ES2276399T3 - Sistema de barrido laser con optica reflexiva. - Google Patents
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Abstract
UN SISTEMA DETECTOR POR RAYO LASER (10) QUE CONSISTE EN OPTICA REFLECTIVA. EL SISTEMA DETECTOR POR RAYO LASER (10) INCLUYE UN PRIMER ESPEJO CURVO (11), UN SEGUNDO Y TERCER ESPEJOS EN GENERAL PLANOS (12, 13) APROXIMADAMENTE ORIENTADOS DE FORMA PERPENDICULAR UNO RESPECTO AL OTRO, UN CUARTO ESPEJO CONCAVO (14), Y UN ESPEJO DETECTOR (15). EL SISTEMA DETECTOR POR RAYO LASER (10) TIENE UN ANGULO DE DETECCION Y UNA LONGITUD FOCAL VARIABLES. LA LONGITUD FOCAL VARIABLE EN EL SISTEMA DETECTOR REFLECTIVO, SE LOGRA GRACIAS AL MOVIMIENTO SIMULTANEO DE LOS DOS ESPEJOS PERPENDICULARES (12, 13).
Description
Sistema de barrido láser con óptica
reflexiva.
Esta invención está relacionada con equipos
láser que puedan barrer con un haz láser y a la vez ajustar el
camino óptico para obtener una longitud focal variable del haz
láser.
Los sistemas de barrido láser utilizan
típicamente motores galvanométricos para cambiar el ángulo de los
espejos de barrido. Normalmente las direcciones X e Y se barren con
motores independientes. En muchas aplicaciones un haz láser barre
una pieza de trabajo. Para conseguir una alta densidad de potencia,
normalmente se enfoca el haz láser sobre esta pieza de trabajo. Se
han desarrollado lentes especializadas para conseguir un buen
enfoque sobre una pieza de trabajo de superficie plana incluso con
un ángulo de transmisión elevado. Sin embargo, algunas aplicaciones
requieren que el haz láser pueda ser enfocado independientemente
para adaptarse a una superficie contorneada. Normalmente este
enfoque se realiza trasladando una o más lentes de un sistema óptico
para conseguir una longitud focal variable. Desafortunadamente, los
láseres de CO_{2} pueden causar una distorsión térmica en las
lentes que degrada la calidad del haz láser. Adicionalmente, en las
aplicaciones con haz láser de alta potencia las lentes no son tan
duraderas como los espejos metálicos. Por lo tanto, en las
aplicaciones con láser de CO_{2} de alta potencia es deseable
utilizar componentes ópticos totalmente reflexivos. Se presenta un
problema cuando se fabrica un sistema de barrido para una aplicación
variable. Se presenta un problema cuando se fabrica un sistema de
barrido con una longitud focal variable. Un cambio en la longitud
focal requiere un cambio en la longitud del camino óptico. Con las
ópticas reflexivas, un cambio en la longitud del camino suele
producir también una desviación indeseable del haz. La invención que
aquí se presenta es un sistema de barrido láser totalmente
reflexivo en el cual puede hacerse un ajuste de enfoque con un
mínimo de movimiento de traslación y además sin introducir ninguna
desviación o traslación del haz. La invención que aquí se presenta
es un sistema de barrido láser totalmente reflexivo en el cual puede
hacerse un ajuste de enfoque con un mínimo de movimiento de
traslación y además sin introducir ninguna desviación o traslación
del haz láser.
Por el documento US 4 812 613 A se conoce un
sistema relacionado de barrido láser reflexivo.
La presente invención es un sistema de barrido
láser con óptica reflexiva. Para conseguir una longitud focal
ajustable del haz láser de barrido es necesario producir un cambio
del camino óptico entre dos espejos que presenten potencia óptica
(superficies de espejo curvadas). Para conseguir esto, se colocan en
el camino óptico entre los espejos curvados dos espejos planos
adicionales orientados perpendicularmente entre si. Un
desplazamiento de los dos espejos perpendiculares en una dirección
predeterminada cambiará la dirección del camino óptico entre los
espejos curvados y a su vez producirá un foco ajustable del haz de
barrido sin producir una desviación adicional del haz de barrido.
En un aspecto amplio de la invención, se proporciona un sistema de
barrido láser según la reivindicación 1. En un segundo aspecto se
proporciona un procedimiento según la reivindicación 4.
La Figura 1 es una vista en perspectiva de un
sistema de barrido láser totalmente reflexivo.
La Figura 2 es una vista superior de un sistema
de barrido láser totalmente reflexivo ilustrando los componentes
ópticos anteriores a los espejos de barrido.
La Figura 1 muestra una vista en perspectiva de
un sistema 10 de barrido láser totalmente reflexivo. Un haz láser
20 que se propaga en la dirección de la flecha 28 incide sobre un
reflector curvado 11. En esta ilustración, el reflector 11 es
preferiblemente una parábola de eje descentrado que enfoca el haz
láser 20 sobre un punto focal 21. Este haz láser incide luego sobre
los espejos planos 12 y 13. El haz láser incide luego sobre el
espejo curvado 14. Este espejo curvado 14 es preferiblemente una
elipse de eje descentrado. A continuación el haz láser incide sobre
los espejos de barrido 15 y 16. Estos espejos de barrido pueden
girar para desviar el haz. Por ejemplo, el espejo 15 puede girar
sobre el eje 25 y el espejo 16 puede girar sobre el eje 26. También
podría usarse un único espejo de barrido. La Figura 1 ilustra el haz
láser enfocado en tres manchas focales alternativas denominadas
22A, 22B ó 22C. Estas se usan únicamente como ilustración. El haz
láser sólo incidirá sobre un punto cada vez. El punto de enfoque
real (22) se denominará "foco externo" porque queda fuera de
los componentes ópticos.
En la Figura 1, la pieza de trabajo 30 se ha
ilustrado como una placa generalmente plana. Para enfocar un haz
láser sobre una superficie plana uniforme se requiere un ajuste de
la longitud focal para compensar el cambio de la longitud del
camino introducido por un cambio en el ángulo de deflexión. Si la
pieza de trabajo 30 tiene una superficie contorneada, el margen de
ajuste de la distancia focal será aún mayor. En la Figura 1, los
espejos 12 y 13 son aproximadamente perpendiculares entre si y están
montados sobre la base 17. Estos espejos pueden trasladarse en una
dirección 27 manteniendo aproximadamente su orientación relativa. La
dirección 27 es generalmente paralela a la dirección de propagación
del haz entre el punto focal 21 y el centro del espejo 12 en el que
incide el haz. Los cuatro espejos 11, 12, 13 y 14 pueden ser
denominados respectivamente 1º, 2º, 3º y 4º espejo.
La Figura 2 es la vista superior de una porción
del sistema de barrido representado en la Figura 1. En la Figura 2
puede apreciarse un láser 19. Además se muestra que el haz láser 20
tiene un rayo 20A que será denominado "camino óptico central".
En la Figura 2, los espejos 12 y 13 así como la base 17 están
representados en dos posibles posiciones diferentes. Estas dos
posiciones se diferencian añadiendo las letras N o M a los números
12, 13 y 17. La traslación requerida para obtener esta nueva
posición es la distancia E representada en la Figura 2. La Figura 2
muestra también el punto 23, definido como el punto en el cual el
camino óptico central 20A incide sobre el espejo 14. Además, la
distancia entre el punto focal 21 y el espejo 12 a lo largo del
camino óptico central aparece como distancia B. Adicionalmente, la
distancia del camino óptico central entre el espejo 13 y el espejo
14 está definida como distancia D. La distancia del camino óptico
central entre los espejos 12N y 13N ó 12M y 13M aparece como
distancia C. Finalmente, la distancia del camino óptico central
entre el cuarto espejo (punto 23) y el punto focal externo 22M
aparece como distancia S(M). Este punto focal se produce
cuando se usan las posiciones 12N y 13N de los espejos. Cuando se
usan las posiciones 12N y 13N de los espejos se obtiene el punto
focal 22N a una distancia S(N) del punto 23. La distancia
entre los puntos focales 22N y 22M [S(N) - S(M)] no
está representada a la misma escala que la distancia de
desplazamiento E representada en la Figura 2. De hecho, una de las
ventajas de colocar los espejos plegables 12 y 13 en el camino
óptico entre el espejo 11 y el espejo 14, es que esta localización
produce el mayor cambio posible de longitud focal [S(N) -
S(M)] con el menor cambio en la distancia E. Además, los
espejos de barrido 15 y 16 están representados en la Figura 1, pero
no en la Figura 2.
La longitud del camino óptico central entre el
foco 21 y el punto 23 se denominará "s". Por lo tanto, s=B+C+D
cuando los espejos 12 y 13 se encuentran en las localizaciones
representadas en la Figura 2 por 12N y 13N. Cuando estos espejos se
desplazan hasta las localizaciones 12M y 13M, entonces s=B++E+C+E+D.
El espejo cóncavo 14 tiene una longitud focal efectiva "F",
que se define como la longitud focal de un espejo cuando enfoca luz
paralela. Cuando la luz incidente no es paralela, entonces la
fórmula es:
1/s + 1/S =
1/F
La distancia S se define como la longitud del
camino óptico hasta el punto focal externo 22 desde el punto 23.
Esta es la porción predeterminada del haz láser barrida por los
espejos de barrido 15 y 16. El objetivo de esta invención es evitar
que el ajuste del foco introduzca un barrido substancial de esta
porción predeterminada del haz láser. En las aplicaciones con láser
de CO_{2}, la desviación angular introducida por un cambio del
foco externo se mantendrá inferior a 3 milirradianes por cada 10% de
variación de la distancia S. Trasladando adecuadamente los espejos
12 y 13 en la dirección 27 (Figura 1) mientras se mantiene la
orientación perpendicular, se conseguirá este objetivo.
En la Figura 2, los rayos ópticos se han
dibujado suponiendo que el espejo 11 es una parábola cóncava de eje
descentrado. Otra posibilidad sería que el espejo 11 fuera una
parábola convexa de eje descentrado. Si este fuera el caso, los
rayos reflejados por el espejo 11 aparecerían divergiendo desde el
espejo 11. Estos rayos divergentes aparecerían formando un punto de
enfoque virtual detrás del espejo 11, y la distancia B se mediría
desde ese punto de enfoque virtual. El punto focal 21 estaría
entonces definido por este punto de enfoque virtual. Por lo tanto,
en cualquiera de los casos puede decirse que el espejo 11 es una
superficie curvada. El espejo 14, sin embargo, debe ser siempre una
superficie curvada cóncava para que funcione adecuadamente. Deberá
entenderse también que la curvatura preferida para el espejo 14 es
una elipse de eje descentrado. No obstante, deberá entenderse que
curvaturas menos ideales también harán un trabajo adecuado. Por
ejemplo, una superficie esférica en el espejo 14 produciría una
mancha focal más grande. No obstante, una mancha focal de mayor
diámetro aún puede ser adecuada para realizar la función deseada.
Por consiguiente, el espejo 14 puede ser denominado en general como
una superficie curvada cóncava. Similarmente, el espejo ha sido
denominado como una parábola de eje descentrado. Esta es la
superficie preferida si el haz láser 20 es generalmente paralelo,
según se ha ilustrado. Una elipse de eje descentrado sería la
superficie preferida si el haz láser 20 fuera convergente o
divergente. No obstante, una vez más, con otras superficies curvadas
tales como una superficie esférica también podrían obtenerse
resultados aceptables.
Aunque se ha mostrado y descrito una realización
preferida, debe entenderse que pueden hacerse otras modificaciones
sin salirse del alcance de la invención según se define en las
reivindicaciones adjuntas.
Claims (5)
1. Un sistema (10) de barrido láser, que
comprende:
un generador (19) de haz láser para propagar un
haz láser (20) que tiene un camino óptico central (20A);
un primer espejo (11) que está curvado y hacia
el cual se propaga el haz láser y desde el cual se refleja;
un segundo espejo (12) que es plano y hacia el
cual se propaga el haz láser reflejado por el primer espejo y desde
el cual se refleja;
un tercer espejo (13) que es plano y hacia el
cual se propaga el haz láser reflejado por el segundo espejo y
desde el cual se refleja;
un cuarto espejo (14) que es curvado y cóncavo y
hacia el cual se propaga el haz láser reflejado por el tercer
espejo y desde el cual se refleja hacia un punto focal (22) a una
distancia S;
al menos un espejo de barrido (15, 16) que
dirige el haz láser reflejado por el cuarto espejo antes de que
alcance el punto focal (22); y
una base (17) en la que están montados los
espejos primero y segundo (12, 13) perpendiculares entre sí y que
desplaza dichos espejos segundo y tercero acercándolos y alejándolos
(27) de los espejos primero y cuarto (11, 14) para cambiar la
distancia S del haz hasta el punto focal (22).
2. El sistema (10) de barrido láser de la
Reivindicación 1, en el cual la curvatura de cada uno de dichos
espejos primero y cuarto (11, 14) tiene el eje descentrado.
3. El sistema (10) de barrido láser de la
Reivindicación 1, en el cual el primer espejo enfoca el haz a
través de un punto focal.
4. Un procedimiento de barrido láser, que
comprende:
propagar un haz láser (20) que tiene un camino
óptico central (20A) hacia un primer espejo (11) que está curvado y
desde el cual el haz láser es reflejado hacia un segundo espejo (12)
que es plano y desde el cual el haz láser es reflejado hacia un
tercer espejo (13) que es plano y desde el cual el haz láser es
reflejado hacia un cuarto espejo (14) que es curvado y cóncavo y
desde el cual el haz láser es reflejado hacia un punto focal (22) a
una distancia S;
dirigir el haz láser con al menos un espejo de
barrido (15, 16) después de la reflexión desde el cuarto espejo
(14) pero antes de que alcance el punto focal (22); y
desplazar los espejos segundo y tercero (12, 13)
hacia y desde (27) los espejos primero y cuarto (11, 14), mientras
están perpendiculares entre si, para cambiar la distancia S hasta el
punto focal (22) según se requiera.
5. El procedimiento de la Reivindicación 4, en
el cual el desplazamiento de dichos espejos segundo y tercero (12,
13) produce una desviación angular de dicho haz láser (20) inferior
a 3 milirradianes para un cambio del 10% en dicha longitud S.
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