JPS58103186A - Ｒｆ放電炭酸ガス導波型レ−ザ管 - Google Patents
Ｒｆ放電炭酸ガス導波型レ−ザ管Info
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- JPS58103186A JPS58103186A JP20148181A JP20148181A JPS58103186A JP S58103186 A JPS58103186 A JP S58103186A JP 20148181 A JP20148181 A JP 20148181A JP 20148181 A JP20148181 A JP 20148181A JP S58103186 A JPS58103186 A JP S58103186A
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- JP
- Japan
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- discharge
- laser tube
- metal
- type laser
- carbon dioxide
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- Pending
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/0315—Waveguide lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は横方向（光軸に直角方向）に起るＲＦ放電を用
いて炭酸ガス（ＣＯ２）導波型レーザ管を励起し、 Ｒ
Ｆ放電の２つの電極が対向して漏洩導波路の一部を形成
するようなＲＦ放電ＣＯ□導波型レーザ管に関するもの
である。
いて炭酸ガス（ＣＯ２）導波型レーザ管を励起し、 Ｒ
Ｆ放電の２つの電極が対向して漏洩導波路の一部を形成
するようなＲＦ放電ＣＯ□導波型レーザ管に関するもの
である。
横方向に放電を起すＲＦ放電ＣＯ１導波型レーザ管にお
いては、２つの対向したＲＦ放電用電極を長手方向（光
軸方向）に漏洩導波路の一部を形成しながら設置し、ま
た導波路内壁の他の部分は誘電体で形成される。ところ
でＣＯ２導波型レーザ管においては放電によりＣＯ２→
ＣＯキ１／２０．の分解反応が起る。このためレーザ管
内に金属があれば、その表面部は分解生成物である０２
によシ酸化されるので、０．が減少する。
いては、２つの対向したＲＦ放電用電極を長手方向（光
軸方向）に漏洩導波路の一部を形成しながら設置し、ま
た導波路内壁の他の部分は誘電体で形成される。ところ
でＣＯ２導波型レーザ管においては放電によりＣＯ２→
ＣＯキ１／２０．の分解反応が起る。このためレーザ管
内に金属があれば、その表面部は分解生成物である０２
によシ酸化されるので、０．が減少する。
従って分解生成物でろ・るＣＯが増え、レーザ媒質であ
るＣＯ！が減少するため、ＣＯ，導波型レーザ管の寿命
は短くなる。
るＣＯ！が減少するため、ＣＯ，導波型レーザ管の寿命
は短くなる。
従って本発明の目的は、レーザ管中のレーザ媒質ＣＯ１
の減少が少なく寿命の長いＲＦ放電ＣＯ。
の減少が少なく寿命の長いＲＦ放電ＣＯ。
導波型レーザ管を提供することにある。
本発明によれば、対向する２つの電極および対向する２
つの誘電体で囲む漏洩波の導波路が光軸と直角の方向に
ＲＦ放電が起るＲＦ放電路となシワレーザ媒質が炭酸ガ
スである導波型レーザ管において、前記電極がその表面
の前記放電路に面した部分に耐酸化性金属を被着して成
ることを特徴とするＲＦ放電炭酸ガス導波型レーザ管が
得られる。
つの誘電体で囲む漏洩波の導波路が光軸と直角の方向に
ＲＦ放電が起るＲＦ放電路となシワレーザ媒質が炭酸ガ
スである導波型レーザ管において、前記電極がその表面
の前記放電路に面した部分に耐酸化性金属を被着して成
ることを特徴とするＲＦ放電炭酸ガス導波型レーザ管が
得られる。
次に図面を参照して詳細に説明する。
第１図は従来のＲＦ放電ＣＯ□導波型レーザ管を光軸に
直角に切断した断面を示した図である。
直角に切断した断面を示した図である。
第１図において、１と２は対向するフエルニコ合金から
成る金属電極、６と４は熱伝導特性のより誘電体である
アルミナまたはべりリアのセラミック、５は漏洩波の導
波路となっている放電路を示している。この放電路５に
おいてはレーザ光の光軸は紙面に垂直になっており、
ＲＦ放電は両電極１と２の間で光軸に直角の方向に起る
。
成る金属電極、６と４は熱伝導特性のより誘電体である
アルミナまたはべりリアのセラミック、５は漏洩波の導
波路となっている放電路を示している。この放電路５に
おいてはレーザ光の光軸は紙面に垂直になっており、
ＲＦ放電は両電極１と２の間で光軸に直角の方向に起る
。
ＣＯ２導波型レーザ管においては先に述べたように放電
によりレーザ媒質ＣＯ２の一部が分解してＣＯ＋１／２
０□が生じる。発生した０□の活性度は高く、金属電極
１と２を酸化するので、レーザ管内の０２は減少する。
によりレーザ媒質ＣＯ２の一部が分解してＣＯ＋１／２
０□が生じる。発生した０□の活性度は高く、金属電極
１と２を酸化するので、レーザ管内の０２は減少する。
このため前記の分解反応は更に進み、結果的にＣＯが増
え、レーザ媒質であるＣＯ３が減少していく。このよう
な過程をたどるとレーザ出力は減少していき、し〜ザ管
の寿命は終わる。
え、レーザ媒質であるＣＯ３が減少していく。このよう
な過程をたどるとレーザ出力は減少していき、し〜ザ管
の寿命は終わる。
第２図は本発明の一実施例であるＣＯ，導波型レーザ管
の光軸に直角に切断した断面を示した図である。この第
２図の構成において、１１と１２が金属の電極を、１６
と１４が熱伝導特性のよい誘電体を、１５が放電路をあ
られすことは第１図の従来の装置の場合と同じであるが
、従来の装置と異るところは、電極１１が７工ルニコ合
金から成る基体金属１１ａと、この基体金属の放電路１
５に面した表面に被覆した耐酸化性金属の薄板（膜）１
２ｂとから成っている。
の光軸に直角に切断した断面を示した図である。この第
２図の構成において、１１と１２が金属の電極を、１６
と１４が熱伝導特性のよい誘電体を、１５が放電路をあ
られすことは第１図の従来の装置の場合と同じであるが
、従来の装置と異るところは、電極１１が７工ルニコ合
金から成る基体金属１１ａと、この基体金属の放電路１
５に面した表面に被覆した耐酸化性金属の薄板（膜）１
２ｂとから成っている。
上記において、耐酸化性金属とは＋ Ａｕ、 Ａｇ＋Ｐ
ｔ、 Ｐｄ、 Ｎｉ、 Ａｔなどのように、酸化の極め
てし難い金属あるいははじめは僅かな酸化するがそのあ
と酸化しにくい金属（Ａｔ）を指すものである。
ｔ、 Ｐｄ、 Ｎｉ、 Ａｔなどのように、酸化の極め
てし難い金属あるいははじめは僅かな酸化するがそのあ
と酸化しにくい金属（Ａｔ）を指すものである。
ところでこれらの金属は一般にスパッタし易い金属或い
は比較的スパッタし易い金属として放電用電極として使
用しなかったものであるが。
は比較的スパッタし易い金属として放電用電極として使
用しなかったものであるが。
本発明に幹いてはＲＦ放電の場合その周波数の値を適当
に選ぶことによりイオンや電子が電極に衝突しなくなる
ことに着目し、生えて放電用電極として使用するように
したものである。而も上記の金属は耐酸化性を有してい
るので、これら耐酸化性金属を表面に被着した電極を持
つＲＦ放電ＣＯ２導波型レーザ管においては、０２が減
少しない上スパッタも起らず、レーザ管としての寿命が
長くなる。更に上記の耐酸化性金属のうち、 ｐｔとＰ
ｄなどＣＯ＋ １／２０２→ＣＯ□の触媒作用を持って
いるのでＣＯ２の減少はよシ一層少なくなり、極めて好
ましいものである。 ″以上述べたように、 ＲＦ放電
用の電極の表面に耐酸化性金属をコーティングすれば、
長寿命なＲＦ放電ＣＯ，導波型レーザが得られる。
に選ぶことによりイオンや電子が電極に衝突しなくなる
ことに着目し、生えて放電用電極として使用するように
したものである。而も上記の金属は耐酸化性を有してい
るので、これら耐酸化性金属を表面に被着した電極を持
つＲＦ放電ＣＯ２導波型レーザ管においては、０２が減
少しない上スパッタも起らず、レーザ管としての寿命が
長くなる。更に上記の耐酸化性金属のうち、 ｐｔとＰ
ｄなどＣＯ＋ １／２０２→ＣＯ□の触媒作用を持って
いるのでＣＯ２の減少はよシ一層少なくなり、極めて好
ましいものである。 ″以上述べたように、 ＲＦ放電
用の電極の表面に耐酸化性金属をコーティングすれば、
長寿命なＲＦ放電ＣＯ，導波型レーザが得られる。
第１図は従来のＲＦ放電ＣＯ□導波型レーザの放電路部
分の光軸と直角面の断面を示した図。 第２図は本発明の実施例の光軸と直角面の断面を示した
図である。 記号の説明：１１は電極、１１ａはフェルニコ合金、１
１ｂは耐酸化性金属、１２は電極、１５と１４は熱伝導
性の良好な誘電体、１５は放電路をそれぞれあられして
いる。
分の光軸と直角面の断面を示した図。 第２図は本発明の実施例の光軸と直角面の断面を示した
図である。 記号の説明：１１は電極、１１ａはフェルニコ合金、１
１ｂは耐酸化性金属、１２は電極、１５と１４は熱伝導
性の良好な誘電体、１５は放電路をそれぞれあられして
いる。
Claims (1)
- １、対向する２つの電極および対向する２つの誘電体で
囲む漏洩波の導波路が光軸と直角の方向にＲＦ放電が起
るＲＦ放電路となり、レーザ媒質が炭酸ガスである導波
型レーザ管において、前記電極がその表面の前記放電路
に面した部分に耐酸化性金属を被着して成ることを特徴
とするＲＦ放電炭酸ガス導波型レーザ管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20148181A JPS58103186A (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | Ｒｆ放電炭酸ガス導波型レ−ザ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20148181A JPS58103186A (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | Ｒｆ放電炭酸ガス導波型レ−ザ管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58103186A true JPS58103186A (ja) | 1983-06-20 |
Family
ID=16441776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20148181A Pending JPS58103186A (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | Ｒｆ放電炭酸ガス導波型レ−ザ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58103186A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59185862U (ja) * | 1983-05-27 | 1984-12-10 | 富士電波工機株式会社 | 放電電極装置 |
| JPH02103973A (ja) * | 1988-10-13 | 1990-04-17 | Toshiba Corp | パルスレーザ発振装置 |
| JPH06260699A (ja) * | 1992-10-06 | 1994-09-16 | Lambda Physik G Zur Herstellung Von Lasern Mbh | プレイオン化および／または放電用の少なくとも１つの陽極および陰極を有するレーザー |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54103692A (en) * | 1978-01-16 | 1979-08-15 | Hughes Aircraft Co | Waveguide gas laser |
| JPS5655085A (en) * | 1979-09-24 | 1981-05-15 | Dexter Katherine | Waveguide laser |
-
1981
- 1981-12-16 JP JP20148181A patent/JPS58103186A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54103692A (en) * | 1978-01-16 | 1979-08-15 | Hughes Aircraft Co | Waveguide gas laser |
| JPS5655085A (en) * | 1979-09-24 | 1981-05-15 | Dexter Katherine | Waveguide laser |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59185862U (ja) * | 1983-05-27 | 1984-12-10 | 富士電波工機株式会社 | 放電電極装置 |
| JPH02103973A (ja) * | 1988-10-13 | 1990-04-17 | Toshiba Corp | パルスレーザ発振装置 |
| JPH06260699A (ja) * | 1992-10-06 | 1994-09-16 | Lambda Physik G Zur Herstellung Von Lasern Mbh | プレイオン化および／または放電用の少なくとも１つの陽極および陰極を有するレーザー |
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