JPS5854660A - 帯状部品切出し装置 - Google Patents

帯状部品切出し装置

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JPS5854660A
JPS5854660A JP15407881A JP15407881A JPS5854660A JP S5854660 A JPS5854660 A JP S5854660A JP 15407881 A JP15407881 A JP 15407881A JP 15407881 A JP15407881 A JP 15407881A JP S5854660 A JPS5854660 A JP S5854660A
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Japan
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frame
plate
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JP15407881A
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JPS6250061B2 (ja
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Takenori Otsuka
大塚 武徳
Kaneharu Horio
堀尾 金春
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NEC Home Electronics Ltd
NEC Corp
Canon Machinery Inc
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NEC Home Electronics Ltd
Nichiden Machinery Ltd
Nippon Electric Co Ltd
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    • HELECTRICITY
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    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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    • HELECTRICITY
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    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
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  • Specific Conveyance Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ヒの発明は半導体装置製造時に使用するり一トーツレー
ム傘どの帯状部品を各種加エエIt−?検査ニーなどK
1枚ずつ切出す装置に関する。
一般に、樹血封止型半導体装置社複数のり一ド中放熱板
を一連に一体化し大帯状のり−ドフレームをペレットマ
ウント工程中リイヤがンディンダ工程、樹脂毫−ルド成
形工騙などKJII次に過多込んで複数個を一括製造し
ている・この各展進工程間の9−ドフレームの搬送供給
や収納保管にはIIA形中枠中枠形lジン中トレー壜と
が使用されている。例えに1樹脂峰−ルド成形され大M
1図屋び第3−に示すようなり一ドフレーム(1)は、
第3図に示すような千*iii積の大麹な輪形トレー(
りK複数個がランダムに積拳重ねられて収納され、そし
てトレー(りと共に高温保管しながらモールドされ九外
装樹脂部(1)の硬化が行われている。を大、このリー
ドフレーム(1)はトレー1mlから手助で1枚ずつ取
出して、第4図に示すようなマガジン(4)内に複数枚
を積み重ねて整列保管し、そして例えばリードフレーム
(1)を個々の半導体装置毎に切断分離する分断工@に
供給する場合社%臂ガジンG4)K収納し九リードフレ
ーム(1)(1)−・・を最下端のものから1枚ずつ切
出していえ・ とζろで、リードフレーム(1)の外懺樹M lI41
)はリードフレームの肉厚よ〕も着しく厚くしかも、−
側方に片寄りえ位置にある大め、こ九をマガジン44)
K多数枚を積み重ねていくと、扇状に傾いて上部のもの
が!ガジン内壁に引っ#41て円滑な落下ができなかっ
*l全体の一重で下部のものが傷付く恐れがある大め、
マガジン(4)に収納できるリードフレーム(IJの威
が少なか−)九。その良め、リードフレーム(11の切
1tsLt崗動化する場合、マガジン(4)の交換を鋼
嘗に行う必要があって作業インデックスが長くなりがち
であ1九6★た1高温保管工徊でトレー偉)を用い、分
断工程でマガジン(4)を用いることは工程間でトレー
(!)からマガジン(4)−にリードツレ−^(1)を
移し換える手間を必要として、時間的次無駄中、移し換
え作業時K111品を傷付けると−またことがあった。
本発明はかかる問題点11み、これを改嵐雫除去したも
ので、複数の工程で共用できるトレーを用いた帯状部品
切出し装w1を!I供す為。以下、本発明を例えば上記
リードフレームの切出し鋏fIILに過用した実施例で
−って説明すると久の慮9である。
#I暴図及び継6−において、(−)はリードフレーム
(五)を複数枚収納する軸形のトレー、(1)はトレー
18)を部品切出しの定位置で支持するトレー支持慎徊
、(8)は定位置のトレーtit内のり−ドフレーム(
iJ (11・・・を一方向に常時押圧する押板、(9
)及び1−は定位置のトレー(鉛の前方両側に配置し九
切田し爪及び反転ドラム、いりはリードフレーム(1)
を例えば切断1機へ搬送する搬送路、Q′4は搬送路(
用土にリードフレーム(IJを定ピッチ送シする:IA
や爪である〇 トレー憎)はリードフレーム(13t″その長手方向を
横にして皇匣且つ並列に収納する−のである。仁のトレ
ー(6)は、例えば第7図に示すようにM後の各端板(
6”)I(41Th)と両側板(60X6t)及ヒ鷹板
(6りとで形成され、各側板(・o)(aayz前端部
分には1つずつ縦方向のスリブ)1114が形成されて
いる。この各スリットu;111J411ハトL/−t
bl収納し九最前列のリードフレーム11)の両側方に
位置し、一方のスリットφ場は上記切出し爪圃が適宜挿
通される大難さを有し、他方のスシット#噂は最前列の
1枚のリードフレーム川だけがその長手方向に通シ抜け
る太き1を有する。を九、彼端板(miml)の中央部
下部には切欠き−が形成され、この切欠11へ時に連通
して底板(6りの長さ方向の中央部に開口部O尋が形成
され、この切欠きHと開p部州を前記押板(8)が通る
。を九、トレー(I1に収納されるリードフレーム(1
)は外装楕脂部ζ3)を下にして垂直に挿入され、これ
によってトレー(6)内でのリードフレーム(1)の安
定性が良くなる。更に、トレー(I1内にリードフレー
ム(1)を−直に立てて収納する九め、リードフレー^
(1)の波形中損傷の問題が無くて、多くのリードフレ
ーム(1)が収納される。また、このトレー(@)は高
温保管時のトレーとして用いる仁とが可能でToシ、従
って高槻保管工程と分断工1間の部品移し換えの工数が
省ける。
トレー支持機構(7)は第8図に示すように、前端にス
トッパー97)を般は九2本のレール−拳樽を具えたも
ので、このレールQlll場の前端部上にトレー(@)
がWN趨板(6a)をストッパー117)に嶺接させて
位諏決め載飯される。仁のレールαI&場の間にはレー
ル9I Qllと平行なガイドロクドーーが固定され、
このガイドロフドーーに押板(Mlが軸方向K[ll自
在に嵌押されて支持される◎この押板(8)の前後端面
には、第9図に示すように送シワイヤーと戻しワイヤに
幻の各一端が一定され、送シワイヤーは1万定位置KT
oるプーリーから下方に延びる先端でmn121を吊)
下げている。戻しリイヤ体υは押板(8)の後方足位置
にあるプーリーから(−タ(−示せず)のig1転軸に
連結されたスプールiMK直結されているemuて、レ
ール14祷上の定位置に複数のリードフレーム(1) 
il)・・・を収納し九トレー+glが載蝋されると、
スプール−がフリー状態になって押板(8)がmetJ
!sの自重で前方に移動して、)レー(藝)の切欠1!
i−から開口部I@に入って最後列のリードプレーAζ
1)に当〉、以後ムリ−の荷重による一定の押圧力でリ
ードフレーム(1)(1)・・・を前方へと常時押圧す
る。ζF)抑圧板18)d )ロー(6)内にリードフ
レーム(1)が無くなると、スプール−が戻しワイヤ体
軸を巻き破る仁とKよって後方定位tIjtまで後退す
る次に切出し爪Illと反転ドラム−を説明する。
切出し爪(1)はレールQ#−上の定位置にあるトレー
(@)の−側板(6C)のスリブ)IIK先端が対向す
るよう配置された長尺な薄板状のもので、水平な艮手方
INに適宜往復動する◎つ!夕、切出し爪t9)は前進
するとスリット1を通ってトレー(−1内の最前列のリ
ードフレーム(1丁をその長平方向に押して、七〇まt
リードフレーム以外rを反**のスリットe4から押し
出し、この押し出しが完了すると切出し爪(9)は元の
位置まで後退する。
この切出し爪tS)のストロータ拡比較的長−ので、こ
れの往復駆動機構は、第6図に示し丸ように揺動レバー
翰とこれを一定角度価動させるシリンダ四とで構成すれ
ばよい。
反転ドラム叫は定位置にあるトレー(1)の−側板(6
d)と搬送路(11)の閾に配置されるもので、例えば
第10図に示すように回転軸(至)の馬上の軸方向に9
0’間隔で計番枚の回転翼片(le&)(19m)X!
90X!91) t 突a L & 構造ノ4 ツカ(
を用される。仁の回転軸−は両端部が軸受台−一で水平
に支持され、パルス篭−夕などの回転駆動機構aIυで
90’45に間歇回転される。4枚の回転翼片(怠ga
)(g9b)・・・はリードフレーム(11より少し短
か目のもので、側端−面にリードフレーム11贈武押通
されゐフレーム挿過溝關−・・・が形成される。
を大、各回転具片(89す(1911)・・・の側端面
上には板バネによるカバーーー・・・が取付けられ、片
面にはフレーム挿通溝−一・・・に届く押えローラー−
・・・が弾圧的に蝦付けられている。このカパーーー・
・・と押えローツー−・・・はフレーム挿通*W−・・
・に挿通されるリードフレーム(1)のオーバ7−−を
防止する丸めのものである。この反転ドラム(噂は各回
転翼片(19aXteb)・・・の一端がトレー(−)
のスリブ) Q4と近接して対向する位置で順番に停止
するよう間歇回転する。そして、スリット祠と対向して
から900回転して水平になまた回転具片(1G&Xj
9t’)・・・の蔦長上に搬送路(川が配置され、この
搬送路間に泊っ九送り−フローの複数箇所に送シ爪lN
′4−・・・が取付けてToゐ。仁の各送り爪−112
1・・・は送りセット−によって一度に左右動及び上下
動を行って、リードフレーム(1)を定ピツチずつ搬送
路(U>上を送る。
次に上記構成によるリードフレーム切出し動作を説明す
石。
リードフレー^(1月υ・・・を収納したトレー(8)
をレールQI Ql上定位置にセットし、押板(8)で
トレー(6)内のリードフレームfll (1)・・・
を前方に押圧して各リードフレーム+ll・・・を接合
させておく。
そして、切出し爪(9)を1回往復動させて最前列のリ
ードフレーム(1fをスリット04から押し出す。する
と、スリットIから出たリードツレ−為tlrは即座に
スリット−の前方で待機し大例えげ1枚の回転翼片(8
9a)のフレーム挿通孔−1K−通されて、トレー(6
)力島らの切出しが完了する。
トレー(@1かも切出し爪(9)を抜くと押板(8)の
抑圧力で次のリードフレーム(1)が前端板(61) 
K尚ゐ最前列に移る〇一方、1枚の(ロ)転翼片(19
りにリードフレーム(汀が挿通されると、その挿通完了
をセン?(図示せず)が検出して反転ドラム晴が90°
回転し、−転諷片(19&)が水平となってリードフレ
ーム+tfも水平となる口このリードフレームtlfは
1g1転属片(!9りよ)畏さ方向に少し突出した状總
にあ夛、この突出部分を利用して1つの送9爪四がリー
ドフレーム(ムfを搬送w!Itut上へと切出す。こ
の間に最上位IIKToる次の回転具(29改)にリー
ドフレーム(1)が挿入される◎以後、上記動作を繰9
返すことにより、リードフレーム(l印)・・・をトレ
ー(6)から1枚ずつ取出して、垂直から水平に費勢質
換させて搬送路111Jから後工鴨へ自制的に送〕込む
ことかで色る尚、本始明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、符に反転ドラムはフレーム挿逼碑をトンネル
構造にする等の−々の変巣が口S能である。−まえ、清
拭部品はリードフレーム以外のものであうても本発明の
適用は十分に可能である。
以上説明したように1本発明はトレーに帯状部品を一直
且つ並列に収納して、これを1枚ずつ切出して9・O間
転させて取出す構造のため、トレー内での帯状部品の変
形が皆無となって常KjL好な切出しが可能となる。ま
た、トレーの部品収納数が増大し、従ってトレー交換の
手間が減少して作業性の向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
第1tl及び第3図は帯状部品の一例を示す正面図及び
側面図、嬉8図及び第4図は部品収納用トレー及び臂ガ
ジンの一部断面側面図、第1図及び#I6−は本発明の
一実施例を示す全体の概略平面図及び正面図、第7図は
本発明で用いるトレーの一例を示す斜視図、蕗8図及び
#19図は第す図のトレー支持部の斜視図及び@Ktj
A、第10図は第5図の反転ドーム部分での斜視図でお
る◎ (11(1) (1)・・・帯状部品(リードフレーム
)、(11・・・トレー、(8)・・・押板、 (@)
・・・切出し爪、 −・・・反転ドラム7 特許出畝人  二チデン機械株式会社 #    新日本電気株式会社 代理人 江 系 省 膏 lff、    原       秀

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)、複数の帯状部品をその長手方向を#Kして―直
    12並列に収納する箱形トv−と、部品切出しの定位置
    に供給され大トレー内のm1lkの帯状部品をその配列
    方向の後方端から前方へ常時押圧す為押板と、トレーの
    一側方前部に配置され、トレー側に一往復動することに
    よってトレー内の最前列の帯状部品をその長手方向にト
    レーから切出す切出し爪と、トレーから切出された垂直
    の帯状部品を水平に姿勢変換する反転ドラムとを具備し
    九ことを特徴とする帯状部品切出し装置。
JP15407881A 1981-09-28 1981-09-28 帯状部品切出し装置 Granted JPS5854660A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15407881A JPS5854660A (ja) 1981-09-28 1981-09-28 帯状部品切出し装置

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JP15407881A JPS5854660A (ja) 1981-09-28 1981-09-28 帯状部品切出し装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5854660A true JPS5854660A (ja) 1983-03-31
JPS6250061B2 JPS6250061B2 (ja) 1987-10-22

Family

ID=15576405

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JP15407881A Granted JPS5854660A (ja) 1981-09-28 1981-09-28 帯状部品切出し装置

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JP (1) JPS5854660A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03142327A (ja) * 1990-09-29 1991-06-18 Anritsu Corp 計量装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03142327A (ja) * 1990-09-29 1991-06-18 Anritsu Corp 計量装置
JPH0445767B2 (ja) * 1990-09-29 1992-07-27 Anritsu Corp

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Publication number Publication date
JPS6250061B2 (ja) 1987-10-22

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