JPS58217257A - 高平行度加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、磁気ヘッドの製造におい−Ｃ１小月法の磁
気ヘッド累月平面の所要の平行度を得るための加工方法
とその装置に関する。

一般に磁気ヘッドの製造には高度の加工技術が要求され
る。例えば、フロッピーディスク用磁気ヘッドは、形式
によりフエライ１〜からなるＬ型。

１型、Ｕ型コアあるいはＬ型非磁性体等の組み合ゼから
なり、上記コア同志あるいはコアと非、！ｉ性体はガラ
ス溶着されて磁気ヘラ１〜として重要な湧定ギ１７ツブ
長が形成される。

この磁気ヘッドは上記した如く、バンクハイトＪ３よσ
ポールハイ１〜は共に寸法公差おにび平行度が極めて厳
しく、特にガラス溶着したコ）７同志あるいはコアと非
磁性体とからなるヘッドｌは、段差−Ｉ’）−、ｊ法ず
れを生じやりいため、所期の寸法Ｊ５よび平ｔう麿を４
４７るべく各部を精密１σ１摩しなりればならない。

従来はかかるヘッド素材の全個数を顕微鏡で司法測定し
、類似寸法の素材にクラス分’ｗ−ｊ　Ｌｋ後、分類し
た素材の底面を正にして上面をω１摩加工していた。従
って上面へ底面に対する平行度は得られるが、Ａペラ９
ス点に対りる上面の平行度は得られず、例えば、幅５．
（１〜７．ＯｍｍＸ高さ３〜８１Ｔ１ｍ×長さ３０ｍｍ
程度の小舅法素材にお（プるバックハイ１〜及びボール
ハイ１〜の寸法精度は±７μｍと極めて！ｉ（ｋ　Ｌい
ため、研摩加工による不良品発生、歩留り低下並びに加
工に多大の工程を要する等、生産性に多くの問題があっ
た。

この発明は、磁気ヘッド素材の上記の平行度を容易に得
ることができる加工方法を目的とし、さらに、この高平
行、度加工を自動化できる装置を提案することを目的と
している。

ずなわら、この発明は、磁気ヘッド累＋Ａ等の被加工材
の載置平面ど同一水平面上で被加工材両端面部に対向さ
けて光電管、顕微鏡カメ・う等の一対の位置検出器を配
置し、磁気ヘッドブト１ツクのΔペックス点の如き被加
工材の両端面上の予め設定した基準点を上記位置検出器
により検出し、該検出器内に予め設定した基準線と上記
基準点どの位置偏差を演算装置にて算出し、この算出さ
れた位置偏差に基いて被加工材の載置平面を例えば基４
１゜点変位装置により変動させ、被加工Ｈの基準点を基
ｉ（（線に一致さＵ−たのち、被加工材を研摩加工し平
行度を出すことを要旨とり−る高平行度加工方法である
。

この発明は、例えば磁気ヘッドブロックの平１°」度を
出づのに、底面又は上面のいずれかを正にして加工する
従来法に対して、ブロックの両端面上の予め設定する基
準点、すなわちヘッドブロックにＪ５いて第４図に示す
如く、ボールハイ１〜部どバックバイト部との境界線の
Ａペラ９ス点（Ａ、Ｂ）を基準点とし、予め設定しｌｃ
基準線とこの基準点との偏差を求め、これににってヘッ
ドブロックを載置づる平面を変位させ−Ｃ両者を一致さ
Ｕたのち、この偏差にしたがって加工を施す−ため、す
ぐれた５ＩＬｔｊ度を得ることかできる。

従って、被加工材の端面上の基準点を検出づる位置検出
器ど、被加工材自体あるいはその載置平面を変動させて
基準線と一致させるための基準点変位装置が必要となる
が、位置検出器には顕微鏡カメラ、光電管（透過形２反
則形）、空気レンザー（反射形）等の多種の位置センサ
ーを利用することがで′さ、また基準点変位装置角には
、実施例で示すようなテーブル下面に設けた円筒ｍｊ上
に刻設した溝に嵌入りる突起部を移動させてテーブルを
揺動さぜる描成の他、ネジを用いたものなどの２軸り向
に変位可能に４１？Ｊ成するものであればいずれのもの
も利用できる。また加工対象はフエライ１−１非磁性イ
オのコアをはじめ多種の金属・合金等の４Δ１３＋が可
能（゛ある。

以下に、この発明による加工方法を加工装置の一実施例
の図面に基づいて訂述りる。ここでは位置検出器に顕微
鏡カメラ、基準点変位装置に（ユ、ｊ−プル下面の半円
筒面に刻設した溝にステッピングモータにより回動可能
な摺動板の突起を嵌入してデープル上面を変動さμる（
１へ成を用いた加」装置の例について説明り−る。第１
図は装置全体の配置説明図、第２図は測定工程部の詳細
斜視図、第３図はワークテーブル下面の詳細図であ・る
。

加工装置は測定工程部（ｉ）と研摩工稈部（ＩＩ）の２
つのセクションから構成されている。

まず測定工程部（ｉ）から説明すると、正確かつ同一水
平面上に上面を配した基準台（１）（１１間に、上面を
開放した箱体の移動テーブル（２）が装入され、この移
動テーブル（２）は研摩」二稈部＜　ＩＩ　）方向へ水
平移動可能に描成しである。゛づなわら、基準台（１）
（１）間に正確に水平度を出してｒｔｌｌ厚工程部（１
１）へ敷設したデープルスライドベース（３）」−を移
動、テーブル（２）を載置した移動台（図示ぼず）が水
平移動し、かつ移動テーブル（２）を移動台上のスラッ
ピングモータ（４）でねじ送りにより垂直方向に調節可
能に構成しである。

移動テーブル（２）内には被加工＋、１（１２＞を載置
固定り゛るためのワークテーブル００）が摺動自在に装
着されている。ワークテーブルｆｌｏ）はその上面は正
確な水平面であり、被加工材（１２）を上面に設けた固
定具（１１）に挾持してあり、半円筒面を描成りる下面
には母線に設定の微小角度で交差覆る）ｔ（１０ａ）が
刻設しである。

一方、移動デープル（２）の内底面上にステッピングモ
ータ（５）か載置され、その駆動軸（６）先端に凹状円
弧面を上面に右ツる摺動板（刀が装着されている。

この摺動板（７）上面には駆動軸（６）軸線Ｊ二りわず
か偏位させた突起（８）（８）が設りてあり、上記した
ワークテーブル（ｌｏｔ下面の満（１０ａ）に嵌入させ
である。

まｌ〔、ワークテーブル００）の側端面には下面外形と
相似荊のＵ字形部材（１３）が下端面に治って固着して
あり、移動テーブル（２）上に載設した回動受具（９）
のローうでＵ′字膨形部４４（１３）の外周面を受（）
、ワークデープル（１０）の回動を容易にしている。

覆なわち、ワークテーブル００）の下面の溝（１０ａ　
）ど、これに嵌入ザる突起（８）（ε３）を右する摺動
板（７）と、摺動板（７）を微小回動ざμるステッピン
グモータ（５）とで基準点変位装置を構成してｄ３す、
ステッピングモータ（５）は入ツノ信号に従って摺動板
“（７）を微小回動さＵで、これに突起（８）と溝（１
０ａ　）どの１合；合により従動り−るワークテーブル
００）の上面を変位さけ、被加工４Δ（１２）の基準点
を基準線に対してＸ、Ｚの２軸方向に変位させる構成で
ある。

次いで、基準台（１）（１１上面には顕微ｋＡ　７Ｊメ
ラ（１４）（１４）が載置してあり、ワークテーブル（
１０１上の被加工＋Ａ（１２）の両端面に各々月面りる
よう位置調整されて４３す、顕微鏡カメラ（１４）で得
た測定信号は設定演算装置（１５）に入力される。また
、ステッピングモータｆ４Ｈ５１はこの設定演算装置（
１５）で制御する構成である。

次に研摩工程部（ＩＦ）を説明づると、ω１摩ｑＩｌ？
（１６）には前記した移動デープル（２）をｙ方向、に
水平移動ざぜて導入するためのテーブルスライドヘース
（３）が敷設され、両工程部（］）　　（ＩＩ）間の出
入口部は防水シ１７ツター（１７）を備えている。砥石
軸（１８）は研削砥石（１９）を装盾し移動テーブル（
２）の水平移動に直交方向に水平移動してワークテーブ
ル（１０）上の被加工Ｕ（１２）を研摩するイ１４成で
ある。

次に上述した構成の加工装置の作動を説明する。

例えば、第４図に承り、Ｉ型コアとＬ型コアからなる磁
気ｌ＼ツドブロックのボールハイド部とバックバイ１へ
部との境界であるＡペラ９ス点（Ａ、Ｂ）を両端面の基
準点に設定し、この被加工材（１２）を１ノークデーブ
ル（ＩＱｌ上に固定し、ワークの基準点と予め設定され
た基準線が同一高さとなるよう移動テーブル（２）を上
下動さけて調整しておく。

次いで、顕微鏡カメラ（１４）　　（１４）で−Ｆ記の
被加工材（１２）の基準点を検出すると、基準点信号か
設定演算装置（１５）に人力される。実施例では研摩加
工向の基ｑｊ位置となる基準線を、顕微鏡カメラ（１４
）　　（１４）自体に設定しく８３す、設定演算装置（
１５）におい−Ｃ基準点信号と基準線信号が顕微鏡カメ
ラ（１４）　　（１，４）より入力され、両者の偏差が
算出される。

この偏差に基づいて設定演算装置（１５）ｌ、り借舅が
発Ｕ−られ、基準点変位装置を４１？ｉ成づるステッピ
ングモータ（５）が信号にしたがって回動し、ワークデ
ープル００１も連動して載置固定Ｊる・被加工材（１２
）のＭ県点が微小変動し、この被加工材（１２）の基準
点が設定演算装置（１５）に予め設定した基準線、すな
わち顕微鏡カメラ（１４）　　（１４）自体に設定した
基準線に一致りる。

基準点を基準線に一致ざ「た状態の被加工材（１２）は
、移動デープル（２）ごとω［摩工程部（ＩＩ）へ送ら
れる。防水シャッター（１７）が開放されて、移動テー
ブル（２）が所定のω１摩位置まで導入された後、防水
シャッター（１７）が閉められ、所定高さに保持された
砥石軸（１８）が直交方向より近接し、被加工ｖＪ（１
２）はその位置調整された基準点を止として平面研）９
を施され、所定量の研摩が完了りると、砥石１１＋ｌ１
ｌ（１８）は後退し、再ひ防水シト、ツタ−（１７）が
開（）られ、移動デープル（２）は測定工稈部（１）に
もどって顕微鏡カメラ（１４）　　（１４）位置で停止
し、被加工材（１２）の用法、平ｔｔ１哀の６１測Ｍｒ
　没後、被加工材（１２）は仕上り品として搬出される
。

この発明にＪ、る加工装置を用いることにより、磁気ヘ
ッドブロック等の被加工材（１２）は高い平（ｊ瓜を容
易にかつ自動制御（・得ることができる。

以下にこの発明による実施例を示しその効果を明らかに
Ｊる。

被加工４Ａに第４図に示したＬ型とＩ型のコアを組合け
る磁気ヘッドブロックを用い（、上述した加工装置によ
る本発明方法の加工と、従来の底面を正とする加工方法
の２方法で多数の試料を研摩加工し、全数にわたってボ
ールハイ１〜（Ｐ　ｌ−１）寸法を測定し、試料のボー
ルハイド（Ｐ　ｌ−１）寸法のバラツキ、並びに左右の
ボールハイド（Ｐ　ｌ−１＞の差Ｉ　Ａ−Ｂ　ｌで評価
した測定結果を第５図のグラフに示づ。

第５図より明らかな如く、本発明方法は従来方法に比し
、用法バラツキ並びに左右差Ｉ　Ａ−８１が極め−（少
なく、高い平行度を得ていることがわかる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による加工装置の土＋ｆｉｉ　説明図
であり、第２図（Ｊ斜視図Ｃある。 第３図は加１］装置の１ノークツ−ゾル・の正面図（Ａ
図）と側面図（８図）Ｃある。 第４図は磁気ヘッドブロックの斜視図である。 第５図は実施例の測定結果を示゛り棒グラフである。 図中、１・・・基準台、２・・・移動テーブル、３・・
・デープルスライドベース、４，５・・・ステッピング
モータ、６・・・駆動軸、７・・・摺動様、８・・・突
起、１０・・・ワークテーブル、１０ａ・・・溝、１１
・・・固定具、１２・・・被加工材、１４・・・顕微鏡
カメラ、１５・・・設定演粋装置、１６・・・ω１摩板
、１７・・・防水シＶツタ−１１８・・・砥石軸、１９
・・・ω］削砥石。 出願人　　　住友特殊金属株式会社 第１図 第２図 第３図 （Ａｌ 第４図 第５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　被加工４Ａの載置平面と同へ水平面上で被加工材
   両端面部に対向ざｌ！（一対の位置検出器を扉開し、被
   加工材端面上に予め設定した基準点を上記位置検出器に
   より検出し、位置検出器に予め設定した基準線と上記基
   準点との位置偏差を演算装置にて算出し、算出された位
   置偏差に基いＣ被加二Ｆ祠の載置平面を変動さけ、基準
   線に被加工材の基準点を一致させたのら、被加工材を研
   摩加工し平行度を出りことを特徴とりる高平行度加工方
   法。 ２、　被加工材の両端面の同一水平面上に対向する一対
   の位置検出器と、同検出器間を研摩機方向へ水平移動し
   かつ垂直位置調整可能な移動テーブルと、上面に固定具
   を介して被加工材を保持し移動テーブル内に装着するワ
   ークテーブルと、ワークテーブルの上面を２軸力向に変
   位させる基準点変位装置と、予め設定した被加工材端面
   の基準点と予め設定した基準線との差を上記位置検出器
   よりの信号で演算検出し、基準点変位装置を作動さけて
   基準点と基準線を一致さＵる７、シ淀演紳装置と、測定
   部と１ｉｌｌ摩部間に設りられた防水シトツタ−と、？
   ｉｌｌ摩機方同機方向移動し−（ぎた移動デープルへ直
   角に水平移動し、被加工材上面を＋ＩＩｔ厚するすＩ同
   機とからなる高平行度加工装置。