JPS58208711A - 多層膜反射鏡 - Google Patents
多層膜反射鏡Info
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- JPS58208711A JPS58208711A JP57091368A JP9136882A JPS58208711A JP S58208711 A JPS58208711 A JP S58208711A JP 57091368 A JP57091368 A JP 57091368A JP 9136882 A JP9136882 A JP 9136882A JP S58208711 A JPS58208711 A JP S58208711A
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- multilayer
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- organic polymer
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- G02B5/285—Interference filters comprising deposited thin solid films
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- G02B1/105—
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/14—Protective coatings, e.g. hard coatings
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/0816—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
- G02B5/0825—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers the reflecting layers comprising dielectric materials only
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
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- G02B5/00—Optical elements other than lenses
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- G02B5/0825—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers the reflecting layers comprising dielectric materials only
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
不発明は真空蒸着、スパッタリング或いはイオンプレー
テングなどの真壁めっき法による光学的多層反射被膜と
塗装法平印刷法による有機高分子膜を被着して成る反射
鏡で自勤車片、室内用、化粧用又は内，外装建材用に通
用するものである。
テングなどの真壁めっき法による光学的多層反射被膜と
塗装法平印刷法による有機高分子膜を被着して成る反射
鏡で自勤車片、室内用、化粧用又は内，外装建材用に通
用するものである。
従来自動車用灯具の反射鏡ヤ後写鋭などや家庭の化粧用
の銑類は第１図（イ）及び（口）の断面図に示すように
、録（Ａｇ ）とかアルミニューム（１）或いはクロー
ム（Ｃｒ）等の単金属なｉ＝ａ面上に化学めっき法或は
真空めっき法により被着している。即ち。
の銑類は第１図（イ）及び（口）の断面図に示すように
、録（Ａｇ ）とかアルミニューム（１）或いはクロー
ム（Ｃｒ）等の単金属なｉ＝ａ面上に化学めっき法或は
真空めっき法により被着している。即ち。
図（イ）に示す如く、基材ａのガラス又は透明プラスチ
ックの裏面にＡｇ 、 Ａｌ又はＣｒ等の金属反射膜ｂ
を形成し、更に保護塗膜Ｃを塗着して反射膜を保護する
如く構成している。又図（ロ）は基材ａの表面に前記金
属反射膜すを被着し、東に透光性保護膜ｄを塗層して表
面跳として使用する場合である。上記の従来の娩は比較
的容易に被膜形成が可能である。し力・し乍ら近年物に
自動車用後写銚には青色に着色した反射鏡か、特に欧州
では可成り石くから採用されて８つ、防眩効果やテサイ
ン性に於てすぐれている。この要求には前記の従来法で
は着色及び反射率に関して満足させることが困難である
。すなわち、前記従来の方法で青色の鋏を作成しようと
するならば図（イ）の場合の裏面鏡では透明なガラス又
はツーラスチック基材ａ目体に青色の染料（有機又は無
１’Ｊ）を混合して金属反射膜すからの反射光を膚色す
るか、あるいは図（ロ）の辰面銚のように逍光怪保眩膜
ｄに前記同様青色に着色せねはならず何れも東１？＋−
＋顔料の混入を心安とし、単元性染料の製造が困難で且
看色のバラツキか出ること、染料等の耐候性かよくな（
、しかも吸収かあり鮮やな色になり録い等の問題かある
っしかして従来光学機器関係の反射防止膜としてのレン
ズコーテングや干渉フィルターでは酸化物、弗化物又は
硫化物などの非金ｍ膜の多層膜か通用されており、光学
的効果を発揮していることはよく知られている。例えは
青色を呈する反射鏡はいわゆる上記の非金践膜の九の干
渉作用による干渉色を比、用したもので、この方江の反
射鏡か自動車への採用に遅わていたのは、敵討従来の金
属反射膜に比べでコスト高であり、且つ有色のために使
用範囲か眠られてくることの理由であると推定される。
ックの裏面にＡｇ 、 Ａｌ又はＣｒ等の金属反射膜ｂ
を形成し、更に保護塗膜Ｃを塗着して反射膜を保護する
如く構成している。又図（ロ）は基材ａの表面に前記金
属反射膜すを被着し、東に透光性保護膜ｄを塗層して表
面跳として使用する場合である。上記の従来の娩は比較
的容易に被膜形成が可能である。し力・し乍ら近年物に
自動車用後写銚には青色に着色した反射鏡か、特に欧州
では可成り石くから採用されて８つ、防眩効果やテサイ
ン性に於てすぐれている。この要求には前記の従来法で
は着色及び反射率に関して満足させることが困難である
。すなわち、前記従来の方法で青色の鋏を作成しようと
するならば図（イ）の場合の裏面鏡では透明なガラス又
はツーラスチック基材ａ目体に青色の染料（有機又は無
１’Ｊ）を混合して金属反射膜すからの反射光を膚色す
るか、あるいは図（ロ）の辰面銚のように逍光怪保眩膜
ｄに前記同様青色に着色せねはならず何れも東１？＋−
＋顔料の混入を心安とし、単元性染料の製造が困難で且
看色のバラツキか出ること、染料等の耐候性かよくな（
、しかも吸収かあり鮮やな色になり録い等の問題かある
っしかして従来光学機器関係の反射防止膜としてのレン
ズコーテングや干渉フィルターでは酸化物、弗化物又は
硫化物などの非金ｍ膜の多層膜か通用されており、光学
的効果を発揮していることはよく知られている。例えは
青色を呈する反射鏡はいわゆる上記の非金践膜の九の干
渉作用による干渉色を比、用したもので、この方江の反
射鏡か自動車への採用に遅わていたのは、敵討従来の金
属反射膜に比べでコスト高であり、且つ有色のために使
用範囲か眠られてくることの理由であると推定される。
しかし前記のように青色の銑は機能性が高く外観も炙し
℃・ことがら要求か高まっており、前記従来工法では得
られない色の精度と反射性を発揮し得るものである。
℃・ことがら要求か高まっており、前記従来工法では得
られない色の精度と反射性を発揮し得るものである。
一奴に前記非金属膜の生成の方法には１）真空蒸着法、
２）スパッタリンク法、３）イオンプレーテング法、４
）気相反応法、５）液相反応法、向、前記１）〜３）を
一般に「具空めつき法」と言う。
２）スパッタリンク法、３）イオンプレーテング法、４
）気相反応法、５）液相反応法、向、前記１）〜３）を
一般に「具空めつき法」と言う。
以上の糧知か知らｔており、 イａｊれも薄膜の生成に
利用されている。
利用されている。
例えは、従来第１図（ハ）に示す如く、近年ドイツ製例
えは、ショット社の鏡に見られる着色鏡は特に上記５）
の液相反応法と見られ、カラスａを液に浸漬して多ｒ−
膜ｅを両面に形成させｇの黒色塗膜を産着さセているが
詳細な方法は不明である。又。
えは、ショット社の鏡に見られる着色鏡は特に上記５）
の液相反応法と見られ、カラスａを液に浸漬して多ｒ−
膜ｅを両面に形成させｇの黒色塗膜を産着さセているが
詳細な方法は不明である。又。
同図に）は上記１）乃至３）の真空めっき法の多層膜ｆ
を形成させ同じく保禮膜ｇを塗層して？す、更に詳しく
は多層膜ｆは第１層ｆ１にはｉ’ Ｉ（Ｊ ２を、ｆ２
にＭｇＦ、を、そして第３のｆｎにｉ” ＋ ０２を形
成している例である。基本的には酸化物、フッ化物及び
硫化物等の谷薄膜はそれぞれ固有の屈折率を有し基板よ
り高い屈折率の単層膜で形成させた礪合膜の光学的厚さ
がλ／４（λは波長）の奇数倍となる波長位置で反射率
か最大となることが知られており。
を形成させ同じく保禮膜ｇを塗層して？す、更に詳しく
は多層膜ｆは第１層ｆ１にはｉ’ Ｉ（Ｊ ２を、ｆ２
にＭｇＦ、を、そして第３のｆｎにｉ” ＋ ０２を形
成している例である。基本的には酸化物、フッ化物及び
硫化物等の谷薄膜はそれぞれ固有の屈折率を有し基板よ
り高い屈折率の単層膜で形成させた礪合膜の光学的厚さ
がλ／４（λは波長）の奇数倍となる波長位置で反射率
か最大となることが知られており。
また単層ではあまり高い反射率か祷られないために、そ
の目的に応じて、光学的厚さの等しい高屈折率膜と低屈
折率膜とを交互に重ねて多層膜を形成させるものである
。又上記非金属膜は前記金属ｋ （Ａｇ等）に比べて吸
収の惨めて少ない透明体であるために有色の反射体とし
て利用するには伺ら・かの吸収体が必要であるために黒
色系の塗料による保＠膜ｇを塗着している。
の目的に応じて、光学的厚さの等しい高屈折率膜と低屈
折率膜とを交互に重ねて多層膜を形成させるものである
。又上記非金属膜は前記金属ｋ （Ａｇ等）に比べて吸
収の惨めて少ない透明体であるために有色の反射体とし
て利用するには伺ら・かの吸収体が必要であるために黒
色系の塗料による保＠膜ｇを塗着している。
前述のような従来の反射鏡では臀に後者の真空めっき法
の多層膜によるＴ ｒ Ｑ ２膜は保賎膜などの有機高
分子膜千プラスチックの基板、あるいは有機高分子膜で
処理さｔた基板と直接接する面との付着性が悪いため、
特に耐候性評価試験（サンシャインウェーザーテストや
天然曝露テスト）などで付着力か省化し笑用化か困難で
ある。この付着力改良のため上記１恢分子膜やフラスチ
ック自体の改質か要求されるか、コスト高となり技術的
にも容易でない。又従来例の液相反応法による図（））
の方法では膜質が無定形構造のため真壁めっき法に比し
軟質であるためキメもつきやすく、且つ屈折率か低いた
め反射率も低い上、浸漬により基材両側の被膜析出によ
り反射像が１像となる。又、これをさけるために裏面側
を除去して用いるとしても表面銚として使用することに
なり一寸したキズや付漕物があると色の変化が目立つ欠
点を有する。
の多層膜によるＴ ｒ Ｑ ２膜は保賎膜などの有機高
分子膜千プラスチックの基板、あるいは有機高分子膜で
処理さｔた基板と直接接する面との付着性が悪いため、
特に耐候性評価試験（サンシャインウェーザーテストや
天然曝露テスト）などで付着力か省化し笑用化か困難で
ある。この付着力改良のため上記１恢分子膜やフラスチ
ック自体の改質か要求されるか、コスト高となり技術的
にも容易でない。又従来例の液相反応法による図（））
の方法では膜質が無定形構造のため真壁めっき法に比し
軟質であるためキメもつきやすく、且つ屈折率か低いた
め反射率も低い上、浸漬により基材両側の被膜析出によ
り反射像が１像となる。又、これをさけるために裏面側
を除去して用いるとしても表面銚として使用することに
なり一寸したキズや付漕物があると色の変化が目立つ欠
点を有する。
上記の事情に鑑みてなされたもので１本発明は。
特に反射検層の付着力劣化を改良するとともに鏡面の耐
傷性を―」上させ、耐久性のある良質の多層膜反射鏡を
提供することを目的とするものである３、以下、不発明
の多層膜反射鏡の実施例について添付図面を参照して説
明する。第２図乃至第４図は本発明の実施例の反射榊の
一部拡大前面図である。第２図は基材をガラス、セラミ
ック又はプラスチックの透明材を裏面鏡とする場合で、
第３図の基材は前述の他金属材を含む表面鏡とする場合
である。
傷性を―」上させ、耐久性のある良質の多層膜反射鏡を
提供することを目的とするものである３、以下、不発明
の多層膜反射鏡の実施例について添付図面を参照して説
明する。第２図乃至第４図は本発明の実施例の反射榊の
一部拡大前面図である。第２図は基材をガラス、セラミ
ック又はプラスチックの透明材を裏面鏡とする場合で、
第３図の基材は前述の他金属材を含む表面鏡とする場合
である。
第２図（イ）に示す如く、基材Ｇは透明なカラス又はセ
ラミック材からなり、該基材Ｇに多層ＭＬを形成し、更
に該多層膜り上に安定酸化物膜Ａを積層して、そして有
機高分子の保護膜Ｃを塗着して多層膜反射鏡を構成して
いる。史にくわしく述べると基材Ｇのガラス面は光分に
洗浄されたクリーン面を有しこの面上に、′ｘ窒めつき
法などにより。
ラミック材からなり、該基材Ｇに多層ＭＬを形成し、更
に該多層膜り上に安定酸化物膜Ａを積層して、そして有
機高分子の保護膜Ｃを塗着して多層膜反射鏡を構成して
いる。史にくわしく述べると基材Ｇのガラス面は光分に
洗浄されたクリーン面を有しこの面上に、′ｘ窒めつき
法などにより。
高屈折率物質のＴｉ０ｚを基本としたものの単層又は少
（共最終層に’ｌ’ ｉ ０２を必す生成させるが他の
物質はＺｒＯ２、Ｃｅ０ｇ 、 ＺｎＳでもよい。又、
低屈折率物質はＡＡ’Ｆ６３Ｎａ 、ＭｇＦ２ 、 Ｃ
ｅＦ ＠又は５ｉＱｓ等でよくこれ等を前記法則により
最適膜厚になるように交互に積層することにより多層ｉ
Ｌを形成し、その上に更にＳｔＯ□又はＡ１２０ ｍ或
いは両者の混合物質から成る安定酸化物膜Ａを被着し、
更に有機高分子から成る不透光性の保護膜Ｃを塗着する
ことにより鏡面を形成する。この場合、安定酸化物膜Ａ
の膜厚は低屈折率膜としてλ／４やλ／２になるように
光学的膜厚を制御すれば尚有効であるが、要求される色
調、すなわち波長λや反射率により膜Ａの厚みは制約す
る心機はないので、結果的に多層膜の構成をしても適時
選択すれは良い。即ち。
（共最終層に’ｌ’ ｉ ０２を必す生成させるが他の
物質はＺｒＯ２、Ｃｅ０ｇ 、 ＺｎＳでもよい。又、
低屈折率物質はＡＡ’Ｆ６３Ｎａ 、ＭｇＦ２ 、 Ｃ
ｅＦ ＠又は５ｉＱｓ等でよくこれ等を前記法則により
最適膜厚になるように交互に積層することにより多層ｉ
Ｌを形成し、その上に更にＳｔＯ□又はＡ１２０ ｍ或
いは両者の混合物質から成る安定酸化物膜Ａを被着し、
更に有機高分子から成る不透光性の保護膜Ｃを塗着する
ことにより鏡面を形成する。この場合、安定酸化物膜Ａ
の膜厚は低屈折率膜としてλ／４やλ／２になるように
光学的膜厚を制御すれば尚有効であるが、要求される色
調、すなわち波長λや反射率により膜Ａの厚みは制約す
る心機はないので、結果的に多層膜の構成をしても適時
選択すれは良い。即ち。
Ｔ ｉ Ｏｓ層は頁機高分子質と直接コンタクトせず必
らずＳ ｉ ０２等の安定酸化物層を障壁として積層す
るものである。
らずＳ ｉ ０２等の安定酸化物層を障壁として積層す
るものである。
次に第２図（ロ）の実施例に於ては基材Ｐは透光性のプ
ラスチック材で例えばメタアクリル樹脂、ポリカーボネ
ート、ポリスチロール、メチルペンテン、ポリエーテル
サルホン等の透明樹脂ベース面上に（図示していないが
有機高分子系のアンダーコートを塗着することもある。
ラスチック材で例えばメタアクリル樹脂、ポリカーボネ
ート、ポリスチロール、メチルペンテン、ポリエーテル
サルホン等の透明樹脂ベース面上に（図示していないが
有機高分子系のアンダーコートを塗着することもある。
）第１層として前記安定酸化物膜Ａを被層させ次にＴ”
ｉ ０２を該酸化物膜Ａに直接コンタクトさせて形成
し、以後低屈折率物質と高屈折率物質を又互に積層して
多層膜りを形成させたものである。前述したことから明
らかなように、有機高分子たる基材Ｐの面と多層膜りの
第１層’ｒｉｕ、との間には、 ５ｉ（Ｊ２等の安定酸
化物膜Ａが障壁となって構成している。図（ハ）の実施
例では基材Ｐは図（ロ）の実施例と同じで（酸化物膜Ａ
）＋（第１層にＴｉＯ２と他の多層膜と最終層ＴｌＯ２
の多層膜Ｌ）＋（丹ひ酸化物膜Ａ）−）−（保護膜Ｃ）
の構成である。図に）実施例では同じく基材Ｐ上に多層
膜りを形成するに当り第１層はＴｉＯ２以外の物質とし
て最終層をＴｉ（Ｊ２として基材２面に接する第１ ｒ
ｆｊｉＯ膜はＴｌＯ２以外の酸化物等となっていて、有
機高分子材の保瑣膜Ｃと上記ＴｉＯ□層との間に酸化物
膜Ａを形成することによって同様にＴ ｌＯ２１＠と保
護膜Ｃの直接コンタクトを回避している。以上裏（８）
腕としての場合である。
ｉ ０２を該酸化物膜Ａに直接コンタクトさせて形成
し、以後低屈折率物質と高屈折率物質を又互に積層して
多層膜りを形成させたものである。前述したことから明
らかなように、有機高分子たる基材Ｐの面と多層膜りの
第１層’ｒｉｕ、との間には、 ５ｉ（Ｊ２等の安定酸
化物膜Ａが障壁となって構成している。図（ハ）の実施
例では基材Ｐは図（ロ）の実施例と同じで（酸化物膜Ａ
）＋（第１層にＴｉＯ２と他の多層膜と最終層ＴｌＯ２
の多層膜Ｌ）＋（丹ひ酸化物膜Ａ）−）−（保護膜Ｃ）
の構成である。図に）実施例では同じく基材Ｐ上に多層
膜りを形成するに当り第１層はＴｉＯ２以外の物質とし
て最終層をＴｉ（Ｊ２として基材２面に接する第１ ｒ
ｆｊｉＯ膜はＴｌＯ２以外の酸化物等となっていて、有
機高分子材の保瑣膜Ｃと上記ＴｉＯ□層との間に酸化物
膜Ａを形成することによって同様にＴ ｌＯ２１＠と保
護膜Ｃの直接コンタクトを回避している。以上裏（８）
腕としての場合である。
第３図は表面鏡としての多層膜反射鏡で基材はガラス、
セラミックは勿論であるがプラスチックや金属でも通用
できる。第３図（イ）では、基材Ｐは不透明でよい。し
かし、一般には巷に金属面では粗面ｔカバーする完めや
アラ）［スヤ防錆のために有機高分子から成る塗料等の
アンダーコートを施す。又、プラスチック材の場合でも
平滑化とか真空中のアウトカスを抑圧するために前記ア
ンダーコートを施す場合がある。同図（イ）では基材Ｐ
にアンダーコートＵを更に前記安定酸化物膜Ａ１次に多
層膜りの第１層としてＴｉ０ｇを被着して他の物質をｆ
＊層するものである。同図（ロ）は鎌面の保獲のために
透明なトップコートＴの有機高分子膜をカバーする場合
を示し、図（イ）は多層ＭＬに於て第１層と最終層をＴ
ｉｏ ２となるように構成し、更に酸化ｖｌＪ膜Ａを
、その上にトップコートＴをカッ（−する。図←→は図
（ロ）の構成の中で、多層膜りに於て最終層をＴｉＵｚ
として第１層のＴ ｉ Ｕ ２を除外することによりア
ンターコートＵとの間の酸化物膜を省略した場合である
。
セラミックは勿論であるがプラスチックや金属でも通用
できる。第３図（イ）では、基材Ｐは不透明でよい。し
かし、一般には巷に金属面では粗面ｔカバーする完めや
アラ）［スヤ防錆のために有機高分子から成る塗料等の
アンダーコートを施す。又、プラスチック材の場合でも
平滑化とか真空中のアウトカスを抑圧するために前記ア
ンダーコートを施す場合がある。同図（イ）では基材Ｐ
にアンダーコートＵを更に前記安定酸化物膜Ａ１次に多
層膜りの第１層としてＴｉ０ｇを被着して他の物質をｆ
＊層するものである。同図（ロ）は鎌面の保獲のために
透明なトップコートＴの有機高分子膜をカバーする場合
を示し、図（イ）は多層ＭＬに於て第１層と最終層をＴ
ｉｏ ２となるように構成し、更に酸化ｖｌＪ膜Ａを
、その上にトップコートＴをカッ（−する。図←→は図
（ロ）の構成の中で、多層膜りに於て最終層をＴｉＵｚ
として第１層のＴ ｉ Ｕ ２を除外することによりア
ンターコートＵとの間の酸化物膜を省略した場合である
。
上述の実施例の甲で荷に実験例を次に示す。
実験？ｌｊｌ：
第４図の場合で一部施例第２図の（イ）に類するが、カ
ラス基材Ｇｒｔｃ多Ｎｐａ Ｌ （１’ｉ０２＋Ｉ）Ｉ
ｇＦ２＋Ｔｉ０２）にば化物腺ＡとしてＳ ｌＯｘを積
層し更に有機高分子保護膜Ｃを塗着したサンプルである
。前記に対し、従来の場合の第１図に）に示すようなケ
ース、すなわち前記の酸化物膜Ａのｓｌす２を省略した
場合のサンダルと比較した。
ラス基材Ｇｒｔｃ多Ｎｐａ Ｌ （１’ｉ０２＋Ｉ）Ｉ
ｇＦ２＋Ｔｉ０２）にば化物腺ＡとしてＳ ｌＯｘを積
層し更に有機高分子保護膜Ｃを塗着したサンプルである
。前記に対し、従来の場合の第１図に）に示すようなケ
ース、すなわち前記の酸化物膜Ａのｓｌす２を省略した
場合のサンダルと比較した。
板カラスＫ Ｔｉ ０２ ＋ ＭｇＦ２＋ ’ｌ’ｉ
ｏ２＋ Ｓ ｉ（Ｊｇ ＋ 、ｌｅ Ｈ膜で構成させた
多層膜反射鏡のｖｌについて市販の２闘の板ガラスを２
％の洗剤で超音波況浄（３００Ｗ）を便って洗い、次に
水洗しアルコール洗いで水切り後温風（６０℃）で乾燥
し前処理を完了する。
ｏ２＋ Ｓ ｉ（Ｊｇ ＋ 、ｌｅ Ｈ膜で構成させた
多層膜反射鏡のｖｌについて市販の２闘の板ガラスを２
％の洗剤で超音波況浄（３００Ｗ）を便って洗い、次に
水洗しアルコール洗いで水切り後温風（６０℃）で乾燥
し前処理を完了する。
次に、真空装置（８ＭＣ型）にカラスを取付け、排気し
なからカラス温度を２５（Ｊ’Ｃに加熱する。これに電
子緋蒸発装首を用いてＴｉｅ、を６ ｋＶ ４００ｍＡ
で蒸発させ次にＭｇＦ２を６ｋＶ８０ｍＡで蒸発させ、
それぞれ光学的膜厚、即ちλ／４か等しくなるように父
互に蒸着を行い最後に５ｉ０２を６ ｋＶ ２００ ｍ
Ａで光学的膜厚がλ／２になるよう蒸着を行う。ガラス
は膜厚か均一なるように水平回転を行う。蒸発材料は全
て純度９９．９を使用する。λ＝４８０ｎｍとする。
なからカラス温度を２５（Ｊ’Ｃに加熱する。これに電
子緋蒸発装首を用いてＴｉｅ、を６ ｋＶ ４００ｍＡ
で蒸発させ次にＭｇＦ２を６ｋＶ８０ｍＡで蒸発させ、
それぞれ光学的膜厚、即ちλ／４か等しくなるように父
互に蒸着を行い最後に５ｉ０２を６ ｋＶ ２００ ｍ
Ａで光学的膜厚がλ／２になるよう蒸着を行う。ガラス
は膜厚か均一なるように水平回転を行う。蒸発材料は全
て純度９９．９を使用する。λ＝４８０ｎｍとする。
蒸着完了後、ガラスを冷却して、手勲スプレーで市販塗
料（黒ＰＲＸ −１０００）を使って塗装を行い、これ
を１５０℃の熱風炉で加分間焼付乾燥を行う。
料（黒ＰＲＸ −１０００）を使って塗装を行い、これ
を１５０℃の熱風炉で加分間焼付乾燥を行う。
実験例２：
前記実験例１の酸化物膜５ｉｎ２の代りにＡ１２０ｇを
通用した場合。
通用した場合。
実験例３：
前記実験例１の酸化物膜ＳｉＯ□の代りにＡ１２０ ｓ
と８１０ ｇの混合物を通用した場合でＴｌＯ２を単層
とした。
と８１０ ｇの混合物を通用した場合でＴｌＯ２を単層
とした。
実験例４：
基材に７ラステツク（アクリル板）を用いＳ＋０２
ＴｉＯ２の構成の場合 分光反射率の測定： 第５区には各々のケースの分光反射率を示す。
ＴｉＯ２の構成の場合 分光反射率の測定： 第５区には各々のケースの分光反射率を示す。
図中のＥＸＰＩの曲勝は実験例１、ＥＸＰ ２は実験例
２゜Ｅｘｐ３は実験例３．Ｅｘｐ４は実験例４の測定曲
線である。尚参考として、従来の銀鏡としてＡｇ曲祿、
クローム鏡としてＣｒ曲融、前述の液相反応法によるド
イツの痰は５Ｈ１１１Ｉ３．＠で示している。上記の中
で青色矛はＥｘｐｌ 、 ＥＸＰ２及びＳＨか明る（出
ている。当然Ａｇ及びＣｒはモノクロームで反射率はＡ
ｇが高い。Ｅｘｐ３ 、４はＴｌＯ２の単層であるが世
反射率を得る場合に通している。
２゜Ｅｘｐ３は実験例３．Ｅｘｐ４は実験例４の測定曲
線である。尚参考として、従来の銀鏡としてＡｇ曲祿、
クローム鏡としてＣｒ曲融、前述の液相反応法によるド
イツの痰は５Ｈ１１１Ｉ３．＠で示している。上記の中
で青色矛はＥｘｐｌ 、 ＥＸＰ２及びＳＨか明る（出
ている。当然Ａｇ及びＣｒはモノクロームで反射率はＡ
ｇが高い。Ｅｘｐ３ 、４はＴｌＯ２の単層であるが世
反射率を得る場合に通している。
上述の実験例で明らかなように、本発明の多層膜反射線
はＴ’ ｉ ０２層を他の板層と積層するに当り有機高
分子材料の基材面又は保護膜面に直接接触することを回
避するために必す安定酸化物膜の５ｉ０２．Ａ７ｚＯｇ
の何れが１つ又は両者の混合物を中間層として積層され
たことを％徴とする多層膜反射鏡であるため次の多くの
効果を鳴するものである。
はＴ’ ｉ ０２層を他の板層と積層するに当り有機高
分子材料の基材面又は保護膜面に直接接触することを回
避するために必す安定酸化物膜の５ｉ０２．Ａ７ｚＯｇ
の何れが１つ又は両者の混合物を中間層として積層され
たことを％徴とする多層膜反射鏡であるため次の多くの
効果を鳴するものである。
本発明の多Ｉ％ｌ膜反射餠はＴｉＯｘ腺の層間付着性を
著しく改善したため、極めてすぐれた耐候性を具備した
焼である。又耐湿性や耐温水性も良好で過酷なる謀境で
も使用し倚る。この理由については明らかでないが、ｉ
’ｌｏ２膜と有機質基体の相互の間で伺もかの光化学的
反応が使道されるものと思わｔ、且、この傾向か真空め
っき法でゑいのはＴｌＯ２の膜構造に関連するものと推
測される。この反応を阻止するものとして酸化ｖｌＪ膜
の５ｉ０２等が奏効している。次に本発明の反射鏡では
従来技術の七磯高分子膜ヤプラスチック材を採用し得る
ため特別な工程ヤ配合を必要としないので低コストが計
れる。又真空めっき法によるＴｌＯ２膜の特徴すなわち
結晶構造（ルチル型ヤアナターゼ型）を作るため、硬く
きすがつぎにくいことや屈折率か高いために反射率を高
くできることの射像を生がして、嵌置や裏面のいずれの
憬能を満たす反射境を作ることができるので、液相法の
ような欠点を改暑し侍だ。
著しく改善したため、極めてすぐれた耐候性を具備した
焼である。又耐湿性や耐温水性も良好で過酷なる謀境で
も使用し倚る。この理由については明らかでないが、ｉ
’ｌｏ２膜と有機質基体の相互の間で伺もかの光化学的
反応が使道されるものと思わｔ、且、この傾向か真空め
っき法でゑいのはＴｌＯ２の膜構造に関連するものと推
測される。この反応を阻止するものとして酸化ｖｌＪ膜
の５ｉ０２等が奏効している。次に本発明の反射鏡では
従来技術の七磯高分子膜ヤプラスチック材を採用し得る
ため特別な工程ヤ配合を必要としないので低コストが計
れる。又真空めっき法によるＴｌＯ２膜の特徴すなわち
結晶構造（ルチル型ヤアナターゼ型）を作るため、硬く
きすがつぎにくいことや屈折率か高いために反射率を高
くできることの射像を生がして、嵌置や裏面のいずれの
憬能を満たす反射境を作ることができるので、液相法の
ような欠点を改暑し侍だ。
以上のように本発明により耐候性がよい上耐傷憔と耐摩
耗性か良好な上、コストの安い多層膜反射炉を祷ること
ができるのである。
耗性か良好な上、コストの安い多層膜反射炉を祷ること
ができるのである。
尚当然のこと乍も、不党明は上述の実施例にのみ限定さ
れるものではなく、反射説としての通用分野も上記例示
のみ憤るものではなり・。
れるものではなく、反射説としての通用分野も上記例示
のみ憤るものではなり・。
第１図（イ）乃至に）は従来例を示す一部拡大断面図で
ある。第２図（イ）乃至四は本発明の反射膜反射鏡の益
面歓の場合の笑厖秒１」を示す一部拡大断面図。 第３図（イ）乃至（ハ）は本発明の多１−膜反射胱の表
面−の場合の実施例を示す一部拡大断面図、第４図は災
験例に適用した反射鏡の拡大断面図、第５図は各々のケ
ースの分光反射率を示す説明図である。 ａ、Ｐ・・・基材、Ａ・・・安定酸化ｇＪ＃、Ｌ・・・
多層族。 Ｃ・・・保護膜（頁慎高分子材）、’ｆ１ｇ２・・・Ｊ
ＩＬ層として、又は多層族の一層としての欧化チタノ。 ５１０２・・・安定酸化物層としての二賊化クイ系、Ｍ
ｇＦ２・・・多層膜の一層としてのフッ化マグネ７ユ特
許 出 願 人 久 保 桐 生代理人 弁
理士 秋 本 正 実 第１図 （イ） （ハ） 第２図 （イ） （ロ） Ｔｉ０２”− （ハ） （ニ）
ある。第２図（イ）乃至四は本発明の反射膜反射鏡の益
面歓の場合の笑厖秒１」を示す一部拡大断面図。 第３図（イ）乃至（ハ）は本発明の多１−膜反射胱の表
面−の場合の実施例を示す一部拡大断面図、第４図は災
験例に適用した反射鏡の拡大断面図、第５図は各々のケ
ースの分光反射率を示す説明図である。 ａ、Ｐ・・・基材、Ａ・・・安定酸化ｇＪ＃、Ｌ・・・
多層族。 Ｃ・・・保護膜（頁慎高分子材）、’ｆ１ｇ２・・・Ｊ
ＩＬ層として、又は多層族の一層としての欧化チタノ。 ５１０２・・・安定酸化物層としての二賊化クイ系、Ｍ
ｇＦ２・・・多層膜の一層としてのフッ化マグネ７ユ特
許 出 願 人 久 保 桐 生代理人 弁
理士 秋 本 正 実 第１図 （イ） （ハ） 第２図 （イ） （ロ） Ｔｉ０２”− （ハ） （ニ）
Claims (4)
- （１）酸化チタン（ｉ’１（Ｊ２）を真空めっき法によ
り単膚又は他の化合物との積層により多層膜な被着した
反射鏡であって、カラス、セラミック、合成樹脂或いは
金属等の基材面上に５ＩＯ２又はＡｌ２Ｏ８の伺れか一
つ或いは両者の混合物の安定歌化吻を介在させることに
よって、有機高分子系の表皮層又は保護膜と前記Ｔｉ０
２層とか直接接触することを必す回避せしめたことを特
徴とする多層膜反射鏡。 - （２）基材かガラス又はセラミックで１表面又は裏面に
ＴｌＯ２の単層膜又は少くとも最終層をＴｌＯ２とした
多層膜面上に安定酸化物膜を被着して更６に保護膜を塗
着したことを特徴とする請求囲第１項記載の多層膜反射
鏡。 - （３）基材か合成樹力旨その他金属で，表皮層が有機高
分子系の懺面に安定酸化物膜を形成させ、Ｔ１０２の単
層膜又は弟１層と最長層かｉ’ ｉ ０ ２となる多層
族に丈に前記取代物膜を被着して有機高分子系の保護膜
を塗着したことを特徴とする特許請求範囲第１項記載の
多層膜反射鏡。 - （４）基材か合成樹脂その他金属で，表面に有機高分子
系の表皮層に，第１層をＴ１０２以外の物質として最終
層を’ｌ” ｉ ０ ２とした多層膜上に安定酸化＠膜
と史に保餓膜を塗着したことを特徴とする特許請求範囲
第１項記載の多層膜反射鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57091368A JPS58208711A (ja) | 1982-05-31 | 1982-05-31 | 多層膜反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57091368A JPS58208711A (ja) | 1982-05-31 | 1982-05-31 | 多層膜反射鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58208711A true JPS58208711A (ja) | 1983-12-05 |
Family
ID=14024430
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57091368A Pending JPS58208711A (ja) | 1982-05-31 | 1982-05-31 | 多層膜反射鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58208711A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60212704A (ja) * | 1984-04-06 | 1985-10-25 | Murakami Kaimeidou:Kk | 反射鏡 |
| JPS61137043U (ja) * | 1985-02-15 | 1986-08-26 | ||
| WO1994017431A1 (en) * | 1993-01-21 | 1994-08-04 | Midwest Research Institute | Durable metallized polymer mirror |
| WO2005120154A3 (de) * | 2004-06-08 | 2006-03-16 | Leibniz Inst Neue Materialien | Abrieb- und kratzfeste beschichtungen mit niedriger brechzahl auf einem substrat |
| JP2011513801A (ja) * | 2008-03-11 | 2011-04-28 | ピーピージー・インダストリーズ・オハイオ・インコーポレイテッド | 反射性物品 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5565901A (en) * | 1978-11-10 | 1980-05-17 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | High reflecting back face mirror of plastic substrate |
-
1982
- 1982-05-31 JP JP57091368A patent/JPS58208711A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5565901A (en) * | 1978-11-10 | 1980-05-17 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | High reflecting back face mirror of plastic substrate |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60212704A (ja) * | 1984-04-06 | 1985-10-25 | Murakami Kaimeidou:Kk | 反射鏡 |
| JPH0446401B2 (ja) * | 1984-04-06 | 1992-07-29 | Murakami Kaimeido Kk | |
| JPS61137043U (ja) * | 1985-02-15 | 1986-08-26 | ||
| WO1994017431A1 (en) * | 1993-01-21 | 1994-08-04 | Midwest Research Institute | Durable metallized polymer mirror |
| US5361172A (en) * | 1993-01-21 | 1994-11-01 | Midwest Research Institute | Durable metallized polymer mirror |
| WO2005120154A3 (de) * | 2004-06-08 | 2006-03-16 | Leibniz Inst Neue Materialien | Abrieb- und kratzfeste beschichtungen mit niedriger brechzahl auf einem substrat |
| JP2011513801A (ja) * | 2008-03-11 | 2011-04-28 | ピーピージー・インダストリーズ・オハイオ・インコーポレイテッド | 反射性物品 |
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