JPS58210511A - 光干渉計 - Google Patents
光干渉計Info
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- JPS58210511A JPS58210511A JP9377382A JP9377382A JPS58210511A JP S58210511 A JPS58210511 A JP S58210511A JP 9377382 A JP9377382 A JP 9377382A JP 9377382 A JP9377382 A JP 9377382A JP S58210511 A JPS58210511 A JP S58210511A
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- Japan
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- light
- optical
- acousto
- optical path
- optic element
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/58—Turn-sensitive devices without moving masses
- G01C19/64—Gyrometers using the Sagnac effect, i.e. rotation-induced shifts between counter-rotating electromagnetic beams
- G01C19/72—Gyrometers using the Sagnac effect, i.e. rotation-induced shifts between counter-rotating electromagnetic beams with counter-rotating light beams in a passive ring, e.g. fibre laser gyrometers
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- Lasers (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は例えば光フアイバージャイロスコープ等とし
て利用できる光干渉計に関し、特に製造が容易で安定し
て動作する光干渉計を提供しようとするものである。
て利用できる光干渉計に関し、特に製造が容易で安定し
て動作する光干渉計を提供しようとするものである。
〈従来技術の説明〉
第1図に従来の光干渉計を利用した光フアイバージャイ
ロスコープの構造を示す。図中1は例えばレーザ光のよ
うな光を出射する光源、2は光分配結合器、3.3’は
例えばモリブデン酸鉛(PbMo04)のような材料で
作られた音響光学素子、4.4′は超音波トランスデユ
ーサ、5.5′は集光器、6は光学路である。この光学
路6は例えば光ファイバのような固体によって構成する
ことができ光ファイバが作る面に垂直な軸まわシに角速
度が与えられると光ファイバを通過する光の位相が変化
するように一面上にループを描くように配置される1、 6′、6“は光学路6の端面、7は光検出器、11〜1
6は光を示す。
ロスコープの構造を示す。図中1は例えばレーザ光のよ
うな光を出射する光源、2は光分配結合器、3.3’は
例えばモリブデン酸鉛(PbMo04)のような材料で
作られた音響光学素子、4.4′は超音波トランスデユ
ーサ、5.5′は集光器、6は光学路である。この光学
路6は例えば光ファイバのような固体によって構成する
ことができ光ファイバが作る面に垂直な軸まわシに角速
度が与えられると光ファイバを通過する光の位相が変化
するように一面上にループを描くように配置される1、 6′、6“は光学路6の端面、7は光検出器、11〜1
6は光を示す。
〈第1図の動作説明〉
光源1から出た光11は光分配結合器2によって一部は
反射され、他の一部は透過し2つの光12と13に分配
される。分配された2つの分配光12と13の何れか一
方、図の例では12を音響光学素子3に入射させる。音
響光学素子3には超音波トランスデユーサ4が取付けら
れ、音響光学素子3を励振している。この励振周波数は
例えば80MHzを中心に例えば数KHz程度の繰返し
周波数で周波数変調が掛けられているものとする。周波
数変調の最大周波数偏移は±1. MH2程度とする。
反射され、他の一部は透過し2つの光12と13に分配
される。分配された2つの分配光12と13の何れか一
方、図の例では12を音響光学素子3に入射させる。音
響光学素子3には超音波トランスデユーサ4が取付けら
れ、音響光学素子3を励振している。この励振周波数は
例えば80MHzを中心に例えば数KHz程度の繰返し
周波数で周波数変調が掛けられているものとする。周波
数変調の最大周波数偏移は±1. MH2程度とする。
超音波トランスデユーサ4の励振により音響光学素子3
を透過する光12はブラッグ条件を満すときに回折され
、第2図に示すように光12そのものの周波数foを持
つ0次光120と、超音波の周波数fたけ周波数偏移し
た一次光121と、超音波の2倍の周波数2fだけ周波
数偏移した二次光12gと、・・・・・・・・・、超音
波のn倍の周波数nfだけ周波数偏移したn次光12n
と処分光される。ここでは超音波の周波数だけ周波数偏
移した一次光12.だけを集光器5によって集光し、光
学路6の一端6′に入射させる。図の例では光学路6を
左回シの方向に回シ、他端6“から出射され、集光器5
′によって平行光に変換され、音響光学素子3′に入射
される。音響光学素子3′は超音波トランスデユーサ4
′によシ第1超音波トランスデユーサ4の励振周波数と
同等の例えば80MHz程度の周波数で励振され、その
励振によシここでも第2図で説明した一次光を取出す。
を透過する光12はブラッグ条件を満すときに回折され
、第2図に示すように光12そのものの周波数foを持
つ0次光120と、超音波の周波数fたけ周波数偏移し
た一次光121と、超音波の2倍の周波数2fだけ周波
数偏移した二次光12gと、・・・・・・・・・、超音
波のn倍の周波数nfだけ周波数偏移したn次光12n
と処分光される。ここでは超音波の周波数だけ周波数偏
移した一次光12.だけを集光器5によって集光し、光
学路6の一端6′に入射させる。図の例では光学路6を
左回シの方向に回シ、他端6“から出射され、集光器5
′によって平行光に変換され、音響光学素子3′に入射
される。音響光学素子3′は超音波トランスデユーサ4
′によシ第1超音波トランスデユーサ4の励振周波数と
同等の例えば80MHz程度の周波数で励振され、その
励振によシここでも第2図で説明した一次光を取出す。
この−次光を第1図ではこれを符号14で示す。−次光
14は光分配結合器2で反射され光検出器7に入射され
る。
14は光分配結合器2で反射され光検出器7に入射され
る。
一方光源1から出された光11の中で光分配結合器2を
透過した光13は第2音響光学素子3′に入射され、第
2超音波トランスデユーサ4′の励振によシー次光13
1を取出し、その−次光131を集光器5′で集光して
光学路6の端面6“に入射さiる。この光131は光学
路6を右回シに通過し、端面6′から出射される。この
出射光は集光器5によシ平行光に変換され、第1音響光
学素子3に入射される。
透過した光13は第2音響光学素子3′に入射され、第
2超音波トランスデユーサ4′の励振によシー次光13
1を取出し、その−次光131を集光器5′で集光して
光学路6の端面6“に入射さiる。この光131は光学
路6を右回シに通過し、端面6′から出射される。この
出射光は集光器5によシ平行光に変換され、第1音響光
学素子3に入射される。
第1音響光学素子3は第1超音波トランスデユーサ4に
より励振されているから、その励振によシ光は回、折さ
れて一次光15が取出される。光分配結合器2を透過し
光14と結合して光16となシ干渉縞を形成して光検出
器7に入射される。
より励振されているから、その励振によシ光は回、折さ
れて一次光15が取出される。光分配結合器2を透過し
光14と結合して光16となシ干渉縞を形成して光検出
器7に入射される。
く角速度の測定方法に関する説明〉
上述の光干渉計を光フアイバージャイロスコープとして
利用するには上記したように第1超音波トクンスデユー
サ4の励振周波数を周波数変調すると共に、光検出器7
の出力側圧ロックインアンプ8を設け、ロックインアン
プ8により超音波周波数の変調周波数、を基準信号とす
る位相検波を行なう、この位相検波出力によりVCO9
の発振周波数を制御し、VCO9の発振信号により第2
超音波トランスデユーサ4′を励振し、ロックインアン
プ8の位相検波出力が常にゼロとなるように動作する制
御ループを構成する。
利用するには上記したように第1超音波トクンスデユー
サ4の励振周波数を周波数変調すると共に、光検出器7
の出力側圧ロックインアンプ8を設け、ロックインアン
プ8により超音波周波数の変調周波数、を基準信号とす
る位相検波を行なう、この位相検波出力によりVCO9
の発振周波数を制御し、VCO9の発振信号により第2
超音波トランスデユーサ4′を励振し、ロックインアン
プ8の位相検波出力が常にゼロとなるように動作する制
御ループを構成する。
このような構成において光学路6が作る面に垂直な軸ま
わシに角速度が与えられると光学路6を右回シと、左回
りに透過している光の間にSagnac効果で知られる
ように位相差を生じる。この位相差によシ光検出器7の
出力信号の波形が変化し、ロックインアンプ8から位相
検波出力が発生する。
わシに角速度が与えられると光学路6を右回シと、左回
りに透過している光の間にSagnac効果で知られる
ように位相差を生じる。この位相差によシ光検出器7の
出力信号の波形が変化し、ロックインアンプ8から位相
検波出力が発生する。
この位相検波出力によfi VCO9の発振周波数を制
御し、ロックインアンプ8の位相検波出力がゼロとなる
よう罠制御する−1 よって光学路6が作る面と垂直な軸まわシに角速度が与
えられている間はVCO9の発掘周波数は基準周波数か
ら偏移する。その偏移量は角速度に比例し、また偏移方
向によp角速度の方向を知ることができる。従ってVC
O9の発掘周波数を監視することによυ角速度を測定す
ることができる。
御し、ロックインアンプ8の位相検波出力がゼロとなる
よう罠制御する−1 よって光学路6が作る面と垂直な軸まわシに角速度が与
えられている間はVCO9の発掘周波数は基準周波数か
ら偏移する。その偏移量は角速度に比例し、また偏移方
向によp角速度の方向を知ることができる。従ってVC
O9の発掘周波数を監視することによυ角速度を測定す
ることができる。
〈従来技術の欠点〉
以上により従来使われている光干渉計の構造及びその大
略の動作が理解できよう。ところで従来の光干渉計は光
源1と光分配結合器2の間、光分配結合器2と第1.第
2音響光学素子3及び3′の各間、音響光学素子3.3
′と集光器5及び5′の各間、集光器5及び5′と光学
路6の各端面6′、6“との各間、光分配結合器2と光
検出器7との間に全て空気が存在する構造となっている
。従って(1)各構成部品間を伝播する光は空気のゆる
ぎの影響を受け、測定囮差の原因となる。
略の動作が理解できよう。ところで従来の光干渉計は光
源1と光分配結合器2の間、光分配結合器2と第1.第
2音響光学素子3及び3′の各間、音響光学素子3.3
′と集光器5及び5′の各間、集光器5及び5′と光学
路6の各端面6′、6“との各間、光分配結合器2と光
検出器7との間に全て空気が存在する構造となっている
。従って(1)各構成部品間を伝播する光は空気のゆる
ぎの影響を受け、測定囮差の原因となる。
(2)各構成部品の位置は精度よく配置しなければなら
ない。特に光学路6は光ファイバによル構成するため光
の入射位置を精密に調整しなくてはならない。また調整
した後も温度変化、振動等で各構成部品の位置が動き測
定誤差が発生するっ (3)更に、各構成部品の間に空間が存在し小形化がむ
ずかしい。
ない。特に光学路6は光ファイバによル構成するため光
の入射位置を精密に調整しなくてはならない。また調整
した後も温度変化、振動等で各構成部品の位置が動き測
定誤差が発生するっ (3)更に、各構成部品の間に空間が存在し小形化がむ
ずかしい。
(4)各構成部品の端面における反射をなくすか、或は
反射を少なくするために反射防止膜を付けなくてはなら
ないためコスト上昇を招く。
反射を少なくするために反射防止膜を付けなくてはなら
ないためコスト上昇を招く。
〈発明の目的〉
この発明では上記した(1)〜(4)の欠点を一掃し、
製造が容易で安定に動作する光干渉計を提供しようとす
るものである。
製造が容易で安定に動作する光干渉計を提供しようとす
るものである。
〈発明の概要〉
この発明は第1図で説明した光干渉計において、各構成
部品の間を固体光学素子によって連結し、光が空気中を
伝播することのない構造としたものである。
部品の間を固体光学素子によって連結し、光が空気中を
伝播することのない構造としたものである。
〈発明の実施例〉
第3図にこの発明の一実施例を示す7.この例では音響
光学素子53及び53′を光源51に接する位置まで延
長すると共に集光器55.55’に接するようにも延長
し、光源51と光学路56の端面56′及び56″の間
及び光学路56の端面56’ 、 56″と光検出器5
7との間において光は全て音響光学素子53及び53′
によって構成された個体光学素子の中を伝播するように
構成したものである。
光学素子53及び53′を光源51に接する位置まで延
長すると共に集光器55.55’に接するようにも延長
し、光源51と光学路56の端面56′及び56″の間
及び光学路56の端面56’ 、 56″と光検出器5
7との間において光は全て音響光学素子53及び53′
によって構成された個体光学素子の中を伝播するように
構成したものである。
つまり第1音響光学素子53をほぼ3角形状に形成し、
その一つの面aに光源51と第1超音波トランスデユー
サ54を取付ける。光源51は光を平行光にする光学部
品を具備し、その光学部品の一端が本来の光源に向けら
れ、他端を音響光学素子53に接着する。光を平行光に
する光学部品としては例えば集束性ロッドレンズ或はシ
リンドリカルレンズがある。
その一つの面aに光源51と第1超音波トランスデユー
サ54を取付ける。光源51は光を平行光にする光学部
品を具備し、その光学部品の一端が本来の光源に向けら
れ、他端を音響光学素子53に接着する。光を平行光に
する光学部品としては例えば集束性ロッドレンズ或はシ
リンドリカルレンズがある。
光分配結合器52は音響光学素子53と53′を接着し
た境界面に金属膜または誘電体膜等を付けて作ることが
できる。光源51から出射した光61は第1音響光学素
子53の面aに垂直に入射し、第1及び第2音響光学素
子53と53′の接合面によって形成した光分配結合器
52により反射光62と透過光66とに2分される。2
分された分配光62と66は超音波トランスデユー゛す
54と54′による励振領域を透過して音響光学素子5
3と53′の端面すとdに達する。
た境界面に金属膜または誘電体膜等を付けて作ることが
できる。光源51から出射した光61は第1音響光学素
子53の面aに垂直に入射し、第1及び第2音響光学素
子53と53′の接合面によって形成した光分配結合器
52により反射光62と透過光66とに2分される。2
分された分配光62と66は超音波トランスデユー゛す
54と54′による励振領域を透過して音響光学素子5
3と53′の端面すとdに達する。
音響光学素子53と53′各端面すとdKは集光器55
と55′が接着される。
と55′が接着される。
光分配結合器52と第1音響光学素子53の一面aとの
なす角αは、面aに垂直に入射した光61が光分配結合
器52で反射された後、超音波の波面とのなす角βがブ
ラッグ角を満すようK例えばα=(45°−L)に設定
する。ここでブラッグ角βは次の式で与えられる。
なす角αは、面aに垂直に入射した光61が光分配結合
器52で反射された後、超音波の波面とのなす角βがブ
ラッグ角を満すようK例えばα=(45°−L)に設定
する。ここでブラッグ角βは次の式で与えられる。
龜β=fλ/2vn ・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・(
1)n:音響光学素子53の屈折率、v:音響光学素子
53中の音速、f:超音波の周波数、λ:光の真空中の
波長、−例として音響光学素子にモリブデン酸鉛(Pb
MOO4)をつかい周波数80MHzの超音波で動作さ
せ、波長820ナノメートルの光を回折する時のブラッ
グ角は式(1)に、n中2.38 、 v = 3.6
3 xlQ”m/8.λ=820 X 10 ” m
、 f = 80X10’を代入して、 β中0.218゜ が得られる。
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・(
1)n:音響光学素子53の屈折率、v:音響光学素子
53中の音速、f:超音波の周波数、λ:光の真空中の
波長、−例として音響光学素子にモリブデン酸鉛(Pb
MOO4)をつかい周波数80MHzの超音波で動作さ
せ、波長820ナノメートルの光を回折する時のブラッ
グ角は式(1)に、n中2.38 、 v = 3.6
3 xlQ”m/8.λ=820 X 10 ” m
、 f = 80X10’を代入して、 β中0.218゜ が得られる。
超音波で回折された光のうち超音波の周波数だけ周波数
偏移した1次光63は超音波の波面とβの角をなす方向
に進み音響光学素子53の一面bK達し、集光器55で
集光されて光学路の一端56′から光学路56に入射す
る。集光器55と光学路56の位置関係は、一般的に光
が集光器の端面に垂直に入射した時、光学路56に入射
する光の結合効率が最大になるように調整されているの
で、光学路56に入射する光の結合効率をあげるために
集光器55の傾き、位置を調整するが、その調整を簡単
にするために、音響光学素子53の面aと面すのなす角
rを(90°−β)にする。
偏移した1次光63は超音波の波面とβの角をなす方向
に進み音響光学素子53の一面bK達し、集光器55で
集光されて光学路の一端56′から光学路56に入射す
る。集光器55と光学路56の位置関係は、一般的に光
が集光器の端面に垂直に入射した時、光学路56に入射
する光の結合効率が最大になるように調整されているの
で、光学路56に入射する光の結合効率をあげるために
集光器55の傾き、位置を調整するが、その調整を簡単
にするために、音響光学素子53の面aと面すのなす角
rを(90°−β)にする。
このように角rを決定すると、集光器55の一端面(集
光器の光軸に垂直な面)を音響光学素子53の−面すに
密着させ、位置だけを調整すればよく、傾きの調整は不
要となる。集光器55の一例として集束性ロッドレンズ
がある。
光器の光軸に垂直な面)を音響光学素子53の−面すに
密着させ、位置だけを調整すればよく、傾きの調整は不
要となる。集光器55の一例として集束性ロッドレンズ
がある。
一方、光分配結合器52を透過した光66は、第2超音
波トランスデユーサ54′によって発生した超音波によ
って回折され、第2音響光学素子54′の一面dK達し
、集光器55′によって光学路56の他端56“から光
学路56に入射する。光分配結合器52を透過した光6
6が超音波の波面となす角β′がブラッグ角となるよう
に音響光学素子53′の面Cと53の面aのなす角(α
+δ)を(90’−I)にする。光ファイバに入射する
光の結合効率をあげ、かつ調整を容易にするために前記
のように音響光学素子53′の面Cと面dのなす角−を
(9o0−β′)にすればよい。ここにブラッグ角β′
は前記のブラッグ角βと同様、式(1)から導びかれる
が、第1と第2超音波トランスデユーサ54.54’に
与えられる超音波の周波数が異なればβNβ′となる。
波トランスデユーサ54′によって発生した超音波によ
って回折され、第2音響光学素子54′の一面dK達し
、集光器55′によって光学路56の他端56“から光
学路56に入射する。光分配結合器52を透過した光6
6が超音波の波面となす角β′がブラッグ角となるよう
に音響光学素子53′の面Cと53の面aのなす角(α
+δ)を(90’−I)にする。光ファイバに入射する
光の結合効率をあげ、かつ調整を容易にするために前記
のように音響光学素子53′の面Cと面dのなす角−を
(9o0−β′)にすればよい。ここにブラッグ角β′
は前記のブラッグ角βと同様、式(1)から導びかれる
が、第1と第2超音波トランスデユーサ54.54’に
与えられる超音波の周波数が異なればβNβ′となる。
第2図で説明したように音響光学素子3を直接通シぬけ
た光を0次光、超音波で回折された光を1次光、2次光
、・・・・・・・・・ というが、必要とする光は超音
波の周波数だけ周波数偏移した1次光だけである。1次
光と0次光、および1次光と2次光′以上の高次光とは
集光器55 、55’ K入射する角度が異なっている
ため、集光器及び光学路56への入射特性によって分離
できる。よって光学路56には必要な1次光だけが入射
する。
た光を0次光、超音波で回折された光を1次光、2次光
、・・・・・・・・・ というが、必要とする光は超音
波の周波数だけ周波数偏移した1次光だけである。1次
光と0次光、および1次光と2次光′以上の高次光とは
集光器55 、55’ K入射する角度が異なっている
ため、集光器及び光学路56への入射特性によって分離
できる。よって光学路56には必要な1次光だけが入射
する。
1例として集光器55又は55′として1/4ピツチの
集束性ロッドレンズを用い、光学路56に単一モード光
ファイバを使った場合を考える。このような場合第4図
に示すように、1次光121が集束性ロッドレンズ55
又は55′の光軸に千行く入射するように配置されてい
ると、0次光12oは光軸に対して2βの角度で入射す
ることになる。ここでβは前記のブラッグ角である。
集束性ロッドレンズを用い、光学路56に単一モード光
ファイバを使った場合を考える。このような場合第4図
に示すように、1次光121が集束性ロッドレンズ55
又は55′の光軸に千行く入射するように配置されてい
ると、0次光12oは光軸に対して2βの角度で入射す
ることになる。ここでβは前記のブラッグ角である。
つtシ第5図Aに示すように1/4ピツチの集束性ロッ
ドレンズ55又は55′の光軸に対してdlの位置ずれ
とθ1の角度ずれをもった光P1が入射し、同図Bに示
すようにd、の位置ずれとθ茸の角度ずれをもつ光P2
が出射する場合、これらの関係は次のようKなる。
ドレンズ55又は55′の光軸に対してdlの位置ずれ
とθ1の角度ずれをもった光P1が入射し、同図Bに示
すようにd、の位置ずれとθ茸の角度ずれをもつ光P2
が出射する場合、これらの関係は次のようKなる。
θ!= n64 al ・曲曲曲・・曲・
・・・・・叩・(3)ここで、no:光軸上の屈折率 A:屈折率分布定数 1次光は、光軸上に焦点を結ぶが、0次光は式(2)%
式% ム=t O,287(mm−’ ) を代入すること
によって光軸から17A1mll#れたところに焦点を
結ぶ。
・・・・・叩・(3)ここで、no:光軸上の屈折率 A:屈折率分布定数 1次光は、光軸上に焦点を結ぶが、0次光は式(2)%
式% ム=t O,287(mm−’ ) を代入すること
によって光軸から17A1mll#れたところに焦点を
結ぶ。
単一モード光ファイバのコア径は通常10 pm以下で
あるので1次光が光学路56の端面56’ 、 56“
に入射するように調整されていると、0次光は入射でき
ない。また2次光以上の高次光についても同じことがい
え、光学路56に入射できない。
あるので1次光が光学路56の端面56’ 、 56“
に入射するように調整されていると、0次光は入射でき
ない。また2次光以上の高次光についても同じことがい
え、光学路56に入射できない。
光学路56の両端面56’ 、 56“に入射した光は
、光学路56中を互いに反対方向にまわって他端面から
出射して集束性ロッドレンズによって平行光となシ音響
光学素子53.53’に入射し、超音波によって回折さ
れ、光分配結合器52で再結合する。この時光学路56
から出てきた光が超音波で回折されると1次光、2次光
9曲・曲 となるが、回折されずに直接通りぬけた0次
光と、1次光は光分配結器52に異なる角度で入射する
ため分離できる。2次光以上の高次光についても1次光
と異なる角度で入射するため、1次光と分離できる。
、光学路56中を互いに反対方向にまわって他端面から
出射して集束性ロッドレンズによって平行光となシ音響
光学素子53.53’に入射し、超音波によって回折さ
れ、光分配結合器52で再結合する。この時光学路56
から出てきた光が超音波で回折されると1次光、2次光
9曲・曲 となるが、回折されずに直接通りぬけた0次
光と、1次光は光分配結器52に異なる角度で入射する
ため分離できる。2次光以上の高次光についても1次光
と異なる角度で入射するため、1次光と分離できる。
第3図のように1つの固体内に超音波を2つ伝搬させる
ため超音波の直接波あるいは反射波によって他の光や超
音波に影響を与えるおそれがある。
ため超音波の直接波あるいは反射波によって他の光や超
音波に影響を与えるおそれがある。
これらを防ぐために第3図の例では超音波が他の超音波
にあたる前に、超音波の進行方向とある角度をなす面を
おき、かつ反射波も光路や他方の超音波の方に行かない
ように音響光学素子53 、53’の形状を選定してい
る。
にあたる前に、超音波の進行方向とある角度をなす面を
おき、かつ反射波も光路や他方の超音波の方に行かない
ように音響光学素子53 、53’の形状を選定してい
る。
また他の方法としては、超音波があたる面に無反射層を
設けて反射をなくす方法もある。
設けて反射をなくす方法もある。
〈発明の他の実施例〉
尚上述では光フアイバージャイロスコープについて説明
したが、光分配結合器によシ、分割した2分光に、異な
る位相変化を与えるような物理現象ならば他にも使用で
きる。
したが、光分配結合器によシ、分割した2分光に、異な
る位相変化を与えるような物理現象ならば他にも使用で
きる。
また上述では二つの超音波トランスデユーサ54゜54
′を使用した利金説明したが、超音波トランスデューサ
54′を省、略することもできる。この場合にはブラッ
グ角β′をOとするように角δ及び虐を決定すればよい
。また光検出器7の検出信号はロックインアンプによっ
て位相検波し、その位相検波出力を第1超音波トランス
デユーサ54を励振するVCO(特に図示しない)に与
え、第1超音波トランスデユーサ54.の周波数変調の
中心周波数を位相検波出力により周波数備移させるよう
に制御ループを構成すればよい。そしてその、中心周波
数の偏移量と偏移方向とによシ浄速度とその方向を測定
することができる。
′を使用した利金説明したが、超音波トランスデューサ
54′を省、略することもできる。この場合にはブラッ
グ角β′をOとするように角δ及び虐を決定すればよい
。また光検出器7の検出信号はロックインアンプによっ
て位相検波し、その位相検波出力を第1超音波トランス
デユーサ54を励振するVCO(特に図示しない)に与
え、第1超音波トランスデユーサ54.の周波数変調の
中心周波数を位相検波出力により周波数備移させるよう
に制御ループを構成すればよい。そしてその、中心周波
数の偏移量と偏移方向とによシ浄速度とその方向を測定
することができる。
また上述では音響光学素子53 、53’によって各4
1@成部品間に個体光学通路を形成し、たが、音響光学
素子は第1図に示した構造とし、各構成部品間に例えば
ガラスのような固体光学素子を挿入する構造とすること
もできろ。この場合も2つの固体光学素子の境界面によ
、り光分配結合器を構成することができる。
1@成部品間に個体光学通路を形成し、たが、音響光学
素子は第1図に示した構造とし、各構成部品間に例えば
ガラスのような固体光学素子を挿入する構造とすること
もできろ。この場合も2つの固体光学素子の境界面によ
、り光分配結合器を構成することができる。
尚上述では集光器55 、55’に対して光学素子53
゜53′からの出射角及び入射角を丁度90°となるよ
うに角αlT、δ、−を選定したが、他の方法として角
α、δを45@、re’を90″に選定し、これに代え
て光学素子53 、53’からの出射角及び入射角を9
0°以外となるように選定してもよい。
゜53′からの出射角及び入射角を丁度90°となるよ
うに角αlT、δ、−を選定したが、他の方法として角
α、δを45@、re’を90″に選定し、これに代え
て光学素子53 、53’からの出射角及び入射角を9
0°以外となるように選定してもよい。
また上述では光検出器57を音響光学素子53′に直接
接着したが、光検出器57は必ずしもその必要はなく、
音響光学素子53′から離して配置してもよい。
接着したが、光検出器57は必ずしもその必要はなく、
音響光学素子53′から離して配置してもよい。
〈発明の効果〉
以上述べた構成から明らかなように光源51から出た光
61は固体内を通って光学路56に入射するので空気の
ゆらぎ等の影響を受けない。よって安定に動作し然も精
度が高い光干渉計を得ることができる。
61は固体内を通って光学路56に入射するので空気の
ゆらぎ等の影響を受けない。よって安定に動作し然も精
度が高い光干渉計を得ることができる。
また、音響光学素子53.53’の各面のなす角(α+
δ)+rm’を適当にえらぶことによって、光学路56
に光を入れる時の調整が簡単にできる。
δ)+rm’を適当にえらぶことによって、光学路56
に光を入れる時の調整が簡単にできる。
また、各構成部品は全て音響光学素子のような固体光学
素子に接着されているので、一度調整すると温度、振動
等による変動を受けにくい。
素子に接着されているので、一度調整すると温度、振動
等による変動を受けにくい。
また各構成部品が密着しているので小さくできる利点が
得られ、よって小形でも安定に動作し、精度が高い光干
渉計を得ることができる。
得られ、よって小形でも安定に動作し、精度が高い光干
渉計を得ることができる。
また各構成部品間の空気層を用いたことによって境界面
の数が減少し反射防止膜の数を少なくできコストダウン
が期待できる。
の数が減少し反射防止膜の数を少なくできコストダウン
が期待できる。
第1図は従来の光干渉計の構造を説明するための平面図
、第2図は音響光学素子の動作を説明するための平面図
、第3図はこの発明の一実施例を示す平面図、第4図は
集束性ロッドレンズによる光の集束状況を説明するため
の図、第5図は集束性ロッドレンズによる光の位置すれ
と角度ずれの関係を説明するための図である。 51:光源、52:光分配結合器、53 、 sa′:
音響光学素子、54.54’:超音波トランスデユーサ
、55 、 ss’ :集光器、56:光学路、57:
光検出器。 特許出願人 日本航空電子工業株式会社代理人草野
卓
、第2図は音響光学素子の動作を説明するための平面図
、第3図はこの発明の一実施例を示す平面図、第4図は
集束性ロッドレンズによる光の集束状況を説明するため
の図、第5図は集束性ロッドレンズによる光の位置すれ
と角度ずれの関係を説明するための図である。 51:光源、52:光分配結合器、53 、 sa′:
音響光学素子、54.54’:超音波トランスデユーサ
、55 、 ss’ :集光器、56:光学路、57:
光検出器。 特許出願人 日本航空電子工業株式会社代理人草野
卓
Claims (1)
- (1)光源からの光を光分配結合器により2分し、その
内の少なくとも一方の分配光を音響光学素子によシ周波
数変調し、光に位相量変化を起させる物量的影響下にあ
る固体から成る光学路の一端に与えると共に他方の分配
光をこの光学路の他端に入射し光学路を互に逆向に通っ
て両端から出射させ、その出射光を上記光分配結合器に
より再結合させ互に干渉させるようにした光干渉計にお
いて、上記光源と光分配結合器の間及び光分配結合器と
音響光学素子の間、音響光学素子と上記光学路との間の
光学路を全て固体光学素子によって構成して成る光干渉
計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9377382A JPS58210511A (ja) | 1982-05-31 | 1982-05-31 | 光干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9377382A JPS58210511A (ja) | 1982-05-31 | 1982-05-31 | 光干渉計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58210511A true JPS58210511A (ja) | 1983-12-07 |
JPH0262803B2 JPH0262803B2 (ja) | 1990-12-26 |
Family
ID=14091736
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9377382A Granted JPS58210511A (ja) | 1982-05-31 | 1982-05-31 | 光干渉計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58210511A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58215504A (ja) * | 1982-06-09 | 1983-12-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバジヤイロ |
JPS58216908A (ja) * | 1982-06-10 | 1983-12-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバジヤイロ |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5694680A (en) * | 1979-12-14 | 1981-07-31 | Thomson Csf | Method and device for modulating phase |
-
1982
- 1982-05-31 JP JP9377382A patent/JPS58210511A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5694680A (en) * | 1979-12-14 | 1981-07-31 | Thomson Csf | Method and device for modulating phase |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58215504A (ja) * | 1982-06-09 | 1983-12-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバジヤイロ |
JPS6348283B2 (ja) * | 1982-06-09 | 1988-09-28 | Sumitomo Electric Industries | |
JPS58216908A (ja) * | 1982-06-10 | 1983-12-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバジヤイロ |
JPS6348003B2 (ja) * | 1982-06-10 | 1988-09-27 | Sumitomo Electric Industries |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0262803B2 (ja) | 1990-12-26 |
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