JPH077647B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH077647B2 JPH077647B2 JP1233377A JP23337789A JPH077647B2 JP H077647 B2 JPH077647 B2 JP H077647B2 JP 1233377 A JP1233377 A JP 1233377A JP 23337789 A JP23337789 A JP 23337789A JP H077647 B2 JPH077647 B2 JP H077647B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnification
- signal
- observation magnification
- wobbling signal
- electron microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は電子顕微鏡に関し、特に軸整合のためのウォブ
ラーを有する電子顕微鏡に関する。
ラーを有する電子顕微鏡に関する。
［従来の技術］ 従来、電子顕微鏡において光軸合わせを行なう場合、対
物レンズの励磁電流を周期的に変化させるウォブラーを
用いて、陰極線管上や蛍光板上に表示された電子顕微鏡
像を振動させ、該像が同心円状に変化するように軸合わ
せを行なっている。
物レンズの励磁電流を周期的に変化させるウォブラーを
用いて、陰極線管上や蛍光板上に表示された電子顕微鏡
像を振動させ、該像が同心円状に変化するように軸合わ
せを行なっている。
［発明が解決しようとする課題］ 上述したような、軸整合用のウォブリング信号を観察倍
率によらずに一定の振幅で対物レンズに供給した場合、
像倍率を高倍率に上げて行くにしたがって、陰極線管上
や蛍光板上での像の移動量が大きくなるため、移動した
像が陰極線管や蛍光板上から外れ、観測者が該像を見な
がら軸合わせを行なうことが難しくなる。
率によらずに一定の振幅で対物レンズに供給した場合、
像倍率を高倍率に上げて行くにしたがって、陰極線管上
や蛍光板上での像の移動量が大きくなるため、移動した
像が陰極線管や蛍光板上から外れ、観測者が該像を見な
がら軸合わせを行なうことが難しくなる。
本発明は上述した問題点を考慮し、電子顕微鏡の観察倍
率に関係なく、電子線の軸合わせを正確に行なえる電子
顕微鏡を提供することを目的としている。
率に関係なく、電子線の軸合わせを正確に行なえる電子
顕微鏡を提供することを目的としている。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、観察倍率を設定するための観察倍率設定手段
を備え、集束レンズにウォブリング信号を供給すること
により像を振動させつつ軸合わせするようにした電子顕
微鏡において、前記集束レンズに供給されるウォブリン
グ信号の振幅を前記観察倍率が高くなるに伴なって小さ
くなるように制御するための制御手段を備えたことを特
徴としている。
を備え、集束レンズにウォブリング信号を供給すること
により像を振動させつつ軸合わせするようにした電子顕
微鏡において、前記集束レンズに供給されるウォブリン
グ信号の振幅を前記観察倍率が高くなるに伴なって小さ
くなるように制御するための制御手段を備えたことを特
徴としている。
［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は本発明の一実施例を説明するための装置構成図であ
る。
図は本発明の一実施例を説明するための装置構成図であ
る。
第１図において１は電子銃であり、該電子銃より放出さ
れた電子線は、集束レンズ２によって集束された後、対
物レンズ３によって試料５上に照射される。6x,6yは前
記電子線を試料５上において水平及び垂直に走査するた
めの水平及び垂直偏向レンズであり、該レンズ6x,6yに
は走査信号発生回路７よりの水平及び垂直装置信号が倍
率設定回路13を介して供給される。また、該走査信号発
生回路７よりの水平及び垂直装置信号は陰極線管８の水
平及び垂直偏向コイル9x,9yにも供給される。試料５へ
の電子線の照射により発生した二次電子は二次電子検出
器10によって検出される。該検出器10よりの出力信号は
増幅器11によって増幅された後、前記陰極線管８のグリ
ッドＧに供給される。また、前記対物レンズ３にはDAコ
ンバータ15を介してCPU13に接続されたレンズ電源４が
接続されており、該電源４はCPU13からの制御信号に基
づいて、対物レンズの励磁値を変更するように構成され
ている。
れた電子線は、集束レンズ２によって集束された後、対
物レンズ３によって試料５上に照射される。6x,6yは前
記電子線を試料５上において水平及び垂直に走査するた
めの水平及び垂直偏向レンズであり、該レンズ6x,6yに
は走査信号発生回路７よりの水平及び垂直装置信号が倍
率設定回路13を介して供給される。また、該走査信号発
生回路７よりの水平及び垂直装置信号は陰極線管８の水
平及び垂直偏向コイル9x,9yにも供給される。試料５へ
の電子線の照射により発生した二次電子は二次電子検出
器10によって検出される。該検出器10よりの出力信号は
増幅器11によって増幅された後、前記陰極線管８のグリ
ッドＧに供給される。また、前記対物レンズ３にはDAコ
ンバータ15を介してCPU13に接続されたレンズ電源４が
接続されており、該電源４はCPU13からの制御信号に基
づいて、対物レンズの励磁値を変更するように構成され
ている。
さて、操作端末（図示せず）によりCPU13に電子顕微鏡
の観測倍率が設定されると、該CPUから倍率設定回路12
に制御信号が供給される。該倍率制御信号に基づいて前
記走査信号発生回路７から倍率設定回路12に供給された
走査信号が前記設定倍率に応じた走査信号に変換された
後、偏向レンズに供給される。ここで、操作端末（図示
せず）により前記CPU13にウォブラーを用いて例えば対
物レンズ絞り14の軸合わせを行うための操作命令を行な
った場合、該CPU13からは第２図（ａ）に示すような正
焦点値f0から正負の２値f0＋Δf1，f0−Δf1間で周期的
に変化するウォブリング信号が発生され、該ウォブリン
グ信号が対物レンズ３に供給される。このとき、前記対
物レンズ絞り14が適性位置に配置されていないと、陰極
線管８上に表示される像は前記ウォブリング信号に同期
して移動する。そのため、該像の移動が同心円状に変化
するように絞りの軸整合が行なわれる。ここで、前記第
２図（ａ）に示すような正焦点値f0から正負の２値間
（f0＋f1，f0−Δf1）で周期的に変化するウォブリング
信号が対物レンズに供給された場合には、電子顕微鏡の
倍率はディスクリートに変化する。
の観測倍率が設定されると、該CPUから倍率設定回路12
に制御信号が供給される。該倍率制御信号に基づいて前
記走査信号発生回路７から倍率設定回路12に供給された
走査信号が前記設定倍率に応じた走査信号に変換された
後、偏向レンズに供給される。ここで、操作端末（図示
せず）により前記CPU13にウォブラーを用いて例えば対
物レンズ絞り14の軸合わせを行うための操作命令を行な
った場合、該CPU13からは第２図（ａ）に示すような正
焦点値f0から正負の２値f0＋Δf1，f0−Δf1間で周期的
に変化するウォブリング信号が発生され、該ウォブリン
グ信号が対物レンズ３に供給される。このとき、前記対
物レンズ絞り14が適性位置に配置されていないと、陰極
線管８上に表示される像は前記ウォブリング信号に同期
して移動する。そのため、該像の移動が同心円状に変化
するように絞りの軸整合が行なわれる。ここで、前記第
２図（ａ）に示すような正焦点値f0から正負の２値間
（f0＋f1，f0−Δf1）で周期的に変化するウォブリング
信号が対物レンズに供給された場合には、電子顕微鏡の
倍率はディスクリートに変化する。
CPU13に付属するメモリには観察倍率とウォブリング信
号の振幅を表わすデータが記憶されている。このデータ
を読み出し、それに基づいてCPU13より発生されるウォ
ブリング信号は観察倍率により振幅値の異なるものとな
っている。例えば、第２図（ｂ）に示す信号は、同図
（ａ）に示すウォブリング信号が使用される観測倍率よ
りも高い観測倍率の場合のウォブリング信号を示してお
り、該信号の振幅値はいかなる倍率においても、表示装
置上での像の移動量か略一定になるように設定されてい
る。そのため、観測倍率を高倍率に移行しながら、ウォ
ブラーを用いて絞りの軸合わせを行なう場合は、像の移
動量が常に一定に保たれるのでスムーズに軸合わせ作業
を行なうことができる。
号の振幅を表わすデータが記憶されている。このデータ
を読み出し、それに基づいてCPU13より発生されるウォ
ブリング信号は観察倍率により振幅値の異なるものとな
っている。例えば、第２図（ｂ）に示す信号は、同図
（ａ）に示すウォブリング信号が使用される観測倍率よ
りも高い観測倍率の場合のウォブリング信号を示してお
り、該信号の振幅値はいかなる倍率においても、表示装
置上での像の移動量か略一定になるように設定されてい
る。そのため、観測倍率を高倍率に移行しながら、ウォ
ブラーを用いて絞りの軸合わせを行なう場合は、像の移
動量が常に一定に保たれるのでスムーズに軸合わせ作業
を行なうことができる。
尚、上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、本発
明は種々変形して実施することができる。例えば、上述
した実施例においては、走査電子顕微鏡の軸合わせ装置
について説明したが、本発明は透過電子顕微鏡の軸整合
装置にも実施することができる。
明は種々変形して実施することができる。例えば、上述
した実施例においては、走査電子顕微鏡の軸合わせ装置
について説明したが、本発明は透過電子顕微鏡の軸整合
装置にも実施することができる。
また、上述した実施例においては、正焦点値から正負２
っの値間で周期的に変化するウォブリング信号を方形波
で形成したが、該ウォブリング信号は正焦点値を中心に
正負に変化する鋸歯状波や階段状波であっても良い。
っの値間で周期的に変化するウォブリング信号を方形波
で形成したが、該ウォブリング信号は正焦点値を中心に
正負に変化する鋸歯状波や階段状波であっても良い。
また上述した実施例においては、記憶されたデータに基
づいてウォブリング信号の振幅を倍率に応じて変更する
ようにしたが、演算により求めた値に振幅を制御するよ
うにしても良い。
づいてウォブリング信号の振幅を倍率に応じて変更する
ようにしたが、演算により求めた値に振幅を制御するよ
うにしても良い。
［発明の効果］ 本発明においては、集束レンズに供給されるウォブリン
グ信号の振幅を観察倍率が高くなるに伴なって小さくな
るように制御するので、像が振動する時のシフト幅を倍
率に関係なく略一定に保つことができ、電子線の軸合わ
せを正確且つ短時間に行なうことができる。
グ信号の振幅を観察倍率が高くなるに伴なって小さくな
るように制御するので、像が振動する時のシフト幅を倍
率に関係なく略一定に保つことができ、電子線の軸合わ
せを正確且つ短時間に行なうことができる。
第１図は本発明の一実施例を説明するための装置構成
図、第２図はウォブリング信号を説明するための図であ
る。 1:電子銃、2:集束レンズ 3:対物レンズ、4:レンズ電源 5:試料 6x,6y:偏向レンズ 7:走査信号発生回路 8:陰極線管 9x,9y:偏向コイル 10:二次電子検出器 11:増幅器、12:倍率設定回路 13:CPU、14:対物レンズ絞り
図、第２図はウォブリング信号を説明するための図であ
る。 1:電子銃、2:集束レンズ 3:対物レンズ、4:レンズ電源 5:試料 6x,6y:偏向レンズ 7:走査信号発生回路 8:陰極線管 9x,9y:偏向コイル 10:二次電子検出器 11:増幅器、12:倍率設定回路 13:CPU、14:対物レンズ絞り
Claims (1)
- 【請求項１】観察倍率を設定するための観察倍率設定手
段を備え、集束レンズにウォブリング信号を供給するこ
とにより像を振動させつつ軸合わせするようにした電子
顕微鏡において、前記集束レンズに供給されるウォブリ
ング信号の振幅を前記観察倍率が高くなるに伴なって小
さくなるように制御するための制御手段を備えたことを
特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1233377A JPH077647B2 (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1233377A JPH077647B2 (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0395841A JPH0395841A (ja) | 1991-04-22 |
| JPH077647B2 true JPH077647B2 (ja) | 1995-01-30 |
Family
ID=16954148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1233377A Expired - Lifetime JPH077647B2 (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH077647B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5155224B2 (ja) * | 2009-03-17 | 2013-03-06 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
| JP7040199B2 (ja) * | 2018-03-26 | 2022-03-23 | 株式会社島津製作所 | 荷電粒子ビーム軸合わせ装置、荷電粒子ビーム照射装置および荷電粒子ビーム軸合わせ方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5851663B2 (ja) * | 1978-05-09 | 1983-11-17 | 株式会社日立製作所 | 電子顕微鏡の焦点合せ装置 |
| JPS5745023A (en) * | 1980-08-30 | 1982-03-13 | Toyota Motor Corp | Bonding method for foamed material |
-
1989
- 1989-09-08 JP JP1233377A patent/JPH077647B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0395841A (ja) | 1991-04-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4199681A (en) | Method and apparatus for automatically focusing an electron beam in a scanning beam device | |
| US4547669A (en) | Electron beam scanning device | |
| JPS614144A (ja) | 電子顕微鏡による回折パタ−ン表示方法 | |
| JPH077647B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
| US4095104A (en) | Electron microscope | |
| JPH06243812A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JP3400608B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| CA1061477A (en) | Electron microscope | |
| JPS5914222B2 (ja) | 走査電子顕微鏡等用倍率制御装置 | |
| JP2000195457A (ja) | 走査顕微鏡 | |
| JP2000077018A (ja) | 走査電子顕微鏡の焦点合わせ装置 | |
| JP2000048749A (ja) | 走査電子顕微鏡および電子ビームの軸合わせ方法 | |
| JPH0479101B2 (ja) | ||
| JPH027506B2 (ja) | ||
| JPS5953660B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPS614146A (ja) | 電子線装置 | |
| JPS5811073B2 (ja) | 粒子線による試料走査形試料像表示装置 | |
| JPH0421301B2 (ja) | ||
| JPS6114631B2 (ja) | ||
| JPH0228601Y2 (ja) | ||
| JPS5840758A (ja) | 粒子線による試料走査形試料像表示装置における非点収差補正方法 | |
| JPS62296351A (ja) | 荷電ビ−ム装置 | |
| JPS5923441A (ja) | 電子ビ−ム装置 | |
| JP2006156215A (ja) | 荷電粒子光学系の軸合装置および荷電粒子光学装置 | |
| JP2000285845A (ja) | 電子顕微鏡調整法 |