JPS5825072A - マイクロ波放電光源装置 - Google Patents

マイクロ波放電光源装置

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JPS5825072A
JPS5825072A JP12370681A JP12370681A JPS5825072A JP S5825072 A JPS5825072 A JP S5825072A JP 12370681 A JP12370681 A JP 12370681A JP 12370681 A JP12370681 A JP 12370681A JP S5825072 A JPS5825072 A JP S5825072A
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JP
Japan
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lamp
light source
rotating body
microwave
turning body
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JP12370681A
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English (en)
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JPS6245665B2 (ja
Inventor
Kazushi Onuki
大貫 一志
Kazuo Ban
和生 伴
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J65/00Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J65/04Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
    • H01J65/042Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
    • H01J65/044Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by a separate microwave unit

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、マイクロ波放電を利用した光源装置に関す
るものである。
マイクロ波放電光源装置の主たる構成は、マイクロ波を
発生するマグネトロン、マイクロ波を伝送する導波管、
自車に少なくとも始動補助用希ガスと放電維持封入物が
封入された無電極の放電灯(以後ランプと称す)を内部
に配設したマイクロ波空胴よりなLマイクロ波により無
電極の放電灯を点灯するもので、ランプに電極を必要と
しないために電極消耗によるランプ寿命の制限が無くな
抄長寿命となること、また放電のインピーダンス変化が
初期状態と安定状態との間で;j・さいために点灯初期
から電力の注入が容易であるとともに放電がランプ壁に
偏っている等の理由でランプの安定時間が短いこと等の
点で従来の有電極放電ランプを用いた光源装置に対して
優れた特徴を有し、これらの特徴を活かすべく多方面へ
の応用が期待されるものである。しかしながらマイクロ
波放電光源装置は一般的に、上記マイクロ波空胴を構成
する壁面が光学的な反射面としても利用されており。
特に近距離から広範囲を均一な照度(紫外線強度)で照
射する必要のある写真製版などの分野での活用において
は、第1図の従来例で示すように、マイクロ波空胴とし
てのマイクロ波上の特性、光学的な反射特性、熱的な問
題のすべてを解決したマイクロ波空胴は得られていなか
った。すなわち、第1図(a)は、従来のマイクロ波放
電光源装置のマイクロ波空胴を示す断面図であり2図に
おいてマイクロ波空胴(1)は、光を通過させるがマイ
クロ波は透過しない網面(3)と。
この網面(3)に直交する軸(2)を回転軸とし、かつ
軸(2)上に置かれたランプ(4)を焦点とする放物線
の一部がなす回転体(6)により構成されており。
網面(3)は、この回転体(6)の開口部に図示されて
いない手段で固定され、開口部を閉塞する構造となって
いる。(5)はランプ中心を表わす。
また+91はマイクロ波空胴へ、マイクロ波を入射させ
るための回転体(61に形成されたマイクロ波給電口(
以下、給電口と略称する) 、 +7+、ts+は回転
体(6)にランプ(4)からの光が1回の反射で光源装
置の外へ照射される光線、 on、nnはランプ(4)
からの直射光で、特に光線(8)は網面(3)の端を通
る光線を示す。
この様に構成された光源装置は、ランプ(4)が給電口
(9)の近くに配設されているため、電源投入直後、マ
イクロ波空胴(6)内の洩れ電界による放電灯(4)へ
の電力供給が容易になるため始動時間が短いこと、さら
に反射光171,181に代表される様にすべての反射
光は光軸と大きく傾いた方向へ制御されていて、直射光
■、αυが光軸付近の照度を高くする傾向にあるのに対
し、光源装置に近接して配置された図示されていない写
真製版感光面のような被照射面の周辺部を照射【7て。
均一な照度が得られるものである。ところが。
全体容積が小さくなるために、マイクロ波空胴や放電灯
の温度上昇が著しく、特に放電灯(41は再入射する反
射光の比率が大きくなるため熱による放、1灯波損が生
じ易く、長時間点灯ができないという欠点があった。
vj1図(blは、第1図(a)における温度上昇の欠
点を改善した従来のマイクロ波放醒光源装置のマイクロ
波空胴を示す断面図であり、この図に示すものにおいて
は、容積は比較的大きくとられており熱的な問題は一部
ないが、すべての反射光が1回の反射でマイクロ波空1
jlii1161外へ出ることは難しく、光線(9)で
例示される様に一部の反射光は2回以上の反射をくり返
した後にマイクロ波空胴(6)外へ出ることになる。こ
のため光学的損失が大きくなり、さらに光線α2の様な
複数回の反射後の光線は軸(21方向に向かう傾向を生
じるために広い範囲を均一に照射する光源装置としての
機能に反し、さらに給電口(9(と放電灯(4)との間
の距離が大きいため、ランプ(5)近辺でこの発明は広
範囲を均一に照射する目的のマイクロ波放電光源装置に
おける上言己のような各点を除去するためになされたも
ので、マイクロ波を通過しない網面と、この網面力;網
面と直交する軸を回転軸とする椀状の回転体を閉塞する
構成を有するマイクロ波空胴、および、このマイクロ波
空胴内に配設された無電極ランプを備えたマイクロ波放
電光源装置において1回転体の網面に対向したランプ背
面部位に網面側に突出した。上記回転体の回転軸を共有
した回転面を形成したことを特徴としている。
以下、この発明の一実施例を第2図に基づいて説明する
と9図において(la)、(lb)は網面(3)ととも
に空胴共振器(6)を構成してい為2つの回転体であや
9回転体(1a)は第1図(b)における回転体(1)
の中で放電灯(4)からの光線が1回の反射で空胴共振
器(6)外へ出る領域に等しい部分であり。
回転体(lb)は回転体(1a)の内部に突出しており
給電口■が配役されているものである。(至)は放電灯
(4)から回転体(1b)に入射して、さらに回転体(
1a)での反射をした後、空胴共振器(6)外へ出る光
線の例を示している。この実施例においては、第1図(
blに示し声従来例と比較して明らかな様に、複数回反
射した後に空胴共振器(6)外へ出る光線を比較的広配
光に制御し、熱的にも許容し得る大きさを保ちながら、
給電口(9)と放電灯(4)を近接して設けたことによ
り始動後単時間に安定放電状態に達する利点を有するも
のである。
第3図は、この発明の他の実施例を示すものであ1図“
において(la)、(lb)、(lc)は網面(3)と
ともに空胴共振器を構成する3つの回転体であり。
回転体(1a)は第2図中の回転体(la)と等しく。
回転体(lb)は放電灯(4)の中心(5)を第1の焦
点とし、網面(3)の周辺付近の点Q41を第2の焦点
とする楕円を軸(2)のまわりに回転してできる回転面
の一部からなるものであり2回転体(lc)は回転体(
la)の網面(31上に無い方の喘息と放電灯(4)の
中心(5)を結ぶ直線を軸(21のまわりに回転してで
きる回転面の一部からなるものであり2回転体(1a)
と回転体(1b)を接続している。(2)、(IIは回
転体(1b)により反射されて空胴共振器(6)外へ出
る光線の例である。この様に回転体(tb)を回転体(
la)の内部に突出させて回転楕円面としたことによっ
て複数回の反射を無くして損失を減少するとともに極め
て広間光の光源装置を得られる利点がある。さらに回転
体(lb)に給電口(91を設けることによって、放電
灯(4)と給電口(91の距離を小さくできるため始動
が容易になり、安定状態に達するまでの時間が短くなる
利点をも得られる。
伺2回転体(1b)の第2の焦点0巻は2回転体(1a
)上の網面(3)付近にとっても広間光の光源装置とす
ることができる。
また上記実施例のいずれにおいても9回転体の回転放物
面を回転楕円面とするか、あるいは回転楕円面で例示し
た面を回転放物面としても同様の効果が得られる。さら
に回転体の部材全体が光とマイクロ波を反射する必要は
なく、少くとも空胴共振器(6)内面に相当する表層部
が光とマイクロ波を反射する部材であれば良い。閘こと
では広間光の器具について例示したが、挟間光等の光源
装置においても同様の効果を得られることは言うまでも
ない。
この様に上記実施例のものによれば、広間光等の光学的
条件、給電口+91と放電灯(4)間の距離等のマイク
ロ波的条件、さらに熱的条件などの種々の条件を満足す
る空胴共振器(6)を実現できるため、写真製版用紫外
線光源としての広間光で近接して置かれた被照射面上で
も均一な照度が得られると同時に始動時間の短い光源装
置を始めとして各種の用途に適したマイクロ波放電光源
装置の提供が可能となり、その実用性を高め、応用分野
を拡大するきわめて価値の高いものである。
この発明は以上に述べたように2回転体と網面として構
成されるマイクロ波空胴内に配設される電極ランプをマ
イクロ波により点灯するマイクロ波放電光源装置におい
て9回転体をランプ背面部位に回転体の回転軸を共有し
た回転面を網面側に突設したものとしたので、始動性を
損なうことがないとともに放電灯の破損もなく。
光学的損失も少ないという効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)および(b)はそれぞれ従来のマイクロ波
放電光源装置を示す概略図、第2図はこの発明の一実施
例を示す概略図、第3図はこの発明の他の実施例を示す
概略図である。 図において(1)は回転体、 (la)は第1の回転体
。 (1b)は第2の回転体、 (Ic)は第3の回転体、
(2)は軸、(3)は網面、(4)は無電極放電灯、(
6)はマイクロ波空胴である。 尚、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 葛 野 信 − 第1図 第2図 /J 11J図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)  −面が開口した椀状の回転体およびこの回転
    体の開口面を覆うマイクロ波を通過させない材料で形成
    された網面でマイクロ波空胴を構成するとともに、この
    マイクロ波空胴内に無電極ランプを備え、この無電極ラ
    ンプをマイクロ波により点灯するマイクロ波放電光源装
    置において、上記網面に対向した回転体のランプ背面部
    位に、上記回転体の回転軸を共有した回転面を網面側に
    突設したことを特徴とするマイクロ波放電光源装置。
  2. (2)回転面を第1.第2.第3の回転面で形成し、こ
    れらの回転面の最大半径は、第1〉第2〉第3の順に大
    とし、上記第1の回転面の内部に第3の回転面を突出さ
    せたことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のマイ
    クロ゛波放電光源装置。
  3. (3)第3の回転面はマイクロ波給電口を有することを
    特徴とする特許請求の範囲第2項記載のマイクロ波放電
    光源装置。
JP12370681A 1981-08-07 1981-08-07 マイクロ波放電光源装置 Granted JPS5825072A (ja)

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JP12370681A JPS5825072A (ja) 1981-08-07 1981-08-07 マイクロ波放電光源装置

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JPS5825072A true JPS5825072A (ja) 1983-02-15
JPS6245665B2 JPS6245665B2 (ja) 1987-09-28

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Cited By (3)

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JPS6245665B2 (ja) 1987-09-28

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