JPS5858266A - 無電解めつき浴 - Google Patents
無電解めつき浴Info
- Publication number
- JPS5858266A JPS5858266A JP15570581A JP15570581A JPS5858266A JP S5858266 A JPS5858266 A JP S5858266A JP 15570581 A JP15570581 A JP 15570581A JP 15570581 A JP15570581 A JP 15570581A JP S5858266 A JPS5858266 A JP S5858266A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ions
- plating bath
- cobalt ions
- electroless plating
- malonic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Chemically Coating (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、磁気記録媒体の膜厚方向の磁イしKよりて記
録を行う、いわゆる垂直記録に用いる磁気記録媒体(W
&性展)を作製するめり亀浴に関するものである。
録を行う、いわゆる垂直記録に用いる磁気記録媒体(W
&性展)を作製するめり亀浴に関するものである。
従来、一般の磁気ディスク装置、磁気テープ装置などの
磁気記録装置においては、基板上に形成された磁気記録
媒体にリング!1ilIk気へラドによりて水平方向に
磁化することにより記録を行なりている〇 しかし、水平磁化による記録には記録信号が短波長に々
るに従い、即ち記録密度の増加に従って、媒体内の反磁
界が増大して残留磁化の減衰とH転管生じ、再生出力が
−著しく減少するという欠点が存在する。そこで、この
問題解決のため短波長になる相反磁界が小さくなる性質
をもつ垂直記録方式が提案され、この垂直記録に適した
磁気記録媒体としては、膜厚に@直な方向に磁化容易軸
をもつCo−☆スパッタ膜が提案されている。そして、
この垂直磁化記録方式は従来の水平方向の磁化による記
録方式に比べて高密度記録に優れていることが報告され
ている(特開昭52−134706号公報参照)。とこ
ろでCo−Cr膜をスパッタ法により作製する場合、真
空系内で行うため量産性に問題がある。
磁気記録装置においては、基板上に形成された磁気記録
媒体にリング!1ilIk気へラドによりて水平方向に
磁化することにより記録を行なりている〇 しかし、水平磁化による記録には記録信号が短波長に々
るに従い、即ち記録密度の増加に従って、媒体内の反磁
界が増大して残留磁化の減衰とH転管生じ、再生出力が
−著しく減少するという欠点が存在する。そこで、この
問題解決のため短波長になる相反磁界が小さくなる性質
をもつ垂直記録方式が提案され、この垂直記録に適した
磁気記録媒体としては、膜厚に@直な方向に磁化容易軸
をもつCo−☆スパッタ膜が提案されている。そして、
この垂直磁化記録方式は従来の水平方向の磁化による記
録方式に比べて高密度記録に優れていることが報告され
ている(特開昭52−134706号公報参照)。とこ
ろでCo−Cr膜をスパッタ法により作製する場合、真
空系内で行うため量産性に問題がある。
このためこの様な製造上の問題点を改善して量産性に優
れた無電解めりき法により、膜面に垂直な方向Kil化
容易軸をもつ磁気記録装置を製造する無電解めりき浴が
見い出されている(特願昭56−025833 、 ”
無電解めっき浴1)。
れた無電解めりき法により、膜面に垂直な方向Kil化
容易軸をもつ磁気記録装置を製造する無電解めりき浴が
見い出されている(特願昭56−025833 、 ”
無電解めっき浴1)。
ところが前記無電解めっき浴においてはマンガン濃度が
増加するに従ってα−Q六方晶のC軸(磁化容易軸)が
基板に対して面内方向から垂直方向に変化するが、同時
にめっき膜表面状態の著しい劣化をも伴うという欠点が
あった。
増加するに従ってα−Q六方晶のC軸(磁化容易軸)が
基板に対して面内方向から垂直方向に変化するが、同時
にめっき膜表面状態の著しい劣化をも伴うという欠点が
あった。
本発明の目的は、この問題を改善してめっき膜表面状態
の向上がはかられ、かつより配向性良く膜面に垂直な方
向に磁化容易軸をもつ磁気記録媒体を段進できる無電解
めっき浴を提供することKある。
の向上がはかられ、かつより配向性良く膜面に垂直な方
向に磁化容易軸をもつ磁気記録媒体を段進できる無電解
めっき浴を提供することKある。
本発明による無電解めりき浴は、コバルトイオン、コバ
ルトイオンの還元剤、pH緩衝剤、pH11節剤並びに
コバルトイオンの錯化剤としてのマロン鈑基を含む水溶
液に1マンガンイオンを加えたことを411mとしてお
り、これKより磁気記録媒体の磁化容易軸を膜面に垂直
な方向に向けることができる。
ルトイオンの還元剤、pH緩衝剤、pH11節剤並びに
コバルトイオンの錯化剤としてのマロン鈑基を含む水溶
液に1マンガンイオンを加えたことを411mとしてお
り、これKより磁気記録媒体の磁化容易軸を膜面に垂直
な方向に向けることができる。
本発明において金属イオンとして用いられるコバルトイ
オン、マンガンイオンとしては、コ酸塩などの可溶性塩
を無電解めっき浴中に溶解すること和よフて供給される
。コバルトイオンの濃度は、 0.002〜1mol/
lの範囲が用いられるが、好ましく u 0.001〜
O,15mol/lの範囲である。
オン、マンガンイオンとしては、コ酸塩などの可溶性塩
を無電解めっき浴中に溶解すること和よフて供給される
。コバルトイオンの濃度は、 0.002〜1mol/
lの範囲が用いられるが、好ましく u 0.001〜
O,15mol/lの範囲である。
マンガンイオンの濃度a、 o、ooa〜2mo17’
tの範囲がm1られるが好ましくは04)02〜02m
o l/lの範囲である。
tの範囲がm1られるが好ましくは04)02〜02m
o l/lの範囲である。
還元剤としては次亜りン緻塩が普通に用いられるが、ヒ
ドラジン塩類、ホウ水素化物なども用いることができる
。
ドラジン塩類、ホウ水素化物なども用いることができる
。
pH緩衝剤としてはアンモニウム塩、炭酸塩、有機酸塩
などが使用され、(101〜2mol/lの範囲の濃度
が用いられる。
などが使用され、(101〜2mol/lの範囲の濃度
が用いられる。
pH調節剤としては、pHの上昇にはアンモニア、水酸
化ナトリウムなどのアルカリ用いられ、pHの降下に:
は硫1[s塩酸などの鈑が用いられる。
化ナトリウムなどのアルカリ用いられ、pHの降下に:
は硫1[s塩酸などの鈑が用いられる。
錯化剤としてのマロン酸基は、マロン酸またhマロン酸
の可溶性塩によって供給され、01〜2.5mo 1/
lの範囲の濃度が用いられる。
の可溶性塩によって供給され、01〜2.5mo 1/
lの範囲の濃度が用いられる。
以下、本発F!AKよる無電解めっき浴の特長を比較例
及び実施例により説明よる。
及び実施例により説明よる。
比較例 1゜
エタノール脱脂稜水洗を行った銅基板に下記条件にて活
性化処理及び促進化処理をhした後、下記のめつき浴組
成及びめっき条件にて゛その上にCo −Mrr−P
II (II厚=I11m) を形成した〇活性化処
理条件 H8101B(13立化1tH) aorxy’ム塩酸
320CJt純水620Cftを組成とする活性液に3
分間浸漬するO 促進化処理条件 ADP201(B文化成製) 200Cr7’L純水g
o oct7tを組成とする促進′#LVc3分間浸
漬する。
性化処理及び促進化処理をhした後、下記のめつき浴組
成及びめっき条件にて゛その上にCo −Mrr−P
II (II厚=I11m) を形成した〇活性化処
理条件 H8101B(13立化1tH) aorxy’ム塩酸
320CJt純水620Cftを組成とする活性液に3
分間浸漬するO 促進化処理条件 ADP201(B文化成製) 200Cr7’L純水g
o oct7tを組成とする促進′#LVc3分間浸
漬する。
めっき浴組成
fE[コバルト 0.025mol/を次
亜リン酸ナトリウム 0.20 mol/を硫酸アン
モニウム 0.50 mol/lマロン酸ナトリ
ウム 0.50 mol/lグルコンfix
050 mol/7硫酸17ガ7’
0−0.07mo t/zめりき命件 めっき浴(D pH” ・9.0 (室f)m KてN
1(4QHテpHp4節) めっき浴の温度−85℃ 硫酸マンガンの濃度を0から0.07mol/lまで変
化させて得られたCo−Mn−P Jl[の結晶構造の
変化を明らかにするためx!1回折を行った結果を次表
に示す・表中の数字は同一試料における最大強度の同折
線の強さを1ooとした相対強度を示す〇硫酸マンガン
atが0.02mo 1/を以上に増加するに従りてα
−C六方晶のC軸(磁化容易軸)が基板に対して面内方
向から垂直方向に変化していく様子が窺われる。
亜リン酸ナトリウム 0.20 mol/を硫酸アン
モニウム 0.50 mol/lマロン酸ナトリ
ウム 0.50 mol/lグルコンfix
050 mol/7硫酸17ガ7’
0−0.07mo t/zめりき命件 めっき浴(D pH” ・9.0 (室f)m KてN
1(4QHテpHp4節) めっき浴の温度−85℃ 硫酸マンガンの濃度を0から0.07mol/lまで変
化させて得られたCo−Mn−P Jl[の結晶構造の
変化を明らかにするためx!1回折を行った結果を次表
に示す・表中の数字は同一試料における最大強度の同折
線の強さを1ooとした相対強度を示す〇硫酸マンガン
atが0.02mo 1/を以上に増加するに従りてα
−C六方晶のC軸(磁化容易軸)が基板に対して面内方
向から垂直方向に変化していく様子が窺われる。
めり裏腹の表面状態は硫酸マンガン濃度が増加するに従
って劣化した0硫酸マンガンOmol/lでは鏡面光沢
であるが硫酸マンガン線区増加とともKkt)りき膜は
黒ずみ、硫酸マンガン0.04mol/7、二−デ讐
以上では完全な黒色を呈しメッキ膜の荒れが顕著となっ
た。
って劣化した0硫酸マンガンOmol/lでは鏡面光沢
であるが硫酸マンガン線区増加とともKkt)りき膜は
黒ずみ、硫酸マンガン0.04mol/7、二−デ讐
以上では完全な黒色を呈しメッキ膜の荒れが顕著となっ
た。
実施例 1゜
比較例1.と同様にしてCo−Mn−P II (膜厚
=1#m)のめりきを行りたが、めりき浴として下記の
組成を用いた0 めっき浴組成 硫酸コ/(ル) 0.025mo l/z次
亜リン酸ナトリウム 0.20 mol/1itsアン
モニウム 0.50 mol/lマロン酸ナトリウ
ム 0.50 mol/を硫1l−Z7ガ7
0−0.05 mol/lさせて得られたCo−MnP
膜のX線回折結果を次表に示す◎ 硫酸マンガン濃度が増加するに従りてα−C六方晶のC
軸が基板に対して面内方向から垂直方向に変化している
。比較例1では(ioo>及び(101)の相対強度が
0となり十分に垂直配向した状態を与える硫酸マンガン
II II u 0.05mo 1/zであるが、本実
施例でFlo、03mo t、’z において達せられ
配向性の改善が認められた。
=1#m)のめりきを行りたが、めりき浴として下記の
組成を用いた0 めっき浴組成 硫酸コ/(ル) 0.025mo l/z次
亜リン酸ナトリウム 0.20 mol/1itsアン
モニウム 0.50 mol/lマロン酸ナトリウ
ム 0.50 mol/を硫1l−Z7ガ7
0−0.05 mol/lさせて得られたCo−MnP
膜のX線回折結果を次表に示す◎ 硫酸マンガン濃度が増加するに従りてα−C六方晶のC
軸が基板に対して面内方向から垂直方向に変化している
。比較例1では(ioo>及び(101)の相対強度が
0となり十分に垂直配向した状態を与える硫酸マンガン
II II u 0.05mo 1/zであるが、本実
施例でFlo、03mo t、’z において達せられ
配向性の改善が認められた。
めっき展の表向状1mは、比較例1の場合と興なり硫酸
マンガン線区の増加による劣化は認められなかった0良
好な垂直配向を示す硫酸マンガン濃度0.03〜0.0
5rno 1/z においても鏡面光沢を保持した・ 比較例 2゜ 比較例1と同様の手順で、下記のめつき浴組成にてCo
−Mn−P 1M (aM= 1 p m )を形成し
た。
マンガン線区の増加による劣化は認められなかった0良
好な垂直配向を示す硫酸マンガン濃度0.03〜0.0
5rno 1/z においても鏡面光沢を保持した・ 比較例 2゜ 比較例1と同様の手順で、下記のめつき浴組成にてCo
−Mn−P 1M (aM= 1 p m )を形成し
た。
めりき浴組成
硫酸コバルト 0.05mol/を次亜リン
酸ナトリウム 0.20mol/l&&酸7y−vニ
ウム0.50mol/lマロン酸ナトリウム 0.
50mol/lグルコン酸 0.50m
ol/を硫酸マンガン 0.01〜0.08mo
t7’z硫酸マンガンのlNmを0.01〜0.08m
o t/zまで変化させて得られたCo −Mn−P膜
のX線回折結果を次表に示す0 硫酸マンガン濃度が0.05mol/を以上に増加する
に従りてα−O六方晶のC軸が基板に対して面内方向か
ら垂直方向に変化した。
酸ナトリウム 0.20mol/l&&酸7y−vニ
ウム0.50mol/lマロン酸ナトリウム 0.
50mol/lグルコン酸 0.50m
ol/を硫酸マンガン 0.01〜0.08mo
t7’z硫酸マンガンのlNmを0.01〜0.08m
o t/zまで変化させて得られたCo −Mn−P膜
のX線回折結果を次表に示す0 硫酸マンガン濃度が0.05mol/を以上に増加する
に従りてα−O六方晶のC軸が基板に対して面内方向か
ら垂直方向に変化した。
めっき膜の表面状1mは比較例1の場合と同様に硫酸マ
ンガン嬢度増加とともに劣化した。硫酸マンガンo、o
imoi/zの鏡面光沢から濃度増とともKめりき膜は
黒ずみ、硫酸マンガン0.05mol/を以上では完全
な黒色を呈しメッキ膜の荒れが顕著となった0 実施例 2 比較ガニと同様の手順で、下記のめ−)き浴組成にてC
o−Mn−P II (jI厚=iam)を形成したO
めりき浴組成 硫酸2 ハJk ) 0.05mo t7
’L次亜リン酸ナトリウム Oj!Omol/を硫酸
77&ニクA O,50mol/lマロン酸ナ
トリタム 0.50mol/j@11v y #
7 0.01−0.06mol/を硫酸マンガンの
濃度t 0.01−0.06mo 1/l まで変イ
ヒさせて得られたQ−胤−P膜のX*回折結果を次表に
示す〇 るに従りてa −Q)六方晶のC軸が基板に対して面内
方向から垂直方向に変化した。
ンガン嬢度増加とともに劣化した。硫酸マンガンo、o
imoi/zの鏡面光沢から濃度増とともKめりき膜は
黒ずみ、硫酸マンガン0.05mol/を以上では完全
な黒色を呈しメッキ膜の荒れが顕著となった0 実施例 2 比較ガニと同様の手順で、下記のめ−)き浴組成にてC
o−Mn−P II (jI厚=iam)を形成したO
めりき浴組成 硫酸2 ハJk ) 0.05mo t7
’L次亜リン酸ナトリウム Oj!Omol/を硫酸
77&ニクA O,50mol/lマロン酸ナ
トリタム 0.50mol/j@11v y #
7 0.01−0.06mol/を硫酸マンガンの
濃度t 0.01−0.06mo 1/l まで変イ
ヒさせて得られたQ−胤−P膜のX*回折結果を次表に
示す〇 るに従りてa −Q)六方晶のC軸が基板に対して面内
方向から垂直方向に変化した。
比較例2では(Zoo)及び(101) の相対強度か
Oと1kl十分に配向した状llを与える硫酸マンガン
濃度if 0.06mo l/jであるが、本実施例で
は0.04mo1/Iにおいて達せられ配向性の改善が
認められた・ めりき膜の表面状態に、比較例2の場合と異な9硫酸i
ンガン員度の増加による劣化は認められなかった◎^好
な垂直配向管示す硫酸マンガン0.04〜0.06mo
l/lにおいても鏡面光沢を保持した・以上のように実
施例1及び2において硫酸マンガンfaIIlを増加さ
せためつき浴より得られる磁性膜は、そのC軸が基板に
対して垂直方向を向いているので、aS磁化記録の磁気
記録媒体に用いることができも比較例にくらぺてめフき
膜の表面状態及び配向性の改善がはかれたQ 硫酸マンガンia*増加によりa−Co六方晶のC軸が
基板に対して垂直方向に変化するが、(0,0,2)以
外の回折線が消失し十分に垂直配向した状態を与える硫
酸マンガン濃度は硫酸コ/<ルト湊度により変化した0
ま良俗組成の盈元剤、pIIK緩衝剤、錯化剤等の濃度
を変化させた場合も良好tiit直配向直配管状るKは
硫酸マンガン濃ILを適当に選定するととにより達せら
れる。
Oと1kl十分に配向した状llを与える硫酸マンガン
濃度if 0.06mo l/jであるが、本実施例で
は0.04mo1/Iにおいて達せられ配向性の改善が
認められた・ めりき膜の表面状態に、比較例2の場合と異な9硫酸i
ンガン員度の増加による劣化は認められなかった◎^好
な垂直配向管示す硫酸マンガン0.04〜0.06mo
l/lにおいても鏡面光沢を保持した・以上のように実
施例1及び2において硫酸マンガンfaIIlを増加さ
せためつき浴より得られる磁性膜は、そのC軸が基板に
対して垂直方向を向いているので、aS磁化記録の磁気
記録媒体に用いることができも比較例にくらぺてめフき
膜の表面状態及び配向性の改善がはかれたQ 硫酸マンガンia*増加によりa−Co六方晶のC軸が
基板に対して垂直方向に変化するが、(0,0,2)以
外の回折線が消失し十分に垂直配向した状態を与える硫
酸マンガン濃度は硫酸コ/<ルト湊度により変化した0
ま良俗組成の盈元剤、pIIK緩衝剤、錯化剤等の濃度
を変化させた場合も良好tiit直配向直配管状るKは
硫酸マンガン濃ILを適当に選定するととにより達せら
れる。
なお、実施例では金属基板の場合について述べたが、有
機樹脂基板例えばポリイミド積層板を用いる場合、活性
化処理前にエタノール脱脂のかわりにコンディジ曹す−
(シブレイ争ファーイースト社製)[5〜10分間浸漬
して脱IiI管行ない、実施例1と同様の手順でめ−)
きするととにより実施例と同様KaCO六方晶のC軸が
垂直方向したO−Mn−P膜が得られた。他のポリエス
テルABS樹脂、エポキシ樹脂などの有機樹脂基板管用
いる場合吃、適当な脱脂処理を行うことにより、VB5
m性良くめつきすることができ、α−Co 六方晶eC
軸が垂直配向したCo−1ih Pl[を得ることが
1きる。
機樹脂基板例えばポリイミド積層板を用いる場合、活性
化処理前にエタノール脱脂のかわりにコンディジ曹す−
(シブレイ争ファーイースト社製)[5〜10分間浸漬
して脱IiI管行ない、実施例1と同様の手順でめ−)
きするととにより実施例と同様KaCO六方晶のC軸が
垂直方向したO−Mn−P膜が得られた。他のポリエス
テルABS樹脂、エポキシ樹脂などの有機樹脂基板管用
いる場合吃、適当な脱脂処理を行うことにより、VB5
m性良くめつきすることができ、α−Co 六方晶eC
軸が垂直配向したCo−1ih Pl[を得ることが
1きる。
以上、実施例で示された様に本発明によれd1磁性膜を
作製するめつき浴においてコノくルトイオン、コバルト
イオンの還元剤、pH緩衝剤、pH調節剤、並びにコバ
ルトイオンの錯化剤としてのマロン酸基を含む水溶液に
1マンガンイオンを加えることKより、めつき襄の表面
状態の劣化を伴うこと危く、磁気記録媒体とkる磁性膜
の磁化容易軸を膜面に垂直な方向に近づけることができ
る。
作製するめつき浴においてコノくルトイオン、コバルト
イオンの還元剤、pH緩衝剤、pH調節剤、並びにコバ
ルトイオンの錯化剤としてのマロン酸基を含む水溶液に
1マンガンイオンを加えることKより、めつき襄の表面
状態の劣化を伴うこと危く、磁気記録媒体とkる磁性膜
の磁化容易軸を膜面に垂直な方向に近づけることができ
る。
)
【
)
Claims (1)
- コバルトイオン、コノ(ルトイオンの還元剤、pHl1
lI剤、pH調節剤、並びにコ/(ルトイオンの錯化剤
としてマロン酸基を含む水Stに4、マンガンイオンを
加えたことを特徴とする無電解めっき浴。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15570581A JPS5858266A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | 無電解めつき浴 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15570581A JPS5858266A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | 無電解めつき浴 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5858266A true JPS5858266A (ja) | 1983-04-06 |
Family
ID=15611707
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15570581A Pending JPS5858266A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | 無電解めつき浴 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5858266A (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56155706A (en) * | 1980-05-06 | 1981-12-02 | Ai Tadashi | Automatic cutter for small width veneer |
-
1981
- 1981-09-30 JP JP15570581A patent/JPS5858266A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56155706A (en) * | 1980-05-06 | 1981-12-02 | Ai Tadashi | Automatic cutter for small width veneer |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006063438A (ja) | ガラス基体へのめっき方法、そのめっき方法を用いる磁気記録媒体用ディスク基板の製造方法及び垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
JPS5858266A (ja) | 無電解めつき浴 | |
JPS61253622A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
JPH0766034A (ja) | 軟磁性材料膜及びその製造方法 | |
JP2848103B2 (ja) | 磁気記録体 | |
JPS613316A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
JP3533880B2 (ja) | 無電解ニッケルめっき液及び無電解ニッケルめっき方法 | |
JPS5858267A (ja) | 無電解めつき浴 | |
JPH0429739B2 (ja) | ||
JPS6338432B2 (ja) | ||
JPH0323975B2 (ja) | ||
JPS63111195A (ja) | 電解メツキ浴 | |
JPS6235477B2 (ja) | ||
JPS5858268A (ja) | 無電解めつき浴 | |
US6531047B1 (en) | Surface modification method for an aluminum substrate | |
JPS5864623A (ja) | 磁気記録体の製造方法 | |
JPS5858270A (ja) | 無電解めつき浴 | |
JPH0310085A (ja) | 基板の表面処理方法 | |
JPS5864370A (ja) | 無電解めつき浴 | |
JPS5858269A (ja) | 無電解めつき浴 | |
JPS59232264A (ja) | 無電解Co−Ni−Pめつき浴 | |
JPS6363125A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JP2000086301A (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の洗浄方法 | |
JPS6154028A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
JPS60149785A (ja) | 無電解めつき浴 |