JPS5821312A - 半導体磁器コンデンサ素体及びその製造方法 - Google Patents
半導体磁器コンデンサ素体及びその製造方法Info
- Publication number
- JPS5821312A JPS5821312A JP56119514A JP11951481A JPS5821312A JP S5821312 A JPS5821312 A JP S5821312A JP 56119514 A JP56119514 A JP 56119514A JP 11951481 A JP11951481 A JP 11951481A JP S5821312 A JPS5821312 A JP S5821312A
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- JP
- Japan
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- component
- mol
- moles
- semiconductor
- firing
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は高誘電率を有し、静電容量の温度特性が優れて
いる( Sr 、Ca ) TiOH糸半導体磁器コン
デンサ票体及素体の製造方法に関するものである。
いる( Sr 、Ca ) TiOH糸半導体磁器コン
デンサ票体及素体の製造方法に関するものである。
今日、電子機器の技術革新が目覚しく1例えばマイクロ
テープカセットレコーダ、携帯用ステレオラジオなどが
超小型化されている。このような電子機器の小型化に伴
−1それぞれの電気回路に使用される磁器コンデンサも
回路基板への配設密度を高めるためにできる限り不調化
されることが望まれている。また同時に超小型化された
電子機器は、温度環境の異なるところへ移動されること
が多く、温度が著しく異なるところで使用されるため1
組み込まれる磁器コンデンサは、特に温度変化に対し安
定であることが望まれている。
テープカセットレコーダ、携帯用ステレオラジオなどが
超小型化されている。このような電子機器の小型化に伴
−1それぞれの電気回路に使用される磁器コンデンサも
回路基板への配設密度を高めるためにできる限り不調化
されることが望まれている。また同時に超小型化された
電子機器は、温度環境の異なるところへ移動されること
が多く、温度が著しく異なるところで使用されるため1
組み込まれる磁器コンデンサは、特に温度変化に対し安
定であることが望まれている。
そこで1本発明の目的は、見掛けの比誘電率が7000
以上であり、またコンデンサにした際の静電容量の温度
特性が±74以下であり、またtanaが1.5嗟以下
であり、更Kまた絶縁抵抗Rが104MΩ(比抵抗c1
00−cm )以上である半導体磁器コンデンサ素体及
びその製造方法を提供することにある。
以上であり、またコンデンサにした際の静電容量の温度
特性が±74以下であり、またtanaが1.5嗟以下
であり、更Kまた絶縁抵抗Rが104MΩ(比抵抗c1
00−cm )以上である半導体磁器コンデンサ素体及
びその製造方法を提供することにある。
上記目的を達成するための本発明は、 (Sr(1−2
)Cax ) TiyO1y+1 (但し、xxo、3
1〜0.52.7=0.99〜1.01である)(以下
、第1成分と呼ぶ)を95.50〜99.94モ# 4
、 CaO2、La1O,。
)Cax ) TiyO1y+1 (但し、xxo、3
1〜0.52.7=0.99〜1.01である)(以下
、第1成分と呼ぶ)を95.50〜99.94モ# 4
、 CaO2、La1O,。
WOa 、 aa、oa、Y鵞Oa−及びDY鵞Osの
うちの少な(とも−極の金属酸化物(以下、@22成と
呼ぶ〕を0.01〜2.00モル畳、Cub、 MnO
,、Bi2O3,及ヒPbOのうちの少なくとも一種の
金属酸化物(以下、第3成分と呼ぶ)を0.05〜2.
50モル畳。
うちの少な(とも−極の金属酸化物(以下、@22成と
呼ぶ〕を0.01〜2.00モル畳、Cub、 MnO
,、Bi2O3,及ヒPbOのうちの少なくとも一種の
金属酸化物(以下、第3成分と呼ぶ)を0.05〜2.
50モル畳。
を含んでいることを特徴とする半導体磁器コンデンサ素
体に係わるものである。
体に係わるものである。
上記本発明によれば、上記の特性を満足する半導体磁器
コンデンサ素体゛を提供することが出来る。
コンデンサ素体゛を提供することが出来る。
また、上記目的を達成するための、方法の発明は、還元
性又は中性雰囲気で焼成して半導体磁器とする工程と、
II2化性雰囲気で熱処理して粒界を絶縁体化する工程
とを有して半導体磁器コンデンサ素体を製造する方法に
係わるものである。
性又は中性雰囲気で焼成して半導体磁器とする工程と、
II2化性雰囲気で熱処理して粒界を絶縁体化する工程
とを有して半導体磁器コンデンサ素体を製造する方法に
係わるものである。
上記本発明によれば容易且つ確5j!に上記の特性を満
足する半導体磁器コンデごす素体を製造することが可能
になる。
足する半導体磁器コンデごす素体を製造することが可能
になる。
以下、!J!施例について述べる。
実施例】
工業用原料として販売されている5rCO,、CaC0
゜Tie、を夫々用意し、下記の第1表に示す組み合せ
の配合割合に秤量し、ボールミルで10時間攪拌し、乾
燥して粉砕した後950℃〜1250℃で2時間焼成し
た後、粉砕して第1成分とした。
゜Tie、を夫々用意し、下記の第1表に示す組み合せ
の配合割合に秤量し、ボールミルで10時間攪拌し、乾
燥して粉砕した後950℃〜1250℃で2時間焼成し
た後、粉砕して第1成分とした。
次に、下記の組成となるように%成分を秤量した。
第1成分C8r< l−x> Cax) TiyOmy
+t +慟99.4モル鳴#I2成分としてCeO,・
・・・・・・・・・・・0.1モル憾第3成分としてC
uO・・・・・・・・・・・・0.5モル鳴次に、上記
原料をボールミルで10時間攪拌した後乾燥させ、しρ
する後粉砕した。
+t +慟99.4モル鳴#I2成分としてCeO,・
・・・・・・・・・・・0.1モル憾第3成分としてC
uO・・・・・・・・・・・・0.5モル鳴次に、上記
原料をボールミルで10時間攪拌した後乾燥させ、しρ
する後粉砕した。
次に、有機バインダとしてポリビニルアルコールを10
〜】5重量憾混入して造粒し、これを3000 kg/
cm”の圧力で、直径1 Omm 、厚み0.6mmの
円*に成形した後、バインダを飛ば丁ために800℃の
熱処理を施し、しかる後、還元性雰曲気中で】350℃
〜1420℃、3時間焼成(以下。
〜】5重量憾混入して造粒し、これを3000 kg/
cm”の圧力で、直径1 Omm 、厚み0.6mmの
円*に成形した後、バインダを飛ば丁ために800℃の
熱処理を施し、しかる後、還元性雰曲気中で】350℃
〜1420℃、3時間焼成(以下。
これを1次焼成と呼ぶ〕した。
次に、1次焼成によって得られた半導体磁器素体を空気
中で900℃〜】200℃、3時間焼成(以下、これを
2次焼成と呼ぶ)し1粒界の絶縁体化をなした。
中で900℃〜】200℃、3時間焼成(以下、これを
2次焼成と呼ぶ)し1粒界の絶縁体化をなした。
次に、第1図に模式的に示す如く、磁器素体tl+の両
主面に銀ペースト塗布焼付電極121 +31を形成し
。
主面に銀ペースト塗布焼付電極121 +31を形成し
。
コンデンサを完成させた。尚、磁器素体il+は、主と
して1次焼成によって形成されるN[半導体の結晶粒+
41と、主として2次続17R,によって形成される絶
1151とから成る。
して1次焼成によって形成されるN[半導体の結晶粒+
41と、主として2次続17R,によって形成される絶
1151とから成る。
次に、このコンデンサの静電容量C及びtan 1を]
kHzの周波数で測定した。そして、兇揖上の比誘電
率εを求めた。また20℃を基準にして一25℃及び+
85℃に於ける変化率を測定した。
kHzの周波数で測定した。そして、兇揖上の比誘電
率εを求めた。また20℃を基準にして一25℃及び+
85℃に於ける変化率を測定した。
即ち、20℃の時の静電容量C!。と−25℃の時の静
電容量C−1と+85℃の時の静電容量C81とを測定
し、−25℃の場合の静電容量変化率′r1をで求め、
また85℃の場合の静電容量をで求めた。fた比抵抗P
をp=l(−で求めた。但し、Rは電極12+ (31
間の絶縁抵抗、tは素体il+の内厚、Sは電極面積で
あり1本実施例の場合、tは約0・5mm、sは約38
.465mm鵞である。
電容量C−1と+85℃の時の静電容量C81とを測定
し、−25℃の場合の静電容量変化率′r1をで求め、
また85℃の場合の静電容量をで求めた。fた比抵抗P
をp=l(−で求めた。但し、Rは電極12+ (31
間の絶縁抵抗、tは素体il+の内厚、Sは電極面積で
あり1本実施例の場合、tは約0・5mm、sは約38
.465mm鵞である。
第1表はa、 1anI1. P、 T1. 及びT
、の測定結果を示すものであり、第2図は第1表に基づ
いて。
、の測定結果を示すものであり、第2図は第1表に基づ
いて。
CaCOHの変化に対するtank、及びThT、の変
化を示すものである。
化を示すものである。
上記51表及び第2図ρ)ら明らかなように、Xを0.
3】〜0.52の範囲と丁れば、Cが7000以上、t
ansがL51以下、−が】OΩscm、Tl及びT、
の絶対値が7(憾)以1の良品基準に合格するコンデン
サが得られる。
3】〜0.52の範囲と丁れば、Cが7000以上、t
ansがL51以下、−が】OΩscm、Tl及びT、
の絶対値が7(憾)以1の良品基準に合格するコンデン
サが得られる。
また、 5rCO1とCaC01との配合割合の変化に
よって静電容量の温度変化率T、、T、が変化している
ことがI8る。これ171.5rO−CaO−Tie、
固溶体の変態点がSrCO3とCaC01の配合割合を
変えることVCより移動するためである。そして、 c
acoaの配合割合が大きくなると、温度変化率T1.
T、は小さくなる。一方比鋳亀率C及び比抵抗Pは、第
2成分、第3I!を分を自足した場合にはほとんど変化
はなi、従つ工、上記良品基準に合格するための静電容
量の温度変化率T1.T、は第1成分の組成内容で決定
され、 CaC01が15.5モル憾禾満では土8嗟以
上になる。一方、 CaC01が26.0七ル憾を超え
ると、2次焼成時に結晶粒子まで酸化が進み。
よって静電容量の温度変化率T、、T、が変化している
ことがI8る。これ171.5rO−CaO−Tie、
固溶体の変態点がSrCO3とCaC01の配合割合を
変えることVCより移動するためである。そして、 c
acoaの配合割合が大きくなると、温度変化率T1.
T、は小さくなる。一方比鋳亀率C及び比抵抗Pは、第
2成分、第3I!を分を自足した場合にはほとんど変化
はなi、従つ工、上記良品基準に合格するための静電容
量の温度変化率T1.T、は第1成分の組成内容で決定
され、 CaC01が15.5モル憾禾満では土8嗟以
上になる。一方、 CaC01が26.0七ル憾を超え
ると、2次焼成時に結晶粒子まで酸化が進み。
Cが? 000 J!、l下に低下しかつtanJが2
参〜3傷と悪くなる。従って、Xの好ましい範咄は0.
31〜0.52であり、より好ましい範lは、0.34
〜0.46である。
参〜3傷と悪くなる。従って、Xの好ましい範咄は0.
31〜0.52であり、より好ましい範lは、0.34
〜0.46である。
実施例2
#!】成分(Sr(1−χ)Cax)TiYOmy+1
”99.4モル鳴第2成分としてLa10g ・
・甲・・・・・・・0.1モル憾IM3成分としてMn
O,・・・・・・・・・・・・0.5モル畳の組成で、
実施例1と同一方法でコンデンサを製作し1%特性を同
様に測定したところ、42表に示す結果が得られた・但
し、第1成分の組成を第2表に示すよ5に8段階に変化
させた。
”99.4モル鳴第2成分としてLa10g ・
・甲・・・・・・・0.1モル憾IM3成分としてMn
O,・・・・・・・・・・・・0.5モル畳の組成で、
実施例1と同一方法でコンデンサを製作し1%特性を同
様に測定したところ、42表に示す結果が得られた・但
し、第1成分の組成を第2表に示すよ5に8段階に変化
させた。
この第2表から明らかな15に、JII2成分及びJI
I3成分の物質を変えても、実施例1と同様な結果が得
られる。
I3成分の物質を変えても、実施例1と同様な結果が得
られる。
実施例3
第】成分(Sr(1−2)Cax)TiyOmy+t
os 99.4−r−ル憾第2成分としてWO畠
・・・・・・・・・・・・0.1モル憾第3成分とし
てBi、0. ・・・・、・・・・・・、−、−0
,5七ル嘔の組成で、実施例】と同一方法でコンデンサ
を製作し、q!r4!性を同様に測定したところ、第3
表に示す結果が得られた。但し、JitIla分の組成
を第3表に示すよ5に8段階に変化させた。
os 99.4−r−ル憾第2成分としてWO畠
・・・・・・・・・・・・0.1モル憾第3成分とし
てBi、0. ・・・・、・・・・・・、−、−0
,5七ル嘔の組成で、実施例】と同一方法でコンデンサ
を製作し、q!r4!性を同様に測定したところ、第3
表に示す結果が得られた。但し、JitIla分の組成
を第3表に示すよ5に8段階に変化させた。
11
この第3表ρ)ら明らかなように、第2a分及び第3成
分の物質を変えても、実施例1と同様な結果が得られる
。
分の物質を変えても、実施例1と同様な結果が得られる
。
実施例4
第】成分(Sr(1−2)Cax)TiyO雪y+1
++ 99.4モル鳴第2成分としてWO8・・・・・
・・・・・・・0.1モル鳴第3成分としてCuO・・
・・・・・・・・・・0.5モル鳴り組成で、実施例】
と同一方法でコンデンサを製作し1%特性を同様Vcl
l定したところ、第4表に示す結果が得られた。但し、
第1成分の組成を第4表に示すように4段階に変化させ
た。
++ 99.4モル鳴第2成分としてWO8・・・・・
・・・・・・・0.1モル鳴第3成分としてCuO・・
・・・・・・・・・・0.5モル鳴り組成で、実施例】
と同一方法でコンデンサを製作し1%特性を同様Vcl
l定したところ、第4表に示す結果が得られた。但し、
第1成分の組成を第4表に示すように4段階に変化させ
た。
この第4表から明らかなように、T10.の配合割合即
ちyの値は、素体の焼結性により決まり。
ちyの値は、素体の焼結性により決まり。
49.5モル畳未満即ち1.03<7では、焼結性が悪
くなる。−万、 Tie曹が50.5%ル鳴を超えると
即ちY < 0.99となるとεが急激に低下し、また
tan #も3嘔以上になり、更に素体同志の融着も生
じ易(なる。従って、yの好ましい範曲は。
くなる。−万、 Tie曹が50.5%ル鳴を超えると
即ちY < 0.99となるとεが急激に低下し、また
tan #も3嘔以上になり、更に素体同志の融着も生
じ易(なる。従って、yの好ましい範曲は。
0.99〜1.01である。
*mfl15
第1平分(Sr(1−z)Cax)TiyOmy+1+
+99.4モル%第2成分としてLa10g ・・
・・・・・・・・・・0.1モル鳴第3成分としてBi
、0. ・川・・・・・・・・0.5モル鳴の組成
で、実施例】と同一方法でコンデンサを動作し、q!r
特性な゛同様に測定したところ、第5表に示す結果が得
られた。但し、I!1成分の組成な第5表に示す15に
4段階に変化させた。
+99.4モル%第2成分としてLa10g ・・
・・・・・・・・・・0.1モル鳴第3成分としてBi
、0. ・川・・・・・・・・0.5モル鳴の組成
で、実施例】と同一方法でコンデンサを動作し、q!r
特性な゛同様に測定したところ、第5表に示す結果が得
られた。但し、I!1成分の組成な第5表に示す15に
4段階に変化させた。
この第5表から明らかなように、第2成分及び第3成分
の物質を変えても、実施M4と同様な結−果が得られる
。
の物質を変えても、実施M4と同様な結−果が得られる
。
実施例6
Ii1成分(Sr(1−x)Cax)Ti)’0鵞y+
x 99.4 モル%@2成分としてCaO2・・・
・・・・・・・・・0.1モル憾第3成分としてMnO
,・・・・・・・・・・・・0.5モル鳴り組成で、実
施例】と同一方法でコンデンサを製作し、各特性を同様
に測定したところ、第6表に示す結果が得られた。但し
、1!]成分の組成を第2表に示すように4段階に変化
させた。
x 99.4 モル%@2成分としてCaO2・・・
・・・・・・・・・0.1モル憾第3成分としてMnO
,・・・・・・・・・・・・0.5モル鳴り組成で、実
施例】と同一方法でコンデンサを製作し、各特性を同様
に測定したところ、第6表に示す結果が得られた。但し
、1!]成分の組成を第2表に示すように4段階に変化
させた。
この第6表から明らかなよう′に、第2成分及び第3成
分の物質を変えても、実施例4と同様な結果が得られる
。
分の物質を変えても、実施例4と同様な結果が得られる
。
上記実施例1〜6から明らかなように、 CaCU。
の量が増加すると温度特性が向上する。一方、5rC0
3の量が減少すると、gが小さくなり且っtanJが高
(なる。従ってXの好ましい範囲は0.31〜0.52
であり、またyの好・ましい範囲は0.99〜]、0】
である。このため、実施例】〜6に於ける試料番号1.
8,9.】6.1?、24.25,28゜29.32,
33.36は本発明の範囲外のものである。
3の量が減少すると、gが小さくなり且っtanJが高
(なる。従ってXの好ましい範囲は0.31〜0.52
であり、またyの好・ましい範囲は0.99〜]、0】
である。このため、実施例】〜6に於ける試料番号1.
8,9.】6.1?、24.25,28゜29.32,
33.36は本発明の範囲外のものである。
実施例7.1
半導体化を寄与する第2成分の種類及び添加量(モル鳴
)の変化によってコンデンサの特性がどのよ5に変化す
るかを調べるために。
)の変化によってコンデンサの特性がどのよ5に変化す
るかを調べるために。
第1成分(Sr0.、、 Ca0.、、 ) Ti01
・・・・・・・・・・・・ 97.4〜99.895モ
ル憾第2成分とL ”CCeO,、La、0. 、 W
Ol、 Gd01 、 Y、01 。
・・・・・・・・・・・・ 97.4〜99.895モ
ル憾第2成分とL ”CCeO,、La、0. 、 W
Ol、 Gd01 、 Y、01 。
DYtOsから選択された1種・・・・0.005〜2
.5モル憾第3成分としてCuO・山・・・・・・・・
0.1モル畳で100モル畳となる組成のコンデンサを
実施例1と同一の方法で作り、同一の方法で特性を測定
したところ、第7表囚〜ρの結果が得られた。
.5モル憾第3成分としてCuO・山・・・・・・・・
0.1モル畳で100モル畳となる組成のコンデンサを
実施例1と同一の方法で作り、同一の方法で特性を測定
したところ、第7表囚〜ρの結果が得られた。
但し、第1a分は。
5rCOj29 モル憾
CaC0121モル畳
1°i0* 50モル畳
で】00モル畳となる組成で作られた(Sr0.、、C
a・、4鵞) Ti01である。fた。Ii3成分に’
X CuOO,1−E−Jl/ 14一定であるので、
#!3成分を第7表(A)〜(C)K載せることを省略
した。また、第1IiL分は、総和の100モル畳から
@2ff分のモル憾と第3成分の0.3モル畳との和の
モル噛を差し引−たfLIiuち残部であり1例えば、
試料番号37では99.895モルqb、試料番号38
では99.89モル畳、試料番号39では99.80モ
ル畳、試料番号4oでは99.40モル鳴、試料番号4
1では98.90モルlS、試料番号42で697.9
モル優、試料番号43では97.4モル畳であるので、
第1成分を第7表(N〜(Qに畝ぜることを省略した。
a・、4鵞) Ti01である。fた。Ii3成分に’
X CuOO,1−E−Jl/ 14一定であるので、
#!3成分を第7表(A)〜(C)K載せることを省略
した。また、第1IiL分は、総和の100モル畳から
@2ff分のモル憾と第3成分の0.3モル畳との和の
モル噛を差し引−たfLIiuち残部であり1例えば、
試料番号37では99.895モルqb、試料番号38
では99.89モル畳、試料番号39では99.80モ
ル畳、試料番号4oでは99.40モル鳴、試料番号4
1では98.90モルlS、試料番号42で697.9
モル優、試料番号43では97.4モル畳であるので、
第1成分を第7表(N〜(Qに畝ぜることを省略した。
上記第7表に於ける第2成分の内、La、Oj、Gd。
03. YIOI、 D)’ton、 CeOは、AB
OJIIプ日プスカイト日進スカイト構造ち5rcaサ
イトに入り込ムものと考えられ、一方、 WO,はBサ
イト即ち1′iヤイトに入るものと考えられる。ところ
で、第2成分が0.0 ]モル参未満では、原子価制御
としての効果が小さく、抵抗の小さい結晶粒子を得るこ
とが困難になる。また、2次焼成時に結晶粒子まで酸化
されてしまい、tanlが約3藝悪(なり且つ比誘電率
Cも低下する。一方、第2成分が2モル嘔を超えると、
Aサイトに入り込むと考えられる#&加物については1
次vaI!tにおいての焼結性が急くなり、原子価制御
による半導体化が困難になる。これに対して、Bサイト
に入り込むWolについては、maim度が低下し、結
晶粒子の再分解が生じ1粒子が細かくなり、Wolの一
部が粒界に偏析しゃ丁くなり、これKより素体同志の融
着が生じ、且つεも低下する。従って、第2成分の好ま
しい範囲は0.01〜2モル鳴であり、より好ましい範
囲は0.1〜】モル畳である。このため、第7III囚
〜0で試料番号37,43.44,50,5]。
OJIIプ日プスカイト日進スカイト構造ち5rcaサ
イトに入り込ムものと考えられ、一方、 WO,はBサ
イト即ち1′iヤイトに入るものと考えられる。ところ
で、第2成分が0.0 ]モル参未満では、原子価制御
としての効果が小さく、抵抗の小さい結晶粒子を得るこ
とが困難になる。また、2次焼成時に結晶粒子まで酸化
されてしまい、tanlが約3藝悪(なり且つ比誘電率
Cも低下する。一方、第2成分が2モル嘔を超えると、
Aサイトに入り込むと考えられる#&加物については1
次vaI!tにおいての焼結性が急くなり、原子価制御
による半導体化が困難になる。これに対して、Bサイト
に入り込むWolについては、maim度が低下し、結
晶粒子の再分解が生じ1粒子が細かくなり、Wolの一
部が粒界に偏析しゃ丁くなり、これKより素体同志の融
着が生じ、且つεも低下する。従って、第2成分の好ま
しい範囲は0.01〜2モル鳴であり、より好ましい範
囲は0.1〜】モル畳である。このため、第7III囚
〜0で試料番号37,43.44,50,5]。
!?、68.64,65.68.74 のものは本発
明の範囲外のものである。
明の範囲外のものである。
実施例8
第3成分の種類及び添加量(モル4)の変化によってコ
ンデンヤ特性がとのよ5に変化するかを―べるために。
ンデンヤ特性がとのよ5に変化するかを―べるために。
第 】 成分 (”+−18C1o、al ) T
i0−・・・・・・・・・・・・ 96.5〜99.8
9モル畳II2成分としてCaO2、WOI 、 Ce
O2f)一種・・・・・・・・・・・・ 0.1〜0.
5モル憾第3成分としてCuO、MriO@ 、 B1
10.、pboの一種・・・・・・・・・・・−0,0
1〜3モル憾で総和が100モル唾となる組成物で実施
例1と同一方法でコンデンヤを作り、同一方法で特性を
測定したところ、第8表(N〜0の結果が得られた。
i0−・・・・・・・・・・・・ 96.5〜99.8
9モル畳II2成分としてCaO2、WOI 、 Ce
O2f)一種・・・・・・・・・・・・ 0.1〜0.
5モル憾第3成分としてCuO、MriO@ 、 B1
10.、pboの一種・・・・・・・・・・・−0,0
1〜3モル憾で総和が100モル唾となる組成物で実施
例1と同一方法でコンデンヤを作り、同一方法で特性を
測定したところ、第8表(N〜0の結果が得られた。
但し、jlN成分は。
5rCO@ 29モル4
CaCO,23モル憾
Tie、 50モル憾
で] 00 % # 鳴となる組成で作られたt”rs
、5acae、al) TiO3である。ところで、第
3成分は1粒界に偏析して粒界成分0> = 8と化合
又は単独に存在し。
、5acae、al) TiO3である。ところで、第
3成分は1粒界に偏析して粒界成分0> = 8と化合
又は単独に存在し。
111
2次焼成を行うことで粒界に於けるこれ等の物質が酸化
され0粒界絶縁層を形成する。従って1粒子はN1jJ
I半導体1粒界は絶縁体の粒界絶縁徴半導体磁器コンデ
ンヤが得らtt、ル。
され0粒界絶縁層を形成する。従って1粒子はN1jJ
I半導体1粒界は絶縁体の粒界絶縁徴半導体磁器コンデ
ンヤが得らtt、ル。
上記第8表(N〜鋤から明らかなように1粒界の絶縁性
の向上、及びtan aを良好にする効果を有する@3
3成が、0.055七ル鳴満では−が低くなって十分な
絶縁性を有することが不可能になり。
の向上、及びtan aを良好にする効果を有する@3
3成が、0.055七ル鳴満では−が低くなって十分な
絶縁性を有することが不可能になり。
且つtan Iも悪くなる。一方、第3成分が2.5七
ル鳴を超えると1粒界偏析物が素体表面に染み出し、素
体同志の融着が生じ、更にまた6の低下。
ル鳴を超えると1粒界偏析物が素体表面に染み出し、素
体同志の融着が生じ、更にまた6の低下。
tanδの悪化が生じる。従って、第3成分の好ましい
範囲は0.05〜2.5七ル鳴でありs、cり好fしい
範囲は0.5〜1モル憾である。
範囲は0.05〜2.5七ル鳴でありs、cり好fしい
範囲は0.5〜1モル憾である。
実施例9
第2成分を、 CeO,、La、01.WOB、Gd、
01. Y、(J、。
01. Y、(J、。
及びL)”!musの内の211以上としC%1種の場
合と同様な効果が得られることを確かめるために。
合と同様な効果が得られることを確かめるために。
#!】成分C3r6.HCao、s@)TiO畠−、、
、・、、、、、、、残部第2成分として#!9表に示す
複数物質・・・・・・・・・・・・ #!9表のモル優
第3成分としてCuO・・・・・・・・・・・・0.1
モル鳴で100モル憾となる組成によって試料番号13
8〜】8】のコンデンサな実1例1と同一の方法テ作り
、同一方法で特性の測定を行った。尚、第1成分” (
”’ @、@4 Ca o 4@ ) Ti0142
。
、・、、、、、、、残部第2成分として#!9表に示す
複数物質・・・・・・・・・・・・ #!9表のモル優
第3成分としてCuO・・・・・・・・・・・・0.1
モル鳴で100モル憾となる組成によって試料番号13
8〜】8】のコンデンサな実1例1と同一の方法テ作り
、同一方法で特性の測定を行った。尚、第1成分” (
”’ @、@4 Ca o 4@ ) Ti0142
。
5rCO,37モル鳴
CaC0,18モル%
Tie、 50モル憾
で300モル鳴となる配合物によって作った。
99表(A)
纂 9 表 (ks)
第 9 表 (C)
第 9 表 (D)
第 9 表 CB)
上記#I9表から明らかなよ5Vc、第2成分を2種以
上の組合せとしても、1種の場合と同様な効果が得られ
る。尚、試料番号138〜143,356〜369.1
73〜]?8に於イ”Cハ、 A B OHf) ヘa
ブスカイト型構造でのAサイトに複数の添加物が置換さ
れると考えられる。この場合に於いて、第2成分の合計
が2モル優を超えると、試料番号142.343,36
0.16]、165,169,175゜178に示され
る!5に、]lI[の場合と同様に未焼結となる。一方
、試料番号]44〜155.170〜172.179〜
38]K於いては、第2成分の中KAサイトに置換する
物質とBサイトに置換する物質との両方が含まれている
。この場合、第2成分の合計が2モル鳴を超えると、i
1換が十分に行われなくなり、t*されなかった添加物
が結晶粒子の成長を阻止し、また粒子間及び素体表面等
へ析出する。従って、1次焼成後の粒子の抵抗が大きく
なり過ぎ、2次焼成後に於1/1″Cも、害が小さく且
つtanJが悪(なる。従って、2種以上の物質を第2
成分とする場合に於いても、第2成分の好ましい範囲は
、0.01〜2モル憾である。
上の組合せとしても、1種の場合と同様な効果が得られ
る。尚、試料番号138〜143,356〜369.1
73〜]?8に於イ”Cハ、 A B OHf) ヘa
ブスカイト型構造でのAサイトに複数の添加物が置換さ
れると考えられる。この場合に於いて、第2成分の合計
が2モル優を超えると、試料番号142.343,36
0.16]、165,169,175゜178に示され
る!5に、]lI[の場合と同様に未焼結となる。一方
、試料番号]44〜155.170〜172.179〜
38]K於いては、第2成分の中KAサイトに置換する
物質とBサイトに置換する物質との両方が含まれている
。この場合、第2成分の合計が2モル鳴を超えると、i
1換が十分に行われなくなり、t*されなかった添加物
が結晶粒子の成長を阻止し、また粒子間及び素体表面等
へ析出する。従って、1次焼成後の粒子の抵抗が大きく
なり過ぎ、2次焼成後に於1/1″Cも、害が小さく且
つtanJが悪(なる。従って、2種以上の物質を第2
成分とする場合に於いても、第2成分の好ましい範囲は
、0.01〜2モル憾である。
実施例]0
第3成分を28以上の物質としても差支えないことをa
mするために。
mするために。
第1a分(Sr 11,114 Ca *、ia )
Ties =””・・・’A ii第2成分としてC
e01 ・・・・・・・・・・・・0.5モル嘔第
3成分として第10表の物質 ・・・・・・・・・・・・第10表のモル唾で100モ
ル鳴となる組成によって試料番号182〜23Gのコン
デンサを実施例】と同一の方法で作り、同一方法で特性
の測定を行った。尚第1成分の(Sr、、、、 Ca0
.s、 ) Tie、は、1!施9119と同一の方法
で作った。
Ties =””・・・’A ii第2成分としてC
e01 ・・・・・・・・・・・・0.5モル嘔第
3成分として第10表の物質 ・・・・・・・・・・・・第10表のモル唾で100モ
ル鳴となる組成によって試料番号182〜23Gのコン
デンサを実施例】と同一の方法で作り、同一方法で特性
の測定を行った。尚第1成分の(Sr、、、、 Ca0
.s、 ) Tie、は、1!施9119と同一の方法
で作った。
第 10 表 (A)
累 10 表 (B)
纂 10 表 (C)
上記第】0表から明らかなように、第3成分を複数の物
質の組み合せとしても、0.05〜2.50モル憾範囲
であれば、実施例8に於ける1種の場合と同様な作用効
果を得ることが出来る。尚第10表に於いて、試料番号
382,186,387.19] 。
質の組み合せとしても、0.05〜2.50モル憾範囲
であれば、実施例8に於ける1種の場合と同様な作用効
果を得ることが出来る。尚第10表に於いて、試料番号
382,186,387.19] 。
398.203.206,230のものは実施例8の場
合と同様な理由で本発明の範囲外である。
合と同様な理由で本発明の範囲外である。
実施913
i1N成分を得るための5rTi01及びCaTi0.
と。
と。
第2成分としてCeO,、Lm、OB、WOI、 Gc
t、o、、y。
t、o、、y。
o、、 DFsOaから選択された酸化物と。
第3a分としてCuO、MnO,、B110. 、 p
bo から選択されr、ニーIR化物と。
bo から選択されr、ニーIR化物と。
を第11表に示す割合に秤量′シ、ボールミルで10時
間攪拌後、乾燥、粉砕を行−1これに有機パインfとし
エポリビニルアルコールを] O〜15重量憾混入して
造粒し、実施例1と同一方法でコンデンヤを作り、同一
方法で特性を調定したところ。
間攪拌後、乾燥、粉砕を行−1これに有機パインfとし
エポリビニルアルコールを] O〜15重量憾混入して
造粒し、実施例1と同一方法でコンデンヤを作り、同一
方法で特性を調定したところ。
第】】表の結果が得られた。
尚第11表に於ける第1成分のモル嘔は、(Sr(1−
z ) Cax ) TiVOty+I K換算して示
されて−る。
z ) Cax ) TiVOty+I K換算して示
されて−る。
また、焼成後に得られる( Sr (1−z ) Ca
x ) Tiy Osy+I K於けるXの値は、第1
】表のCaTi0.のモル鳴の欄の数値の /10Gと
等しい。また各試料のyは】である。
x ) Tiy Osy+I K於けるXの値は、第1
】表のCaTi0.のモル鳴の欄の数値の /10Gと
等しい。また各試料のyは】である。
上記#I】】表から明らかなように、第1g分を得るた
めK 5rTiO,及びCaT iOgを原料として′
%。
めK 5rTiO,及びCaT iOgを原料として′
%。
実施例】〜】0と同様な作用効果が得られる。尚。
静電容量の温度特性T、、T、は5rTi 01とCa
Ti0aとの配合割合でほぼ決定される。従って、温度
特性は、この実施例の場合でも、 5rO−CaO−T
i01固溶体のSrOとCaOとの割合変化による変態
点の移動に関係する。このため1本実施例では、 5r
TiO。
Ti0aとの配合割合でほぼ決定される。従って、温度
特性は、この実施例の場合でも、 5rO−CaO−T
i01固溶体のSrOとCaOとの割合変化による変態
点の移動に関係する。このため1本実施例では、 5r
TiO。
とCaTi0.とで第1成分Sr (1+x ) Ca
xTiOsが作られ、第2成分及び第3成分は実施例】
〜10と同様な働きをな丁。そして、この実施例の場合
は。
xTiOsが作られ、第2成分及び第3成分は実施例】
〜10と同様な働きをな丁。そして、この実施例の場合
は。
Xが0.31〜G、52 、第1成分が95.50〜9
9.94モル僑、第21ii、分が0.0]〜2−&ル
鳴、第3a分が0.05〜2.5モル優であるこ:とが
好まし一〇上記の実施例1〜11に於いては、原料組成
が示されているが、焼成後に於ける組成%原料組成とほ
ぼ同一である。但し、実施例11に於い又は。
9.94モル僑、第21ii、分が0.0]〜2−&ル
鳴、第3a分が0.05〜2.5モル優であるこ:とが
好まし一〇上記の実施例1〜11に於いては、原料組成
が示されているが、焼成後に於ける組成%原料組成とほ
ぼ同一である。但し、実施例11に於い又は。
5rTiO,とCaTi0.とが焼EI Wk K S
r (1−X ) Cax Ti01になる。
r (1−X ) Cax Ti01になる。
尚上Wir2実施例及びその他の実験により1久のこと
が確認されている。
が確認されている。
(al 第2及び第3成分の原料を酸化物とぜすに。
焼成によつ℃最終的に酸化物になる例えば水酸化物、硝
酸塩、シュウ酸塩、金属元票、炭鍍塩等を使用して4.
cz。また、 (Sr(1−x)Caw)Tiy O@
y + 1も実施例以外の化合物又は元素によって得1
もよい。
酸塩、シュウ酸塩、金属元票、炭鍍塩等を使用して4.
cz。また、 (Sr(1−x)Caw)Tiy O@
y + 1も実施例以外の化合物又は元素によって得1
もよい。
(bl 還元性雰囲気中での加熱温度は、好ましくは
1300〜]506℃の範囲であり、1350〜145
0℃の範囲がより好ましいこと。更にこの処31時間は
2〜8FII1間が好ましいこと。
1300〜]506℃の範囲であり、1350〜145
0℃の範囲がより好ましいこと。更にこの処31時間は
2〜8FII1間が好ましいこと。
(cl 再酸化処理は850’10〜]300”Cで
1〜5時間行うことが好ましいこと。
1〜5時間行うことが好ましいこと。
(dl 本発明に係わるコンデンサ素体の性質を損わ
ない範囲で1例えばAI、0..8i偽等の更に別の物
質を付加しても差支えないこと。
ない範囲で1例えばAI、0..8i偽等の更に別の物
質を付加しても差支えないこと。
(e) 有機結合剤の好ましい範囲は、1lE1.第
2゜及び第3成分の合計に対して5〜20重量憾、より
好ましい範囲は10〜15fill傷であること。
2゜及び第3成分の合計に対して5〜20重量憾、より
好ましい範囲は10〜15fill傷であること。
(fl 5J!施例]】に於いて、第2及び第3成分
を複数物質としても全(同様な効果が得られる。
を複数物質としても全(同様な効果が得られる。
第1崗は実施例1に係わるコンデンサを模式的に示す断
面図である。第2図は実施例IK於けるCanoeとt
an II 、 TI、 TIとの関係な示す特性図で
ある。 尚図面に用いられている符号に於いて、(11はコンデ
ンサ素体、(2)(31は電極である。 代理人 高野則次
面図である。第2図は実施例IK於けるCanoeとt
an II 、 TI、 TIとの関係な示す特性図で
ある。 尚図面に用いられている符号に於いて、(11はコンデ
ンサ素体、(2)(31は電極である。 代理人 高野則次
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 11) (Sr (1−x) (Jx ) TiyO
,y+1 (但し、x=0.33〜0.52. y=o
、ss 〜1.01である〕195.50〜99.94
モル憾。 CeO,、LagOB 、 WOl 、 Gd、ol、
YIOI 、 及ヒD’f monのうちの少なくと
も一種の金属酸化物vO,03〜2.00モル鳴。 CuO、MnO,、Bi、01 、 及びPbOtv
5ちの少な(とも一種の金属酸化物vo、os〜2.
50モル嘔。 を含んでいることン特徴とする半導体磁器コンデンサ素
体。 (2) (Sr(1−1)Caw)Tly01y+1
(但し、x=0.31〜0−52 、 y = 0.
99〜1.01である)を95.50〜99.94モル
参と。 Ce01 、LaHOB 、 WO3、ea、o、 、
YIOI 、及びl)Y *Oaのうちの少な(とも一
種の金属酸化物vO,03〜2.00モル鳴と。 CuO、MnO,、at、o、、及びPbOtvうチノ
少なくとも一種の金属酸化物y o、o a〜2.50
モル嘔と。 有機バインダと、 から成る混合物ン所定寸法に成形すること。 次[、前記成形によって得た成形物を還元性又は中性雰
囲気で焼成し℃半導体磁器とすること。 次に、前記半導体磁器を酸化性雰囲気で熱処理すること
。 を含む半導体磁器コンデンサ素体の製造方法。 (3) 前記tI8成は1350℃〜1450℃によ
る焼成であり、前記熱処理は大気中950℃〜1250
℃の熱処理である%軒請求の範囲第2項記載の牛導体磁
器コンデンf素体の製造方法、 ′々・+47
前記(Sr(1−z)Cax)TiyO1y+1は。 T盪Ot 49.5〜50,5モル畳。 CaC0,15,5〜26.0%Al&。 SrCO324,0〜34.5モル鳴 (但L0.99≦(5rCO,+ Cm co、 )
/ T ion≦1.01)で生成されたものである特
許請求の範囲第2項又は第3項記載の半導体磁器コンデ
ンサ素体の製造方法。 151 CaTi0.及び5rTi01を(Sr (
1−z ) Cax )’flyO,y+1(但し、x
−0,3] 〜0.52 、 y = 0.99〜1
.0’lテ&る)K換算して95.50〜99.94−
T−ル鳴と、 CeO,、La10g、WO,、Gd、ol、 y、o
、、及びDY*Osのうちの少なくとも一種の金ll4
flt化物を0.OJ〜2.000モル畳。 CuO、Mn01.B110H1及びpboの5ちの少
なくとも一種の金属酸化物を0.05〜2.500モル
畳。 有機バインダと。 から成る混合物を所定寸@に成形すること。 次に、前記成形によって得た成形物を還元性又は中性雰
囲気で焼成して半導体磁器とすること。 次に、前記半導体磁器を酸化性雰囲気で熱処理yること
。 を含む半導体磁器コンデンヤ素体の製造方法。 +63 ill記焼成G21350”C−3450℃
KJ7b焼成であり、前記−処□理は大気中950 ’
IC’〜1250Tの熱処理である特許請求の範11J
I5項記載の半導体磁器コンデンサ素体の製造方@。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56119514A JPS5821312A (ja) | 1981-07-29 | 1981-07-29 | 半導体磁器コンデンサ素体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56119514A JPS5821312A (ja) | 1981-07-29 | 1981-07-29 | 半導体磁器コンデンサ素体及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5821312A true JPS5821312A (ja) | 1983-02-08 |
JPS6312372B2 JPS6312372B2 (ja) | 1988-03-18 |
Family
ID=14763149
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56119514A Granted JPS5821312A (ja) | 1981-07-29 | 1981-07-29 | 半導体磁器コンデンサ素体及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5821312A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012171852A (ja) * | 2011-02-24 | 2012-09-10 | Murata Mfg Co Ltd | 粒界絶縁型半導体セラミック、半導体セラミックコンデンサ、及び半導体セラミックコンデンサの製造方法 |
-
1981
- 1981-07-29 JP JP56119514A patent/JPS5821312A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012171852A (ja) * | 2011-02-24 | 2012-09-10 | Murata Mfg Co Ltd | 粒界絶縁型半導体セラミック、半導体セラミックコンデンサ、及び半導体セラミックコンデンサの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6312372B2 (ja) | 1988-03-18 |
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