JPS5825972A - サ−マルヘツドの製造方法 - Google Patents

サ−マルヘツドの製造方法

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Publication number
JPS5825972A
JPS5825972A JP56124300A JP12430081A JPS5825972A JP S5825972 A JPS5825972 A JP S5825972A JP 56124300 A JP56124300 A JP 56124300A JP 12430081 A JP12430081 A JP 12430081A JP S5825972 A JPS5825972 A JP S5825972A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thermal head
metallic oxide
flame spraying
protective film
layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP56124300A
Other languages
English (en)
Inventor
Satoru Sadai
定井　「さとる」
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication of JPS5825972A publication Critical patent/JPS5825972A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N97/00—Electric solid-state thin-film or thick-film devices, not otherwise provided for

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Coating By Spraying Or Casting (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は感熱印字式プリンター用のサーマルヘッドの製
造方法、特にその耐摩耗層の形成方法に関するものであ
り、その目的とするところは感熱紙との摩擦による摩耗
の少ない、すなわち寿命の長いサーマルヘッドを安価に
製造できる製造方法を提供することにある。
サーマルヘッドは、その使用条件から紙の上に押し当て
られながら数百Ｋｍ以上という長距離を走行することが
要求される。これに耐えるだめには、非常に強靭な耐摩
耗層を設けて発熱体を保護しなければならない。
従来このような耐摩耗層の形成方法として、スパッタ法
、ＣＶＤ法、ガラス焼付法などが一般に用いられている
。
スパッタ法はＳｉＣなどの非常に硬い耐摩耗層を形成で
きるが、薄膜形成に要する時間が長いという欠点を有し
ている。ＣＶＤ法においても同様の硬い材質の耐摩耗層
を形成することができ、しかもスパッタ法よりも短い時
間で処理できるが、反応温度が高いため発温体に悪影響
を与えやすい。
ガラス焼き付けによる方法は、技術的に簡単であって量
産性にも富むが、ガラス質の熱伝導性が低いためサーマ
ルヘッドの効率が悪く、また硬度の低い材料しか使用で
きないなどの欠点をもっている。
本発明のサーマルヘッドの製造法は、これら従来の欠点
を改善したものであり、基板上に抵抗体、電極を施しだ
上に、プラズマ溶射、すなわちＡｒ。
Ｈｅなどを主成分とするプラズマアーク中にＡｌ２Ｏ３
などの金属酸化物の粉体を投入し、溶融させて吹きつけ
耐摩耗膜とするものである。
まだこの金属酸化物の溶射層にシリコン樹脂を含浸させ
焼き付けて保護膜としたものである。
このプラズマ溶射の方法によれば、非常に硬い耐摩耗層
が一瞬のうちにでき上がるため、スパッタ法やＣＶＤ法
に比べて量産性が良くなり、またガラス焼付法よりも硬
い保護膜を形成することができる。
プラズマアークによる溶射は、高温で溶融するほとんど
すべての物質に適用することができる。
ただしサーマルヘッドの保護膜とするには硬度の大きい
ものが望ましい。また投入する粉体の粒径を適当に選ぶ
必要がある。
本発明の一実施例として、モース硬度９のアルミナの粉
本を用いて５〜１０μｍの皮膜を形成した場合、粒径１
〜１０μｍ程度が適当であった。
粒径が１０μｍよりも大きくなると厚みが不均一となっ
て不適当であり、逆に１μｍよりも小さくなると各粒子
の熱容量不足のため、付着強度の強固なものを得ようと
すると発熱体に高熱がかかり好ましくなかった。このよ
うにして形成された保護膜はそのままでも実用に供する
ことができたが、若干表面研摩することにより、より滑
らかなヘッド走行性を有する耐摩耗膜を実現することが
できた。
また金属酸化物の保護膜（溶射層）にシリコン樹脂を含
浸させ焼き付けると、気孔の多い溶射層の気孔が塞がれ
て表面が滑らかとなり、摩擦係数が小さくなるため摩耗
量がさらに減少する。
溶射材料として適当なものとしては上記実施例のＡｌ２
Ｏ３の他、に、常圧高温で液化する硬度の大きいもの例
えばＺｒＯ２，Ｔｉ０２９ＭｑＡ１２０４など多数ある
。また含浸用樹脂としては、ナーマルヘッド表面が高温
になるためシリコン樹脂が最も適しているが、温度上昇
があまり大きくならない種類のサーマルヘッドに対して
はテフロン樹脂でも代替可能である。
以上のように本発明のサーマルヘッドの製造方法は、発
熱体の上に保護膜として金属酸化物をプラズマ溶射にて
形成するので、非常に量産性良く硬い保護膜を形成する
ことができる。
またこの金属酸化物の溶射層にシリコン樹脂を含浸させ
焼き付けて保護膜としたのでその表面をより滑らかにす
ることかでき、摩耗量の少ない寿命の長いサーマルヘッ
ドを提供することができる。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）発熱体の上に保護膜として金属酸化物をプラズマ
    溶射にて形成することを特徴とするサーマルヘッドの製
    造方法。
  2. （２）発熱体の上に保護膜として金属酸化物をプラズマ
    溶射にて形成し、この金属酸化物にシリコン樹脂を含浸
    させて焼き付けることを特徴とするサーマルヘッドの製
    造方法。
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