JPS5829442B2 - ジキベアリング ニ オケル ハンケイホウコウヘンイケンチソウチ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は運動、特に磁気ベアリングに設けられた回転子
の半径方向の運動を検知するための偏位検知装置に関す
るものである。

このような運動を検知するため、従来大別して三つの種
類即ち、光学的検知装置、磁気誘導検知装置および容量
形検知装置が知られている。

光学的検知装置は、通常光電池を照射するランプを含み
、このランプの光束は回転子に取り付けられ、これと共
に、半径方向に振動する不透明な円形フィルタで、より
大きくあるいはより小さく種々の程度に視界から遮断さ
れるようになっている。

磁気検知装置は回転子に取り付けられた例えばフェライ
ト製の小さなＵ字形部分およびこれと共働する磁気リン
グからなる磁気部材で形成されていて、前記リングもま
たフェライトからつくられ、前記Ｕ字形部分から空隙を
作る距離だけ離れて、その２つのアームの間に磁束回路
を形成するようになっている。

回転子の半径方向の運動の結果、空隙の幅が変化すると
、磁束回路の磁気特性が変えられ、Ｕ字形部分に捲回さ
れているコイルの自己インダクタンスを変化させる。

容量形の検知装置は、一方の板が固定子に、他方の板が
回転子に取り付けたコンデンサで構成され、絶縁体はこ
れら画板を隔てる空間で形成されていて、回転子の半径
方向の運動による空隙の幅の変化によってコンデンサの
容量に変化が生じる。

これら各検知装置は、磁気ベアリング中で回転する回転
子の半径方向の動きを検知し、これを電気信号に変換し
、公知の制御装置に伝達し、回転子をその正常な位置に
復帰させるのに適している。

これらの従来の検知装置の幾つかを組合わせることがで
き、例えば、２つの装置を直径方向に対向させて配置す
ることによって、実際的には電気的または電子的に行な
われる代数的減算により、これらの信号を数学的に加算
し、前記検知装置の感度を倍増させることができる。

理論上の回転軸を中心とする円周上に多数の検知装置を
設けるようなさらに一般的で有効な構成は、従来全く提
案されていない。

従来装置は回転子の形状が完全に円筒形の場合には充分
な結果を得られるが、厳密な円筒形状の部材を加工する
ことは不可能であり、このような条件は実際上得られな
い。

ベアリングおよび回転子を厳密な円形にすることができ
ないことにより、回転子の軸位置を必要な精度をもって
決定することは不可能である。

しかし、これら従来検知装置によっては、回転子の軸の
半径方向のずれによって生じるそれらの基準距離の変化
と、実際には単なる回転子の半径長の寸法の変化に対応
するに過ぎない動きとを区別することができない。

そして回転子の軸が完全に整合された状態でスタートし
たとしても、これら検知装置が回転子の不完全な円形状
を検知することによる制御信号のため、軸の最初の位置
の周わりで振動が生じる。

これら浮動的な検知動作は装置の消費電力を著しく増大
させる原因となり、人工衛星等のような限られたエネル
ギー源を備えたものに用いる場合、特に有害である。

本発明の目的は回転子の半径長の変動による変化を検知
することなく、回転子の実際の動きによって生じるいわ
ゆる基準距離の変化だけを検知するのに適した検知装置
を提供することである。

本発明によれば、固定子の直径を含む基準面に沿った回
転子の固定子に対する半径方向の振動を検知するための
装置が提供され、この装置は固定子と、回転子と、固定
子の直径面に沿って回転子を制御する力を発生させる部
材と、この力を制御する制御部材と、回転子の固定子に
対する径方向の位置を検知して、検知信号を前記制御部
材に伝達するようになっている検知部材とを具え、検知
された固定子に対する回転子の径方向の偏位量に応じて
、回転子の位置を修正するための径方向の復元力を発生
させるようになっている装置であって、前記検知部材は
、固定子に固定され前記直径面に対称に配置された２（
Ｘ）対（Ｘは整数）の検知部を具え、との各村の検知部
は回転子の回転軸に対し、これをとおり直径面とそれぞ
れ±３０°で交差する直径線よりなる直径対称軸におい
て、互いに反対位置に配置された２つの検知器又は検知
器群を具え各検知部の検知器は検知信号が互いに代数的
に減算されるように接続されており、各界る検知部の直
径面の各端部において対称的に配置された検知器は、そ
れぞれ検知信号が互いに代数的に加算されるように接続
されて構成されているものである。

このように本発明によれば、磁気ベアリングを制御する
制御装置に対して、検知部から伝達される信号の内から
、回転子の半径長の寸法変化によって生じろ全ての変動
を除去する大きな利点がある。

実際に、一つの曲線を振幅が時間の経過につれて減少す
る一つのフーリエ級数に分解できることは理論的に知ら
れている。

従って、回転子を形成する円筒体を展開したものとし、
その軸に対して垂直な断面内での、その半径の変化を横
座標にとった位相角の関数としてグラフの縦座標にとれ
ば、通常、極めて小さい数ミクロン程度の、回転子の断
面の円形の不完全さは、理論的に完全な断面の第１の基
本円上に対して、該円の円周の長さの数分の１の連続す
る分数（分母は整数）に等しい波長を有する一連の正弦
波曲線が重量したものと考えることができる。

これらの曲線は一般に“高調波“と呼ばれるが、これは
回転子がその回転につれて回転子の軸の中心からの偏位
によって生じる信号の周波数の倍数の周波数を有する信
号を発生することによる。

この発明は固定子に対する回転子の半径方向の振動を検
知するための装置を提供し、この装置は各村が上記回転
子の回転軸に関して相互に直径方向について、対向して
設けた２つの検知器からなる固定子に固着された数対の
検知部を含み、これらの対を少なくとも４個の検知器を
一つの特定の基準直径面に対して、回転軸に垂直な一つ
の同一な平面内に対称的に配置することにより、２つの
グループに区分し、各検知部の２個の検知器を結ぶ直径
線よりなる直径対称軸を基準直径面に対しそれぞれ±３
００で交差させ、かつ各検知部の検知器は、検知信号が
互いに代数的に減算されるように接続され、さらに各界
る検知部の直径面の各端部において対称的に配置された
検知器同士は、それぞれ検知信号が互いに代数的に加算
されるように接続されたものであり、前記基準面に関し
て対称的に設けた２つの検知部の信号を代数的に加算し
て、２対の前記グループによって伝達される全信号が、
前記基準面内での回転子の軸の運動に関連するようにす
ることを含む。

回転子の軸の半径方向への運動の検知は、回転子の回転
によって生じる周波数の最低５倍に等しい周波数を有す
る回転子の半径長の周期的変動によって影響されるのみ
であり、信号の適当な沢過によって、これらの周波数を
公知の態様で消去することが可能である。

この発明は、固定子に対する回転子の半径方向の振動を
検知するためのさらに別の装置を提供し、この装置は各
村が上記回転子の回転軸に対して相互に直径方向に対向
して配置した２つの検知器からなる固定子に取り付けた
数対の検知部を含み、少なくとも１つの特定の基準直径
面に対して８つの検知器を前記回転軸に垂直な同じ平面
内に配置し、前記対を２つのグループに区分して各村に
おける２つの検知器を結ぶ４本の直径線が前記基準直径
面に対して２本づつ対称となるようにし、さらに各グル
ープの２対の検知部のうちそれぞれ一方の対の前記直径
線が基準直径面に対して±１２゜他方の対の直径線がそ
れぞれ基準直径面に対して±４８°の角度をなすように
、言いかえれば、基準直径面に対してそれぞれ±３００
で交差する直径線よりなる直径対称軸に対し、各グルー
プの２対の検知部の直径線がそれぞれ±１８°で交差す
るように対称に配置したものであり、すなわち、前記直
径対称軸の両端に、各グループにおける各界なる検知部
の一方の検知器でそれぞれ構成される検知器群が互いに
対向するように配置された構成となっているものであり
、各検知部の検知器は、検知信号が互いに代数的に減算
されるように接続され、各界なる検知部の直径面の各端
部において対称的に配置された検知器は、それぞれ検知
信号が互いに代数的に加算されるように接続されたもの
であり、前記基準面に関して対称的に配置した２つの検
知器の信号を代数的に加算し、そして２対の検知部によ
って構成される２つのグループによって伝達された信号
を相互に代数的に加算して、８つの検知器の組合せによ
って伝達される全信号を前記基準面内の回転子の軸の運
動に関連させるようにしである。

以下添附した実施例の図面にもとづき説明する。

なお、以下の実施例は、軸Ｘ′Ｘおよび軸Ｙ’Ｙのそれ
ぞれについて２対の検知部、すなわち４個の検知器が具
えられているものである。

第１図示のように、本発明の半径方向の運動の検知装置
は、磁気ベアリング３によって固定子４に対して装備さ
れている回転子２０２つの各端部２ａおよび２ｂの高さ
に配置される。

各ベアリング３は磁気金属積層体よりなる磁気材料３ｂ
に捲回された巻線３ａを有する。

磁気材料５ｂに捲回された巻線５ａを有するモータ５が
回転子２に対して固定されている磁気材料５ｃにそれが
及ぼす力によって回転子２を駆動して軸６０回わりに回
転させる。

回転子２の軸方向位置は、例えばフェライトで形成され
、固定子４の上端４ａに固定されているＵ字形の磁気部
材７ａからなる軸方向の磁気検知装置７によって制御さ
れる。

前記磁気部材７ａは誘導コイル（図示せず）を捲回され
ており、該部材７ａの磁束回路を形成するように部材７
ａに対向して配置されたフェライト製の円形部材７ｂと
共働する。

部材７ａは回転子２のキャップ２ｃを形成する上端部分
の中心に対して取り付けである。

軸方向磁気検知装置７は既知の制御回路（図示せず）を
通じて、固定子４と一体で、空隙において回転子２に取
り付けられている磁気材料で形成されるリング８ｃを有
する環状電磁石８０２つのコイル８ａおよび８ｂ中に流
れる磁束密度を制御する。

第２図示の如く、回転子２０半径方向の動きの各検知部
１は中心１ｂが回転子２０回転についての仮想軸上に位
置する円板１ａからなる。

この円板１ａは前記回転軸に対して垂直に配置し、かつ
固定子４に取り付げである。

フェライトで形成される小さなＵ字形磁気部材で構成さ
れる８つの検知器は、Ｉｄ、１ｅ、１ｆ。

Ｉｇ、Ｉｈ、１１，１ｊ、１ｋを円板１ａの円周１ｃ上
に配置しである。

これらの小さいＵ字形部材は全べてそれらのＵ字部が円
板１ａの中心１ｂと逆向であって、かつ半径方向に向５
Ｕ字の２つのアームの端部が、前記円板１ａの円周１ｃ
上に位置するよう配置する。

８個の検知部は円板１ａと同一面内に置かれて回転子２
に対して固定されたフェライトで形成される磁気材料の
環状リング２ｄと共働する。

回転子の好ましい理論位置は、環状リング２ｄの中心２
ｅは回転軸上に位置しなげればならず、固定的な中心に
対する前記中心２ｅの半径方向の運動を検知する検知装
置１の中心１ｂ上になげればならぬ。

第２図示の如く、円板１ａは中心１ｂを通る２本の直交
軸Ｘ’Ｘ、 Ｙ’Ｙを基準として位置させてあり、４個
の検知器１ｄ＋１ｅ、ｌｆ、Ｉｇは軸Ｘ′Ｘに平行な方
向における中心２ｅの運動を検知し、他の残りの検知器
１ｈ、１１，１ｊ、１には軸Ｙ’Ｙに平行な方向におけ
る中心２ｅの運動を検知する。

この目的のため、検知器１ ｄ ｔ １ ｅを各々の円
板１ａに垂直な対称面が円板１ａの中心を通るようにし
、この対称面と直交軸Ｘ’Ｘ、 Ｙ’Ｙを含む基準面と
の交線が、直線Ｘ′Ｘに関して３０°の角度をなすよう
に円板１ａに取り付けである。

中心１ｂから検知器１ｄまたは１ｅを通る各交叉部分の
半直線は、半直線１ ｂ −Ｘに対して代数的に−３０
０又は＋３００の角度を形成する。

同じ（２個の検知器１ｆ＋１ｇは中心１ｂを有する円板
１ａに垂直であって、かつ各検知器１ｄ。

１ｅに対し対称的に取り付けである。

４個の検知器１ｈ、１ｔ、１．）、１には前記４個の検
知器１ａ、１ｅ、１ｆ、１ｇがそれぞれ軸Ｘ′Ｘに対す
るのと同様な位置的関係において、軸Ｙ’Ｙに対して取
り付けである。

これらの位置は、前記４個の検知部の位置を円板１ａの
中心１ｂのまわりに９００回転させることによって得ら
れる。

線１１を４個の検知器１ｄ、１ｅ、１ｆ、Ｉｇの各分岐
体のまわりに１ ｅ 、１ ｄ 、１ ｇ ＋ １ ｆ
の順で直列に設は順に捲回しである。

線１１の両端はそれ自体既知である発電機に接続しであ
る。

検知器の各分岐体に捲回された線１１のコイルは、第２
図でＮ、Ｓ で示す検知器の発電機への接続時に、各検
知器の分岐体の一方にＮ極が、他方にＳ極が現われ、Ｎ
１Ｓ極が軸Ｘ’ｘ、Ｙ’Ｙに関し対称に配列されるよう
にしである。

同様に線１ｍは４個の検知器１１’ｔ、１１）Ｉｊ。

１にの各分岐体のまわりに１ｊ、１に、１ｈ。

１１の順で直列に順に捲回しである。

線１ｍの両端は既知の発電機に接続しである。

線１ｍのコイルは発電機への接続時に各検知器の分岐体
の一方にＮ極が、他方にＳ極が現われ、Ｎ、Ｓ極が第２
図で示すように軸Ｘ’Ｘ、 Ｙ’Ｙに関して対称に配列
されるよう捲回しである。

検知器１ｄ−１ｆ、１ｅ−１ｇからなる各村によって形
成された２対の検知部のグループによって検知される、
中心２ｅの軸Ｘ′Ｘに対して平行な動きに対応する信号
を伝達するための線１ｎをその一端で検知器１ｄ＋１ｇ
の中間において線１１と接続し、他端は既知の制御回路
に接続しである。

同様に検知器１ｈ −１ｊ 、 １１−１ｋからなる各
村によって形成された２対の検知部のグループによって
検知される中心２ｅの軸Ｙ’Ｙに対して平行な運動に対
応する信号を伝達するための線１゜をその一端は検知部
１に、１ｈの中間で、線１ｍと接続し、他端は既知の制
御回路に接続しである。

次にこの発明の実施例の動作を説明する。

回転子が完全な円形であるとすると、第３図示の如く任
意の半径と特定の基準半径との間に形成される位相角を
横座標に、半径の長さを縦座標にとると、線１ｏは上記
回転子の半径に等しい横座標のＯＸと平行となる。

回転子が幾分卵形、例えば第４図に示すような楕円形の
場合、理論的には前記半径によってはさまれる位相角の
関数としての回転子の半径の変化ＡＹは周期が１８０°
に等しく、正弦波１１．即ち曲線１０の半分の周期で示
される。

第５図は回転子が略三角形の場合を示し、回転子の半径
の変化ＪＹは周期が１２０°に等しく、正弦波１２で示
される。

各々特定の場合、対応する位相角の関数として３６０゜ のあらゆる半径の変化は、周期が （ｎは連続し
た整数）に等しい多くの正弦波の重合したものとなる。

例えば第６図中の曲線１２．１３は、それぞれ 有する。

回転子の回転中、半径のこれらの周期的な変化によって
、磁気検知部の空隙の幅が周期的に変化し、変化の周波
数は回転子の周波数の倍数であり、これによって゛高調
波″と呼ばれることがわかる。

従って、各村を形成する２個の検知器（例えば１ｄと１
ｆ、１ｅと１ｇ）を直径上に対向させて配置し、かつこ
れらを逆向きに接続し、発生する信号を代数的に減算す
るようにすることによって生じた信号の偶数゛°高調波
″が全て消去されることがわかる。

実際、各図中において示す如く、全ての偶数高調波の場
合、２つの検知器が、前記゛高調波″の正弦波長の整数
によって分けられるから、検知器は同一のものを検知し
、２つの同一の信号を伝達し、減算の結果は零となる。

またこの発明の要点であるが、基準直径面（例えばＸ′
Ｘ）に対して対称に配置された２対の検知部（例えば（
１ｄ、ｉｆ）と（１ｓ ｔ １ ｇ ） ）の直径対称
軸が互いに６００をなすように配置されているので、前
記基準直径面のそれぞれの端部において対称に配置され
た異なる検知部の２つの検知器（例えば１ｄとＩｅ）か
ら出力される検知信号は、位相が６０°、すなわち第３
高調波の波長の１／２だけずれている。

このためこれらは逆向きの値を検知し、逆向きの信号を
伝達し、和は零となる。

この現象は一般に（１＋２Ｘ）の高調波（Ｘは整数で、
（１＋２Ｘ）は３以上の奇数である）で示される任意の
高次の非偶数高調波についても生じる。

従って、高調波（１＋２Ｘ）を含むそれ以下の全ての奇
数高調波を消去するには、（前記非偶数高調波（（１＋
２ （Ｘ−１’） 〕の高調波）を除くために必要な各
検知部の代わりに、信号が加算され、置換される１つの
検知部の位置に関して対称的に設けられ、相互に上記高
調波についての３６０゜ 波長＋７）１ ／ ２だけ換言すれば２（１＋２Ｘ）だ
け隔てられている２個の検知部を用いる。

第５高調波に対しては、一対の検知部間の間隔第３高調
波については、各検知部の直径対称軸が基準直径面に対
し±３０°で設けであるため、各検知部は３６°だけ離
して、ただし対応する第３高調波検知部のまわりに対称
的に、即ち±（３００＋１８°）および±（３００−１
８°）、具体的には±４８°および±１２°で配置した
一対の検知部で置き換えられる。

Ｘの値によっては得られる角度は積分値であってもよい
。

第６図には、回転子の軸の中心からのずれに対する各検
知部から発せられる基本的あるいは第１高調波を形成す
る信号（曲線１４）およびその軸についての回転子の楕
円形（第２高調波、曲線１１）、なし形、三角形（第３
高調波、曲線１２）あるいは方形（第４高調波、曲線１
３）についての非円形性に関する信号に対応する４個の
曲線１４．１１，１２，１３を同一グラフ上に示しであ
る。

軸Ｘ′Ｘに沿う回転子の運動を検知する２対のグループ
を形成する検知器１ａ、Ｉｅ、１ｆ、１ｇは図面ではこ
れらが固定子４上に占める位置に対応する位置において
、図式的に示しである。

図示の矢印はそれぞれ検知器を、演算符号は、前記の接
続によって検知部から伝達される信号によってなされる
伝達および演算の態様を示す。

この発明の別の実施例においては、８個の検知器１ ｄ
＋ １８．１ ｆ ＋ １ ｇ 、１ ｈ ） １
ｉ ＋ １ ｊｔｌにおよびこれらが取り付けである円
板１ａの代りに、経済的な理由のため、金属板の積層体
を用い、これらに第２図示のものと同じ形状になるよう
に切込みを設けて検知器の分岐体の代りとなるような連
続した半径方向に延びるラグを形成し、これらのまわり
に前記と同様に線１１，１ｍを捲回しである。

同じ理由によって、回転子に取り付げられるリング２ｄ
を一つの磁性または非磁性導電リングとすることも可能
である。

前記したことから明らかなように、全ての偶数”高調波
″および一般的に（１＋２Ｘ）で示される特定の高調波
（Ｘは正の整数）を含めて、それ以下の次数の全ての奇
数゛°高調波パを消去するため、各基準面を２（Ｘ）対
の検知部と関連させなげればならず、これら検知部の位
置は以下のような最初の２項をもつ級数に帰着させるこ
とが可能である。

（１）各グループが２対の検知部からなり、一方の対の
２つの検知器を結ぶ直径が、他方の対の同（１１）各グ
ループが２つの第１クラス・グループがらなり、前記第
１クラス・グループの中の一つのグループの直径につい
ての対称軸が、他のグループの同様な対称軸に対して、 第２クラス・グループ以下は同様である。

前記級数の末項は次のとおりである。

２つの第（Ｘ−１）クラス・グループがらなり、これら
第（Ｘ−１）クラス・グループの一方のグループの直径
についての対称軸（前記定義）が、角度だけはなされて
おり、第（Ｘ−１）グループの２つの直径についての対
称軸は、直径についての基準面が第Ｘクラス・グループ
の直径についての対称軸を含むように基準面に関し対称
的に位置する。

級数の一般項は次のとおりである。

各グループが２つの第（ａ−１）クラス・グループから
なり、これら第（ａ−１）グループの中の一方のグルー
プの直径についての対称軸（前記定義）が他方のグルー
プの同様な対称軸からさらに上記一般式を、図面を参照
しながら具体的に説明する。

なお、以下においては軸Ｘ′Ｘに対する検知部の配置に
ついてのみ説明を行うが、軸Ｙ’Ｙに対しても同様に検
知部を配置することはいうまでもない。

第７図はＸ＝１の場合、すなわち軸Ｘ′Ｘに対して２”
−２対の検知部Ｄ１Ｄ２およびＤ３Ｄ４が対称に配置さ
れている場合を示している。

そしてこの２対の検知部によって２（Ｘ−２Ｌ１組の第
１クラス・グループ（Ｄ１Ｄ２、Ｄ３Ｄ４）が構成され
ており、この第１クラス・グループにおいて各対０２個
の検知部を結ぶ直径線よりなる直径対称軸第８図はＸ＝
２の場合、すなわち軸Ｘ′Ｘに対して２（Ｘ）＝４対の
検知部Ｄ１ａＤ２ａ、Ｄ１ｂＤ２ｂ、Ｄ３ａＤ４ａ、Ｄ
３ｂＤ４ｂが対称に配置されている場合を示している。

そしてそれぞれ２対の検知部によって２（Ｘ−１）−２
組の第１クラス・グループ（Ｄ１ａＤ２ａ、Ｄ１ｂＤ２
ｂ）および（Ｄ ３ａ Ｄ＋ａ、Ｄ３ｂＤ４ｂ）が構成
されており、各第１クラス・グループにおいて各村の２
個の検知部を結ぶ直径さらにこの２組の第１クラス・グ
ループによって２（Ｘ−１）−１組の第２クラス・グル
ープ（（Ｄ１ａＤ２ａ、Ｄ１ｂＤ２ｂ）、（Ｄ３ａＤ４
ａ、Ｄ３ｂＤ４ｂ））が構成されている。

そして直径対称−６０°となるように、軸Ｘ′Ｘに対し
て対称に配置されている。

第９図はＸ＝３の場合、すなわち軸Ｘ′Ｘに対して２（
Ｘ）＝８対の検知部が対称に配置されている場合を示し
、２（Ｘ−１’）−４組の第１クラス・グなお第２図は
第７図と対応するものである。

前記級数の各項はそれぞれ同一の２（Ｘ）対の検知部の
対の位置の異なる決定手段を与えるが、この発明の要求
を満足するためには、前記級数の全ての項が検知部に適
用できることが必要である。

種種の検知部について、各基準面の一方の直径端のまわ
りに対称的に配置された全ての検知器は、これらの信号
が代数的に加算されるように、また一方同一基準面の他
方の直径端のまわりに配置された全ての検知器は、それ
らの信号が同じく代数的に加算されるように接続し、基
準面の一方の直径端における検知器から生じた信号が基
準面の他方の直径端における検知器から生じた信号から
代数的に減算されるように接続せねばならぬ。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の検知装置を備えた磁気ベアリング
の縦断面図、第２図は第１図示の平面図、第３．４，５
．６図はそれぞれ異ったグラフ上に示された基本および
高次高調波であり、これらの重量検知装置の配置水準に
おける回転子の断面が構成され、第７，８．９図は２（
Ｘ）対の検知部の配置を具体的に示す説明図である。 １・・・・・・半径方向の運動の検知装置、２・・・・
・・回転子、１ｄ＞１ｅ、１ｆ、１ｇ７１ｈ、１１ｔ１
ｊ＋１ｋ・・・・・・検知器、２ａ・・・・・・円板、
２ｂ・・・・・・中心、２ｄ・・・・・・リング、３・
・・・・・磁気ベアリング、３ａ・・・・・・捲線、３
ｂ・・・・・・磁気材料、４・・・・・・固定子、５・
・・・・・モーター、６・・・・・・軸、Ｉ・・・・・
・軸方向磁気検知部、８・・・・・・電磁石。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 固定子と、回転子と、固定子の直径面に沿って回転
   子を制御する力を発生させる部材と、この力を制御する
   制御部材と、回転子の固定子に対する径方向の位置を検
   知して、検知信号を前記制御部材に伝達するようになっ
   ている検知部材とを具え、検知された固定子に対する回
   転子の径方向の偏位置に応じて、回転子の位置を修正す
   るための径方向の復元力を発生させるようになっている
   装置であって、前記検知部材は、固定子に固定され前記
   直径面に対称に配置された２（Ｘ）対（Ｘは整数）の検
   知部を具え、との各村の検知部は回転子の回転軸に対し
   、これをとおり直径面とそれぞれ±３０°で交差する直
   径線よりなる直径対称軸において、互いに反応位置に配
   置された２つの検知器又は検知器群を具え、各検知部の
   検知器は検知信号が互いに代数的に減算されるように接
   続されており、各界る検知部の直径面の各端部において
   対称的に配置された検知器は、それぞれ検知信号が互い
   に代数的に加算されるように接続されていることを特徴
   とする磁気ベアリングにおける半径方向偏位検知装置。