JP2003301201A

JP2003301201A - 複合サーメット粉末およびその製造方法

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Publication number: JP2003301201A
Application number: JP2002110645A
Authority: JP
Inventors: Kazumi Tani; 和美谷; Keiji Kobayashi; 圭史小林; Hiroyuki Kitaaki; 廣幸北秋
Original assignee: Tocalo Co Ltd
Current assignee: Tocalo Co Ltd
Priority date: 2002-04-12
Filing date: 2002-04-12
Publication date: 2003-10-24
Anticipated expiration: 2022-04-12
Also published as: JP4119667B2

Abstract

(57)【要約】【課題】基材上に金属窒化物を主成分とする材料を被
覆し、そして、この被覆層を最表面層とするか、あるい
は他の被覆層を形成するための下地層として形成するの
に好適に用いられる粉末材料と、その製造技術を提案す
ること。【解決手段】金属と、その金属の窒化物およびその金
属の酸化物の混合粉末からなる複合サーメット粉末であ
り、該金属がSi、Al、TiおよびZrのうちから選ばれるい
ずれか１種以上であり、その金属に対応する窒化物がそ
れぞれ、Si₃N₄、AlN、TiNおよびZrNのうちから選ばれる
いずれか１種以上であり、かつ、その金属に対応する酸
化物がそれぞれSiO₂、Al₂O₃、TiO₂およびZrO₂のうちか
ら選ばれるいずれか１種以上の組合せからなること。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、金属−金属酸化物
−金属窒化物系からなる複合サーメット粉末とその製造
方法に関するものである。本発明にかかるこの複合サー
メット粉末は、溶射用粉末材料、焼結用粉末材料あるい
は物理的蒸着用粉末材料等として用いられるものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】金属窒化物は、非酸化物系無機質材料の
一つであり、耐熱性および耐食性に優れるとともに、高
硬度で卓越した耐摩耗性を有することから、各種の産業
分野で用いられる基本的な材料の１つである。この金属
窒化物を主成分とする部材（製品）を工業的に製造する
方法としては、金属窒化物原料粉末を成形したのち焼結
する方法や、PVDやCVDなどの気相成長法によって別の基
材表面に数μm厚の薄膜を形成する方法などが採用され
ている。その他、バルク体以外の基材表面に５０μmを
超えるような厚いコーティングを形成する技術として、
有機接着剤を含むスラリーを噴霧、塗布あるいは浸漬す
る方法によってコーティングしたり、複合めっきプロセ
スである窒化物分散型化学めっき法などによって、皮膜
形成する方法がある。

【０００３】発明者らは、非酸化物系無機質材料（以
下、「セラミックス」の例で述べる。）のもつ優れた特
性を利用した溶射用粉末材料の開発とその実用化につい
て鋭意研究を行なってきた。例えば、特開平7−62516号
公報（特許第3224166号）では、耐溶融金属用皮膜とし
て、TiN、HfN、NbN、TaN、VN、ZrN、CrN、Si₃N₄およびA
lNなどの窒化物のみを溶射する技術を提案した。この皮
膜は、溶融亜鉛中では優れた耐食性を発揮するが、皮膜
を構成する窒化物粒子の相互結合力が比較的弱く、耐摩
耗性皮膜としては改善の余地を残していた。

【０００４】また、Cr₃C₃、WC、TiCなどの炭化物系セラ
ミックスおよびCrB₂、TiB₂、ZrB₂などのほう化物系セラ
ミックスに対しては、Al、NiおよびCoなどの金属成分を
添加したサーメット材料を開発し、例えば、特開平4−3
58055号公報（特許第2986590号）として提案した。しか
し、このサーメットを用いた皮膜の特徴は、金属成分に
由来する特性に支配され、酸やアルカリ環境中では十分
な性能を発揮することができないという点で、改善の余
地があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前述したとおり、金属
窒化物系部材は、一般に、原料粉末を成形したのち
焼結する方法、 PVDやCVDなどの気相成長法、化学
めっき法、などによって別の基材表面に被覆形成させる
方法などによって製造されている。しかしながら、上記
の方法にはそれぞれ以下のような問題点があった。

【０００６】の方法は、金属窒化物が難焼結性である
ため、これを基材表面に被覆したり、各種被覆層の下層
とすることは基本的に困難である。しかも焼結の際に
は、焼結助剤などの添加が不可欠となって、コスト高に
なることに加え、特定の形状を付与し、実用レベルの機
械的強度を持たせるためには、ホットプレスやHIPな
ど、限定された条件を用いて成形・焼結を行なうことが
必要である。従って、比較的形状の大きい部材に対し、
このようなプロセスを適用することは、経済的な損失が
大きいという問題点がある。の方法は、３０〜５０μ
m以上の厚さの層を経済的に得ることが困難で、実用的
でないという問題点がある。化学めっき方法によ
り、複合めっき皮膜を形成する方法は、窒化物が単に金
属めっき膜中に分散混合した状態になっていて、化合物
としての窒化物皮膜になっている訳ではないから、金属
窒化物としての本来の特性が得られないという問題点が
あった。

【０００７】そこで、本発明は、上述した焼結法、気相
成長法あるいは化学めっき法によらず、窒化物の被覆層
を形成する方法として、溶射法や塗布法などに着目して
検討した。たとえば、平均粒径が１０〜４０μm程度の
金属窒化物粉末材料を、溶射法や圧縮気体による噴霧法
などの吹き付け手段、塗布法あるいは浸漬法などを用い
て成膜させることを考えた。そして、これらの手段を用
いて成膜するのに好適な複合サーメット粉末材料および
その製造方法について検討することにしたのである。

【０００８】すなわち、本発明の目的は、基材上に金属
窒化物を主成分とする材料を被覆し、そして、この被覆
層を最表面層とするか、あるいは他の被覆層を形成する
ための下地層として形成するのに好適に用いられる粉末
材料と、その製造技術を提案することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上述した知見の下で、前
記目的を実現するために本発明では、以下のような手段
を採用する。すなわち、本発明は、金属と、その金属の
窒化物およびその金属の酸化物の混合粉末であることを
特徴とする複合サーメット粉末を提案する。

【００１０】また、本発明は、金属（合金を含む、以
下、「金属・合金」を含めて単に金属という）、その金
属の酸化物およびその金属の窒化物の混合粉末を造粒
し、その後、噴霧乾燥することを特徴とする複合サーメ
ット粉末の製造方法を提案する。

【００１１】さらに、本発明は、金属、その金属の酸化
物およびその金属の窒化物の混合粉末を造粒し、その
後、焼結してから粉砕することを特徴とする複合サーメ
ット粉末の製造方法を提案する。

【００１２】なお、本発明においては、前記金属がSi、
Al、TiおよびZrのうちから選ばれるいずれか１種以上で
あり、その金属に対応する窒化物がそれぞれ、Si₃N₄、A
lN、TiNおよびZrNのうちから選ばれるいずれか１種以上
であり、かつ、その金属に対応する酸化物がそれぞれSi
O₂、Al₂O₃、TiO₂およびZrO₂のうちから選ばれるいずれ
か１種以上の組合せからなること、金属、金属酸化物お
よび金属窒化物の混合割合が、容積分率で金属：金属酸
化物：金属窒化物＝２０〜５０：５〜１５：７５〜３５
であること、および噴霧乾燥後または焼結粉砕後の粉末
粒子の大きさを、５〜１２０μmの範囲に調整すること
が好ましい。

【００１３】

【発明の実施の形態】始めに、本発明に係る金属−金属
窒化物−金属酸化物系の複合サーメット粉末について説
明する。ところで、金属窒化物というのは一般に、密度
が比較的小さいため、溶射法などにおいて溶射火炎中に
投入することが難しく、また、高温下では、金属窒化物
の生成自由エネルギーが、金属酸化物の生成自由エネル
ギーと比較して小さいため不安定になるという問題点が
ある。そのため、発明者らは、このような金属窒化物の
粉末について種々実験的に検討を重ねた結果、金属窒化
物を構成している金属を結合材として利用すれば、望ま
しい粉末を得ることができるのではないかと考えた。

【００１４】このような結合材として添加する金属とし
て、本発明では、Si、Al、TiおよびZrのうちから選ばれ
るいずれか１種以上の金属もしくは、それらの合金（以
下、単に金属という）を用いることが好ましい。これら
の金属・合金窒化物の焼結体は、構造用セラミックスと
して実用化されており、その化学的安定性や高靭性、高
熱伝導率などの特性から工業的な利用が期待されてい
る。つまり、これらの金属・合金およびその金属の窒化
物を構成成分とする被覆層を提供できれば、工業的な価
値が非常に高いのである。

【００１５】また、上述した結合材として用いる金属に
対し、その金属に対応する窒化物として、本発明は、前
記金属のうちから選択した金属の窒化物、すなわちSi₃N
₄、AlN、TiNまたはZrN等のうちのいずれか１種以上を用
いる。これらの金属窒化物は、主として粉末冶金焼結プ
ロセスで得られ、前述のとおり新しいセラミックス材料
として、バルク材等に実用されている。Si₃N₄は、比重
が約3.2g/cm³と小さく、軽量で室温および高温強度に優
れ、耐熱衝撃性および耐薬品性にも富んでいる。また、
AlNは、高熱伝導性を有した構造用セラミックスであ
り、TiNおよびZrNは高硬度で耐摩耗性に優れた特性を有
し、これらの工業的な利用が大いに期待されている。

【００１６】本発明では、かかる金属窒化物の例とし
て、表１に示すように、Si₃N₄、AlN、TiNおよびZrNのう
ちのいずれか1種以上を用いて、ポリビニルアルコール
(PVA)を接着剤として種々の成分組成(No.１〜２０)のサ
ーメットのスラリーを作製し、これを噴霧乾燥法により
５〜１２０μmの粉末とした後、さらに１５〜５３μmの
粒度範囲に分級した。なお、各材料の配合比率は容積比
である。得られた複合粉末について、５０MPaの圧力を
かけたときの粒子形態を観察した結果ならびに粉末顆粒
強度を表１に示す。

【００１７】

【表１】

【００１８】表1の結果から、例示のすべての粉末（No.
１〜２０）が５０MPa程度までの加圧により簡単に粉末
粒子が破壊され、実用レベルの強度が得られていないこ
とがわかった。つまり、単に接着剤を介して金属窒化物
と金属を複合化させただけでは、実用強度の複合粉末を
製造することはできないことがわかった。なお、各構成
材料の密度は、それぞれSi₃N₄：3.18g/cm³、AlN：3.26g
/cm³、TiN：5.43g/cm³、ZrN：7.35g/cm³であった。

【００１９】発明者らは、前記複合サーメット粉末の顆
粒強度が十分でない要因について検討した。その結果、
窒化物は難反応材であるため、窒化物と金属との固溶挙
動がほとんど生じないことに原因があると考えた。そこ
で、窒化物の焼結体製造において、焼結助剤としての金
属酸化物に着目し、これを金属窒化物−金属混合粉末に
複合させれば、酸化物による焼結性の向上が期待でき、
強度の向上が図れるのではないかと考えたのである。

【００２０】なお、焼結助剤として作用させる金属酸化
物としては、前記金属（Si、Al、TiおよびZrのうちから
選ばれるいずれか１種以上の金属）の酸化物、すなわち
SiO₂、Al₂O₃、TiO₂またはZrO₂のうちのいずれか１種以
上を使用する。セラミックスの圧粉体を常圧下で高温加
熱し焼結する場合、一般にセラミックスの原料粉末に酸
化物を主体とした焼結助剤を添加し、緻密化の促進を図
る方法がとられている。本発明では、この基本プロセス
を採用した。

【００２１】さて、発明者らは、まず、金属窒化物の例
としてSi₃N₄、金属の例としてSi、金属酸化物の例とし
てSiO₂を使用して所定の組成に調整し、こうして得られ
た原料粉末を、大気中の直流プラズマジェット中に投入
して溶射し、これらを水中に噴霧して粒子のまま捕捉し
た。そして、得られた各複合粉末粒子を顕微鏡による外
観観察およびレーザー回折法による粉末の粒度分布測定
によって顆粒の状態を調査した。その結果を表２に示
す。なお、この表２中のＡは、水中へのプラズマ溶射後
の粉末顆粒の状態で、出発粉末の粒度分布形態がほぼ残
存していること、Ｂは、粒度分布中粗粒側がほぼ１／２
細粒化していること、Ｃは、出発粉末の粒度分布形態が
ほとんど消滅していることを表す。

【００２２】

【表２】

【００２３】同様にして、金属としてAl、金属窒化物と
してAlNおよび金属酸化物としてAl₂O₃を用いて複合サー
メット粉末を作製し、得られた顆粒の状態を調査した結
果を表３に示す。また、表４には、金属としてTi、金属
窒化物としてTiNおよび金属酸化物としてTiO₂を用いた
場合の顆粒の状態を調査した結果を、そして、表５には
金属としてZr、金属窒化物としてZrNおよび金属酸化物
としてZrO₂を用いた場合の粉末の形態を示す。

【００２４】

【表３】

【００２５】

【表４】

【００２６】

【表５】

【００２７】表２〜５に示す結果から、金属−金属窒化
物−金属酸化物を適切な割合で混合させれば、プラズマ
溶射による皮膜形成の出発原料として有効な複合サーメ
ット粉末を提供することができることがわかった。すな
わち、本発明に係る複合サーメット粉末は、金属、金属
酸化物および金属窒化物の混合割合が、容積比で金属：
金属酸化物：金属窒化物＝２０〜５０：５〜１５：７５
〜３５であることが好ましい。金属の容積比が２０未満
では、サーメットの結合材としての効果が減殺され、粉
末顆粒強度が低下してしまう。一方、その値が５０を超
えると金属の特性が強くなり、金属窒化物および金属酸
化物の特性が減殺されて好ましくない。また、金属酸化
物は、表２に示す結果から明らかなように、容積比が５
未満または１５を超える場合には、粉末顆粒強度が低
く、実際に利用することができない。また、金属窒化物
は、金属と金属酸化物の量を最適化することで決定され
る。

【００２８】なお、本発明の複合サーメット粉末の構成
成分の成膜における役割は、下記のとおりである。（１）金属：溶射熱源中で溶融し、一部は酸化するもの
の、大部分は窒化物や酸化物粒子の接合作用および基材
への付着力の向上に大きな役割を果たす。（２）金属酸化物：溶射熱原中で溶融し（酸化物は溶融
しても質的変化は少ない）、窒化物粒子の分散と接合を
助け自らがマトリックスとしての機能を発揮する。（３）金属窒化物：熱源中で一部が分解したり、ガス化
するが、大部分は微細な粒子として溶融金属や酸化物を
バインダーとして分散し、皮膜を形成する。

【００２９】すなわち、本発明に係る複合サーメット粉
末において、金属は一部が酸化するものの、その大部分
がマトリックスを形造ると共に結合材として作用するこ
とで、金属窒化物および金属酸化物の均一分散の下に繋
ぎ止めて一体化した状態で層を形成するのに寄与してい
る。

【００３０】また、本発明に係る40vol%Si−50vol%Si₃N
₄−10vol%SiO₂複合サーメット粉末粒子の形態を示す顕
微鏡写真を図１に示す。

【００３１】なお、本発明に係る複合サーメット粉末
は、図２に示すフロー図に従って製造する。すなわち、
上記の粉末原料を混合し、造粒したのち、噴霧乾燥もし
くは焼結してから粉砕する。噴霧乾燥法は、複合材を構成する個々の成分粒子
（一次粒子）と接着機能を有する有機物バインダー溶媒
とを混合し、得られたスラリーをノズルから噴出させる
と共に、窒素などの不活性ガスの熱流体で急速乾燥させ
て粉末化するという方法であり、この方法は、多成分の
複合粉体を簡便に製造できる。一方、焼結粉砕法は、複数の一次粒子粉末からなる
複合材を混合した後、真空あるいは水素雰囲気で一旦、
焼結結合させ、続いてこれを粉砕して粉末化するという
方法であり、この方法で得られた粉末は、個々の粉末が
優れた機械的強度を有し、炭化物サーメット材に適用し
た場合には、耐摩耗性に優れた特性を発揮することがで
きる。

【００３２】また、前記噴霧乾燥あるいは焼結粉砕によ
り得た複合サーメット粉末材料の粒度は、５〜１２０μ
mの範囲内に調整することが望ましい。粒度を５〜１２
０μmの範囲内に限定する理由は、粒度が１２０μm以上
では、溶射時に熱源フレーム中で加熱した場合、粉末中
心方向への熱伝達が不充分となり、加熱効率が低下して
好ましくなく、一方、５μm未満では、粒子質量の熱源
フレームへの移行が不充分となり、最終的には皮膜化せ
ず、付着歩留りが低下して好ましくないためである。

【００３３】

【実施例】（実施例１）この実施例では、Si−Si₃N₄−S
iO₂複合サーメット粉末を作製し、該粉末をプラズマ溶
射法で内径100mm、深さ500mmのSS400鋼製るつぼ内壁に
厚さ100μmに被覆した。このるつぼ内に鋼板めっき用の
Zn-0.2%Al合金を入れ、溶解後500℃で５０時間保持し
た。この間、溶湯を攪拌器を用いて、るつぼ壁に対し周
速3m/minの速さで強制攪拌した。

【００３４】比較例としては、窒化珪素粉末をポリビニ
ルアルコールを溶媒としてスラリー状とし、内径100m
m、深さ500mmのSS400鋼製るつぼ内壁に、はけ塗りで塗
布して200μm厚さに被覆した後、300℃で焼結処理し
た。このるつぼ内に鋼板めっき用のZn-0.2％Al合金を入
れ、溶解後500℃で５０時間保持した。この間、溶湯を
攪拌器を用いて、るつぼ壁に対し周速3m/minの速さで強
制攪拌した。

【００３５】5０時間保持後、溶湯を冷却し、インゴッ
トを回収した。るつぼの内壁の皮膜を観察したところ、
本発明では、皮膜の溶湯によるエロージョン損耗はほと
んど認められなかったが、比較例では、ほとんどの皮膜
が剥離し、SS400鋼基材が露呈していた。これらの結果
から、本発明の粉末を用いて形成した皮膜は、十分な機
械的強度を有し、窒化珪素単体を有機バインダーを用い
て混合し焼結して形成した皮膜に比べて高耐久性を有す
ることが明らかになった。

【００３６】（実施例２）この実施例では、本発明に適
合する40vol%Si−50vol%Si₃N₄−10vol%SiO₂の混合粉末
を、プラズマ溶射法により基材上に成膜させ、皮膜の耐
エロージョン性を評価した。

【００３７】＜本発明＞寸法：100×50×6mmのSS400鋼製基材の表面に、本発明
に適合する40vol%Si−50vol%Si₃N₄−10vol%SiO₂の混合
粉末をプラズマ溶射法により、１５０μm厚さに溶射し
て被覆形成した。

【００３８】＜比較例＞本発明と同寸法の基材に、Si₃N
₄粉末を水とポリビニルアルコールで得たスラリーを、
はけ塗りおよび焼成からなる処理を複数回繰返して３０
０μm厚さの塗膜を形成した。なお、焼成条件は、電気
炉中で２５０℃で1時間保持とした。

【００３９】前記のとおり皮膜形成させた基板に対し、
アルミナ粒＃２２０を空気圧１０ｋＰａで吹き付け、基
材が露出するまでの時間を測定した。その結果、比較例
では、５秒で基板が露出し始めたが、本発明の複合サー
メット粉末を用いた溶射皮膜では、３０秒間、耐エロー
ジョン性を示した。これは、本発明の複合サーメット粉
末を構成する金属窒化物が、金属および金属酸化物との
共存によって安定した粒子間結合を発現していることに
よるものと考えられる。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、金
属窒化物を含む複合サーメットの粉末が得られ、これを
溶射法などによる厚膜形成用の原料として利用すること
ができる。また、気相成長法などによる方法と比較し
て、厚さの大きな金属窒化物を主体としたサーメット皮
膜を、有意に高速度で形成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明粉末粒子の形態を示す顕微鏡写真であ
る。

【図２】基材の表面に本発明の複合サーメット粉末を形
成するためのフロー図である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者北秋廣幸兵庫県神戸市北区桂木１丁目８番12号Ｆターム(参考） 4K018 AB01 AB03 AC04 AD10 BA03 BA08 BA11 BB04 BC08 BC11 BC12 BD09 4K031 AA01 AA08 AB02 AB08 AB09 CB02 CB09 CB14 CB18 CB31 CB36 CB37 CB42 CB43 CB46 CB48 CB50 DA04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】金属と、その金属の窒化物およびその金
属の酸化物の混合粉末からなることを特徴とする複合サ
ーメット粉末。
【請求項２】前記金属がSi、Al、TiおよびZrのうちか
ら選ばれるいずれか１種以上であり、その金属に対応す
る窒化物がそれぞれ、Si₃N₄、AlN、TiNおよびZrNのうち
から選ばれるいずれか１種以上であり、かつ、その金属
に対応する酸化物がそれぞれSiO₂、Al₂O₃、TiO₂およびZ
rO₂のうちから選ばれるいずれか１種以上の組合せから
なることを特徴とする、請求項１に記載の複合サーメッ
ト粉末。
【請求項３】金属、金属酸化物および金属窒化物の混
合割合が、容積分率で金属：金属酸化物：金属窒化物＝
２０〜５０：５〜１５：７５〜３５であることを特徴と
する、請求項１または２に記載の複合サーメット粉末。
【請求項４】前記混合粉末粒子の大きさが５〜１２０
μmの範囲にあることを特徴とする、請求項１〜３のい
ずれか１項に記載の複合サーメット粉末。
【請求項５】金属、その金属の酸化物およびその金属
の窒化物の混合粉末を造粒し、その後、噴霧乾燥するこ
とを特徴とする複合サーメット粉末の製造方法。
【請求項６】金属、その金属の酸化物およびその金属
の窒化物の混合粉末を造粒し、その後、焼結してから粉
砕することを特徴とする複合サーメット粉末の製造方
法。
【請求項７】前記金属がSi、Al、TiおよびZrのうちか
ら選ばれるいずれか１種以上であり、その金属に対応す
る窒化物がそれぞれ、Si₃N₄、AlN、TiNおよびZrNのうち
から選ばれるいずれか１種以上であり、かつ、その金属
に対応する酸化物がそれぞれSiO₂、Al₂O₃、TiO₂およびZ
rO₂のうちから選ばれるいずれか1種以上の組合せからな
ることを特徴とする、請求項５または６に記載の複合サ
ーメット粉末の製造方法。
【請求項８】噴霧乾燥後または焼結粉砕後の粉末粒子
の大きさを５〜１２０μmの範囲に調整することを特徴
とする請求項５〜７のいずれか１項に記載の複合サーメ
ット粉末の製造方法。
【請求項９】金属、金属酸化物および金属窒化物の混
合割合が、容積分率で金属：金属酸化物：金属窒化物＝
２０〜５０：５〜１５：７５〜３５であることを特徴と
する、請求項５〜８のいずれか１項に記載の複合サーメ
ット粉末の製造方法。