JPS5841304A - 回転体の半径方向位置検出器 - Google Patents
回転体の半径方向位置検出器Info
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- JPS5841304A JPS5841304A JP13955281A JP13955281A JPS5841304A JP S5841304 A JPS5841304 A JP S5841304A JP 13955281 A JP13955281 A JP 13955281A JP 13955281 A JP13955281 A JP 13955281A JP S5841304 A JPS5841304 A JP S5841304A
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- Japan
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- magnetic
- magnetic poles
- rotating body
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/004—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
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- G01B7/31—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、回転体の半径方向位置検出器に関するもので
ある。
ある。
磁気式位置検出器の原理図を第１図に示す、０字型の磁
路１Ｇ１〜１０８によって回転体１００の位置を検出す
る。今その説明ｆ：Ｘ軸方向の位置検出について行う、
各υ字型磁路はＩ軸、Ｉ軸そｎぞｎに対称に配置されて
お〕第１図に示すととく、各軸とのラジアンの角度管も
って配置されている。Ｕ字型磁路１０１，１０２および
１０３゜１０４によってＸ軸方向の１転倖１００の位置
を検出する。この時の各磁路での信号は、１０１と１０
２．１０３と１０４の間で互に加算さ【、その加算さｆ
した２つの信号の差を取ってＸ軸方向の回転体の位置検
出を行っていゐ、Ｙ軸方向についても同様である。とこ
ろで、回転体が振れ＠シを起こした場合には、その振れ
回りの振動数に対する高調波成分の振動数を同時に発生
する。ｔた、振れ回）を起さず、正常回転を行っている
場合でも回転体が真円でない場合には、その形状による
高調波成分の振動数を発生する。このような状態におい
て、基本周波数のみを正確に検出する方法が求められて
いる。第１図のように、Ｘ軸、Ｙ軸に対して、Ｕｆｆｌ
磁路１０１〜１０８が対称に配置さｎている場合は、偶
数次高調波成分は検出されないことは計算によシ明らか
である。ｔた、奇数次高調波成分については、軸とのな
す角度ａと奇数次高調波を表わす奇数外との間に次の関
係が成立する場合は奇数次高調波成分は検出されない。
路１Ｇ１〜１０８によって回転体１００の位置を検出す
る。今その説明ｆ：Ｘ軸方向の位置検出について行う、
各υ字型磁路はＩ軸、Ｉ軸そｎぞｎに対称に配置されて
お〕第１図に示すととく、各軸とのラジアンの角度管も
って配置されている。Ｕ字型磁路１０１，１０２および
１０３゜１０４によってＸ軸方向の１転倖１００の位置
を検出する。この時の各磁路での信号は、１０１と１０
２．１０３と１０４の間で互に加算さ【、その加算さｆ
した２つの信号の差を取ってＸ軸方向の回転体の位置検
出を行っていゐ、Ｙ軸方向についても同様である。とこ
ろで、回転体が振れ＠シを起こした場合には、その振れ
回りの振動数に対する高調波成分の振動数を同時に発生
する。ｔた、振れ回）を起さず、正常回転を行っている
場合でも回転体が真円でない場合には、その形状による
高調波成分の振動数を発生する。このような状態におい
て、基本周波数のみを正確に検出する方法が求められて
いる。第１図のように、Ｘ軸、Ｙ軸に対して、Ｕｆｆｌ
磁路１０１〜１０８が対称に配置さｎている場合は、偶
数次高調波成分は検出されないことは計算によシ明らか
である。ｔた、奇数次高調波成分については、軸とのな
す角度ａと奇数次高調波を表わす奇数外との間に次の関
係が成立する場合は奇数次高調波成分は検出されない。
π
２％
また、Ｘ軸方向の検出出力２と、α１％の関係は比列係
数１１とすると、 ｚ ＝ １ ６（Ｍ１％α で表わされる。Ｘ軸についてもｚ ｆ ｙに変えれば同
様である。
数１１とすると、 ｚ ＝ １ ６（Ｍ１％α で表わされる。Ｘ軸についてもｚ ｆ ｙに変えれば同
様である。
従来、第１図に示すような配置を実現する為Ｋ、１０１
〜１０８の各々について巻線を行い、各磁気回路を固定
して角度ａｔ決めていた。特に、基本振動数に対して、
第３次の高調波成分を検出しないようにする為、ａ冨π
／６に設定するが、構造上、小さくなると巻線のスペー
スが少くなる、あるいは磁極の数を多（しなけｎばなら
ない等の欠点があった。
〜１０８の各々について巻線を行い、各磁気回路を固定
して角度ａｔ決めていた。特に、基本振動数に対して、
第３次の高調波成分を検出しないようにする為、ａ冨π
／６に設定するが、構造上、小さくなると巻線のスペー
スが少くなる、あるいは磁極の数を多（しなけｎばなら
ない等の欠点があった。
第２図に本発明の一実施例を示す、Ｘ軸、Ｘ軸に対応す
る磁極２０１，２０７，２１０，２０４には巻線を行う
、ｔた各磁極２０１〜２１２は、Ｘ軸、Ｘ軸に対して対
称に配置されている。さらに巻線には高周波電流を流す
が、各瞬時において、発生する磁束の向きが磁極２０１
，２０７，２１０．２０４の回転体２００の側で、同一
方向である。今、Ｘ軸について考える。回転体２００が
中心の位置にある場合は、２０１，２０７，２１０．２
０４から発生する磁束は、２０２，２０３．２０５，２
０６，２０８，２０９，２１１，２１２、へ２００ｔ−
介して均等に通る。Ｘ軸方向で変位した場合、正方向の
信号と負方向の信号の差動で検出しているので！方向位
置検出出力は表ゎｎない、そζで、Ｘ軸の正方向として
、２０１゜２０２．２０３．２１２，２１１の磁極と、
負方向として、２０７，２０８，２０９，２０６，２０
５の磁極について考えｎば良い、正方向では、２０１．
２００．２０２と、２０１，２００，２ｏａと、２０１
，２００，２１２と、２０１．２Ｇｏ、２１１とによる
合計４個の磁気回路が構成さｊｌ、 、負方向でも同様
に２０７を中心に、２００と２０５．２０６．２．０８
．２０９の間で合計４個の磁気回路が構成さｎる。２０
１と２０２，２０１と２１２，２０７と２０８，２０７
と２０６で形成されるＵ字塑磁路の中心とＸ軸の成す角
度をαラジアン、２０１と２０３，２０１と２１１．２
０７と２０９，２０７と２０５で形成さｎるＵ字型磁路
の中心とＸ軸との放す角度ｔ−ｂラジアンとすると、冥
際には、２０１を一方とするＵ磁溢の磁路の中心とＸ軸
との放す角度がＣラジアンであるような磁極をＸ軸の正
方向に対して対称に２個仮想できる。ｔた、２０７に対
しても同様である。結局、Ｘ軸の正方向にはＸ軸に対し
て対称に、Ｕ字製の磁極間の中心がＸ軸とＣラジアンの
角度を成して２組有シ、Ｘ軸の負方向にも同様に２組存
在するのと同等表働き管する。Ｘ軸圧方向の２組の加算
信号と、Ｉ軸負方向の２組の加算信号の差動を取ること
により回転体の位置検出出力を得る。なお、ａ、ｂ、ｃ
の間には次の関係がある。
る磁極２０１，２０７，２１０，２０４には巻線を行う
、ｔた各磁極２０１〜２１２は、Ｘ軸、Ｘ軸に対して対
称に配置されている。さらに巻線には高周波電流を流す
が、各瞬時において、発生する磁束の向きが磁極２０１
，２０７，２１０．２０４の回転体２００の側で、同一
方向である。今、Ｘ軸について考える。回転体２００が
中心の位置にある場合は、２０１，２０７，２１０．２
０４から発生する磁束は、２０２，２０３．２０５，２
０６，２０８，２０９，２１１，２１２、へ２００ｔ−
介して均等に通る。Ｘ軸方向で変位した場合、正方向の
信号と負方向の信号の差動で検出しているので！方向位
置検出出力は表ゎｎない、そζで、Ｘ軸の正方向として
、２０１゜２０２．２０３．２１２，２１１の磁極と、
負方向として、２０７，２０８，２０９，２０６，２０
５の磁極について考えｎば良い、正方向では、２０１．
２００．２０２と、２０１，２００，２ｏａと、２０１
，２００，２１２と、２０１．２Ｇｏ、２１１とによる
合計４個の磁気回路が構成さｊｌ、 、負方向でも同様
に２０７を中心に、２００と２０５．２０６．２．０８
．２０９の間で合計４個の磁気回路が構成さｎる。２０
１と２０２，２０１と２１２，２０７と２０８，２０７
と２０６で形成されるＵ字塑磁路の中心とＸ軸の成す角
度をαラジアン、２０１と２０３，２０１と２１１．２
０７と２０９，２０７と２０５で形成さｎるＵ字型磁路
の中心とＸ軸との放す角度ｔ−ｂラジアンとすると、冥
際には、２０１を一方とするＵ磁溢の磁路の中心とＸ軸
との放す角度がＣラジアンであるような磁極をＸ軸の正
方向に対して対称に２個仮想できる。ｔた、２０７に対
しても同様である。結局、Ｘ軸の正方向にはＸ軸に対し
て対称に、Ｕ字製の磁極間の中心がＸ軸とＣラジアンの
角度を成して２組有シ、Ｘ軸の負方向にも同様に２組存
在するのと同等表働き管する。Ｘ軸圧方向の２組の加算
信号と、Ｉ軸負方向の２組の加算信号の差動を取ること
により回転体の位置検出出力を得る。なお、ａ、ｂ、ｃ
の間には次の関係がある。
ｅ−（ａ十ｈ）／２
今仮に第２図のように磁極を配置し、ａ−π／！２、ｂ
＝π／６とするとａ露ｔ ／ ｆ３である。この時、第
３次高調液酸分を除ける角度は貿／６であＪ）、ｃ−π
／８では完全には検出しなくならないが、 とな）本来の第３次高調液酸分の６０％以上を検出しな
（なる、さらに第５次高調波以上の成分については、 に従りて高調波成分上検出し危（なる、Ｘ軸についても
同様で、！軸止方向は２０８，２０９，２１０．２１１
，２１２でＸ軸と同様に考えることができ、！軸負方向
は２０２，２０３，２０４゜２０５．２０６でＸ軸と同
様に考えることができる。
＝π／６とするとａ露ｔ ／ ｆ３である。この時、第
３次高調液酸分を除ける角度は貿／６であＪ）、ｃ−π
／８では完全には検出しなくならないが、 とな）本来の第３次高調液酸分の６０％以上を検出しな
（なる、さらに第５次高調波以上の成分については、 に従りて高調波成分上検出し危（なる、Ｘ軸についても
同様で、！軸止方向は２０８，２０９，２１０．２１１
，２１２でＸ軸と同様に考えることができ、！軸負方向
は２０２，２０３，２０４゜２０５．２０６でＸ軸と同
様に考えることができる。
以上のように、従来方式のように！軸、Ｙ軸の磁極を固
定することなく、ｔた、第３高調波成分のみに重点ｔｓ
？き、狭いスペースに多（の磁極ならびに巻線を行わず
、本発明においては、Ｙ軸、Ｙ軸の磁極上共用すること
によシ、狭いスペースを有効に利用することが可能であ
り、しかも、第３高調波成分も６０チ以上低減し、偶数
次高調波成分も検出しないという実用上十分効果のある
回転体の位置検出器を構成できるという特徴をもつ。本
発明は、磁気軸受や、空気軸受等の回転体の位置検出に
特に効果があるが、こＣに限るものではない、さらに以
上述べたものは一実施例でら夛、磁極の数、あるいはリ
ング状コアが半径方向の内＠を向いているか、外１１を
向いているか等、また構成等についてはこれに限るもの
ではない。
定することなく、ｔた、第３高調波成分のみに重点ｔｓ
？き、狭いスペースに多（の磁極ならびに巻線を行わず
、本発明においては、Ｙ軸、Ｙ軸の磁極上共用すること
によシ、狭いスペースを有効に利用することが可能であ
り、しかも、第３高調波成分も６０チ以上低減し、偶数
次高調波成分も検出しないという実用上十分効果のある
回転体の位置検出器を構成できるという特徴をもつ。本
発明は、磁気軸受や、空気軸受等の回転体の位置検出に
特に効果があるが、こＣに限るものではない、さらに以
上述べたものは一実施例でら夛、磁極の数、あるいはリ
ング状コアが半径方向の内＠を向いているか、外１１を
向いているか等、また構成等についてはこれに限るもの
ではない。
以上請求範囲第１項について述べてきたが、請求範囲第
１項に従う第２項について、第３図を用いて説明する。
１項に従う第２項について、第３図を用いて説明する。
Ｕ字型の磁路の巻線を行ったＹ軸あるいはＹ軸の正方向
の磁極からの位置検出信号９３０１、同様に負方向の磁
極からの位置検出信号管３０２、とする、３０１と３０
２の差動処理’１３０３で行う、今Ｘ軸について考え、
回転体の初期の位置の３０１．３０２の出力ｆｚとし、
回転体が移動した時の３０１の出力ｆｚ＋Δπ、３０２
の出力を２−△２とすると、両者の差動処理をすると３
０３の出力は２Δ２となる。この時Ｙ軸については、Ｙ
軸の動きに対して直角方向であるから差動処理後の出力
は零である。
の磁極からの位置検出信号９３０１、同様に負方向の磁
極からの位置検出信号管３０２、とする、３０１と３０
２の差動処理’１３０３で行う、今Ｘ軸について考え、
回転体の初期の位置の３０１．３０２の出力ｆｚとし、
回転体が移動した時の３０１の出力ｆｚ＋Δπ、３０２
の出力を２−△２とすると、両者の差動処理をすると３
０３の出力は２Δ２となる。この時Ｙ軸については、Ｙ
軸の動きに対して直角方向であるから差動処理後の出力
は零である。
従来の方式では各軸の正方向、負方向の信号を独立に取
り出していたが、変化分の出力が小さく、緘音を低減す
ることができない、変化に対する角方向の成分にも変化
信号が出る等の欠点があった０本発明による方法【用い
ると、変化分の出力は、従来の方式の２倍の大きさＫな
り、信号の同相成分が相殺されるので、純音が低減され
、直角方向成分の変化信号を検出しなくてすむ等の特徴
があゑ。
り出していたが、変化分の出力が小さく、緘音を低減す
ることができない、変化に対する角方向の成分にも変化
信号が出る等の欠点があった０本発明による方法【用い
ると、変化分の出力は、従来の方式の２倍の大きさＫな
り、信号の同相成分が相殺されるので、純音が低減され
、直角方向成分の変化信号を検出しなくてすむ等の特徴
があゑ。
第１図は従来の方式による磁極の構成を示す図、第２図
は、本発明による磁極の構成の一実施例を示す図、第３
図は、本発明による差動処理を示す図である。 １００゜。回転体 １０１〜１０８．。Ｕ字型磁路
２００゜。回転体 ２０１〜２１２゜、磁極 ２
２０．、リング状コア ３０１゜。正方向位置信号 ３０２゜。負方向位置信号
３０３゜。差動処理回路 以上 ｆｊ１２ 図 γ 小
は、本発明による磁極の構成の一実施例を示す図、第３
図は、本発明による差動処理を示す図である。 １００゜。回転体 １０１〜１０８．。Ｕ字型磁路
２００゜。回転体 ２０１〜２１２゜、磁極 ２
２０．、リング状コア ３０１゜。正方向位置信号 ３０２゜。負方向位置信号
３０３゜。差動処理回路 以上 ｆｊ１２ 図 γ 小
Claims (2)
- （１）。直交する２軸に位置する巻線を行った４個の磁
極と、該直交する軸に対称な位置に少くとも４個の磁極
により構成さｎ几すング状のコアで、巻線さｎた磁極と
、巻１１ｔ−していない磁極とでＵ字型の磁路を形底し
、回転体と該Ｕ牢屋磁路で磁気回路を構成することを特
徴とする回転体の半径方向位置検出器。 - （２）。請求範囲（１）に従う装置において、互に半径
方向に対向する巻線さｎた磁極から位置検量信号を差動
検出することｔ特徴とする回転体の半径方向位置検出器
。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13955281A JPS5841304A (ja) | 1981-09-04 | 1981-09-04 | 回転体の半径方向位置検出器 |
| GB08224568A GB2105475B (en) | 1981-09-04 | 1982-08-26 | Determining the radial position of a rotating body |
| FR8214711A FR2512544A1 (fr) | 1981-09-04 | 1982-08-27 | Dispositif de detection d'une position dans la direction radiale d'un corps tournant |
| DE19823232870 DE3232870A1 (de) | 1981-09-04 | 1982-09-03 | Magnetische messeinrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13955281A JPS5841304A (ja) | 1981-09-04 | 1981-09-04 | 回転体の半径方向位置検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5841304A true JPS5841304A (ja) | 1983-03-10 |
| JPH0221521B2 JPH0221521B2 (ja) | 1990-05-15 |
Family
ID=15247913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13955281A Granted JPS5841304A (ja) | 1981-09-04 | 1981-09-04 | 回転体の半径方向位置検出器 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5841304A (ja) |
| DE (1) | DE3232870A1 (ja) |
| FR (1) | FR2512544A1 (ja) |
| GB (1) | GB2105475B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6179105A (ja) * | 1984-09-19 | 1986-04-22 | ソシエテ・ユーロペーヌ・ドウ・プロプルジオン | ロータの径方向変位磁気検出装置 |
| US5194805A (en) * | 1989-12-29 | 1993-03-16 | National Aerospace Laboratory, Ebara Research Co., Ltd. | Inductance-type displacement sensor for eliminating inaccuracies due to external magnetic fields |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2630542A1 (fr) * | 1988-04-22 | 1989-10-27 | Mecanique Magnetique Sa | Capteur inductif a rejection d'harmoniques pour la detection des deplacements radiaux d'un rotor |
| DE4230620C1 (de) * | 1992-09-12 | 1994-04-07 | Hasenclever Maschf Sms | Liegende Metallstrangpresse |
| US5514952A (en) * | 1993-06-30 | 1996-05-07 | Simmonds Precision Products Inc. | Monitoring apparatus for rotating equipment dynamics for slow checking of alignment using plural angled elements |
| US5508609A (en) * | 1993-06-30 | 1996-04-16 | Simmonds Precision Product Inc. | Monitoring apparatus for detecting axial position and axial alignment of a rotating shaft |
| US5456123A (en) * | 1994-01-26 | 1995-10-10 | Simmonds Precision Products, Inc. | Static torque measurement for rotatable shaft |
| US5696444A (en) * | 1994-03-04 | 1997-12-09 | Crane Co. | Monitoring system for detecting axial and radial movement of a rotating body independent of rotational position |
| US5955880A (en) * | 1996-12-05 | 1999-09-21 | Beam; Palmer H. | Sealless pump rotor position and bearing monitor |
| US5925951A (en) | 1998-06-19 | 1999-07-20 | Sundstrand Fluid Handling Corporation | Electromagnetic shield for an electric motor |
| FR2934895B1 (fr) * | 2008-08-05 | 2010-08-27 | Thales Sa | Dispositif de capteur de position radiale elargie sur plus de 90° |
| CN106712427A (zh) * | 2016-12-29 | 2017-05-24 | 上海世昱电子技术有限公司 | 一种旋转变压器和具有这种旋转变压器的旋转体 |
| CN106533108B (zh) * | 2016-12-29 | 2024-04-26 | 苏州昱泽智能科技有限公司 | 一种旋转变压器和具有这种旋转变压器的旋转体 |
| CN106712428A (zh) * | 2017-01-16 | 2017-05-24 | 上海世昱电子技术有限公司 | 一种旋转变压器和具有这种旋转变压器的旋转体 |
| CN106655685A (zh) * | 2017-03-01 | 2017-05-10 | 上海世昱电子技术有限公司 | 一种旋转变压器和具有这种旋转变压器的旋转体 |
| CN107276323B (zh) * | 2017-08-01 | 2024-04-19 | 苏州昱泽智能科技有限公司 | 一种角度检测设备、旋转体及电动机系统 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5237648A (en) * | 1975-08-23 | 1977-03-23 | Padana Ag | Electromagnetic bearing device |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3124271A (en) * | 1964-03-10 | Timer controlled pressure operated dispenser | ||
| CH251155A (de) * | 1945-07-27 | 1947-10-15 | Intercito Holding | Einrichtung zur Erfassung der Exzentrizität ummantelter Metallstäbe und Drähte in bezug auf die Ummantelung. |
| GB641674A (en) * | 1947-11-24 | 1950-08-16 | Laszlo Urmenyi | Device for measuring the eccentricity of coated or covered cables, wires and rods |
| US2805677A (en) * | 1953-04-23 | 1957-09-10 | Curtiss Wright Corp | Detector for misalinement of rotating body |
| US4114960A (en) * | 1973-01-18 | 1978-09-19 | Societe Europeenne De Propulsion | Radial displacement detector device for a magnetic bearing |
| DE2732024C3 (de) * | 1977-07-15 | 1980-09-04 | Deutsche Forschungs- Und Versuchsanstalt Fuer Luft- Und Raumfahrt E.V., 5000 Koeln | Schaltungsanordnung zur digitalen Anzeige der Winkelstellung des Rotors eines Resolvers |
| US4245869A (en) * | 1978-08-07 | 1981-01-20 | Padana Ag | Magnetic bearings |
| FR2440574A1 (fr) * | 1978-10-05 | 1980-05-30 | Artus | Dispositif d'asservissement de position |
-
1981
- 1981-09-04 JP JP13955281A patent/JPS5841304A/ja active Granted
-
1982
- 1982-08-26 GB GB08224568A patent/GB2105475B/en not_active Expired
- 1982-08-27 FR FR8214711A patent/FR2512544A1/fr active Pending
- 1982-09-03 DE DE19823232870 patent/DE3232870A1/de not_active Ceased
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5237648A (en) * | 1975-08-23 | 1977-03-23 | Padana Ag | Electromagnetic bearing device |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6179105A (ja) * | 1984-09-19 | 1986-04-22 | ソシエテ・ユーロペーヌ・ドウ・プロプルジオン | ロータの径方向変位磁気検出装置 |
| US5194805A (en) * | 1989-12-29 | 1993-03-16 | National Aerospace Laboratory, Ebara Research Co., Ltd. | Inductance-type displacement sensor for eliminating inaccuracies due to external magnetic fields |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0221521B2 (ja) | 1990-05-15 |
| GB2105475B (en) | 1985-07-03 |
| GB2105475A (en) | 1983-03-23 |
| DE3232870A1 (de) | 1983-03-24 |
| FR2512544A1 (fr) | 1983-03-11 |
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