JPS585321Y2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS585321Y2 JPS585321Y2 JP1977014130U JP1413077U JPS585321Y2 JP S585321 Y2 JPS585321 Y2 JP S585321Y2 JP 1977014130 U JP1977014130 U JP 1977014130U JP 1413077 U JP1413077 U JP 1413077U JP S585321 Y2 JPS585321 Y2 JP S585321Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens system
- electron beam
- magnification
- sample
- fluorescent plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は螢光面上で試料の低倍率像と高倍率像とを同時
に観察することができる新規な電子顕微鏡に関し、以下
図面を用いて詳説する。
に観察することができる新規な電子顕微鏡に関し、以下
図面を用いて詳説する。
図面は本考案の一実施例を示す構成図であり、同図にお
いて１は電子銃である。
いて１は電子銃である。
該電子銃より発生した電子線は第１及び第２集束レンズ
より成る照射レンズ系２を介して試料３へ照射される。
より成る照射レンズ系２を介して試料３へ照射される。
試料３を透過した電子線は対物レンズ４、投影レンズ５
より成る結像レンズ系６を介して螢光板７上に結像され
る。
より成る結像レンズ系６を介して螢光板７上に結像され
る。
８は倍率指定回路であり、該指定回路は２つの倍率セレ
クタＳａ、Ｓｂを有している。
クタＳａ、Ｓｂを有している。
そして該指定回路８は上記セレクタＳａによって選ばれ
た倍率Ｍａを実現するための指定信号Ｇａと上記セレク
タｓｂによって選ばれた倍率Ｍｂを実現するための指定
信号Ｇｂとを、所定の同期信号に同期して交互に発生し
、増巾器９，１０を介して対物レンズ４及び投影レンズ
５より成る結像レンズ系６に送る。
た倍率Ｍａを実現するための指定信号Ｇａと上記セレク
タｓｂによって選ばれた倍率Ｍｂを実現するための指定
信号Ｇｂとを、所定の同期信号に同期して交互に発生し
、増巾器９，１０を介して対物レンズ４及び投影レンズ
５より成る結像レンズ系６に送る。
従って螢光板７上には上記同期信号に同期して倍率Ｍａ
の試料像Ｚａと倍率Ｍｂの試料像ｚｂとが交互に結像さ
れる。
の試料像Ｚａと倍率Ｍｂの試料像ｚｂとが交互に結像さ
れる。
そしてこの時投影レンズ５と螢光板７との間に設けられ
た偏向コイル１１へ偏向回路１２より上記同期信号に同
期した偏向信号が送られるため電子線は偏向を受け、倍
率Ｍａの試料像Ｚａと倍率Ｍｂの試料像ｚｂとは交互に
繰返し螢光板上の異なった位置に結像される。
た偏向コイル１１へ偏向回路１２より上記同期信号に同
期した偏向信号が送られるため電子線は偏向を受け、倍
率Ｍａの試料像Ｚａと倍率Ｍｂの試料像ｚｂとは交互に
繰返し螢光板上の異なった位置に結像される。
従って同期信号の周波数を肉眼観察における残像時間を
考慮して適宜設定することにより螢光板上で高倍率と低
倍率像とを同時に観察することができる。
考慮して適宜設定することにより螢光板上で高倍率と低
倍率像とを同時に観察することができる。
以上詳述した如く本考案によれば高倍率像と低倍率像と
を同時に観察できるため両者の対比に基づいて正確且つ
迅速な試料観察を行うことができ、その効果は極めて太
きい。
を同時に観察できるため両者の対比に基づいて正確且つ
迅速な試料観察を行うことができ、その効果は極めて太
きい。
尚上述した実施例では偏向コイルを投影レンズと螢光板
との間に置いたが、実際に螢光板上で２つの像を異なっ
た場所に表示できれば偏向コイルは電子光学系のどこに
配置しても良いことは言うまでもない。
との間に置いたが、実際に螢光板上で２つの像を異なっ
た場所に表示できれば偏向コイルは電子光学系のどこに
配置しても良いことは言うまでもない。
図面は本考案の一実施例を示す構成図である。
１：電子銃、２：照射レンズ系、３：試料、６：結像レ
ンズ系、７：螢光板、８：倍率指定回路、１１：偏向コ
イル、１２：偏向回路。
ンズ系、７：螢光板、８：倍率指定回路、１１：偏向コ
イル、１２：偏向回路。
Claims (1)
- 電子線発生源と、該発生源より発生した電子線を試料に
照射するための照射レンズ系と、試料を透過した電子線
を螢光板に結像させるための結像レンズ系と、該結像レ
ンズ系に２つの異った倍率１こ対応する励磁電流を交互
に繰り返し供給する手段と、前記倍率の切換えに同期し
た偏向信号が供給され前記２つの異った倍率に対応する
像を前記螢光板上の異った位置に結像するための電子線
偏向手段とを備えたことを特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1977014130U JPS585321Y2 (ja) | 1977-02-08 | 1977-02-08 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1977014130U JPS585321Y2 (ja) | 1977-02-08 | 1977-02-08 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS53108863U JPS53108863U (ja) | 1978-08-31 |
| JPS585321Y2 true JPS585321Y2 (ja) | 1983-01-29 |
Family
ID=28833479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1977014130U Expired JPS585321Y2 (ja) | 1977-02-08 | 1977-02-08 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS585321Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4316532Y1 (ja) * | 1965-12-27 | 1968-07-09 |
-
1977
- 1977-02-08 JP JP1977014130U patent/JPS585321Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4316532Y1 (ja) * | 1965-12-27 | 1968-07-09 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS53108863U (ja) | 1978-08-31 |
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