JPH04217380A - Ｃｏ又はｃｏ２ 導波路レーザ - Google Patents
Ｃｏ又はｃｏ２ 導波路レーザInfo
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/0315—Waveguide lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
- H01S3/0388—Compositions, materials or coatings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、横方向励起される封
じ切り形ＣＯ又はＣＯ２ 導波路レーザに関する。
じ切り形ＣＯ又はＣＯ２ 導波路レーザに関する。
【０００２】
【従来の技術】導波路面として働き相互に絶縁材料片に
より分離された二つの金属電極を備えるこの種のレーザ
は、「アイトリプルイー（ＩＥＥＥ）学会誌、量子エレ
クトロニクス編」第ＱＥ２０巻、第３号、１９８４年３
月から知られている。前記文献では研磨されたアルミニ
ウムから成る二つのアルミニウム電極が用いられる。し
かしながら多くの他の金属と同様にアルミニウムは、Ｃ
Ｏ又はＣＯ２ 導波路レーザのプラズマの酸素と反応す
る。それにより封じ切り（Ｓｅａｌｅｄ−Ｏｆｆ）形レ
ーザ内の酸素含有量が長い時間にわたり絶えず減少する
ので、レーザデータが変化し寿命が期待にそぐわないこ
とが判明した。その際アルミナの形成もレーザ放電の条
件のもとでは、全く又は少なくとも十分短い時間ではア
ルミナの密な耐久性のある層をもたらさない。
より分離された二つの金属電極を備えるこの種のレーザ
は、「アイトリプルイー（ＩＥＥＥ）学会誌、量子エレ
クトロニクス編」第ＱＥ２０巻、第３号、１９８４年３
月から知られている。前記文献では研磨されたアルミニ
ウムから成る二つのアルミニウム電極が用いられる。し
かしながら多くの他の金属と同様にアルミニウムは、Ｃ
Ｏ又はＣＯ２ 導波路レーザのプラズマの酸素と反応す
る。それにより封じ切り（Ｓｅａｌｅｄ−Ｏｆｆ）形レ
ーザ内の酸素含有量が長い時間にわたり絶えず減少する
ので、レーザデータが変化し寿命が期待にそぐわないこ
とが判明した。その際アルミナの形成もレーザ放電の条
件のもとでは、全く又は少なくとも十分短い時間ではア
ルミナの密な耐久性のある層をもたらさない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この発明の課題は、前
記の種類のレーザにおいて品質を損なうことなく寿命を
延長することにある。
記の種類のレーザにおいて品質を損なうことなく寿命を
延長することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この課題はこの発明に基
づき、電極が、隣接するプラズマによる酸化に耐え導波
に対し妨げとならない小さい粗さを有する層により覆わ
れる（不動態化される）ことにより解決される。
づき、電極が、隣接するプラズマによる酸化に耐え導波
に対し妨げとならない小さい粗さを有する層により覆わ
れる（不動態化される）ことにより解決される。
【０００５】隣接するプラズマによる酸化に耐える層と
しては、アルミニウム、クロム、ニッケルから成り不動
態化されたすなわちイオン化された酸素又はレーザプラ
ズマの作用する場合にほとんど変化しない層か、又は貴
金属特に金、白金、パラジウムから成る層が適している
。これらの層は高い品質及び高い表面平滑度により製造
することができる。アルミニウム層を用いる場合には、
最高純度アルミニウムの形のアルミニウムが施されるこ
とが推奨される。最高純度アルミニウムは非常に良好に
磨くことができ、かつ酸化の際に導波路特性を損なわな
い密で滑らかな酸化物層を作る。それゆえにまさにこの
層はアルミナ層による不動態化に対し適しており、その
際導波中の避けられない損失を粗さにより高めないため
に、アルミナ層は１μｍ以下の厚さとすべきである。
しては、アルミニウム、クロム、ニッケルから成り不動
態化されたすなわちイオン化された酸素又はレーザプラ
ズマの作用する場合にほとんど変化しない層か、又は貴
金属特に金、白金、パラジウムから成る層が適している
。これらの層は高い品質及び高い表面平滑度により製造
することができる。アルミニウム層を用いる場合には、
最高純度アルミニウムの形のアルミニウムが施されるこ
とが推奨される。最高純度アルミニウムは非常に良好に
磨くことができ、かつ酸化の際に導波路特性を損なわな
い密で滑らかな酸化物層を作る。それゆえにまさにこの
層はアルミナ層による不動態化に対し適しており、その
際導波中の避けられない損失を粗さにより高めないため
に、アルミナ層は１μｍ以下の厚さとすべきである。
【０００６】電極は加工性及び伝熱性の良い材料から作
られるのが合目的であり、特に銅又はアルミニウムが適
している。電極材料としてアルミニウム合金を用いるな
らば、アルミニウム合金上にまずニッケルから成る層が
次に最高純度アルミニウムから成る層が施され、最高純
度アルミニウム層が露出面上を前記の種類の不動態化層
により覆われることが推奨される。それでアルミニウム
合金の場合に生じがちな粗い層が避けられ、また長時間
にわたり酸化に耐える層が得られる。
られるのが合目的であり、特に銅又はアルミニウムが適
している。電極材料としてアルミニウム合金を用いるな
らば、アルミニウム合金上にまずニッケルから成る層が
次に最高純度アルミニウムから成る層が施され、最高純
度アルミニウム層が露出面上を前記の種類の不動態化層
により覆われることが推奨される。それでアルミニウム
合金の場合に生じがちな粗い層が避けられ、また長時間
にわたり酸化に耐える層が得られる。
【０００７】導波路レーザはスラブ又はストリップ導波
路レーザとして構成されるのが特に有利である。この種
のレーザの場合にはプラズマによる壁負荷が比較的大き
く、この発明に基づく不動態化による実効が特に高い。 その際被覆された電極の間にセラミック片が挿入ろう付
けされ、これらの片がプラズマ室の側方境界としてまた
電極のための間隔保持体として働くことにより、特に経
済的な構造が達成される。セラミック片のこの挿入ろう
付けは施された不動態化層により容易となり、セラミッ
ク部品とのろう付けの場合にさもなくば通常行われるよ
うな接触層の補助的な被覆を省略することができる。
路レーザとして構成されるのが特に有利である。この種
のレーザの場合にはプラズマによる壁負荷が比較的大き
く、この発明に基づく不動態化による実効が特に高い。 その際被覆された電極の間にセラミック片が挿入ろう付
けされ、これらの片がプラズマ室の側方境界としてまた
電極のための間隔保持体として働くことにより、特に経
済的な構造が達成される。セラミック片のこの挿入ろう
付けは施された不動態化層により容易となり、セラミッ
ク部品とのろう付けの場合にさもなくば通常行われるよ
うな接触層の補助的な被覆を省略することができる。
【０００８】
【実施例】次にこの発明に基づく導波路レーザの一実施
例を示す図面により、この発明を詳細に説明する。
例を示す図面により、この発明を詳細に説明する。
【０００９】図１に示す導波路レーザの一実施例の断面
図では、導波路レーザの二つの電極１、２がそれぞれ不
動態化層３を備え、これらの層がプラズマ室８に隣接す
る。二つのセラミック片４が不動態化層３の間に電極１
又は２上に挿入ろう付けされて、電極のための間隔保持
体としてかつプラズマ室８の閉鎖部として働く。不動態
化層３はプラズマ室８中のプラズマによる酸化に耐える
。それによりプラズマ中のイオンの平衡が長時間にわた
り維持されるので、レーザは寿命についての通常の要求
例えば５０００時間の寿命を満たす。
図では、導波路レーザの二つの電極１、２がそれぞれ不
動態化層３を備え、これらの層がプラズマ室８に隣接す
る。二つのセラミック片４が不動態化層３の間に電極１
又は２上に挿入ろう付けされて、電極のための間隔保持
体としてかつプラズマ室８の閉鎖部として働く。不動態
化層３はプラズマ室８中のプラズマによる酸化に耐える
。それによりプラズマ中のイオンの平衡が長時間にわた
り維持されるので、レーザは寿命についての通常の要求
例えば５０００時間の寿命を満たす。
【００１０】図２の平面図には不安定共振器を備えたス
トリップ導波路レーザが示されており、その際共振器は
鏡５、６により形成され、光出射窓７は鏡６に隣接して
配置されている。それ自体知られたこの種のレーザ構造
の場合には壁負荷が比較的高く、この発明の利点が特に
明らかに効果を発揮する。
トリップ導波路レーザが示されており、その際共振器は
鏡５、６により形成され、光出射窓７は鏡６に隣接して
配置されている。それ自体知られたこの種のレーザ構造
の場合には壁負荷が比較的高く、この発明の利点が特に
明らかに効果を発揮する。
【００１１】
【図１】この発明に基づく導波路レーザの一実施例の断
面図である。
面図である。
【図２】図１に示すレーザ、特にストリップ導波路レー
ザの平面図である。
ザの平面図である。
１、２ 電極
３ 不動態化層
４ セラミック片
８ プラズマ室
Claims (8)
- 【請求項１】 導波路面として働き相互に絶縁材料片
により分離された二つの金属電極を備え横方向励起され
る封じ切り形ＣＯ又はＣＯ２ 導波路レーザにおいて、
電極が、プラズマによる酸化に耐え導波に対し妨げとな
らない小さい粗さを有する層により覆われることを特徴
とするＣＯ又はＣＯ２ 導波路レーザ。 - 【請求項２】 電極が、不動態化されたＡｌ、Ｃｒ、
Ｎｉから成る層又は貴金属特にＡｕ、Ｐｔ、Ｐｄから成
る層により覆われることを特徴とする請求項１記載のレ
ーザ。 - 【請求項３】 最高純度アルミニウムの形のアルミニ
ウムが施されることを特徴とする請求項２記載のレーザ
。 - 【請求項４】 電極がアルミニウムから成り、アルミ
ナにより覆われて研磨され、アルミナ層が最大で約１μ
ｍの厚さであることを特徴とする請求項３記載のレーザ
。 - 【請求項５】 電極が不動態化された銅又はアルミニ
ウムから成ることを特徴とする請求項１又は２記載のレ
ーザ。 - 【請求項６】 電極がアルミニウム合金から成り、こ
の電極上にニッケルから成る少なくとも一つの層がそし
て最高純度アルミニウムから成る層が施され、最高純度
アルミニウムが露出面上を不動態化層により覆われるこ
とを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ。 - 【請求項７】 スラブ又はストリップ導波路レーザと
して構成されていることを特徴とする請求項１ないし６
の一つに記載のレーザ。 - 【請求項８】 被覆された電極の間にセラミック片が
挿入ろう付けされ、これらのセラミック片がプラズマ室
の側方境界としてまた電極のための間隔保持体として働
くことを特徴とする請求項７記載のレーザ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4006460.3 | 1990-03-01 | ||
| DE4006460 | 1990-03-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04217380A true JPH04217380A (ja) | 1992-08-07 |
Family
ID=6401216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3059715A Withdrawn JPH04217380A (ja) | 1990-03-01 | 1991-02-28 | Ｃｏ又はｃｏ２ 導波路レーザ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5088102A (ja) |
| EP (1) | EP0444442A3 (ja) |
| JP (1) | JPH04217380A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021516449A (ja) * | 2018-03-07 | 2021-07-01 | コヒレント， インコーポレイテッド | 伝導冷却式スラブレーザ |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5216689A (en) * | 1990-10-12 | 1993-06-01 | Coherent, Inc. | Slab laser with enhanced lifetime |
| DE4131623A1 (de) * | 1991-09-23 | 1993-03-25 | Siemens Ag | Bandleiterlaser |
| US7050475B2 (en) * | 2003-05-02 | 2006-05-23 | Litelaser Llc | Waveguide laser |
| US7260134B2 (en) * | 2004-02-06 | 2007-08-21 | Coherent, Inc. | Dielectric coupled CO2 slab laser |
| US7263116B2 (en) * | 2004-08-05 | 2007-08-28 | Coherent, Inc. | Dielectric coupled CO2 slab laser |
| ITFI20070142A1 (it) * | 2007-06-26 | 2008-12-27 | El En Spa | "sorgente laser a gas eccitata in radiofrequenza" |
| DE102010040298B4 (de) | 2010-06-08 | 2012-09-13 | Rofin-Sinar Laser Gmbh | Bandleiterlaser |
| DE102011003147B3 (de) * | 2011-01-26 | 2012-04-05 | Rofin-Sinar Laser Gmbh | Bandleiterlaser |
| CN105305215B (zh) * | 2015-11-06 | 2018-08-17 | 华中科技大学 | 一种激光器 |
| CN105375242A (zh) * | 2015-11-24 | 2016-03-02 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 二氧化碳激光器电极板的表面处理方法及激光器 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR89308E (fr) * | 1965-07-29 | 1967-06-09 | Telecommunications Sa | Générateur statique d'émission continue et cohérente de rayonnement infra-rouge |
| US4875218A (en) * | 1985-05-29 | 1989-10-17 | Hitachi Cable Ltd. | Thin-film coated waveguide laser |
| EP0267304A1 (de) * | 1986-11-10 | 1988-05-18 | LITEF GmbH | Verfahren zur Herstellung von Laser-Kathoden |
| US4719639B1 (en) * | 1987-01-08 | 1994-06-28 | Boreal Laser Inc | Carbon dioxide slab laser |
| US4756000A (en) * | 1987-02-18 | 1988-07-05 | Macken John A | Discharge driven gold catalyst with application to a CO2 laser |
| US4757512A (en) * | 1987-02-18 | 1988-07-12 | Macken John A | Discharge driven silver oxide catalyst with application to a CO2 laser |
| US4897848A (en) * | 1988-01-29 | 1990-01-30 | John Macken | Discharge driven precious metal catalyst with application to carbon monoxide lasers |
| US4991181A (en) * | 1989-01-18 | 1991-02-05 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Catalyst for carbon monoxide oxidation |
-
1991
- 1991-02-05 EP EP19910101540 patent/EP0444442A3/de not_active Withdrawn
- 1991-02-22 US US07/659,072 patent/US5088102A/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-02-28 JP JP3059715A patent/JPH04217380A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021516449A (ja) * | 2018-03-07 | 2021-07-01 | コヒレント， インコーポレイテッド | 伝導冷却式スラブレーザ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0444442A2 (de) | 1991-09-04 |
| US5088102A (en) | 1992-02-11 |
| EP0444442A3 (en) | 1991-11-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |