JPS5842634B2 - 横方向放電連続発振ガスレ−ザ管 - Google Patents

横方向放電連続発振ガスレ−ザ管

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JPS5842634B2
JPS5842634B2 JP6578281A JP6578281A JPS5842634B2 JP S5842634 B2 JPS5842634 B2 JP S5842634B2 JP 6578281 A JP6578281 A JP 6578281A JP 6578281 A JP6578281 A JP 6578281A JP S5842634 B2 JPS5842634 B2 JP S5842634B2
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JP
Japan
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cathode electrode
discharge
continuous wave
gas laser
gas
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Application number
JP6578281A
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JPS57180190A (en
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充男 笠松
明 小原
孝一 塚本
太 内山
進 白鳥
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National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Original Assignee
Agency of Industrial Science and Technology
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/038Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
    • H01S3/0385Shape
    • H01S3/0387Helical shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/038Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition

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Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、小形で大出力が得られるようにした横方向
放電連続発振ガスレーザ管に関するものである。
炭酸ガスなどの分イを用いた大出力分イレーザでは、レ
ーザガスを冷却し翁効分子数を増すため、光軸に垂直な
方向にガスを流して放電させ大出力を得ている。
これを第1図と第2図によって説明する。
第1図は従来のパイプを用いたカソード電極によるレー
ザの一例を示す剰視図、第2図は第1図の側面図である
これらの図において、1は銅などの金属パイプからなる
カソード電極、2は多数のピンからなるアノード電極、
3は前記カソード電極1およびアノード電極2をつつん
でガス流路を形成する外囲器である。
そして、各アノード電極2にはそれぞれ数に8から数1
0に、Qの安定化抵抗器4が接続され、カソード電極1
とともに電源5に接続されている。
カソード電極1とアノード電極2の間には矢印6の方向
にガスが流れ、カソード電極1とアノード電極2との間
の放電によってレーザガスが励起されている。
レーザの光軸は第2図において紙面の垂直方向に設定さ
れ、この両端におかれた鏡(図示せず)によって共振器
が形成される。
上記のように構成されたレーザ管は放電断面を大きくし
易い利点があるが、カソード電極1として金属パイプを
使用しているため放電、が集中し易く、従ってカソード
電極1の表面がスパッタし易いので時々カソード電極1
を研磨して凹凸を取り除き、滑らかにする必要がある。
また、カソード電極1によってガス流に乱流が発生し易
く、放電が集中してアーク化し易い傾向がある等の欠点
があった。
この発明は上記の欠点を除去するためになされたもので
、放電電流を増加してレーザをより小形化、大出力化し
ようとするものである。
以下、この発明について説明する。
第3図、第4図はこの発明の一実施例を示す側面図と、
そのカソード電極の部分側視図である。
これらの図で、カソード電極11は銅などの金属板12
と、その後縁側に固定したリングまたはスパイラル状の
モリブデン等の耐熱金属体13とより形成される。
金属板12の前端、後端はガス流に対する抵抗を減らし
乱流の発生を少なくするため流線形に丸める。
そして、耐熱金属体13の表面がガードとして作用する
ため、放電が一様になり、アーク化がおさえられる。
また、金属板12の冷却のため冷却水通路14を設ける
とよい。
さらに、金属板12の表面はカソード電極として作用し
ない方が放電の一様化には望ましいので、表面をセラミ
ックやボロン等の耐熱性絶縁物で覆うとよい。
その他第1図、第2図と同一符号は同一部分を示す。
また、第3図中の点線の円はレーザビームを示す。
さて、レーザ゛出力は利得のあるレーザ゛ガス量(大体
放電領域と考えてよい)に略に比例して増加する。
放電の一様性が悪いと放電の強いところにますます集中
するようになり、遂にアークになって発振が停止してし
まう。
このため放電はできるだけ一様であることが望ましいが
、電極としてパイプを使用すると、電極が小さくなり放
電が集中してしまう。
そこでパイプを太くすると、ガス流の乱流成分が大きく
なり、放電に強弱ができて局所的に集中してしまう。
ところが、第3図、第4図に示すこの発明では、リング
状またはスパイラル状の耐熱金属体13を用いているの
で、ガス流に対する抵抗は小さく、しかも放電に対して
は等価的に太い電極を用いたことになり、一様な放電が
行われる。
なお、上記実施例は、アノード電極2としてピンを用い
る場合を述べたが、グラファイト等の抵抗体を用いるこ
とも考えられる。
また、レーザにそれほど大出力を要しないときには上、
千両アノード電極2を用いずに、どちらか一方のみを用
いてもよいことはもちろんである。
以上訣明したようにこの発明は、カソード電極を良導体
からなる平板と、この平板のガス流に対する後縁側に固
定したリング状またはスパイラル状の耐熱金属体とで構
成したので、アーク化がおさえられ、放電の一様性を増
加することができるので、レーザの小形化、大出力化に
きわめて壱効である利点を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のパイプを用いたカソード電極によるレー
ザの一例を示す剰視図、第2図は第1図の側面図、第3
図はこの発明の一実施例を示す側面図、第4図は第3図
の要部を示すカソード電極の部分劇視図である。 図中、2はアノード電極、3は外囲器、4は安定化抵抗
器、5は電源、11はカソード電極、12は金属板、1
3は耐熱金属体、14は冷却水通路である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 カソード電極とアノード電極との間の放電によりガ
    スを励起してレーザ光を得るガスレーザにおいて、前記
    カソード電極を良導体からなる平板と、この平板のガス
    流に対する後縁側に固定したリング状またはスパイラル
    状の耐熱金属体とで構成したことを特徴とする横方向放
    電連続発振ガスレーザ管。
JP6578281A 1981-04-30 1981-04-30 横方向放電連続発振ガスレ−ザ管 Expired JPS5842634B2 (ja)

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JP6578281A JPS5842634B2 (ja) 1981-04-30 1981-04-30 横方向放電連続発振ガスレ−ザ管

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Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS57180190A JPS57180190A (en) 1982-11-06
JPS5842634B2 true JPS5842634B2 (ja) 1983-09-21

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