JPS5845131B2 - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
- Publication number
- JPS5845131B2 JPS5845131B2 JP3227176A JP3227176A JPS5845131B2 JP S5845131 B2 JPS5845131 B2 JP S5845131B2 JP 3227176 A JP3227176 A JP 3227176A JP 3227176 A JP3227176 A JP 3227176A JP S5845131 B2 JPS5845131 B2 JP S5845131B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wedge
- light source
- correction
- exposure
- exposure apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【発明の詳細な説明】
この発明はカラー受像管の螢光体スクリーン及び黒色無
反射層を製作する際に用いられる露光装置の改良に関す
るものである。
反射層を製作する際に用いられる露光装置の改良に関す
るものである。
第１図は一般的なカラー受像管の主要部分の断面と代表
的な電子ビーム跡を画いたもので、図に於いて、カラー
受像管のパネル１の内面にはスクリーン２が形成されて
おり、このスクリーン２はシャドウマスク３のホール３
ａ１個に対して左すイド色Ｚａｓセンター色２ｂ、右ザ
イド色２ｃの３色の螢光体ストライプ（例えば左ザイド
色は赤、センター色は緑、右サイド色は青）と、各色帯
光体相互間に配置された黒色無反射層４ｄとから構成さ
れている。
的な電子ビーム跡を画いたもので、図に於いて、カラー
受像管のパネル１の内面にはスクリーン２が形成されて
おり、このスクリーン２はシャドウマスク３のホール３
ａ１個に対して左すイド色Ｚａｓセンター色２ｂ、右ザ
イド色２ｃの３色の螢光体ストライプ（例えば左ザイド
色は赤、センター色は緑、右サイド色は青）と、各色帯
光体相互間に配置された黒色無反射層４ｄとから構成さ
れている。
電子銃４から発射された３個の電子ビーム４ａ 、４ｂ
、４ｃはシャドウマスクホール３ａで色選別されて、
夫々特定色の螢光体ストライプ２ａ、２ｂ、２ｃにラン
ディングし発光させる。
、４ｃはシャドウマスクホール３ａで色選別されて、
夫々特定色の螢光体ストライプ２ａ、２ｂ、２ｃにラン
ディングし発光させる。
すなわち、右サイドから発射された電子ビーム４ａはシ
ャドウマスクホール３ａで交差し左サイドに位置する螢
光体ストライプ２ａに当り、センターから発射された電
子ビーム４ｂはセンター色ストライプ２ｂに、左サイド
から発射された電子ビーム４ｃは右サイド色ストライプ
２ｃに当る。
ャドウマスクホール３ａで交差し左サイドに位置する螢
光体ストライプ２ａに当り、センターから発射された電
子ビーム４ｂはセンター色ストライプ２ｂに、左サイド
から発射された電子ビーム４ｃは右サイド色ストライプ
２ｃに当る。
又、夫々の電子ビーム４ａ 、４ｂ 、４ｃの強さを適
当にする事によって各色帯光体の発光量をコントロール
し、所望の色彩を発生させることになる。
当にする事によって各色帯光体の発光量をコントロール
し、所望の色彩を発生させることになる。
このため電子ビーム４ａ、４ｂ、４ｃのランディングす
る位置に精度よく３色の螢光体ストライプ２ａ、２ｂ、
２ｃを形成しておく必要があり、このようなスクリーン
２は一般的に次のような工程によって形成されている。
る位置に精度よく３色の螢光体ストライプ２ａ、２ｂ、
２ｃを形成しておく必要があり、このようなスクリーン
２は一般的に次のような工程によって形成されている。
まず、カラー受像管パネル１内面全体にレジスト膜を塗
布し、シャドウマスク３のホールを介して所定の３個所
（３色の色別電子ビームの軌跡と同等の方位に相当する
位置）から光を当てて露光し現像すると、焼付けられた
レジスト部分がそのまま残り、その他は空白になる。
布し、シャドウマスク３のホールを介して所定の３個所
（３色の色別電子ビームの軌跡と同等の方位に相当する
位置）から光を当てて露光し現像すると、焼付けられた
レジスト部分がそのまま残り、その他は空白になる。
すなわちシャドウマスク３のホール１個に対して３個の
レジストストライプか形成される。
レジストストライプか形成される。
次に、パネル１内面全体に黒色無反射膜を塗布し、これ
を特定の薬品で洗浄するとレジスＩ・を介して塗布され
た黒色無反射膜部分はレジスト共々洗い流されて空白と
なり、その他の部分は黒色無反射膜か残り、黒色無反射
膜２ｄを形成する。
を特定の薬品で洗浄するとレジスＩ・を介して塗布され
た黒色無反射膜部分はレジスト共々洗い流されて空白と
なり、その他の部分は黒色無反射膜か残り、黒色無反射
膜２ｄを形成する。
その後空白部分に３色の螢光体を順次塗布−露光−現像
することによってカラー受像管のスクリーン２が形成さ
れる。
することによってカラー受像管のスクリーン２が形成さ
れる。
ここで、スクリーン２を形成するための露光装置として
従来は第２図に示すような装置が用いられている。
従来は第２図に示すような装置が用いられている。
すなわち、第２図において、５は本体、６は本体５の十
力に設けられた光源γは光源６を３個所に移動させる摺
動機構、８は光源６からの光線を補正し、電子ビームの
軌跡に近似させる補正レンズ、９は補止レンズ８によっ
て充分な補正か得られない両サイド色の露光に用いられ
る高透過率の補正板である。
力に設けられた光源γは光源６を３個所に移動させる摺
動機構、８は光源６からの光線を補正し、電子ビームの
軌跡に近似させる補正レンズ、９は補止レンズ８によっ
て充分な補正か得られない両サイド色の露光に用いられ
る高透過率の補正板である。
このような露光装置において、センター色の露光時には
第３図Ａに扇すように補正板９としてダミー用の平行平
板９ａを用い、両サイド色の露光時には第３図Ｂ、Ｃに
示すように光源６を所定の位置に移動させるとともに補
正板９として適当な傾斜を有したいわゆるくさひ形の補
正板９ｂ、９ｅを用いている。
第３図Ａに扇すように補正板９としてダミー用の平行平
板９ａを用い、両サイド色の露光時には第３図Ｂ、Ｃに
示すように光源６を所定の位置に移動させるとともに補
正板９として適当な傾斜を有したいわゆるくさひ形の補
正板９ｂ、９ｅを用いている。
この補正板９ｂ 、９ｃは一般に同一の傾斜を有し、こ
の傾斜かそれぞれ反対力向を向くように配置される。
の傾斜かそれぞれ反対力向を向くように配置される。
したかつて３色を露光する場合、摺動機構γによって光
源６を移動させるとともに、それぞれに適した補正板９
を入れ替えなければならす、この入れ替え作業か煩雑で
あり、特に、レジストストライプを形成する際には３個
所における露光を順次行なう必要かあるため生産効率の
点から好ましいものでなかった。
源６を移動させるとともに、それぞれに適した補正板９
を入れ替えなければならす、この入れ替え作業か煩雑で
あり、特に、レジストストライプを形成する際には３個
所における露光を順次行なう必要かあるため生産効率の
点から好ましいものでなかった。
また、両サイド色に用いる補正板９ｂ 、９ｃは同一の
ものを１８０°力向を変えて使用すれはよいが、使用方
向の誤りを防止するためには各色別に専用のものを用意
する必要か生じ、さらに１色ずつ順序露光するため使用
していない補正板を一時的に格納する必要を生ずるなど
多くの欠点を有している。
ものを１８０°力向を変えて使用すれはよいが、使用方
向の誤りを防止するためには各色別に専用のものを用意
する必要か生じ、さらに１色ずつ順序露光するため使用
していない補正板を一時的に格納する必要を生ずるなど
多くの欠点を有している。
この発明は上述のような欠点を解消するためなされたも
ので、一対のくさび形補正板を用いこの補正板を回転さ
せるように構成した露光装置を提供するものである。
ので、一対のくさび形補正板を用いこの補正板を回転さ
せるように構成した露光装置を提供するものである。
以下、この発明を一実施例である第４図第５図。
について詳細に説明する。
第４図において、第２図と同一符号は同一部分を示し、
１０．１１は一対のくさひ形補正板、１２．１３はそれ
ぞれ補正板ｉｏ、ｉｉを本体５に対して回転可能に支持
する支持体、１４．１５はそれぞれ支持体１２．１３を
回転させるスイッチの投入によって動作を開始し、１８
００の回転で停止するように構成される。
１０．１１は一対のくさひ形補正板、１２．１３はそれ
ぞれ補正板ｉｏ、ｉｉを本体５に対して回転可能に支持
する支持体、１４．１５はそれぞれ支持体１２．１３を
回転させるスイッチの投入によって動作を開始し、１８
００の回転で停止するように構成される。
なお、補正板１０゜１１はそれぞれの両面のなす開き角
度か回−のもので構成され、それぞれの傾斜面か相対向
するように、かつ中心かパネル１の中心線上に重なるよ
うに配置されている。
度か回−のもので構成され、それぞれの傾斜面か相対向
するように、かつ中心かパネル１の中心線上に重なるよ
うに配置されている。
このような構成のもとで、ますセンター色を露光する場
合第５図Ａに示すように補正板１０．１１をそれぞれの
傾斜面か平行になるように配置して光源６から光を発生
させると、下方の補正板１０で屈折した光は上方の補正
板１１で元の方向に修正され、等価的に第５図Ａ′に示
すように平行平板を通して露光することになる。
合第５図Ａに示すように補正板１０．１１をそれぞれの
傾斜面か平行になるように配置して光源６から光を発生
させると、下方の補正板１０で屈折した光は上方の補正
板１１で元の方向に修正され、等価的に第５図Ａ′に示
すように平行平板を通して露光することになる。
次に右サイド色を露光する場合、光源６を左側に移動さ
せるとともに、駆動装置１４を動作させて補正板１０を
ｉｓｏ。
せるとともに、駆動装置１４を動作させて補正板１０を
ｉｓｏ。
だけ回転させ、第５図Ｂに示すように補正板１０゜１１
の薄肉側を光源６の移動方向と同じ側に配置させると、
第５図Ｂ′に示すように等価的に光源６の移動方向を向
いたくさび形の補正板を用いて補正することになる。
の薄肉側を光源６の移動方向と同じ側に配置させると、
第５図Ｂ′に示すように等価的に光源６の移動方向を向
いたくさび形の補正板を用いて補正することになる。
さらに左サイド色を露光する場合、駆動装置１４．１５
をもとに動作させて補正板１０．１１をそれぞれ１８０
°回転させ、第５図Ｃに示すように補正板１４．１５の
薄肉側を反対力向に位置させ、同時に光源６を右１則に
移動させて露光すると、第５図Ｃ′に示すように、第５
図Ｂ′とは逆方向のくさひ形補正板を用いることになり
、所期の補正量を得ることができる。
をもとに動作させて補正板１０．１１をそれぞれ１８０
°回転させ、第５図Ｃに示すように補正板１４．１５の
薄肉側を反対力向に位置させ、同時に光源６を右１則に
移動させて露光すると、第５図Ｃ′に示すように、第５
図Ｂ′とは逆方向のくさひ形補正板を用いることになり
、所期の補正量を得ることができる。
このように２枚のくさひ形補正板１０，１１を組合せる
ことによって３種類の補正を行なうことが可能となり、
しかも露光装置から補正板ｉｏ、１ｉを出し入れする必
要かなく、極めて作業性を向上させることかできる。
ことによって３種類の補正を行なうことが可能となり、
しかも露光装置から補正板ｉｏ、１ｉを出し入れする必
要かなく、極めて作業性を向上させることかできる。
また、駆動装置１４．１５を摺動機構１と連動して動作
するように構成することによって露光作業の自動化を図
ることができる。
するように構成することによって露光作業の自動化を図
ることができる。
なお、上述の実施例においては、２枚のくさび形補正板
１０．１１を同一の傾斜を有するもので構成したが、２
枚の補正板の傾斜すなわち両面のなす角度を異なったも
ので構成してもよく、この場合、センター色の露光時に
は平行平板ではなく特定の傾斜を有した特価補正板とな
り、あるいは２枚の補正板の回転方位を選定することに
よって特定の方向に傾斜した補正板を形成することかで
きる。
１０．１１を同一の傾斜を有するもので構成したが、２
枚の補正板の傾斜すなわち両面のなす角度を異なったも
ので構成してもよく、この場合、センター色の露光時に
は平行平板ではなく特定の傾斜を有した特価補正板とな
り、あるいは２枚の補正板の回転方位を選定することに
よって特定の方向に傾斜した補正板を形成することかで
きる。
また、くさひ形補ｉＥ板１０．１１の表面を平粕面で形
成せず、曲面形状に構成してもよく、所定のランディン
グ特性を補正することが可能となる。
成せず、曲面形状に構成してもよく、所定のランディン
グ特性を補正することが可能となる。
さらに２枚の補正板１０．１１は補正レンズ８とシャド
ウマスク３との間に配置しても同等の効果を得ることが
できる。
ウマスク３との間に配置しても同等の効果を得ることが
できる。
さらに駆動装置ｉ４．ｉｓとしてはモータ等によって動
作するものではなく、例えは支持体１２゜１３にレバー
を設け、このレバーを手動回転させるように構成しても
よい。
作するものではなく、例えは支持体１２゜１３にレバー
を設け、このレバーを手動回転させるように構成しても
よい。
以上説明したように、この発明は２枚のくさび形補正板
を回転可能に配置することによって補正板の出し入れ作
業をなくすことができ、カラー受像管の生産性を極めて
向上させることができる。
を回転可能に配置することによって補正板の出し入れ作
業をなくすことができ、カラー受像管の生産性を極めて
向上させることができる。
第１図は、カラー受像管の動作を示す概要図、第２図は
従来の露光装置を示す断面図、第３図は従来の露光装置
の色別動作状態を示す断面図第４図はこの発明の一実施
例である露光装置を示す断面図、第５図は第４図に示す
実施例の色別動作状態を示ず所信」図である。 なお、図中同−符−号は同一あるいは相当する部分を示
すものとする。 図中、１はパネル、２は螢光体又はレジスト、３はシャ
ドウマスク、４は電子銃、５は露光付本体、６は光源、
γは摺動機構、８は補正レンズ、１０．１１は補正板、
１４．１５は１駆動装置であるＯ
従来の露光装置を示す断面図、第３図は従来の露光装置
の色別動作状態を示す断面図第４図はこの発明の一実施
例である露光装置を示す断面図、第５図は第４図に示す
実施例の色別動作状態を示ず所信」図である。 なお、図中同−符−号は同一あるいは相当する部分を示
すものとする。 図中、１はパネル、２は螢光体又はレジスト、３はシャ
ドウマスク、４は電子銃、５は露光付本体、６は光源、
γは摺動機構、８は補正レンズ、１０．１１は補正板、
１４．１５は１駆動装置であるＯ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 露光光線を発生する光源、この光源と被露光体との
間に配置され、露光光線の方向を補正する補正レンズお
よび一対のくさび形補正板、このくさび形補正板を回転
させる駆動装置を備えた露光装置。 ２ 露光光線を発生する光源、この光源を３個所に摺動
させる摺動機構、上記光源と被露光体との間に配置され
、露光光線の方向を補正する補正レンズおよび一対のく
さび形補正板、このくさび形補正板を回転させる駆動装
置を備え、上記一対のくさび形補正板を上記光源の位置
に対応して３種類の補正形態に組み合するようにしたこ
とを特徴とする露光装置。 ３一対のくさび形補正板をその両面のなす開き角度が同
一のもので形成したことを特徴とする特許請求の範囲第
２項記載の露光装置。 ４ くさび形補正板の表面を曲面形状に構成したことを
特徴とする特許請求の範囲第２項記載の露光装置。 ５一対のくさび形補正板を光源と補正レンズとの間に配
置したことを特徴とする特許請求の範囲第２項及至第４
項のいずれか一項記載の露光装置。 ６ 駆動装置は一対のくさび形補正板の回転角度が１８
０°を単位として動作するように構成したことを特徴と
する特許請求の範囲第２項及至第５項のいずれか一項記
載の露光装置。 γ 摺動機構と１駆動装置とを連動して動作させるよう
にしたことを特徴とする特許請求の範囲第２項及至第６
項のいずれか一項記載の露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3227176A JPS5845131B2 (ja) | 1976-03-24 | 1976-03-24 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3227176A JPS5845131B2 (ja) | 1976-03-24 | 1976-03-24 | 露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS52115658A JPS52115658A (en) | 1977-09-28 |
| JPS5845131B2 true JPS5845131B2 (ja) | 1983-10-07 |
Family
ID=12354320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3227176A Expired JPS5845131B2 (ja) | 1976-03-24 | 1976-03-24 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5845131B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10847030B2 (en) | 2016-06-07 | 2020-11-24 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Parking space search device, parking space searching method, and recording medium |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0612653B2 (ja) * | 1981-02-16 | 1994-02-16 | 株式会社東芝 | 露光用補正レンズ |
-
1976
- 1976-03-24 JP JP3227176A patent/JPS5845131B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10847030B2 (en) | 2016-06-07 | 2020-11-24 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Parking space search device, parking space searching method, and recording medium |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS52115658A (en) | 1977-09-28 |
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