JPH0125289Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0125289Y2 JPH0125289Y2 JP1981020096U JP2009681U JPH0125289Y2 JP H0125289 Y2 JPH0125289 Y2 JP H0125289Y2 JP 1981020096 U JP1981020096 U JP 1981020096U JP 2009681 U JP2009681 U JP 2009681U JP H0125289 Y2 JPH0125289 Y2 JP H0125289Y2
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- JP
- Japan
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- stator
- magnetic pole
- core
- magnetic
- permeance
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- Expired
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 51
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 24
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 16
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は回転変位及び直線変位の双方を検出
し得る電磁誘導形の無接触式変位検出装置に関す
る。
し得る電磁誘導形の無接触式変位検出装置に関す
る。
回転変位検出器には回転形ポテンシヨメータ、
シンクロ及びレゾルバ等が有り、特に電磁誘導形
の無接触式のものとしてはマイクロシンが広く知
られている。又、直線変位検出器には直動形ポテ
ンシヨメータ、ヌルトラツクス及び差動変圧器等
が知られている。これ等の各検出器は回転変位、
あるいは直線変位のどちらか一方しか検出でき
ず、双方を検出し得るものはなかつた。
シンクロ及びレゾルバ等が有り、特に電磁誘導形
の無接触式のものとしてはマイクロシンが広く知
られている。又、直線変位検出器には直動形ポテ
ンシヨメータ、ヌルトラツクス及び差動変圧器等
が知られている。これ等の各検出器は回転変位、
あるいは直線変位のどちらか一方しか検出でき
ず、双方を検出し得るものはなかつた。
この考案は上述の点に鑑みてなされたもので、
回転変位検出器及び直線変位検出器の双方に利用
できる変位検出器を提供することを目的とする。
この目的は、巻線が施された磁極を複数設けて成
るステータと、適宜のギラツプを介して該ステー
タの各磁極によつて囲まれた空間内に可動鉄心
（コア）とを具えるものにおいて、前記可動鉄心
にら旋突条を設けることによつて達成される。
回転変位検出器及び直線変位検出器の双方に利用
できる変位検出器を提供することを目的とする。
この目的は、巻線が施された磁極を複数設けて成
るステータと、適宜のギラツプを介して該ステー
タの各磁極によつて囲まれた空間内に可動鉄心
（コア）とを具えるものにおいて、前記可動鉄心
にら旋突条を設けることによつて達成される。
すなわち、この考案に係る変位検出装置は、１
次巻線と２次巻線とを巻回して成る成る複数の磁
極を円周方向に所定間隔で配して成り、各磁極を
磁性体で連結した一体構造のステータと、このス
テータの内部空間に配され、側面周囲にら旋突条
が形成された可動鉄心とを具え、前記各磁極の１
次巻線を位相のずれた複数の交流信号によつて各
別に励磁し、前記ステータに対する前記可動鉄心
の相的回転位置又は直線位置に応じて前記交流信
号を位相シフトした信号を前記２次巻線より得る
ようにしたものである。この可動鉄心が１回転す
る場合における各磁極とら旋突条との間のパーミ
アンスは、ら旋突条の１ピツチを１サイクルとし
て変化する。又、可動鉄心が回転せずに軸方向に
直線変位する場合においても同様にら旋突条の１
ピツチを１サイクルとするパーミアンス変化が得
られる。従つて、可動鉄心が１回転する場合のパ
ーミアンス特性と軸方向に１ピツチ分の直線変位
をする場合のパーミアンス特性とは同一の特性と
なり、回転変位検出及び直線変位検出の双方に利
用できることになる。また、ステータは各磁極を
磁性体で連結した一体構造のものから成るもので
あり、この場合、磁気回路は或る相のステータ磁
極から可動鉄心を通つて別のステータ磁極へ入
り、磁極間の連結部を通つて元のステータ磁極へ
戻る構成となる。このような一体構造型ステータ
により、各相磁極の位置関係をステータ加工時の
プレス打ち打き等の際に確定することができるの
で、正確且つ簡単である、という利点を有する。
次巻線と２次巻線とを巻回して成る成る複数の磁
極を円周方向に所定間隔で配して成り、各磁極を
磁性体で連結した一体構造のステータと、このス
テータの内部空間に配され、側面周囲にら旋突条
が形成された可動鉄心とを具え、前記各磁極の１
次巻線を位相のずれた複数の交流信号によつて各
別に励磁し、前記ステータに対する前記可動鉄心
の相的回転位置又は直線位置に応じて前記交流信
号を位相シフトした信号を前記２次巻線より得る
ようにしたものである。この可動鉄心が１回転す
る場合における各磁極とら旋突条との間のパーミ
アンスは、ら旋突条の１ピツチを１サイクルとし
て変化する。又、可動鉄心が回転せずに軸方向に
直線変位する場合においても同様にら旋突条の１
ピツチを１サイクルとするパーミアンス変化が得
られる。従つて、可動鉄心が１回転する場合のパ
ーミアンス特性と軸方向に１ピツチ分の直線変位
をする場合のパーミアンス特性とは同一の特性と
なり、回転変位検出及び直線変位検出の双方に利
用できることになる。また、ステータは各磁極を
磁性体で連結した一体構造のものから成るもので
あり、この場合、磁気回路は或る相のステータ磁
極から可動鉄心を通つて別のステータ磁極へ入
り、磁極間の連結部を通つて元のステータ磁極へ
戻る構成となる。このような一体構造型ステータ
により、各相磁極の位置関係をステータ加工時の
プレス打ち打き等の際に確定することができるの
で、正確且つ簡単である、という利点を有する。
以下添付図面を参照してこの考案の一実施例を
詳細に説明しよう。
詳細に説明しよう。
第１図に示す変位検出装置２２においてステー
タ１は４つの磁極１Ａ，１Ｂ，１，１を円周
方向に略90度の間隔で配して成るもので、半径方
向で対向する２つの磁極１Ａ及び１、あるいは
１Ｂ及び１が夫々対を成しており、各対から差
動出力が得られるように１次巻線及び２次巻線
（２Ａ，２Ｂ，２，２，３Ａ，３Ｂ，３，
３）が各極１Ａ乃至１に夫々巻かれている。
各磁極１Ａ乃至１によつて囲まれた空間内にコ
ア４が配されており、コア４の円周側面にはら旋
突条４ａが形成されている。このコア４は軸５に
固定されており、軸５の回転、あるいは直線変位
に応じて変位する。コア４のら旋突条４ａと各磁
極１Ａ乃至１との間のギヤツプを介して磁気回
路が形成される。ら旋突条４ａの存在によつて各
ギヤツプのパーミアンスはロータ４の回転変位
θ、あるいは直線変位ｘに応じて変化する。ステ
ータ１は各磁極を磁性体で連結した一体構造のも
のから成るものであり、この場合、磁気回路は或
る相のステータ磁極からコア４を通つて別のステ
ータ磁極へ入り、磁極間の連結部を通つて元のス
テータ磁極へ戻る構成となる。
タ１は４つの磁極１Ａ，１Ｂ，１，１を円周
方向に略90度の間隔で配して成るもので、半径方
向で対向する２つの磁極１Ａ及び１、あるいは
１Ｂ及び１が夫々対を成しており、各対から差
動出力が得られるように１次巻線及び２次巻線
（２Ａ，２Ｂ，２，２，３Ａ，３Ｂ，３，
３）が各極１Ａ乃至１に夫々巻かれている。
各磁極１Ａ乃至１によつて囲まれた空間内にコ
ア４が配されており、コア４の円周側面にはら旋
突条４ａが形成されている。このコア４は軸５に
固定されており、軸５の回転、あるいは直線変位
に応じて変位する。コア４のら旋突条４ａと各磁
極１Ａ乃至１との間のギヤツプを介して磁気回
路が形成される。ら旋突条４ａの存在によつて各
ギヤツプのパーミアンスはロータ４の回転変位
θ、あるいは直線変位ｘに応じて変化する。ステ
ータ１は各磁極を磁性体で連結した一体構造のも
のから成るものであり、この場合、磁気回路は或
る相のステータ磁極からコア４を通つて別のステ
ータ磁極へ入り、磁極間の連結部を通つて元のス
テータ磁極へ戻る構成となる。
まずコア４が回転する場合について第２図ａを
参照して説明する。第２図ａは各磁極１Ａ，１
Ｂ，１，１とコア４との間のパーミアンス
PA，PB，ＰA，ＰBを示したもので、横軸は回転変
位θ、縦軸はパーミアンスを示す。第２図ａでは
磁極１Ａとら旋突条４ａとの対向面積が最大とな
る位置を原点すなわちθ＝０（ラジアン）とする。
１対の磁極１Ａ，１について見ると、各磁極１
Ａ，１とコア４のら旋突条４ａとの対応関係は
１／２ピツチずれており、θ＝０（ラジアン）では、
一方の極１Ａとコア４とのギヤツプのパーミアン
スPAが最大となり、他方の極１とコア４との
ギヤツプのパーミアンスＰAが最小となる。θ＝
π／２（ラジアン）では、各磁極１Ａ，１のパー ミアンスPA，ＰAは平衡する。θ＝π（ラジアン）
では、一方の極１ＡのパーミアンスPAが最小と
なり、他方の極１のパーミアンスＰAが最大と
なる。こうしてコア４の１回転につき１サイクル
の割合で各極１Ａ，１のパーミアンスが逆方向
に（差動的に）変化する。同様のことはもう一方
の磁極対１Ｂ，１についてもいえる。但し、磁
極対１Ｂ，１は磁極対１Ａ，１からπ／２（ラ ジアン）ずれた位置に配されているので、磁極対
１Ａ，１にみられるパーミアンス変化PA，ＰA
と同じ変化Ｐ，ＰBがそれよりもπ／２（ラジア ン）ずれた回転変位において顕われる。
参照して説明する。第２図ａは各磁極１Ａ，１
Ｂ，１，１とコア４との間のパーミアンス
PA，PB，ＰA，ＰBを示したもので、横軸は回転変
位θ、縦軸はパーミアンスを示す。第２図ａでは
磁極１Ａとら旋突条４ａとの対向面積が最大とな
る位置を原点すなわちθ＝０（ラジアン）とする。
１対の磁極１Ａ，１について見ると、各磁極１
Ａ，１とコア４のら旋突条４ａとの対応関係は
１／２ピツチずれており、θ＝０（ラジアン）では、
一方の極１Ａとコア４とのギヤツプのパーミアン
スPAが最大となり、他方の極１とコア４との
ギヤツプのパーミアンスＰAが最小となる。θ＝
π／２（ラジアン）では、各磁極１Ａ，１のパー ミアンスPA，ＰAは平衡する。θ＝π（ラジアン）
では、一方の極１ＡのパーミアンスPAが最小と
なり、他方の極１のパーミアンスＰAが最大と
なる。こうしてコア４の１回転につき１サイクル
の割合で各極１Ａ，１のパーミアンスが逆方向
に（差動的に）変化する。同様のことはもう一方
の磁極対１Ｂ，１についてもいえる。但し、磁
極対１Ｂ，１は磁極対１Ａ，１からπ／２（ラ ジアン）ずれた位置に配されているので、磁極対
１Ａ，１にみられるパーミアンス変化PA，ＰA
と同じ変化Ｐ，ＰBがそれよりもπ／２（ラジア ン）ずれた回転変位において顕われる。
次にコア４が軸方向に直線変位する場合につい
て説明する。第２図ｂは各磁極１Ａ，１Ｂ，１
Ａ，１とコア４との間のパーミアンスPA′，
PB′，ＰA′，ＰB′を示したもので、横軸は直線変
位ｘ、縦軸はパーミアンスを示す。Ｐはら旋突条
４ａの１ピツチ分の直線変位量である。第２図ｂ
も同図ａと同様に磁極１Ａとら旋突条４ａとの対
向面積が最大となる位置（回転変位θ＝０ラジア
ンのときと同じ位置）を直線変位の原点すなわち
ｘ＝０とする。従つて、ｘ＝０のときの各磁極１
Ａ乃至１のパーミアンスPA′乃至ＰB′は回転変
位θが０ラジアンのときのパーミアンスPA乃至
ＰBと同一のものとなる。直線変位ｘがＰ／４のとき は、回転変位θがπ／２ラジアンのときと同一のパ ーミアンス特性を示す。直線変位ｘがＰ／２のとき は、回転変位θがπラジアンのときと同一のパー
ミアンス特性を示す。こうしてコア４の直線変位
ｘに対応したパーミアンス変化が得られる。
て説明する。第２図ｂは各磁極１Ａ，１Ｂ，１
Ａ，１とコア４との間のパーミアンスPA′，
PB′，ＰA′，ＰB′を示したもので、横軸は直線変
位ｘ、縦軸はパーミアンスを示す。Ｐはら旋突条
４ａの１ピツチ分の直線変位量である。第２図ｂ
も同図ａと同様に磁極１Ａとら旋突条４ａとの対
向面積が最大となる位置（回転変位θ＝０ラジア
ンのときと同じ位置）を直線変位の原点すなわち
ｘ＝０とする。従つて、ｘ＝０のときの各磁極１
Ａ乃至１のパーミアンスPA′乃至ＰB′は回転変
位θが０ラジアンのときのパーミアンスPA乃至
ＰBと同一のものとなる。直線変位ｘがＰ／４のとき は、回転変位θがπ／２ラジアンのときと同一のパ ーミアンス特性を示す。直線変位ｘがＰ／２のとき は、回転変位θがπラジアンのときと同一のパー
ミアンス特性を示す。こうしてコア４の直線変位
ｘに対応したパーミアンス変化が得られる。
このパーミアンスPA，PB，ＰA，ＰB（＝PA′，
PB′，ＰA′，ＰB′）に対応した出力信号Ａ，Ｂ，
Ａ，が変位検出装置２２の２次巻線に生じる。
変位検出装置２２における巻線の回路構成の一例
を第３図に示す。第３図の回路構成は、２次側に
表われる励磁用交流信号成分の位相ずれにもとづ
いて変位を検出するようにしたものであり、巻線
３Ａ，３Ｂ，３，３を１次巻線として使用
し、巻線２Ａ，２Ｂ，２，２を２次巻線とし
て使用する。そして、差動変化を生じる磁極対１
Ａ，１及び１Ｂ，１を位相のずれた別々の交
流信号で励磁する。尚、或る瞬間において各極１
Ａ，１，１Ｂ，１に励磁される磁束の向きは
矢印Ｘ，Ｙのようになる。一方の磁極対（１Ａ，
１）の１次巻線３Ａ，３には適宜の発振手段
２４から正弦波信号Ｉ sin ωtが印加され、他方
の磁極対（１Ｂ，１）の１次巻線３Ｂ，３に
は適宜の発振手段２５から余弦波信号Ｉ cos
ωtが印加される。第１図に示すようにコア４に
ら旋突条４ａが設けられているので、各磁極対１
Ａ乃至１とコア４との間のパーミアンス変化は
前述の通り１ピツチにつき第２図のようになる。
この図から明らかなように、正弦波信号Ｉ sin
ωtによつて励磁される一方の磁極対１Ａ，１
と余弦波信号Ｉ cos ωtによつて励磁される他
方の磁極対１Ｂ，１とのパーミアンス変化には
１／４ピツチのずれがあり、コア４が回転変位する
場合には、一方のパーミアンス変化を予弦関数
cos θで表わすとすると、他方のパーミアンス変
化は正弦関数sin θで表わせる。又、コア４が直
線変位する場合には、一方のパーミアンス変化を
余弦関数cos2πx／Ｐで表わすとすると、他方のパー ミアンス変化は正弦関数sin2πx／Ｐで表わせる。そ のため、各磁極対１Ａ，１及び１Ｂ，１の２
次巻線２Ａ，２，２Ｂ，２に誘起された電圧
の合成出力Ｅは次式のように略示できる。
PB′，ＰA′，ＰB′）に対応した出力信号Ａ，Ｂ，
Ａ，が変位検出装置２２の２次巻線に生じる。
変位検出装置２２における巻線の回路構成の一例
を第３図に示す。第３図の回路構成は、２次側に
表われる励磁用交流信号成分の位相ずれにもとづ
いて変位を検出するようにしたものであり、巻線
３Ａ，３Ｂ，３，３を１次巻線として使用
し、巻線２Ａ，２Ｂ，２，２を２次巻線とし
て使用する。そして、差動変化を生じる磁極対１
Ａ，１及び１Ｂ，１を位相のずれた別々の交
流信号で励磁する。尚、或る瞬間において各極１
Ａ，１，１Ｂ，１に励磁される磁束の向きは
矢印Ｘ，Ｙのようになる。一方の磁極対（１Ａ，
１）の１次巻線３Ａ，３には適宜の発振手段
２４から正弦波信号Ｉ sin ωtが印加され、他方
の磁極対（１Ｂ，１）の１次巻線３Ｂ，３に
は適宜の発振手段２５から余弦波信号Ｉ cos
ωtが印加される。第１図に示すようにコア４に
ら旋突条４ａが設けられているので、各磁極対１
Ａ乃至１とコア４との間のパーミアンス変化は
前述の通り１ピツチにつき第２図のようになる。
この図から明らかなように、正弦波信号Ｉ sin
ωtによつて励磁される一方の磁極対１Ａ，１
と余弦波信号Ｉ cos ωtによつて励磁される他
方の磁極対１Ｂ，１とのパーミアンス変化には
１／４ピツチのずれがあり、コア４が回転変位する
場合には、一方のパーミアンス変化を予弦関数
cos θで表わすとすると、他方のパーミアンス変
化は正弦関数sin θで表わせる。又、コア４が直
線変位する場合には、一方のパーミアンス変化を
余弦関数cos2πx／Ｐで表わすとすると、他方のパー ミアンス変化は正弦関数sin2πx／Ｐで表わせる。そ のため、各磁極対１Ａ，１及び１Ｂ，１の２
次巻線２Ａ，２，２Ｂ，２に誘起された電圧
の合成出力Ｅは次式のように略示できる。
回転変位θの場合、
Ｅ＝E〓＝Ｋ sin（ωt−θ） …(1)
直線変位ｘの場合、
Ｅ＝Ex＝Ｋ sin（ωt−α） …(2)
但し、α＝2πx／Ｐ、である。
すなわち、第１式においては励磁用交流信号
sinωtに対してコア４の回転変位θだけ位相のず
れた交流信号を出力信号E〓として得ることができ
る。又、第２式においては励磁用交流信号sin ωt
に対してコア４の直線変位ｘに相当する電気角α
だけ位相のずれた交流信号を出力信号Exとして
得ることができる。従つて、出力信号Ｅにおける
位相のずれθまたはαを検出することにより、回
転変位θ又は直線変位ｘを求めることができる。
sinωtに対してコア４の回転変位θだけ位相のず
れた交流信号を出力信号E〓として得ることができ
る。又、第２式においては励磁用交流信号sin ωt
に対してコア４の直線変位ｘに相当する電気角α
だけ位相のずれた交流信号を出力信号Exとして
得ることができる。従つて、出力信号Ｅにおける
位相のずれθまたはαを検出することにより、回
転変位θ又は直線変位ｘを求めることができる。
以上説明したようにこの考案によれば、コアに
ら旋突条を形成することにより回転変位検出と直
線変位検出の双方に利用できる変位検出装置を提
供できる。従つて、従来、回転変位検出装置と直
線変位検出装置を夫々個別に製作していたものを
共通の変位検出装置として製作することによつて
コストの低減る図ることができるという優れた効
果を奏する。また、一体構造型ステータとしたこ
とにより、各相磁極の位置関係をステータ加工時
のプレス打ち抜き等の際に確定することができる
ので、正確且つ簡単である、という効果を奏す
る。
ら旋突条を形成することにより回転変位検出と直
線変位検出の双方に利用できる変位検出装置を提
供できる。従つて、従来、回転変位検出装置と直
線変位検出装置を夫々個別に製作していたものを
共通の変位検出装置として製作することによつて
コストの低減る図ることができるという優れた効
果を奏する。また、一体構造型ステータとしたこ
とにより、各相磁極の位置関係をステータ加工時
のプレス打ち抜き等の際に確定することができる
ので、正確且つ簡単である、という効果を奏す
る。
第１図ａはこの考案の一実施例を示す径方向断
面図、同図ｂは同実施例の軸方向一部断面側面
図、第２図は同実施例におけるコアと各ステータ
磁極との間のパーミアンスを変位（回転変位θ及
び直線変位ｘ）を横軸にとつて夫々示すグラフ、
第３図は同実施例のステータ磁極に巻回された巻
線の回路構成例を示す回路図、である。 １……ステータ（鉄心）、１Ａ，１Ｂ，１，
１……磁極、２Ａ乃至２，３Ａ乃至３……
巻線、４……可動鉄心（コア）、５……回転軸、
６……発振器、７，８……整流回路、４ａ……ら
旋突条、２２……変位検出装置。
面図、同図ｂは同実施例の軸方向一部断面側面
図、第２図は同実施例におけるコアと各ステータ
磁極との間のパーミアンスを変位（回転変位θ及
び直線変位ｘ）を横軸にとつて夫々示すグラフ、
第３図は同実施例のステータ磁極に巻回された巻
線の回路構成例を示す回路図、である。 １……ステータ（鉄心）、１Ａ，１Ｂ，１，
１……磁極、２Ａ乃至２，３Ａ乃至３……
巻線、４……可動鉄心（コア）、５……回転軸、
６……発振器、７，８……整流回路、４ａ……ら
旋突条、２２……変位検出装置。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ １次巻線と２次巻線とを巻回して成る複数の
磁極を円周方向に所定間隔で配して成り、各磁
極を磁性体で連結した一体構造のステータと、 このステータの内部間に配され、側面周囲に
ら旋突条が形成された可動鉄心と を具え、前記各磁極の１次巻線を位相のずれた
複数の交流信号によつて各別に励磁し、前記ス
テータに対する前記可動鉄心の相対的回転位置
又は直線位置に応じて前記交流信号を位相シフ
トした信号を前記２次巻線より得るようにした
変位検出装置。 ２ 前記ステータの磁極は、同一円周上で90度の
間隔で配された４つの磁極からなり、前記可動
鉄心のら旋突条は１条ねじ構造である実用新案
登録請求の範囲第１項記載の変位検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981020096U JPH0125289Y2 (ja) | 1981-02-17 | 1981-02-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981020096U JPH0125289Y2 (ja) | 1981-02-17 | 1981-02-17 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57134622U JPS57134622U (ja) | 1982-08-21 |
| JPH0125289Y2 true JPH0125289Y2 (ja) | 1989-07-28 |
Family
ID=29818019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1981020096U Expired JPH0125289Y2 (ja) | 1981-02-17 | 1981-02-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0125289Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06100475B2 (ja) * | 1989-01-24 | 1994-12-12 | エスエムシー株式会社 | 移動量検出装置 |
| JPH06103162B2 (ja) * | 1993-03-12 | 1994-12-14 | 株式会社エスジー | 流体圧シリンダのピストンロッド位置検出装置 |
| JP5275855B2 (ja) * | 2009-03-13 | 2013-08-28 | ミネベア株式会社 | レゾルバ |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49107758A (ja) * | 1973-02-17 | 1974-10-14 | ||
| JPS5037464A (ja) * | 1973-08-04 | 1975-04-08 | ||
| JPS5093454A (ja) * | 1973-12-19 | 1975-07-25 | ||
| JPS51118464A (en) * | 1975-04-10 | 1976-10-18 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | Multi-functional detector of position, velocity and direction |
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-
1981
- 1981-02-17 JP JP1981020096U patent/JPH0125289Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (6)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57134622U (ja) | 1982-08-21 |
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