１Ａの出力信号（１０ａ）、（ＩＯＡ）および（
１１ａ） 、 （１１Ａ）は、（１０ａ’）＝ （１
０Ａ）＝ （１１α）＝ （１１Ａ）となるように構
成される。
一方、ジャストフォーカス時以外の場合にはレンズ２と
情報面３との間の距りの変動ＶＣ応じｌて、平面鏡９の
端縁−＼の入射光束の収束位置が変化し、千面鋭９から
の光束は、２分割受光素子１０，１１０各受光素子１０
ａ、ＩＯＡおよび１１ａ、１１Ａの分割境界ｌ！ｉ！を
はさんで移動する。
情報面３との間の距りの変動ＶＣ応じｌて、平面鏡９の
端縁−＼の入射光束の収束位置が変化し、千面鋭９から
の光束は、２分割受光素子１０，１１０各受光素子１０
ａ、ＩＯＡおよび１１ａ、１１Ａの分割境界ｌ！ｉ！を
はさんで移動する。
すなわち、レンズ２と情報面３との距りがジャストフォ
ーカス時の位置より離れた場合、第１６図と第１７図に
示したように、２分割受光素子１０．１１の各分割受光
素子１０ａ、 １１Ａ方向に光スポットが移動して、逆
に上記距りが近づいた場合は、第２０図と第２１図に示
したように１分割受光素子１０Ａ、ｌｉａ方向に移動す
る。
ーカス時の位置より離れた場合、第１６図と第１７図に
示したように、２分割受光素子１０．１１の各分割受光
素子１０ａ、 １１Ａ方向に光スポットが移動して、逆
に上記距りが近づいた場合は、第２０図と第２１図に示
したように１分割受光素子１０Ａ、ｌｉａ方向に移動す
る。
このとき、各分割受光素子１０ａ、１０Ａ、 ｌｉａ、
１１ｂの各出力信号（１０ｉ）、（ＩＩＩｂ） 、（１
１ａ） 、 （１１Ａ）を。
１１ｂの各出力信号（１０ｉ）、（ＩＩＩｂ） 、（１
１ａ） 、 （１１Ａ）を。
（（１０α）＋（１０Ａ）ｌ （（１１ｙ）＋（’Ｉ
ＩＡ） ）のどとく演算することに」：す、フォーカス
誤差検出４８号を得る。
ＩＡ） ）のどとく演算することに」：す、フォーカス
誤差検出４８号を得る。
上記実施例においては、平面鏡９を光軸に対して４５′
傾斜させているが、この角度は任意であり、分割光束を
接近させて４分割受光素子を使用するように構成しても
よい。
傾斜させているが、この角度は任意であり、分割光束を
接近させて４分割受光素子を使用するように構成しても
よい。
以上説明したように１本発明によるフォーカス誤差検出
装置は、情報部３で反射した光束をレンズ２により集光
させ、その収束点と光軸に対して傾斜配置１７た平面鏡
９の端縁を一致させ平面鏡９で反射した一方の光束と、
端縁を通過した他方の光束とを、それぞれ２分割受光素
子１０．１１に入射させ、それぞれの２分割受光素子１
０．１１の各分割受光素子の差信号により、°フォーカ
ス誤差を検出するものであるので、従来のフォーカス誤
差検出装置に用いられている円筒レンズやウェッジのよ
うな高価な光学素子を必要とせず、また、平面鏡９の配
置角度を任意に変えて、２分割された光束に互いに接近
させ。
装置は、情報部３で反射した光束をレンズ２により集光
させ、その収束点と光軸に対して傾斜配置１７た平面鏡
９の端縁を一致させ平面鏡９で反射した一方の光束と、
端縁を通過した他方の光束とを、それぞれ２分割受光素
子１０．１１に入射させ、それぞれの２分割受光素子１
０．１１の各分割受光素子の差信号により、°フォーカ
ス誤差を検出するものであるので、従来のフォーカス誤
差検出装置に用いられている円筒レンズやウェッジのよ
うな高価な光学素子を必要とせず、また、平面鏡９の配
置角度を任意に変えて、２分割された光束に互いに接近
させ。
あるいは遠ざけて受光素子１０と１１の間隔を自由に選
択することができる。また、受光素子１０と１１の間隔
が変更になっても平面鏡９の配置角ノ￥Ｌを変えるのみ
で、円筒レンズやウェッジを用いた場合のような設計変
更を必要としない。
択することができる。また、受光素子１０と１１の間隔
が変更になっても平面鏡９の配置角ノ￥Ｌを変えるのみ
で、円筒レンズやウェッジを用いた場合のような設計変
更を必要としない。
第１図１は従来技術によるフォーカス誤差検出装置の１
例を説明する構成図、第２図〜第７図は第１図ＶＣ示し
た装置の動作説明図、第８図は従来のフォーカス誤差検
出装置の他の例ｆ説明するための構成図、第９図〜第１
４図は第８図の（動作説明図、第１５図は本発明による
フォーカス誤差検出装置の構成図、第１６図〜第２１図
は第１５図の動作説明図である。 １・・・光源 ２・・・レンズ６・・ｆｆ
報而面 ４・・・ビームスプリッタ９−・・平
面鏡 １０．１１・・２分割受光素子 ２１ 図 〒 ８ 図 ３ ２ ／Ｓ 図 手続補正書（方式） 事件の表示 昭和 ５６年特許願第 ８６９５４ 号発明の名称 フォーカス誤差検出装置 補正をする者 名 伯＋ ４５１０）株式会社 日 立
製 作 所代 表 者 三 １） 勝
茂代 理 人 補正の対象 図面（２６図） 表ゐ未配で示した方の図番ビ矛６図 と訂正する。 、１″／〒 渇ｓ−、ｊＫ、。 ■オ′６（８）・・ ＼ １
例を説明する構成図、第２図〜第７図は第１図ＶＣ示し
た装置の動作説明図、第８図は従来のフォーカス誤差検
出装置の他の例ｆ説明するための構成図、第９図〜第１
４図は第８図の（動作説明図、第１５図は本発明による
フォーカス誤差検出装置の構成図、第１６図〜第２１図
は第１５図の動作説明図である。 １・・・光源 ２・・・レンズ６・・ｆｆ
報而面 ４・・・ビームスプリッタ９−・・平
面鏡 １０．１１・・２分割受光素子 ２１ 図 〒 ８ 図 ３ ２ ／Ｓ 図 手続補正書（方式） 事件の表示 昭和 ５６年特許願第 ８６９５４ 号発明の名称 フォーカス誤差検出装置 補正をする者 名 伯＋ ４５１０）株式会社 日 立
製 作 所代 表 者 三 １） 勝
茂代 理 人 補正の対象 図面（２６図） 表ゐ未配で示した方の図番ビ矛６図 と訂正する。 、１″／〒 渇ｓ−、ｊＫ、。 ■オ′６（８）・・ ＼ １
Claims (1)
- 光源からの光束が光ディスクの情報面上に正しく集光し
ているかどうかを検出する光ディスクのフォーカス誤差
検出装置において、該フォーカス誤差検出装置は、上記
情報面で反射した光源からの光束を収束する光学手段と
、収束された光束の収束位置と該光束の光軸とが一致す
る位置に端縁を配置した傾斜平面鏡と、該平面鏡により
反射された光束と反射されない光束とのそれぞれが入射
する２分割受光素子と、から成り、上記２分割受光素子
を構成する分割受光素子の差信号によりフォーカス誤差
信号を検出することを特徴とするフォーカス誤差検出装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8693481A JPS5860433A (ja) | 1981-06-08 | 1981-06-08 | フオ−カス誤差検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8693481A JPS5860433A (ja) | 1981-06-08 | 1981-06-08 | フオ−カス誤差検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5860433A true JPS5860433A (ja) | 1983-04-09 |
Family
ID=13900691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8693481A Pending JPS5860433A (ja) | 1981-06-08 | 1981-06-08 | フオ−カス誤差検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5860433A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0405507A2 (en) * | 1989-06-28 | 1991-01-02 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Displacement detection system |
| US5251011A (en) * | 1989-06-28 | 1993-10-05 | Dainippon Screen Manufacturing Co., Ltd. | Displacement detection system |
| WO2016100740A1 (en) * | 2014-12-17 | 2016-06-23 | Kla-Tencor Corporation | Line scan knife edge height sensor for semiconductor inspection and metrology |
-
1981
- 1981-06-08 JP JP8693481A patent/JPS5860433A/ja active Pending
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| KR20170096001A (ko) * | 2014-12-17 | 2017-08-23 | 케이엘에이-텐코 코포레이션 | 반도체 검사 및 계측을 위한 라인 주사 나이프 에지 높이 센서 |
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| JP2018506843A (ja) * | 2014-12-17 | 2018-03-08 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | 半導体検査及び度量衡用ラインスキャンナイフエッジ高さセンサ |
| CN114719765A (zh) * | 2014-12-17 | 2022-07-08 | 科磊股份有限公司 | 用于半导体检验及计量的线扫描刀口高度传感器 |
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