JPS5852038Y2 - 吸着装置 - Google Patents
吸着装置Info
- Publication number
- JPS5852038Y2 JPS5852038Y2 JP1041479U JP1041479U JPS5852038Y2 JP S5852038 Y2 JPS5852038 Y2 JP S5852038Y2 JP 1041479 U JP1041479 U JP 1041479U JP 1041479 U JP1041479 U JP 1041479U JP S5852038 Y2 JPS5852038 Y2 JP S5852038Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- seal grooves
- suction surface
- seal
- interval
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Jigs For Machine Tools (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、加工装置、搬送装置等に用いられる真空吸着
装置の改良に係るものであり、特に大形の物体を強固に
吸着するための吸着装置に係るものである。
装置の改良に係るものであり、特に大形の物体を強固に
吸着するための吸着装置に係るものである。
従来、この種の吸着装置は、吸着基盤の吸着面に縦横に
外部真空源に連通した縦横に多数のシール溝を略等間隔
に設け、該シール溝に被吸着物の大きさに応じて閉路を
形成するようにシール部材を嵌め込み、該シール部材に
四重れたシール溝を減圧するように構成されていた。
外部真空源に連通した縦横に多数のシール溝を略等間隔
に設け、該シール溝に被吸着物の大きさに応じて閉路を
形成するようにシール部材を嵌め込み、該シール部材に
四重れたシール溝を減圧するように構成されていた。
（例えば特公昭４７−２５６２９号参照）
しかるに、上述した従来の吸着装置では、シール溝が吸
着基盤の吸着面上に縦横に略等間隔で設けられているた
め、シール部材で囲む面積を増加させてもそれに比例し
て吸着作用をなすシール溝数が増加せず、このため、被
吸着物が比較的小形の板状のものである場合には十分な
吸着力を得ることが出来るけれども、被吸着物が例えば
一辺が数メートルもある大形の板状のものである場合に
は吸着力が低下するという欠点があった。
着基盤の吸着面上に縦横に略等間隔で設けられているた
め、シール部材で囲む面積を増加させてもそれに比例し
て吸着作用をなすシール溝数が増加せず、このため、被
吸着物が比較的小形の板状のものである場合には十分な
吸着力を得ることが出来るけれども、被吸着物が例えば
一辺が数メートルもある大形の板状のものである場合に
は吸着力が低下するという欠点があった。
本考案は、上記従来装置の欠点を解消し、特に大垣の物
体を強固に吸着できる吸着装置を提供することを目的と
するものである０ このため、本考案に係る吸着装置に於いては、吸着基盤
の吸着面の周縁部に設けたシール溝間の間隔を吸着基盤
の吸着面の中央部に設けたシール溝間の間隔に比べて狭
くしたことを特徴としている。
体を強固に吸着できる吸着装置を提供することを目的と
するものである０ このため、本考案に係る吸着装置に於いては、吸着基盤
の吸着面の周縁部に設けたシール溝間の間隔を吸着基盤
の吸着面の中央部に設けたシール溝間の間隔に比べて狭
くしたことを特徴としている。
以下、本考案に係る吸着装置を第１図乃至第３図に示す
実施例に基づいて説明する。
実施例に基づいて説明する。
吸着基盤１の吸着面２には多数のシール溝３゜４が縦横
に交差して設けられてかり、該シール溝３．４には被吸
着物の大きさに応じて閉路を形成するようにシール部材
５が嵌め込１れている。
に交差して設けられてかり、該シール溝３．４には被吸
着物の大きさに応じて閉路を形成するようにシール部材
５が嵌め込１れている。
このシール部材５は合成樹脂等の薄板状弾性材からなり
、断面が短形で、その上端部が吸着面２から若干突出す
るようにシール溝３，４に嵌め込１れる。
、断面が短形で、その上端部が吸着面２から若干突出す
るようにシール溝３，４に嵌め込１れる。
そして上記シール溝３，４ば、大形の物体を強固に吸着
できるようにするため、吸着面２の周縁部に設けたシー
ル溝間の間隔ｌを吸着面２の中央部のシール溝間の間隔
りより狭くなるように配列されている。
できるようにするため、吸着面２の周縁部に設けたシー
ル溝間の間隔ｌを吸着面２の中央部のシール溝間の間隔
りより狭くなるように配列されている。
このシール溝３，４の溝底部には孔６が多数個設けられ
ており、各社６は吸着基盤１内に設けた孔７及び開閉弁
Ｖ１１Ｖ２ｙＶ３を経て吸着基盤１の外部に設けた真空
ポンプ８に連通している。
ており、各社６は吸着基盤１内に設けた孔７及び開閉弁
Ｖ１１Ｖ２ｙＶ３を経て吸着基盤１の外部に設けた真空
ポンプ８に連通している。
この様な構成に於いて、例えば板状の被吸着物９を吸着
面２上に乗せ開閉弁Ｖ＋＃Ｖ２ｓＶ３を開くと、シール
部材５により囲１れた部分はシール溝３．４の吸引作用
により減圧される。
面２上に乗せ開閉弁Ｖ＋＃Ｖ２ｓＶ３を開くと、シール
部材５により囲１れた部分はシール溝３．４の吸引作用
により減圧される。
そして被吸着物９は吸着基盤１の吸着面に密着し真空吸
着され、シール溝３，４は吸着作用を果すようになる。
着され、シール溝３，４は吸着作用を果すようになる。
この場合、被吸着物９が大形の物体であっても吸着面２
の周縁部のシール溝間の間隔ｌを吸着面２の中央部のシ
ール溝間の間隔りに比べ狭くしであるので、その分だけ
吸着作用をなすシール溝数が多くなり、被吸着物９の周
辺部はより強固に吸着されるようになる。
の周縁部のシール溝間の間隔ｌを吸着面２の中央部のシ
ール溝間の間隔りに比べ狭くしであるので、その分だけ
吸着作用をなすシール溝数が多くなり、被吸着物９の周
辺部はより強固に吸着されるようになる。
さらに本考案においては次のような効果も生じる。
すなわち、被吸着物９を吸着しているとき、伺んらかの
原因で被吸着物９とシール部材との密着面に微量の空気
漏れが生じても、この空気は閉路を形成するシール部材
５のすぐ内側のシール溝を通って真空ポンプ８に吸収す
ることができるので、被吸着物９を確実に吸着すること
ができる。
原因で被吸着物９とシール部材との密着面に微量の空気
漏れが生じても、この空気は閉路を形成するシール部材
５のすぐ内側のシール溝を通って真空ポンプ８に吸収す
ることができるので、被吸着物９を確実に吸着すること
ができる。
この吸着面２の周縁部に設ける狭い間隔ｌのシール溝は
、シール部材５を嵌め込むシール溝の内側に１乃至３本
あることが好ましい。
、シール部材５を嵌め込むシール溝の内側に１乃至３本
あることが好ましい。
なか、吸着面２の周縁部に設けるシール溝間の間隔ｌは
吸着面の外側に向って漸次狭くなるように設定してもよ
い。
吸着面の外側に向って漸次狭くなるように設定してもよ
い。
また、吸着基盤１の吸着面２の交差溝は一方を同心円状
、他方を放射状にしてもよい。
、他方を放射状にしてもよい。
以上の説明から明らかな様に、本考案に於いては、吸着
面の周縁部に設けたシール溝間の間隔を吸着面の中央部
に設けたシール溝間の間隔に比べて狭くしているため、
大形の物体であっても強固に吸着できるという優れた効
果を奏する。
面の周縁部に設けたシール溝間の間隔を吸着面の中央部
に設けたシール溝間の間隔に比べて狭くしているため、
大形の物体であっても強固に吸着できるという優れた効
果を奏する。
第１図は本考案に係る吸着装置を示す図、第２図は第１
図のＡ−Ａ断面図、第３図は被吸着物を吸着したときの
状態を示す断面図である。 １・・級着基盤、２・・・吸着面、３，４・・・シール
溝、５・・・シール部材。
図のＡ−Ａ断面図、第３図は被吸着物を吸着したときの
状態を示す断面図である。 １・・級着基盤、２・・・吸着面、３，４・・・シール
溝、５・・・シール部材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ■ 吸着基盤の吸着面に外部真空源と連通ずる多数のシ
ール溝を交差して設け、該シール溝に被吸着物の大きさ
に応じて閉路を形成するシール部材を嵌装する吸着装置
において、前記吸着面の周縁部に設けたシール溝間の間
隔を前記吸着面の中央部に設けたシール溝間の間隔に比
べて狭くしたことを特徴とする吸着装置。 ２ 吸着面の周辺部に設けたシール溝間の間隔を吸着面
の外側に向って漸次狭くなるようにした実用新案登録請
求の範囲第１項記載の吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1041479U JPS5852038Y2 (ja) | 1979-01-30 | 1979-01-30 | 吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1041479U JPS5852038Y2 (ja) | 1979-01-30 | 1979-01-30 | 吸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55111736U JPS55111736U (ja) | 1980-08-06 |
| JPS5852038Y2 true JPS5852038Y2 (ja) | 1983-11-28 |
Family
ID=28822966
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1041479U Expired JPS5852038Y2 (ja) | 1979-01-30 | 1979-01-30 | 吸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5852038Y2 (ja) |
-
1979
- 1979-01-30 JP JP1041479U patent/JPS5852038Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55111736U (ja) | 1980-08-06 |
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