JPS5852754B2 - レ−ザ照射装置 - Google Patents
レ−ザ照射装置Info
- Publication number
- JPS5852754B2 JPS5852754B2 JP50115126A JP11512675A JPS5852754B2 JP S5852754 B2 JPS5852754 B2 JP S5852754B2 JP 50115126 A JP50115126 A JP 50115126A JP 11512675 A JP11512675 A JP 11512675A JP S5852754 B2 JPS5852754 B2 JP S5852754B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser beam
- workpiece
- reflecting mirrors
- condensing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレーザを照射して物を加工する際に用いられる
レーザ照射装置に関する。
レーザ照射装置に関する。
レーザビームを用いた照射装置は第１図に示すように２
台のモータの軸が互いに直角になるように配置され、第
１のモータ１の軸には水平方向にレーザビームを発射す
るレーザ発振装置２からのレーザビーム３を下に直角に
折りまげる反射鏡４とその下に位置する集光レンズ５が
固定され、図の矢印に示すようにＸ方向に移動させ、ま
た、第２のモータ６の軸には被加工物７を固定するため
のテーブル８が取りつけられ、図の矢印に示すようにＹ
方向に移動させるようにしたものである。
台のモータの軸が互いに直角になるように配置され、第
１のモータ１の軸には水平方向にレーザビームを発射す
るレーザ発振装置２からのレーザビーム３を下に直角に
折りまげる反射鏡４とその下に位置する集光レンズ５が
固定され、図の矢印に示すようにＸ方向に移動させ、ま
た、第２のモータ６の軸には被加工物７を固定するため
のテーブル８が取りつけられ、図の矢印に示すようにＹ
方向に移動させるようにしたものである。
かくして２台のモータを動かすことにより、レーザ発振
装置２から発射されたレーザビーム３を反射鏡４で下に
直角に折り曲げ集光レンズ５を通して、テーブル８上に
固定された被加工物７にレーザビームを照射して所望の
加工を行わせることができる。
装置２から発射されたレーザビーム３を反射鏡４で下に
直角に折り曲げ集光レンズ５を通して、テーブル８上に
固定された被加工物７にレーザビームを照射して所望の
加工を行わせることができる。
本方式によれば、従来の例えば被加工物をＸＹテーブル
にのせて、固定したレーザスポットの下で走査して被加
工物に加工を行う方式にくらべＸ方向とＹ方向のモータ
は同程度の軽い負荷を移動させればよいためにモータを
小型化できたり、装置の摩耗も少いなどの利点がある。
にのせて、固定したレーザスポットの下で走査して被加
工物に加工を行う方式にくらべＸ方向とＹ方向のモータ
は同程度の軽い負荷を移動させればよいためにモータを
小型化できたり、装置の摩耗も少いなどの利点がある。
本発明の目的は前述したレーザ照射装置の利点をさらに
生かすべく改良を加えることにより１台のレーザ照射装
置で同時に複数個の被加工物を加工できるようにしたレ
ーザ照射装置を提供することにある。
生かすべく改良を加えることにより１台のレーザ照射装
置で同時に複数個の被加工物を加工できるようにしたレ
ーザ照射装置を提供することにある。
本発明は、レーザ発振装置から発射された水平方向のレ
ーザビームを下に直角に曲げるための複数個の反射鏡と
、前記複数個の反射鏡に対応して設けられ、各々の反射
鏡からのレーザビームを被加工物上に集光する複数個の
集光レンズと、前記複数個０反射鏡と複数個の集光レン
ズを固定し、かつ水平のレーザビーム方向にレーザビー
ムの走査のために移動するように第１のモータの軸に取
り付けられた支持台と被加工物を載せ上記各−組の反射
鏡と集光レンズの下側に位置するように置かれ、前記支
持台の移動方向に直角な方向にレーザビームの走査のた
めに移動するように第２のモータの軸にとりつけられた
少なくとも１個以上のテーブルとからなり、（１）１台
のレーザ発振装置から発射された１本のレーザビームを
ハーフミラ−と全反射ミラーとの組合せによって均等の
強さを有する複数本のレーザビームに分割して、該レー
ザビームを対応する前記各々の反射鏡にあてて、下に直
角に曲げ対応する前記各々の集光レンズで前記各々の被
加工物上に集光させるか、あるいは、（２）レーザビー
ムを分割しないで複数台のレーザ発振装置を用いて、該
レーザ発振装置から発射されたレーザビームを対応する
前記各々の反射鏡にあてて、下に直角に曲げ対応する前
記各々の集光レンズで前記各々の被加工物上に集光させ
第１および第２のモータを動かすことにより前記各々の
被加工物上にレーザビームを走査させて、１台のレーザ
照射装置で同時に複数個の被加工物に所望の加工が行え
ることを特徴としている。
ーザビームを下に直角に曲げるための複数個の反射鏡と
、前記複数個の反射鏡に対応して設けられ、各々の反射
鏡からのレーザビームを被加工物上に集光する複数個の
集光レンズと、前記複数個０反射鏡と複数個の集光レン
ズを固定し、かつ水平のレーザビーム方向にレーザビー
ムの走査のために移動するように第１のモータの軸に取
り付けられた支持台と被加工物を載せ上記各−組の反射
鏡と集光レンズの下側に位置するように置かれ、前記支
持台の移動方向に直角な方向にレーザビームの走査のた
めに移動するように第２のモータの軸にとりつけられた
少なくとも１個以上のテーブルとからなり、（１）１台
のレーザ発振装置から発射された１本のレーザビームを
ハーフミラ−と全反射ミラーとの組合せによって均等の
強さを有する複数本のレーザビームに分割して、該レー
ザビームを対応する前記各々の反射鏡にあてて、下に直
角に曲げ対応する前記各々の集光レンズで前記各々の被
加工物上に集光させるか、あるいは、（２）レーザビー
ムを分割しないで複数台のレーザ発振装置を用いて、該
レーザ発振装置から発射されたレーザビームを対応する
前記各々の反射鏡にあてて、下に直角に曲げ対応する前
記各々の集光レンズで前記各々の被加工物上に集光させ
第１および第２のモータを動かすことにより前記各々の
被加工物上にレーザビームを走査させて、１台のレーザ
照射装置で同時に複数個の被加工物に所望の加工が行え
ることを特徴としている。
次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
なお、説明を簡単にするため同時に２個の被加工物を加
工する場合について説明を行う。
工する場合について説明を行う。
第２図ａ、ｂは本発明の第１および第２の実施例を示す
斜視図である。
斜視図である。
第２図ａは被加工物を載せるテーブルを２個を重ねた例
を、また第２図すは被加工物を載せるテーブルを１個に
した例を示す。
を、また第２図すは被加工物を載せるテーブルを１個に
した例を示す。
レーザ発振装置１０から発射されたレーザビーム１１は
ハーフミラ−１２により均等な強さを有する２本のレー
ザビーム２０．３０に分割され１本のレーザビーム２０
はハーフミラ−１２を透過して、反射鏡２１にあたり、
下に直角に折り曲げられ集光レンズ２２により、被加工
物２３上に集光される。
ハーフミラ−１２により均等な強さを有する２本のレー
ザビーム２０．３０に分割され１本のレーザビーム２０
はハーフミラ−１２を透過して、反射鏡２１にあたり、
下に直角に折り曲げられ集光レンズ２２により、被加工
物２３上に集光される。
さらに、他の１本のレーザビーム３０はハーフミラ−１
２によつ（反射され、さらに全反射ミラー１３によって
再びまげられ反射鏡３１により下に直角にまげられ、集
光レンズ３２により被加工物３３上に、集光される。
２によつ（反射され、さらに全反射ミラー１３によって
再びまげられ反射鏡３１により下に直角にまげられ、集
光レンズ３２により被加工物３３上に、集光される。
加工物２３゜３３、は第２図ａの場合にはテーブル２４
、３４上に固定されており、該テーブル２４．３４は
連結板１４を通して図の矢印に示すようにＹ方向に移動
させるモータ１５の軸に取りつけられる。
、３４上に固定されており、該テーブル２４．３４は
連結板１４を通して図の矢印に示すようにＹ方向に移動
させるモータ１５の軸に取りつけられる。
第２図すの場合には被加工物２３，３３はテーブル４０
に固定されており、該テーブル４０は、図の矢印に示す
ようにＹ方向に移動させるモータ１５の軸に取りつけら
れる。
に固定されており、該テーブル４０は、図の矢印に示す
ようにＹ方向に移動させるモータ１５の軸に取りつけら
れる。
一方反射鏡２１，３１と集光レンズ２２，３２は連結板
１６を通して図の矢印に示すようにＸ方向に移動させる
モータ１７の軸に取りつけられる。
１６を通して図の矢印に示すようにＸ方向に移動させる
モータ１７の軸に取りつけられる。
かくして２台のモータ１５，１７を動かすことによりレ
ーザ発振装置１０から発射されたレーザビーム２０．３
０を被加工物２３．３３上でＸＹ方向に走査することが
でき、被加工物２３゜３３に所望の加工を行うことがで
きる。
ーザ発振装置１０から発射されたレーザビーム２０．３
０を被加工物２３．３３上でＸＹ方向に走査することが
でき、被加工物２３゜３３に所望の加工を行うことがで
きる。
第３図は本発明による第３の実施例を示したものである
。
。
本実施例では第１、第２の実施例のようにハーフミラ−
１全反射ミラーを使用してレーザビームを２本に分割せ
ずに２台のレーザ発振装置を使用した例であり、例えば
第２図すにおけるハーフミラ−１２、全反射ミラー１３
を使用せずレーザ発振装置５０をもう一台加えレーザビ
ーム５１を発射するようにしたものであって、動作に関
しては前記説明した通りであるので省略する。
１全反射ミラーを使用してレーザビームを２本に分割せ
ずに２台のレーザ発振装置を使用した例であり、例えば
第２図すにおけるハーフミラ−１２、全反射ミラー１３
を使用せずレーザ発振装置５０をもう一台加えレーザビ
ーム５１を発射するようにしたものであって、動作に関
しては前記説明した通りであるので省略する。
第２図ａ、ｂと第３図の実施例は本発明を実現する方法
の一実施例にすぎずハーフミラ−と全反射ミラーを組合
せて１本のレーザビームを複数本に分割してそれぞれの
レーザビームを対応する反射鏡、集光レンズを通して複
数個の被加工物を１台のレーザ照射装置で同時に加工で
きることは言うまでもない。
の一実施例にすぎずハーフミラ−と全反射ミラーを組合
せて１本のレーザビームを複数本に分割してそれぞれの
レーザビームを対応する反射鏡、集光レンズを通して複
数個の被加工物を１台のレーザ照射装置で同時に加工で
きることは言うまでもない。
あるいはハーフミラ−や全反射ミラーを用いないで複数
台のレーザ発振装置を用いてそれぞれのレーザビームを
対応する反射鏡、集光レンズを通して複数個の被加工物
を１台のレーザ照射装置で同時に加工できることも言う
までもない。
台のレーザ発振装置を用いてそれぞれのレーザビームを
対応する反射鏡、集光レンズを通して複数個の被加工物
を１台のレーザ照射装置で同時に加工できることも言う
までもない。
本発明は以上説明したように１台のレーザ照射装置で複
数個の被加工物を加工できるように構成することにより
、従来のレーザ照射装置にくらべて、はるかに量産性に
富み、効率よく被加工物の加工が行える効果がある。
数個の被加工物を加工できるように構成することにより
、従来のレーザ照射装置にくらべて、はるかに量産性に
富み、効率よく被加工物の加工が行える効果がある。
第１図は従来のレーザ照射装置を示す斜視図、第２図ａ
、ｂは本発明による一実施例を示す斜視図、第３図は本
発明による他の実施例を示す斜視図である。 ２．１０，５０・・・・・・レーザ発振装置、３，１１
゜２０．３０，５１・・・・・・レーザビーム、１２・
・・・・・ハーフミラ−１１３・・・・・・全反射ミラ
ー、１４，１６・・・・・・連結板、１６，１５，１７
・・・・・・モータ、４゜２１．３１・・・・・・反射
鏡、５ 、２２ 、３２・・・・・・集光レンズ、７，
２３，３３・・・・・・被加工物、８ 、２４ 。 ３４．４０・・・・・・テーブル。
、ｂは本発明による一実施例を示す斜視図、第３図は本
発明による他の実施例を示す斜視図である。 ２．１０，５０・・・・・・レーザ発振装置、３，１１
゜２０．３０，５１・・・・・・レーザビーム、１２・
・・・・・ハーフミラ−１１３・・・・・・全反射ミラ
ー、１４，１６・・・・・・連結板、１６，１５，１７
・・・・・・モータ、４゜２１．３１・・・・・・反射
鏡、５ 、２２ 、３２・・・・・・集光レンズ、７，
２３，３３・・・・・・被加工物、８ 、２４ 。 ３４．４０・・・・・・テーブル。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ レーザ発振装置から発射された水平方向のレーザビ
ームを被加工物方向に折り曲げるための複数個の反射鏡
と、該複数個の反射鏡に対応して設けられ、各々の反射
鏡からのレーザビームを被加工物上に集光するための複
数個の集光レンズと、前記複数個の反射鏡と複数個の集
光レンズを固定し、かつ、水平方向のレーザビームの走
査のために移動するように第１のモータ軸に取付けられ
た支持台と、被加工物を塔載し前記−組の反射鏡と集光
レンズの下側に位置するように置かれ、前記支持台の移
動方向に直角な方向にレーザビームの走査のために移動
するように第２のモータ軸に取付けられた少なくとも１
個以上のテーブルを有し、１台のレーザ発振装置から発
射された１本のレーザビームをハーフミラ−と全反射ミ
ラーとの組合せにより均等の強さを有する複数本のレー
ザビームに分割し該レーザビームを対応する前記反射鏡
にあてて対応する前記各集光レンズに導き、該各集光レ
ンズで前記各々の被加工物上に集光させ、同時に複数個
の被加工物の加工ができるようにしたレーザ照射装置。 ２ レーザ発振装置から発射された水平方向のレーザビ
ームを被加工物方向に折り曲げるための複数個の反射鏡
と、該複数個の反射鏡に対応して設けられ、各々の反射
鏡からのレーザビームを被加工物上に集光するための複
数個の集光レンズと、前記複数個の反射鏡と複数個の集
光レンズを固定し、かつ水平方向のレーザビームの走査
のために移動するように第１のモータ軸に取付けられた
支持台と、被加工物を塔載し前記−組の反射鏡と集光レ
ンズの下側に位置するように置かれ、前記支持台の移動
方向に直角な方向にレーザビームの走査のために移動す
るように第２のモータ軸に取付けられた少なくとも１個
以上のテーブルと、複数台のレーザ発振装置を有し、該
レーザ発振装置から発射されたレーザビームを対応する
前記各々の反射鏡にあてて被加工物方向に曲げ、対応す
る前記各々の集光レンズで前記各々の被加工物上に集光
させ、前記第１および第２のモータを動かすことにより
同時に複数個の被加工物の加工ができるようにしたレー
ザ照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50115126A JPS5852754B2 (ja) | 1975-09-23 | 1975-09-23 | レ−ザ照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50115126A JPS5852754B2 (ja) | 1975-09-23 | 1975-09-23 | レ−ザ照射装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5239893A JPS5239893A (en) | 1977-03-28 |
| JPS5852754B2 true JPS5852754B2 (ja) | 1983-11-25 |
Family
ID=14654900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50115126A Expired JPS5852754B2 (ja) | 1975-09-23 | 1975-09-23 | レ−ザ照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5852754B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55117588A (en) * | 1979-03-02 | 1980-09-09 | Nec Corp | Light beam working apparatus |
| US4346284A (en) * | 1980-06-18 | 1982-08-24 | Philip Morris Incorporated | Dual path web transport and processing apparatus with radiant energy directing means |
| JPS5791167A (en) * | 1980-11-20 | 1982-06-07 | Shinagawa Kogyosho:Kk | Machine for rice-cake making |
| JPS5994596A (ja) * | 1982-11-22 | 1984-05-31 | Toshiba Corp | レ−ザによるヒユ−ズ溶断装置 |
| US6605797B1 (en) | 1999-07-16 | 2003-08-12 | Troitski | Laser-computer graphics system for generating portrait and 3-D sculpture reproductions inside optically transparent material |
| US6417485B1 (en) | 2000-05-30 | 2002-07-09 | Igor Troitski | Method and laser system controlling breakdown process development and space structure of laser radiation for production of high quality laser-induced damage images |
| US6768080B2 (en) * | 2001-12-17 | 2004-07-27 | Troitski | Method for production of laser-induced damage images with special characteristics by creating damages of special space shape |
| US6727460B2 (en) | 2002-02-14 | 2004-04-27 | Troitski | System for high-speed production of high quality laser-induced damage images inside transparent materials |
-
1975
- 1975-09-23 JP JP50115126A patent/JPS5852754B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5239893A (en) | 1977-03-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100500343B1 (ko) | 레이저 가공 장치 | |
| CA1194556A (en) | Laser apparatus and process for cutting paper | |
| JPS6068185A (ja) | レ−ザ−ビ−ムによるスポツト溶接方法 | |
| JPS5852754B2 (ja) | レ−ザ照射装置 | |
| JP2000334594A (ja) | レーザー加工装置及びレーザー加工方法 | |
| JPS59223188A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| TWM488644U (zh) | 鐳射鏡轉換光源機構（二） | |
| JP3682295B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| CN111420939A (zh) | 一种多路激光合束清洗装置及其方法 | |
| JPH01186293A (ja) | レーザ溶接方法 | |
| CN109719387B (zh) | 激光加工装置和方法、激光封装方法、激光退火方法 | |
| CN112705841B (zh) | 基于多边形扫描转镜的超快激光高速微纳加工系统 | |
| JPS61147988A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| JPS6121193Y2 (ja) | ||
| TWM485414U (zh) | 鐳射鏡轉換光源機構（一） | |
| JP5063402B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH0243598B2 (ja) | ||
| JPH03184687A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2001205469A (ja) | レーザ出射光学系 | |
| JPS57171625A (en) | Hardening device for shaftlike object | |
| JPH06344170A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2001334382A (ja) | レーザ加工機 | |
| JPH05309489A (ja) | エキシマレーザー加工装置 | |
| JPH01313196A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH01273683A (ja) | レーザ加工装置 |