JPS5835090A - レ−ザ−加工装置 - Google Patents
レ−ザ−加工装置Info
- Publication number
- JPS5835090A JPS5835090A JP56132536A JP13253681A JPS5835090A JP S5835090 A JPS5835090 A JP S5835090A JP 56132536 A JP56132536 A JP 56132536A JP 13253681 A JP13253681 A JP 13253681A JP S5835090 A JPS5835090 A JP S5835090A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- axis
- laser
- beam splitter
- along
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/067—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing
- B23K26/0676—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing into dependently operating sub-beams, e.g. an array of spots with fixed spatial relationship or for performing simultaneously identical operations
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/067—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、レーザー加工装置に係り、更に詳細にはワー
クの複数個の円筒状内ｗＩ面をレーザービームにより加
工するレーザー加工装置に係る。
クの複数個の円筒状内ｗＩ面をレーザービームにより加
工するレーザー加工装置に係る。
レーザービームはエネルギ密度の高いコヒーレントな光
であり、このレーザービームを用いればワークの溶接、
穿孔、焼入れ等の局部的な加工を比較的正確に行なうこ
とができる。
であり、このレーザービームを用いればワークの溶接、
穿孔、焼入れ等の局部的な加工を比較的正確に行なうこ
とができる。
かかるレーザービームによる加工装置の一つとして、ワ
ークの円筒孔の内壁面を焼入れするレーザー焼入装置が
知られており、従来のかかるレーザー焼入装置は、一般
に、レーザービーム発生装置と、咳レーザービーム発生
装置により発生されたレーザービームをワークの円筒状
内壁面へ向けて反射する反射鏡とを有しており、ワーク
をその軸線の周りに回転させつつその軸線に沿って往復
動させたり、ワークの円筒孔内に配置された反射鏡をワ
ークの軸線に沿って往復動させることにより、ワークの
円筒状内壁面を焼入れするようになっている。
ークの円筒孔の内壁面を焼入れするレーザー焼入装置が
知られており、従来のかかるレーザー焼入装置は、一般
に、レーザービーム発生装置と、咳レーザービーム発生
装置により発生されたレーザービームをワークの円筒状
内壁面へ向けて反射する反射鏡とを有しており、ワーク
をその軸線の周りに回転させつつその軸線に沿って往復
動させたり、ワークの円筒孔内に配置された反射鏡をワ
ークの軸線に沿って往復動させることにより、ワークの
円筒状内壁面を焼入れするようになっている。
しかし、かかる従来のレーザー焼入＠胃は一つのレーザ
ービーム加工端しか有していないため、エンジンのシリ
ンダブロックの如く複数個の円筒孔を有するワークの咳
円鏑孔内ＷｉＩｉを焼入れすることは困難である。即ち
従来のレーザー焼入装置によりかかるワークの複数個の
円筒状内壁面を焼入れするためには、レーザー焼入装置
の加工端を一つの円筒孔内に挿入してその内ｗｉｉｉを
一焼入れし、次いで他の円筒孔内に加工端を移してその
内！！面の焼入れを行なうという操作を繰返さなければ
ならず、かかる操作を繰返すことは繁雑であるのみなら
ず、ワークの焼入れ能事を向上させることができない。
ービーム加工端しか有していないため、エンジンのシリ
ンダブロックの如く複数個の円筒孔を有するワークの咳
円鏑孔内ＷｉＩｉを焼入れすることは困難である。即ち
従来のレーザー焼入装置によりかかるワークの複数個の
円筒状内壁面を焼入れするためには、レーザー焼入装置
の加工端を一つの円筒孔内に挿入してその内ｗｉｉｉを
一焼入れし、次いで他の円筒孔内に加工端を移してその
内！！面の焼入れを行なうという操作を繰返さなければ
ならず、かかる操作を繰返すことは繁雑であるのみなら
ず、ワークの焼入れ能事を向上させることができない。
また特に、ワークをその円筒孔の軸線の周りに回転させ
つつその軸線に沿って往復動させる構成のレーザー焼入
装置に於ては、エンジンのシリンダブ０ツクの如き大重
量で複雑な外形を有するワークを回転させつつ往復動さ
せることは非常に国難である。
つつその軸線に沿って往復動させる構成のレーザー焼入
装置に於ては、エンジンのシリンダブ０ツクの如き大重
量で複雑な外形を有するワークを回転させつつ往復動さ
せることは非常に国難である。
本発明は、従来のレーザー加工＠胃に於ける上述の如き
不具合に鑑み、ワークの複数個の円筒状内壁面を同時に
加工することのできるレーザー加工装置を提供すること
を目的としている。
不具合に鑑み、ワークの複数個の円筒状内壁面を同時に
加工することのできるレーザー加工装置を提供すること
を目的としている。
かかる目的は、本発明によれば、ワークの複数個の円筒
状内壁面をレーザービームにより加工するレーザー加工
装置に於て、レーザービーム発生装置と、該レーザービ
ーム発生装置により発生されたレーザービームを分割す
るビームスプリッタと、該ビームスプリッタにより分割
されたレーザービームをそれぞれ前記ワークの前記円筒
状内壁面へ向けて反射する複数個の反射鏡とを有し、該
反射鏡はそれぞれ前記ビームスプリッタにより分割され
たレーザービームに平行な軸線に対し傾斜した反射面を
有し且該軸線に沿って往復動可能であることを特徴とす
るレーザー加工＠胃によって達成される。
状内壁面をレーザービームにより加工するレーザー加工
装置に於て、レーザービーム発生装置と、該レーザービ
ーム発生装置により発生されたレーザービームを分割す
るビームスプリッタと、該ビームスプリッタにより分割
されたレーザービームをそれぞれ前記ワークの前記円筒
状内壁面へ向けて反射する複数個の反射鏡とを有し、該
反射鏡はそれぞれ前記ビームスプリッタにより分割され
たレーザービームに平行な軸線に対し傾斜した反射面を
有し且該軸線に沿って往復動可能であることを特徴とす
るレーザー加工＠胃によって達成される。
かかる本発明によるレーザー加工装置によれば、複数個
の円筒孔を有するワークの各円筒状内壁面を一つのレー
ザー加工＠蹟により同時に加工することができるので、
ワークの加工能事を大幅に向上させることができる。
の円筒孔を有するワークの各円筒状内壁面を一つのレー
ザー加工＠蹟により同時に加工することができるので、
ワークの加工能事を大幅に向上させることができる。
また本発明によるレーザー加工＠胃に於ては、一つのレ
ーザービーム発生装置により発生されたレーザービーム
により複数個の円筒状内壁面が加■されるので、各円筒
状内壁面の加工の程度を均一にすることができ、またそ
れらの加工の程度を一括して制御することができる。
ーザービーム発生装置により発生されたレーザービーム
により複数個の円筒状内壁面が加■されるので、各円筒
状内壁面の加工の程度を均一にすることができ、またそ
れらの加工の程度を一括して制御することができる。
以下に添付の図を参照しつつ、本発明をその好ましい実
施例について詳細に説明する。
施例について詳細に説明する。
添付の図面は４気筒４サイクルエンジンのシリンダブロ
ックのシリンダ孔内壁面を焼入れするレーザー焼入装置
として構成された本発明によるレーザー加工装置の一つ
の実施例を示す概略構成図である。
ックのシリンダ孔内壁面を焼入れするレーザー焼入装置
として構成された本発明によるレーザー加工装置の一つ
の実施例を示す概略構成図である。
図に於て、１はレーザービーム発生装置であり、このレ
ーザービーム発生装置は図には示されていないフレーム
によってベース２に固定されている。
ーザービーム発生装置は図には示されていないフレーム
によってベース２に固定されている。
レーザービーム発生装置１はその軸線３に沿って断面円
形の平行光線としてのレーザービーム４を発生し得るよ
うになっており、そのノズル５には軸線３に沿りて延在
するチューブ６が固定されている。チューブ６内にはハ
ーフミラ−の如きビームスプリッタ７が設けられており
、このビームスプリッタはレーザービーム発生装置１に
より発生されたレーザービーム４のうちの１／２のレー
ザービームを軸輪３に垂直な軸線８に沿って反射し、ま
た他の残りのレーザービームを軸線３に沿って透過させ
るよう構成されている。
形の平行光線としてのレーザービーム４を発生し得るよ
うになっており、そのノズル５には軸線３に沿りて延在
するチューブ６が固定されている。チューブ６内にはハ
ーフミラ−の如きビームスプリッタ７が設けられており
、このビームスプリッタはレーザービーム発生装置１に
より発生されたレーザービーム４のうちの１／２のレー
ザービームを軸輪３に垂直な軸線８に沿って反射し、ま
た他の残りのレーザービームを軸線３に沿って透過させ
るよう構成されている。
チューブ６の先端には軸線３に沿って他の一つのチュー
ブ９がその一端部にて大筒式に接続されており、その他
端にはビームスプリッタ７を透過したレーザービーム１
０を軸線３に垂直で軸線８に平行な軸線１１に沿って全
反射する反射鏡１２が設けられている。
ブ９がその一端部にて大筒式に接続されており、その他
端にはビームスプリッタ７を透過したレーザービーム１
０を軸線３に垂直で軸線８に平行な軸線１１に沿って全
反射する反射鏡１２が設けられている。
またチューブ６には軸線８に沿りて延在するチューブ１
３が固定されており、該チューブ内にはビームスプリッ
タ７により反射されたレーザービーム１４の１／２のレ
ーザービームを軸線８に対し垂直な軸線１５に沿って反
射し、残りのレーザービームを軸線８に沿って透過させ
るビームスプリッタ１６が設けられている。またチュー
ブ１３には軸線１５に沿って延在するチューブ１７が固
定されており、咳チューブの先端部には直角に屈曲した
チューブ１８がその一端部にて大筒式に接続されている
。チューブ１８内にはビームスプリッタ１６により反射
されたレーザービーム１９を軸線１５に垂直で軸線８に
平行な軸線２ｏに沿って全反射する反射鏡２１が設けら
れている。
３が固定されており、該チューブ内にはビームスプリッ
タ７により反射されたレーザービーム１４の１／２のレ
ーザービームを軸線８に対し垂直な軸線１５に沿って反
射し、残りのレーザービームを軸線８に沿って透過させ
るビームスプリッタ１６が設けられている。またチュー
ブ１３には軸線１５に沿って延在するチューブ１７が固
定されており、咳チューブの先端部には直角に屈曲した
チューブ１８がその一端部にて大筒式に接続されている
。チューブ１８内にはビームスプリッタ１６により反射
されたレーザービーム１９を軸線１５に垂直で軸線８に
平行な軸線２ｏに沿って全反射する反射鏡２１が設けら
れている。
同様に、チューブ９の先端部には軸線１１に沿って延在
するチューブ２２が固定されており、咳チューブ内には
反射鏡１２により反射されたレーザービーム２３の１／
２のレーザービームを軸線１１に垂直な軸線２４に沿っ
て反射し、残りのレーザービームを軸＄１１１に沿って
透過させるビームスプリッタ２５が設けられている。ま
たチューブ２２には軸線２４に沿って延在するチューブ
２６が固定されており、該チューブの先端部にはチュー
ブ１８と同様のチューブ２７がその一端部にて大筒式に
接続されている。チューブ２７内にはビームスプリッタ
２５により反射ξれたレーザービーム２８を軸線２４に
垂直で軸ｌｍ１１に平行な軸線２９に沿って全反射する
反射［３０が設けられている。
するチューブ２２が固定されており、咳チューブ内には
反射鏡１２により反射されたレーザービーム２３の１／
２のレーザービームを軸線１１に垂直な軸線２４に沿っ
て反射し、残りのレーザービームを軸＄１１１に沿って
透過させるビームスプリッタ２５が設けられている。ま
たチューブ２２には軸線２４に沿って延在するチューブ
２６が固定されており、該チューブの先端部にはチュー
ブ１８と同様のチューブ２７がその一端部にて大筒式に
接続されている。チューブ２７内にはビームスプリッタ
２５により反射ξれたレーザービーム２８を軸線２４に
垂直で軸ｌｍ１１に平行な軸線２９に沿って全反射する
反射［３０が設けられている。
それぞれのチューブ１３．１８．２７．２２のプリンタ
１６を透過したレーザービーム３１、反射１１２１によ
り全反射されたレーザービーム３２、反射鏡３０により
全反射されたレーザービーム３３、ビームスプリッタ２
５を透過したレーザービーム３４を適宜に集光する集光
レンズ３５〜３８が、それぞれ軸線８．２０．２９．１
１に沿って往復動可能に設けられている。また軸線８．
２０．２９．１１の互いに他に対する一隅は、大筒式接
続部３９〜４１により、それらの−纏がベース２上に固
定さたシリンダブ０ツク４２のシリンダ孔４３〜４６の
軸ＩＩ／Ａ４７〜５０に整合するよう、調整され得るよ
うになっている。
１６を透過したレーザービーム３１、反射１１２１によ
り全反射されたレーザービーム３２、反射鏡３０により
全反射されたレーザービーム３３、ビームスプリッタ２
５を透過したレーザービーム３４を適宜に集光する集光
レンズ３５〜３８が、それぞれ軸線８．２０．２９．１
１に沿って往復動可能に設けられている。また軸線８．
２０．２９．１１の互いに他に対する一隅は、大筒式接
続部３９〜４１により、それらの−纏がベース２上に固
定さたシリンダブ０ツク４２のシリンダ孔４３〜４６の
軸ＩＩ／Ａ４７〜５０に整合するよう、調整され得るよ
うになっている。
シリンダブロック４２のシリンダ孔４３〜４６内には、
それぞれレーザービーム３１〜３４をそれぞれシリンダ
孔４３〜４６の円筒状内壁面５１〜５４へ向けて全反射
する反射鏡５５〜５８が配置されている。これらの反射
鏡５５〜５８は、この実施例の場合、シリンダ孔４３〜
４６の軸線４７〜５０に対し約４５°傾斜した反射面を
有する平面鏡であり、゛それぞれ軸線４７〜５０に沿っ
て延在する支持バー５９〜６２に固定されている。
それぞれレーザービーム３１〜３４をそれぞれシリンダ
孔４３〜４６の円筒状内壁面５１〜５４へ向けて全反射
する反射鏡５５〜５８が配置されている。これらの反射
鏡５５〜５８は、この実施例の場合、シリンダ孔４３〜
４６の軸線４７〜５０に対し約４５°傾斜した反射面を
有する平面鏡であり、゛それぞれ軸線４７〜５０に沿っ
て延在する支持バー５９〜６２に固定されている。
これらの支持バー５９〜６２は、図には示されていない
駆動装置により、互いに同期してそれぞれ輪１ｉ１４７
〜５０の周りに回転され、これらの軸線に沿って往復動
されるようになっており、また集光レンズ３５〜３８も
支持バー５９〜６２の往復動に同期してそれぞれ軸線８
．２０．２９．１１に沿って往復動されるようになって
いる。これにより反射鏡５１〜５４は、それぞれレーザ
ービーム３１〜３４を所定の集光度にて円筒状内壁面４
７〜５０のあらゆる領域へ反射し特るようになっている
。
駆動装置により、互いに同期してそれぞれ輪１ｉ１４７
〜５０の周りに回転され、これらの軸線に沿って往復動
されるようになっており、また集光レンズ３５〜３８も
支持バー５９〜６２の往復動に同期してそれぞれ軸線８
．２０．２９．１１に沿って往復動されるようになって
いる。これにより反射鏡５１〜５４は、それぞれレーザ
ービーム３１〜３４を所定の集光度にて円筒状内壁面４
７〜５０のあらゆる領域へ反射し特るようになっている
。
作動に於・ては、軸線８．２０，２９．１１がそれぞれ
シリンダブロック４２のシリンダ孔４３〜４６の軸線４
７〜５０と整合するよう、大筒式接続部３９〜４１を調
整し、反射鏡５５′〜５８をシリンダ孔４３〜４６の上
端部または下端部に配置しためも、レーザービーム発生
装置１を作動させ、反射鏡５５〜５８を軸線４７〜５ｏ
の周りに回転させつつそれらの軸線に沿ってシリンダ孔
４３〜４６の他端へ移動させることにより、各シリンダ
孔の円筒状内！面５１〜５４の表面硬化焼入れを行なう
。
シリンダブロック４２のシリンダ孔４３〜４６の軸線４
７〜５０と整合するよう、大筒式接続部３９〜４１を調
整し、反射鏡５５′〜５８をシリンダ孔４３〜４６の上
端部または下端部に配置しためも、レーザービーム発生
装置１を作動させ、反射鏡５５〜５８を軸線４７〜５ｏ
の周りに回転させつつそれらの軸線に沿ってシリンダ孔
４３〜４６の他端へ移動させることにより、各シリンダ
孔の円筒状内！面５１〜５４の表面硬化焼入れを行なう
。
尚、図示の実施例に於ては、反射鏡５５〜５８はそれぞ
れ軸線４７〜５０の周りに回転可能でありそれらの軸輪
に沿って往復動可能な平ｖｊ７Ｊ嫂として構成されてい
るが、これらの反射鏡は軸輪４７〜５０を回転軸とする
例えば放物線の如き二次曲線の回転面を反射面とする二
次曲面反射鏡として構成されてもよく、この場合にはそ
れらの反射鏡を軸線４７〜５０の周りに回転させなくて
もそれらの軸線に沿って往復動させるだけで、各円筒状
内壁面５１〜５４の全面を競入れすることができる。ま
た特に、反射鏡５５〜５８を放物面鏡または放物線回転
面を反射面とする反射鏡として構成する場合には、集光
レンズ３５〜３８を廃止し、平行光線としてのレーザー
ビーム３１〜３４をそれらの反射鏡により集光させつつ
円筒状内Ｗ面５１〜５４へ向けて反射させることができ
る。
れ軸線４７〜５０の周りに回転可能でありそれらの軸輪
に沿って往復動可能な平ｖｊ７Ｊ嫂として構成されてい
るが、これらの反射鏡は軸輪４７〜５０を回転軸とする
例えば放物線の如き二次曲線の回転面を反射面とする二
次曲面反射鏡として構成されてもよく、この場合にはそ
れらの反射鏡を軸線４７〜５０の周りに回転させなくて
もそれらの軸線に沿って往復動させるだけで、各円筒状
内壁面５１〜５４の全面を競入れすることができる。ま
た特に、反射鏡５５〜５８を放物面鏡または放物線回転
面を反射面とする反射鏡として構成する場合には、集光
レンズ３５〜３８を廃止し、平行光線としてのレーザー
ビーム３１〜３４をそれらの反射鏡により集光させつつ
円筒状内Ｗ面５１〜５４へ向けて反射させることができ
る。
以上に於ては、本発明を４気筒４サイクルエンジンのシ
リンダブロックの４つのシリンダ孔の焼入れを行なうレ
ーザー焼入装置として構１！された実施例について詳報
に説明したが、本発明によるレーザー加工装置は複数個
の円筒孔を有するワークに対し穿孔、溶接等の加工を行
なうレーザー加工装置として構成することも可能であり
、また一つまたはそれ以上の円筒状内１１面を有する複
数個のワークを同時に加工するレーザー加工＠胃として
構成することも可能である。
リンダブロックの４つのシリンダ孔の焼入れを行なうレ
ーザー焼入装置として構１！された実施例について詳報
に説明したが、本発明によるレーザー加工装置は複数個
の円筒孔を有するワークに対し穿孔、溶接等の加工を行
なうレーザー加工装置として構成することも可能であり
、また一つまたはそれ以上の円筒状内１１面を有する複
数個のワークを同時に加工するレーザー加工＠胃として
構成することも可能である。
添付の図面は４気筒４サイクルエンジンのシリンダブロ
ックのシリンダ孔の１１面硬化焼入れを行なうレーザー
焼入＠胃として構成された本発明によるレーザー加工装
置の一つの実施例を示す概略構成図である、。 １・・・レーザービーム発生装置、２・・・ベース、３
・・・軸線、４・・・レーザービーム、５−・・ノズル
、６・・・チューブ、７・・・ビームスプリンタ、８・
・・輪線、９・・・チューブ、１１・・・軸線、１２・
・・反１１１鏡、１３・・・チューブ、１４・・・レー
ザービーム、１５・・・輪線。 １６・・・ビームスプリッタ、１７．１８・・・チュー
ブ。 １９・・・レーザービーム、２０・・・軸線、２１・・
・反射鏡、２２・・・チューブ、２３・・・し〒ザービ
ーム、２４・・・軸線、２５・・・ビームスプリッタ、
２６．２７・・・チューブ、２８・・・レーザービーム
、２９・・・軸線。 ３０・・・反＠鏡、３１〜３４・・・レーザービーム、
３５〜３８・・・集光レンズ、３９〜４１・・・大筒式
接続部、４２・・・シリンダブロック、４３〜４６・・
・シリンダ孔、４７〜５０・・・軸線、５１〜５４・・
・円筒状内壁面、５５〜５８・・・反射鏡、５９〜６２
・・・支持バー
ックのシリンダ孔の１１面硬化焼入れを行なうレーザー
焼入＠胃として構成された本発明によるレーザー加工装
置の一つの実施例を示す概略構成図である、。 １・・・レーザービーム発生装置、２・・・ベース、３
・・・軸線、４・・・レーザービーム、５−・・ノズル
、６・・・チューブ、７・・・ビームスプリンタ、８・
・・輪線、９・・・チューブ、１１・・・軸線、１２・
・・反１１１鏡、１３・・・チューブ、１４・・・レー
ザービーム、１５・・・輪線。 １６・・・ビームスプリッタ、１７．１８・・・チュー
ブ。 １９・・・レーザービーム、２０・・・軸線、２１・・
・反射鏡、２２・・・チューブ、２３・・・し〒ザービ
ーム、２４・・・軸線、２５・・・ビームスプリッタ、
２６．２７・・・チューブ、２８・・・レーザービーム
、２９・・・軸線。 ３０・・・反＠鏡、３１〜３４・・・レーザービーム、
３５〜３８・・・集光レンズ、３９〜４１・・・大筒式
接続部、４２・・・シリンダブロック、４３〜４６・・
・シリンダ孔、４７〜５０・・・軸線、５１〜５４・・
・円筒状内壁面、５５〜５８・・・反射鏡、５９〜６２
・・・支持バー
Claims (1)
- ワークの複数個の円筒状内！面をレーザービームにより
加工するレーザー加工装置に於て、レーザービーム発生
装置と、咳し−ザービーム発生鋏瞳により発生されたレ
ーザービームを分割するビームスプリッタと、咳ビーム
スプリッタにより分割されたレーザービームをそれぞれ
前記ワークの前記円筒状内壁面へ向けて反射する複数個
の反射鏡とを有し、咳反射鏡はそれでれ前記ビームスプ
リッタにより分割されたレーザービームに平行な軸線に
対し傾斜した反射面を有し且咳軸線に沿って往復動可能
であることを特徴とするレーザー加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56132536A JPS5835090A (ja) | 1981-08-24 | 1981-08-24 | レ−ザ−加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56132536A JPS5835090A (ja) | 1981-08-24 | 1981-08-24 | レ−ザ−加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5835090A true JPS5835090A (ja) | 1983-03-01 |
Family
ID=15083567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56132536A Pending JPS5835090A (ja) | 1981-08-24 | 1981-08-24 | レ−ザ−加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5835090A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5593605A (en) * | 1994-10-11 | 1997-01-14 | Crc-Evans Pipeline International, Inc. | Internal laser welder for pipeline |
| US5796069A (en) * | 1997-01-10 | 1998-08-18 | Crc-Evans Pipeline International, Inc. | Arc and laser welding process for pipeline |
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