JPH0592289A - レーザ加工方法 - Google Patents
レーザ加工方法Info
- Publication number
- JPH0592289A JPH0592289A JP3250874A JP25087491A JPH0592289A JP H0592289 A JPH0592289 A JP H0592289A JP 3250874 A JP3250874 A JP 3250874A JP 25087491 A JP25087491 A JP 25087491A JP H0592289 A JPH0592289 A JP H0592289A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- machined
- scanning
- laser beam
- ftheta
- Prior art date
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- Laser Beam Processing (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被加工物上での加工跡や、所望の方向に形成
され、しかも加工精度や速度を高めるレーザ加工方法を
提供することを目的とする。 【構成】 ｆθレンズ１７とポリゴン・ミラー１６とが
一体となり、ｆθレンズ１７の中心を回転中心として回
転し、さらにポリゴン・ミラー１６へのレーザ光の入射
角度が一定になるようにすることにより、被加工物１８
上の加工跡が所望の方向に形成することができる。
され、しかも加工精度や速度を高めるレーザ加工方法を
提供することを目的とする。 【構成】 ｆθレンズ１７とポリゴン・ミラー１６とが
一体となり、ｆθレンズ１７の中心を回転中心として回
転し、さらにポリゴン・ミラー１６へのレーザ光の入射
角度が一定になるようにすることにより、被加工物１８
上の加工跡が所望の方向に形成することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は走行する被加工物上にパ
ルス・レーザ光を走査するレーザ加工方法に関するもの
である。
ルス・レーザ光を走査するレーザ加工方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のレーザ加工方法を実施す
るための走査光学装置は、例えば特開昭５９−３５８９
３号公報に記載されたような装置が知られていた。図４
にその構成図を示す。図４において、１はレーザ発振
器、２はレーザ光、３はコリメータ、４は反射鏡、５は
ポリゴン・ミラー、６はｆθレンズ、７はシリンドリカ
ルレンズ、そして８は被加工物である。レーザ発振器１
から出射されたレーザ光２はコリメータ３によって拡大
され、拡がり角が狭められる。レーザ光２はさらに反射
鏡４によってポリゴン・ミラー５に誘導される。ポリゴ
ン・ミラー５から反射されたレーザ光はｆθレンズ６に
よって集光され、さらにシリンドリカルレンズ７によっ
て長円形スポットとして照射される。このスポットはポ
リゴン・ミラー５の回転に従って被加工物８上を走査さ
れる。このときレーザ光２がパルス光である場合には、
一定方向に走行する被加工物８上では、図５に示すよう
な加工状態９となる。このような加工状態９は階段状で
あり、レーザ加工による境界部が加工方向に凹凸が大き
いという課題を有していた。このような課題に対し、特
開平１−３０６０８９号公報では、コリメータ通過後の
ビーム形状を長円形とし、さらにコリメータを回動させ
ることで、照射スポットの長軸方向を走査方向に一致さ
せている。その結果、図６に加工状態１０を示すよう
に、レーザ加工の境界部分の凹凸が少なくなり加工精度
が向上するだけでなく、長軸方向の幅を有効に活用でき
走査速度を高めることが可能であるとしている。
るための走査光学装置は、例えば特開昭５９−３５８９
３号公報に記載されたような装置が知られていた。図４
にその構成図を示す。図４において、１はレーザ発振
器、２はレーザ光、３はコリメータ、４は反射鏡、５は
ポリゴン・ミラー、６はｆθレンズ、７はシリンドリカ
ルレンズ、そして８は被加工物である。レーザ発振器１
から出射されたレーザ光２はコリメータ３によって拡大
され、拡がり角が狭められる。レーザ光２はさらに反射
鏡４によってポリゴン・ミラー５に誘導される。ポリゴ
ン・ミラー５から反射されたレーザ光はｆθレンズ６に
よって集光され、さらにシリンドリカルレンズ７によっ
て長円形スポットとして照射される。このスポットはポ
リゴン・ミラー５の回転に従って被加工物８上を走査さ
れる。このときレーザ光２がパルス光である場合には、
一定方向に走行する被加工物８上では、図５に示すよう
な加工状態９となる。このような加工状態９は階段状で
あり、レーザ加工による境界部が加工方向に凹凸が大き
いという課題を有していた。このような課題に対し、特
開平１−３０６０８９号公報では、コリメータ通過後の
ビーム形状を長円形とし、さらにコリメータを回動させ
ることで、照射スポットの長軸方向を走査方向に一致さ
せている。その結果、図６に加工状態１０を示すよう
に、レーザ加工の境界部分の凹凸が少なくなり加工精度
が向上するだけでなく、長軸方向の幅を有効に活用でき
走査速度を高めることが可能であるとしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、被加工物の幅方向にレーザ光を走査する
一方、被加工物は走行するので、加工跡は被加工物上に
斜めに形成され、しかも被加工物の走行速度が異なる
と、加工跡の角度も変わるという問題点を有していた。
来の構成では、被加工物の幅方向にレーザ光を走査する
一方、被加工物は走行するので、加工跡は被加工物上に
斜めに形成され、しかも被加工物の走行速度が異なる
と、加工跡の角度も変わるという問題点を有していた。
【０００４】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、被加工物上での加工跡が、真横など所望の方向に形
成され、しかも加工精度や速度を高めるレーザ加工方法
を提供することを目的とする。
で、被加工物上での加工跡が、真横など所望の方向に形
成され、しかも加工精度や速度を高めるレーザ加工方法
を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のレーザ加工方法は、光学系によって被加工物
上におけるビーム形状を長円形に成形し、長円形ビーム
の長軸方向が被加工物の幅方向に一致し、走査線は所定
の加工跡を形成するために被加工物の走行を相殺するよ
うな角度と走査方向を有し、走査速度とパルスの繰り返
し数は加工跡が連続するように同期されるように構成さ
れている。
に本発明のレーザ加工方法は、光学系によって被加工物
上におけるビーム形状を長円形に成形し、長円形ビーム
の長軸方向が被加工物の幅方向に一致し、走査線は所定
の加工跡を形成するために被加工物の走行を相殺するよ
うな角度と走査方向を有し、走査速度とパルスの繰り返
し数は加工跡が連続するように同期されるように構成さ
れている。
【０００６】
【作用】この構成によって、長円形ビームがその長軸方
向を被加工物の幅方向を一致させるように照射され、長
円形の加工跡が形成される。加工跡は走行方向に移動す
るが、次のパルスは被加工物の走行を相殺するような位
置で照射されるので、被加工物上での加工跡を真横など
の所望の方向に連続的に形成することができる。
向を被加工物の幅方向を一致させるように照射され、長
円形の加工跡が形成される。加工跡は走行方向に移動す
るが、次のパルスは被加工物の走行を相殺するような位
置で照射されるので、被加工物上での加工跡を真横など
の所望の方向に連続的に形成することができる。
【０００７】
（実施例１）以下本発明の一実施例について、図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
【０００８】図１は本発明の第一の実施例の構成図を示
す。図１において、１１はＱスイッチＹＡＧパルスレー
ザ発振器、１２はレーザ光、１３は凹シリンドリカル・
レンズ、１４は凸シリンドリカル・レンズ、１５は反射
鏡、１６はポリゴン・ミラー、１７はｆθレンズ、１８
は加工物、そして１９はベースである。ＱスイッチＹＡ
Ｇパルスレーザ発振器１１から出射されたレーザ光１２
は凹シリンドリカル・レンズ１３によって一方向に拡大
され、凸シリンドリカル・レンズ１４によって平行光に
される。拡大されたレーザ光２は反射鏡１５によってポ
リゴン・ミラー１６に誘導される。ポリゴン・ミラー１
６は矢印方向に回転しており、ポリゴン・ミラー１６か
ら反射されたレーザ光はｆθレンズ１７によって被加工
物１８上に集光され、同時に走査される。図２にパルス
・レーザ光の照射状態を示す。図１に示したように、レ
ーザ光２は一方向に拡大されるので、拡大された方向の
拡がり角は小さくなる。その結果、ｆθレンズ１７によ
って集光されたスポット形状は、ｆθレンズ１７入射前
のビーム形状とは逆に、被加工物１８の幅方向に長軸方
向が来る。走行する被加工物１８上の幅方向に加工跡を
形成するには、例えばｆθレンズ１７の中央部を回転中
心として、ベース１９を被加工物１８に対し角度をもた
せ、加工スポットの長軸が被加工物１８の幅方向に向く
ように、シリンドリカル・レンズ１３と１４の取り付け
角度を調整し、図２中に示す矢印の方向にレーザ光を走
査し、さらにレーザ・パルスの繰り返し数を選択すれば
良い。図３に加工状態を示す。
す。図１において、１１はＱスイッチＹＡＧパルスレー
ザ発振器、１２はレーザ光、１３は凹シリンドリカル・
レンズ、１４は凸シリンドリカル・レンズ、１５は反射
鏡、１６はポリゴン・ミラー、１７はｆθレンズ、１８
は加工物、そして１９はベースである。ＱスイッチＹＡ
Ｇパルスレーザ発振器１１から出射されたレーザ光１２
は凹シリンドリカル・レンズ１３によって一方向に拡大
され、凸シリンドリカル・レンズ１４によって平行光に
される。拡大されたレーザ光２は反射鏡１５によってポ
リゴン・ミラー１６に誘導される。ポリゴン・ミラー１
６は矢印方向に回転しており、ポリゴン・ミラー１６か
ら反射されたレーザ光はｆθレンズ１７によって被加工
物１８上に集光され、同時に走査される。図２にパルス
・レーザ光の照射状態を示す。図１に示したように、レ
ーザ光２は一方向に拡大されるので、拡大された方向の
拡がり角は小さくなる。その結果、ｆθレンズ１７によ
って集光されたスポット形状は、ｆθレンズ１７入射前
のビーム形状とは逆に、被加工物１８の幅方向に長軸方
向が来る。走行する被加工物１８上の幅方向に加工跡を
形成するには、例えばｆθレンズ１７の中央部を回転中
心として、ベース１９を被加工物１８に対し角度をもた
せ、加工スポットの長軸が被加工物１８の幅方向に向く
ように、シリンドリカル・レンズ１３と１４の取り付け
角度を調整し、図２中に示す矢印の方向にレーザ光を走
査し、さらにレーザ・パルスの繰り返し数を選択すれば
良い。図３に加工状態を示す。
【０００９】
【発明の効果】以上のように本発明は、光学系によって
被加工物上におけるビーム形状を長円形に成形し、長円
形ビームの長軸方向が被加工物の幅方向に一致し、走査
線は所定の加工跡を形成するために被加工物の走行を相
殺するような角度と走査方向を有し、走査速度とパルス
の繰り返し数は加工跡が連続するように同期することに
より、被加工物上での加工跡が、真横など所望の方向に
形成され、しかも加工精度や速度を高めることができる
優れたレーザ加工方法を実現できるものである。
被加工物上におけるビーム形状を長円形に成形し、長円
形ビームの長軸方向が被加工物の幅方向に一致し、走査
線は所定の加工跡を形成するために被加工物の走行を相
殺するような角度と走査方向を有し、走査速度とパルス
の繰り返し数は加工跡が連続するように同期することに
より、被加工物上での加工跡が、真横など所望の方向に
形成され、しかも加工精度や速度を高めることができる
優れたレーザ加工方法を実現できるものである。
【図１】本発明の第１の実施例におけるレーザ加工方法
の構成図
の構成図
【図２】第１の実施例におけるレーザ加工方法のパルス
・レーザ光の照射状態を示す図
・レーザ光の照射状態を示す図
【図３】第１の実施例におけるレーザ加工方法の加工状
態を示す図
態を示す図
【図４】従来のレーザ加工方法の構成図
【図５】従来のレーザ加工方法の加工状態を示す図
【図６】従来のレーザ加工方法の加工状態を示す図
１１ ＱスイッチＹＡＧパルス・レーザ発振器 １３，１４ シリンドリカル・レンズ １６ ポリゴン・ミラー １７ ｆθレンズ
Claims (1)
- 【請求項１】 走行する被加工物の幅方向にパルス・レ
ーザ光で加工するに際し、光学系によって被加工物上に
おけるビーム形状を長円形に成形し、長円形ビームの長
軸方向が被加工物の幅方向に一致し、走査線は所定の加
工跡を形成するために被加工物の走行を相殺するような
角度と走査方向を有し、走査速度とパルスの繰り返し数
は加工跡が連続するように同期されていることを特徴と
するレーザ加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3250874A JP3052478B2 (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | レーザ加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3250874A JP3052478B2 (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | レーザ加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0592289A true JPH0592289A (ja) | 1993-04-16 |
| JP3052478B2 JP3052478B2 (ja) | 2000-06-12 |
Family
ID=17214299
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3250874A Expired - Fee Related JP3052478B2 (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | レーザ加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3052478B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07248397A (ja) * | 1994-03-09 | 1995-09-26 | Toshiba Corp | 原子炉内構造物の補修方法およびその装置 |
| WO1999059228A3 (de) * | 1998-05-08 | 2000-02-17 | Leica Microsystems | Verfahren zum betrieb einer laserlichtquelle |
| KR100948914B1 (ko) * | 2002-11-15 | 2010-03-24 | 주식회사 포스코 | 레이져 용접기의 반사장치 |
| CN116586750A (zh) * | 2022-12-30 | 2023-08-15 | 武汉帝尔激光科技股份有限公司 | 一种激光动态加工方法和加工设备 |
-
1991
- 1991-09-30 JP JP3250874A patent/JP3052478B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07248397A (ja) * | 1994-03-09 | 1995-09-26 | Toshiba Corp | 原子炉内構造物の補修方法およびその装置 |
| WO1999059228A3 (de) * | 1998-05-08 | 2000-02-17 | Leica Microsystems | Verfahren zum betrieb einer laserlichtquelle |
| KR100948914B1 (ko) * | 2002-11-15 | 2010-03-24 | 주식회사 포스코 | 레이져 용접기의 반사장치 |
| CN116586750A (zh) * | 2022-12-30 | 2023-08-15 | 武汉帝尔激光科技股份有限公司 | 一种激光动态加工方法和加工设备 |
| CN116586750B (zh) * | 2022-12-30 | 2024-05-17 | 武汉帝尔激光科技股份有限公司 | 一种激光动态加工方法和加工设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3052478B2 (ja) | 2000-06-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |