JPH02120801A - 多層膜表面反射鏡 - Google Patents
多層膜表面反射鏡Info
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- JPH02120801A JPH02120801A JP63275097A JP27509788A JPH02120801A JP H02120801 A JPH02120801 A JP H02120801A JP 63275097 A JP63275097 A JP 63275097A JP 27509788 A JP27509788 A JP 27509788A JP H02120801 A JPH02120801 A JP H02120801A
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-
- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/0816—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
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- G02B5/0833—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers the reflecting layers comprising dielectric materials only comprising inorganic materials only
-
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は反射鏡に係り、特に防眩性、高視認性、装飾性
、生産性、コスト性等に優れた多層膜表面反射鏡に関す
る。本発明の多層膜表面反射鏡は、自動車用バックミラ
ー、路上の危険防止用凸面鏡(カーブミラー)、装飾ミ
ラー等に主として用いられるが、その他の用途にも幅広
く利用される。
、生産性、コスト性等に優れた多層膜表面反射鏡に関す
る。本発明の多層膜表面反射鏡は、自動車用バックミラ
ー、路上の危険防止用凸面鏡(カーブミラー)、装飾ミ
ラー等に主として用いられるが、その他の用途にも幅広
く利用される。
[従来技術]
多層膜表面反射鏡の一例として、特開昭63−1658
05号公報には、ガラス基板の片面に誘電体多層膜を設
け、さらに同一基板の裏面に光吸収膜を設けてなり、前
記誘電体多層膜は交互に異なる屈折率を有する誘電体膜
を3〜6層順次積層して構成されており、かつ誘電体多
層膜を構成する3〜6層の誘電体膜の少くとも1層はλ
/2の光学膜厚を有する多層膜表面反射鏡が開示されて
いる。
05号公報には、ガラス基板の片面に誘電体多層膜を設
け、さらに同一基板の裏面に光吸収膜を設けてなり、前
記誘電体多層膜は交互に異なる屈折率を有する誘電体膜
を3〜6層順次積層して構成されており、かつ誘電体多
層膜を構成する3〜6層の誘電体膜の少くとも1層はλ
/2の光学膜厚を有する多層膜表面反射鏡が開示されて
いる。
第8図に示す、人間の目の暗順応比視悪疫■′(λ)(
同図、曲線(1)参照)及び自動車ヘッドライト(ハロ
ゲンランプ)の分光エネルギー特性P(^)(同図、直
線(2)参照)並びにそれらの積P(λ)xv’(λ〉
(同図、曲線(3)参照)から明らかなように、夜間
の追従車のヘッドライトが目に感じる光の波長は主に4
80nm〜550nmであり、この波長領域での反射率
が低いことが防眩効果を得るための重要な要素であるが
、前記特開昭63−165805号公報に記載の多層膜
表面反射鏡は、その分光反射率特性を第9図に示すよう
に、480nm〜550nmの波長領域において反射率
が低く防眩効果に優れている。またこの反射鏡は防眩に
必要な波長領域では、反射率が低く、その他の波長領域
では、反射率が高くなっているので視認性にも優れてい
る。
同図、曲線(1)参照)及び自動車ヘッドライト(ハロ
ゲンランプ)の分光エネルギー特性P(^)(同図、直
線(2)参照)並びにそれらの積P(λ)xv’(λ〉
(同図、曲線(3)参照)から明らかなように、夜間
の追従車のヘッドライトが目に感じる光の波長は主に4
80nm〜550nmであり、この波長領域での反射率
が低いことが防眩効果を得るための重要な要素であるが
、前記特開昭63−165805号公報に記載の多層膜
表面反射鏡は、その分光反射率特性を第9図に示すよう
に、480nm〜550nmの波長領域において反射率
が低く防眩効果に優れている。またこの反射鏡は防眩に
必要な波長領域では、反射率が低く、その他の波長領域
では、反射率が高くなっているので視認性にも優れてい
る。
[従来技術の問題点]
しかしながら、特開昭63−165805号公報に記載
の多層膜表面反射鏡は、ガラス基板の片面に設けられる
誘電体多層膜の層数が3〜6層と多く、誘電体多層膜の
形成のための真空蒸着工程が複雑となるばかりでなく、
同一基板の裏面に、前記真空蒸着工程と別工程で塗装、
焼成して光吸収体膜を形成する必要があるので、生産性
が悪く、コストアップにつながるという欠点があった。
の多層膜表面反射鏡は、ガラス基板の片面に設けられる
誘電体多層膜の層数が3〜6層と多く、誘電体多層膜の
形成のための真空蒸着工程が複雑となるばかりでなく、
同一基板の裏面に、前記真空蒸着工程と別工程で塗装、
焼成して光吸収体膜を形成する必要があるので、生産性
が悪く、コストアップにつながるという欠点があった。
[発明が解決しようとする問題点]
本発明の目的は従来の表面反射鏡の上述の如き問題点を
解消し、防眩性、視認性に優れているだけでなく、生産
性、コスト性等にも優れた表面反射鏡を提供することに
ある。
解消し、防眩性、視認性に優れているだけでなく、生産
性、コスト性等にも優れた表面反射鏡を提供することに
ある。
[問題点を解決するための手段]
本発明は上述の問題点を解決するためになされたもので
あり、本発明の多層膜表面反射鏡は、基材の片面に金属
ないし半導体膜を設け、さらにその上に誘電体多層膜を
設けてなり、前記誘電体多層膜は、1層の、光学膜厚が
0゜05^O(λO/20)〜0.4^o (215
λO)の低屈折率物質膜と、1層の、光学膜厚がλo/
2の高屈折率物質膜とを有しく但しλ0(λ0は設計の
中心となる波長である)、前記低屈折率物質膜は、前記
高屈折率物質膜との関係において前記金属ないし半導体
膜側に存在し、一方、前記高屈折率物質膜は、前記低屈
折率物質膜との関係において空気側に存在することを特
徴とする。
あり、本発明の多層膜表面反射鏡は、基材の片面に金属
ないし半導体膜を設け、さらにその上に誘電体多層膜を
設けてなり、前記誘電体多層膜は、1層の、光学膜厚が
0゜05^O(λO/20)〜0.4^o (215
λO)の低屈折率物質膜と、1層の、光学膜厚がλo/
2の高屈折率物質膜とを有しく但しλ0(λ0は設計の
中心となる波長である)、前記低屈折率物質膜は、前記
高屈折率物質膜との関係において前記金属ないし半導体
膜側に存在し、一方、前記高屈折率物質膜は、前記低屈
折率物質膜との関係において空気側に存在することを特
徴とする。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明の多層膜表面反射鏡において用いられる基材とし
ては、透明基材が好ましいが、基材は透明でなくても良
い。この基材は両面が平面を有する基板や、少なくとも
一面が凸面又は凹面を有する基板(例えば平凹板、平凸
板、凹凸板、両凹板。
ては、透明基材が好ましいが、基材は透明でなくても良
い。この基材は両面が平面を有する基板や、少なくとも
一面が凸面又は凹面を有する基板(例えば平凹板、平凸
板、凹凸板、両凹板。
両凸板なと)であるのが好ましい。基材の好ましい材質
としてはガラスやプラスチックが挙げられるが、その他
の材質のものを用いることもできる。
としてはガラスやプラスチックが挙げられるが、その他
の材質のものを用いることもできる。
本発明の多層膜表面反射鏡においては、上記基材の片面
に金属ないし半導体膜が設けられ、さらにその上に誘電
体多層膜が設けられている。
に金属ないし半導体膜が設けられ、さらにその上に誘電
体多層膜が設けられている。
そこで先ず、本発明の多層膜表面反射鏡において、基材
の片面に設けられる金属ないし半導体膜について説明す
る。
の片面に設けられる金属ないし半導体膜について説明す
る。
この金属ないし半導体膜は、反射膜として機能するもの
であり、反射率が30%以上、特に50〜80%である
ものを用いるのが好ましい。このような金属ないし半導
体膜としては、Cr、Ni、AI、Ag、Co、Fe、
Si、Geなどの金属ないし半導体の単体や、これらの
金属ないし半導体の少なくとも1種を含む合金などが用
いられる。
であり、反射率が30%以上、特に50〜80%である
ものを用いるのが好ましい。このような金属ないし半導
体膜としては、Cr、Ni、AI、Ag、Co、Fe、
Si、Geなどの金属ないし半導体の単体や、これらの
金属ないし半導体の少なくとも1種を含む合金などが用
いられる。
合金の例としては、インコネル(Ni80重量%、Cr
14重景%、Fe6重量%から主として構成され、その
他の不純物を微量含む)やクロメル(Ni80重量%、
Cr2O重量%がら主として構成され、その他の不純物
を微量含む)が挙げられる。
14重景%、Fe6重量%から主として構成され、その
他の不純物を微量含む)やクロメル(Ni80重量%、
Cr2O重量%がら主として構成され、その他の不純物
を微量含む)が挙げられる。
この金属ないし半導体膜の形成方法としては、後記誘電
体多層膜の場合と同様のコーティング方法(蒸着法、ス
パッタリング法、イオンブレーティング法、CVD法な
ど)が採用される。
体多層膜の場合と同様のコーティング方法(蒸着法、ス
パッタリング法、イオンブレーティング法、CVD法な
ど)が採用される。
次に、前記金属ないし半導体膜上に設けられる誘電体多
層膜について説明すると、この誘電体多層膜は、1層の
低屈折率物質膜と1層の高屈折率物質膜とを有する。こ
こに前記低屈折率物質膜は、屈折率が1.3〜1.5の
低屈折率物質によって形成するのが好ましく、このよう
な低屈折率物質としては、S i 02等の酸化物やM
gF2等の弗化物およびこれらの混合物か適宜用いられ
る。また前記高屈折率物質膜は、屈折率が1.5〜2゜
4の高屈折率物質によって形成するのが好ましく、この
ような高屈折率物質としてはSin、TiO2、Ta2
o5. ZrO2、HfO2、Al2O3等の酸化物
やCe F 3等の弗化物やZ n、 S等の硫化物お
よびこれらの混合物が適宜用いられる。
層膜について説明すると、この誘電体多層膜は、1層の
低屈折率物質膜と1層の高屈折率物質膜とを有する。こ
こに前記低屈折率物質膜は、屈折率が1.3〜1.5の
低屈折率物質によって形成するのが好ましく、このよう
な低屈折率物質としては、S i 02等の酸化物やM
gF2等の弗化物およびこれらの混合物か適宜用いられ
る。また前記高屈折率物質膜は、屈折率が1.5〜2゜
4の高屈折率物質によって形成するのが好ましく、この
ような高屈折率物質としてはSin、TiO2、Ta2
o5. ZrO2、HfO2、Al2O3等の酸化物
やCe F 3等の弗化物やZ n、 S等の硫化物お
よびこれらの混合物が適宜用いられる。
上記の低屈折率物質膜の光学膜厚は0.05〜0.4λ
O(λ0(λ0は設計の中心となる波長である〉に限定
され、一方、上記の高屈折率物質膜の光学膜厚は、^o
/2に限定される。これらの膜の膜厚を上記範囲に限定
した理由は、これらの限定によりはじめて防眩性および
視認性共にすぐれた反射特性が得られるからである。な
お低屈折率物質膜の光学膜厚はλo/8又はλO/4で
あるのが特に好ましい。
O(λ0(λ0は設計の中心となる波長である〉に限定
され、一方、上記の高屈折率物質膜の光学膜厚は、^o
/2に限定される。これらの膜の膜厚を上記範囲に限定
した理由は、これらの限定によりはじめて防眩性および
視認性共にすぐれた反射特性が得られるからである。な
お低屈折率物質膜の光学膜厚はλo/8又はλO/4で
あるのが特に好ましい。
また光学膜厚が^O/4の1種の高屈折率物質膜と、こ
れに隣接する、光学膜厚がλO/4の他種の高屈折率物
質とによって光学膜厚がλ0/2の高屈折率物質膜を形
成しても良い。
れに隣接する、光学膜厚がλO/4の他種の高屈折率物
質とによって光学膜厚がλ0/2の高屈折率物質膜を形
成しても良い。
本発明の多層膜表面反射鏡を構成する誘電体多層膜にお
いては、前記低屈折率物質膜と前記高屈折率物質膜との
相対的位置も定められ、前者の低屈折率物質膜は金属な
いし半導体膜側に設けられ、後者の高屈折率物質膜は空
気側に設けられる。このように両膜の相対的位置を限定
した理由は、両膜の相対的位置をこのように限定するこ
とによりはじめて防眩性および視認性共にすぐれた反射
特性が得られるからである。
いては、前記低屈折率物質膜と前記高屈折率物質膜との
相対的位置も定められ、前者の低屈折率物質膜は金属な
いし半導体膜側に設けられ、後者の高屈折率物質膜は空
気側に設けられる。このように両膜の相対的位置を限定
した理由は、両膜の相対的位置をこのように限定するこ
とによりはじめて防眩性および視認性共にすぐれた反射
特性が得られるからである。
この誘電体多層膜の形成方法としては、蒸着法、スパッ
タ法、イオンブレーティング法等の物理的コーティング
方法あるいはCVD法、有機溶液からの薄膜形成法等の
コーティング方法が挙げられる。
タ法、イオンブレーティング法等の物理的コーティング
方法あるいはCVD法、有機溶液からの薄膜形成法等の
コーティング方法が挙げられる。
[実施例]
以下実施例を挙げて本発明の好ましい具体例を説明する
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない
。
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない
。
実施例1
第1図(A>は本発明の多層膜表面反射鏡の好ましい実
施例の要部拡大断面図であり、図中、1はガラス基板、
2はCr膜、3は屈折率1.38のMgF2からなる光
学膜厚λO/4(本実施例において、設計の中心となる
光の波長λ0(λ0は540nmであり、従ってλ0/
4は135nmである)の低屈折率膜層(L層)、4は
屈折率2.05のZ r O2からなる光学膜厚λO/
2 (270nm)の高屈折率膜層(2層層)である。
施例の要部拡大断面図であり、図中、1はガラス基板、
2はCr膜、3は屈折率1.38のMgF2からなる光
学膜厚λO/4(本実施例において、設計の中心となる
光の波長λ0(λ0は540nmであり、従ってλ0/
4は135nmである)の低屈折率膜層(L層)、4は
屈折率2.05のZ r O2からなる光学膜厚λO/
2 (270nm)の高屈折率膜層(2層層)である。
すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基板
の片面に基板側からCr膜→L層→2H層の順で多層膜
が形成されている。この多層膜表面反射鏡の分光反射特
性を第2図に示す。第2図から明らかなように、この実
施例の多層膜表面反射鏡は、従来の多層膜表面反射鏡に
比べて、暗順応比視感度とヘッドライトの分光エネルギ
ーの積の高い領域480nm〜550nmの反射率が低
下しているので防眩性にすぐれ、かつ人間の目にとって
明るさの感度の低い青及び赤の波長である400nm〜
480 nm(青)及び580nm〜700nm(赤)
における反射率が上昇しているので、視認性にすぐれて
いる。
の片面に基板側からCr膜→L層→2H層の順で多層膜
が形成されている。この多層膜表面反射鏡の分光反射特
性を第2図に示す。第2図から明らかなように、この実
施例の多層膜表面反射鏡は、従来の多層膜表面反射鏡に
比べて、暗順応比視感度とヘッドライトの分光エネルギ
ーの積の高い領域480nm〜550nmの反射率が低
下しているので防眩性にすぐれ、かつ人間の目にとって
明るさの感度の低い青及び赤の波長である400nm〜
480 nm(青)及び580nm〜700nm(赤)
における反射率が上昇しているので、視認性にすぐれて
いる。
実施例2
第1図(B’)は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施
例の要部拡大断面図であり、図中、11はガラス基板、
12はCr膜、13は屈折率1.38のMgF2からな
る光学膜厚λO/8(本実施例において、設計の中心と
なる光の波長λ0(λ0は6QQnmであり、従ってλ
o/8は75nmである)の低屈折率膜層(L/2m>
、14は屈折率2゜05のZ r O2からなる光学
膜厚λo/2(300nm)の高屈折率膜層(2H層)
である。
例の要部拡大断面図であり、図中、11はガラス基板、
12はCr膜、13は屈折率1.38のMgF2からな
る光学膜厚λO/8(本実施例において、設計の中心と
なる光の波長λ0(λ0は6QQnmであり、従ってλ
o/8は75nmである)の低屈折率膜層(L/2m>
、14は屈折率2゜05のZ r O2からなる光学
膜厚λo/2(300nm)の高屈折率膜層(2H層)
である。
すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基板
の片面に基板側からCr膜→L/2層→2H層の順で多
層膜が形成されている。
の片面に基板側からCr膜→L/2層→2H層の順で多
層膜が形成されている。
この多層膜表面反射鏡は第3図より明らかなように、実
施例1の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し
、防眩性および視認性にすぐれている。
施例1の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し
、防眩性および視認性にすぐれている。
実施例3
第1図(C)は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施例
の要部拡大断面図であり、図中、21はガラス基板、2
2はCr膜、23は屈折率1.38のM g F 2か
らなる光学膜厚λO/4(本実施例において、設計の中
心となる光の波長λ0(λ0は540nmであり、従っ
てλO/4は135nmである)の低屈折率膜層(L層
)、24は屈折率1.63のA 1203からなる光学
膜厚λo/2(270nm)の高屈折率膜層(2H1)
である。すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガ
ラス基板の片面に基板側からCr膜→Li→2H1の順
で多層膜が形成されている。
の要部拡大断面図であり、図中、21はガラス基板、2
2はCr膜、23は屈折率1.38のM g F 2か
らなる光学膜厚λO/4(本実施例において、設計の中
心となる光の波長λ0(λ0は540nmであり、従っ
てλO/4は135nmである)の低屈折率膜層(L層
)、24は屈折率1.63のA 1203からなる光学
膜厚λo/2(270nm)の高屈折率膜層(2H1)
である。すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガ
ラス基板の片面に基板側からCr膜→Li→2H1の順
で多層膜が形成されている。
この多層膜表面反射鏡は、第4図より明らかなように、
実施例1の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示
し、防眩性および視認性にすぐれている。
実施例1の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示
し、防眩性および視認性にすぐれている。
実施例4
第1図(D)は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施例
の要部拡大断面図であり、図中、31はガラス基板、3
2はGe膜、33は屈折率1.38のM g F 2か
らなる光学膜厚λO/4(本実施例において、設計の中
心となる光の波長λ0(λ0は54Qnmであり、従っ
てλO/4は135nmである)の低屈折率膜層(L層
)、34は屈折率2.05のZrO2からなる光学膜厚
λo /2 (270nm)の高屈折率膜層(2H層)
である。すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガ
ラス基板の片面に基板側からGeJli−’L層−2H
層の順で多層膜が形成されている。
の要部拡大断面図であり、図中、31はガラス基板、3
2はGe膜、33は屈折率1.38のM g F 2か
らなる光学膜厚λO/4(本実施例において、設計の中
心となる光の波長λ0(λ0は54Qnmであり、従っ
てλO/4は135nmである)の低屈折率膜層(L層
)、34は屈折率2.05のZrO2からなる光学膜厚
λo /2 (270nm)の高屈折率膜層(2H層)
である。すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガ
ラス基板の片面に基板側からGeJli−’L層−2H
層の順で多層膜が形成されている。
この多層膜表面反射鏡は、第5図より明らかなように、
実施例1の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示
し、防眩性および視認性にすぐれている。
実施例1の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示
し、防眩性および視認性にすぐれている。
実施例5
第1図(E)は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施例
の要部拡大断面図であり、図中、41はガラス基板、4
2はCr膜、43は屈折率1,38のMgF2からなる
光学膜厚λO/4(本実施例において、設計の中心とな
る光の波長λ0(λ0は540nmであり、従ってλO
/4は135nmである)の低屈折率膜層(L層)、4
4は屈折率2,30のTiO2からなる光学膜厚^o
/4 (135Hm)の高屈折率膜層(H1層)、45
は屈折率2.05のZ r O2からなる光学膜厚λo
/4(135Hm)の高屈折率M層(82層)である。
の要部拡大断面図であり、図中、41はガラス基板、4
2はCr膜、43は屈折率1,38のMgF2からなる
光学膜厚λO/4(本実施例において、設計の中心とな
る光の波長λ0(λ0は540nmであり、従ってλO
/4は135nmである)の低屈折率膜層(L層)、4
4は屈折率2,30のTiO2からなる光学膜厚^o
/4 (135Hm)の高屈折率膜層(H1層)、45
は屈折率2.05のZ r O2からなる光学膜厚λo
/4(135Hm)の高屈折率M層(82層)である。
すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡は、ガラス基
板の片面に基板からCr膜→1−層→H層→H2層の順
で多層膜が形成されている(なおH1層と82層によっ
て光学膜厚λo/2の高屈折率膜層(2H層)が形成さ
れている)。
板の片面に基板からCr膜→1−層→H層→H2層の順
で多層膜が形成されている(なおH1層と82層によっ
て光学膜厚λo/2の高屈折率膜層(2H層)が形成さ
れている)。
この多層膜表面反射鏡は第6図より明らかなように、実
施例1の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し
、防眩性および視認性にすぐれている。
施例1の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し
、防眩性および視認性にすぐれている。
実施例6
第1図(F)は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施例
の要部拡大断面図であり、図中、51はガラス基板、5
2はCr膜、53は屈折率1.38のM g F 2か
らなる光学膜厚λo/8(本実施例において、設計の中
心となる光の波長λ0は600Hmであり、従ってλO
/8は75Hmである)の低屈折率膜層(H72層)、
54は屈折率2゜30 (’)T i O2からなる光
学膜厚λ0/4(150Hm)の高屈折率M層(H1層
)、55は屈折率2.05のZ r O7からなる光学
膜厚^0/4(150Hm)の高屈折率膜層(82層)
である。
の要部拡大断面図であり、図中、51はガラス基板、5
2はCr膜、53は屈折率1.38のM g F 2か
らなる光学膜厚λo/8(本実施例において、設計の中
心となる光の波長λ0は600Hmであり、従ってλO
/8は75Hmである)の低屈折率膜層(H72層)、
54は屈折率2゜30 (’)T i O2からなる光
学膜厚λ0/4(150Hm)の高屈折率M層(H1層
)、55は屈折率2.05のZ r O7からなる光学
膜厚^0/4(150Hm)の高屈折率膜層(82層)
である。
すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基板
の片面に基板からCr膜−H72層−H。
の片面に基板からCr膜−H72層−H。
層→H2層の順で多層膜が形成されている(なおH1層
と82層によって光学膜厚^0/2の高屈折率膜層(2
H層)が形成されている)。
と82層によって光学膜厚^0/2の高屈折率膜層(2
H層)が形成されている)。
この多層膜表面反射鏡は第7図より明らかなように、実
施例1の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し
、防眩性および視認性にすぐれている。
施例1の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し
、防眩性および視認性にすぐれている。
以上、実施例1〜6により本発明の多層膜表面反射鏡に
ついて説明してきたが、実施例1〜4の誘電体多層膜に
おいて2H層をH1層→H2層またはH2層→H1層に
した場合にも同様の結果が得られる。また実施例5およ
び実施例6におけるH4−+H層をH2層→H1層にし
ても同様の結果が得られる。
ついて説明してきたが、実施例1〜4の誘電体多層膜に
おいて2H層をH1層→H2層またはH2層→H1層に
した場合にも同様の結果が得られる。また実施例5およ
び実施例6におけるH4−+H層をH2層→H1層にし
ても同様の結果が得られる。
実施例1〜6における誘電体多層膜の各層を等側腹に置
き換えても同様の反射特性が得られる。
き換えても同様の反射特性が得られる。
さらに基板としてガラスの代りにプラスチックを用いて
も同等の反射特性が得られる。
も同等の反射特性が得られる。
比較例
第10図は、本発明の実施例1の多層膜表面反射鏡にお
いて、低屈折率膜層(L層)をなくしな、比較のための
多層膜表面反射鏡の要部拡大断面図であり、図中、61
はガラス基板、62はCr膜、63は屈折率2,05の
Z r O2からなる光学膜厚λO/2(本比較例にお
いて、設計の中心となる光の波長^0(λ0は540H
mであり、従ってλo’/2は270Hmである)の高
屈折率膜層(2H層)である。すなわち、この比較例の
多層膜表面反射鏡はガラス基板の片面に基板側からCr
膜−2H層の順で多層膜が形成されている。
いて、低屈折率膜層(L層)をなくしな、比較のための
多層膜表面反射鏡の要部拡大断面図であり、図中、61
はガラス基板、62はCr膜、63は屈折率2,05の
Z r O2からなる光学膜厚λO/2(本比較例にお
いて、設計の中心となる光の波長^0(λ0は540H
mであり、従ってλo’/2は270Hmである)の高
屈折率膜層(2H層)である。すなわち、この比較例の
多層膜表面反射鏡はガラス基板の片面に基板側からCr
膜−2H層の順で多層膜が形成されている。
この多層膜表面反射鏡の分光特性を第11図に示す。第
11図から明らかなように本比較例の表面反射鏡は実施
例1〜6の表面反射鏡とは異なり暗順応比視感度とヘッ
ドライトの分光エネルギーの積の高い領域J80nm−
550nmの反射率が高くなっているので、防眩性が悪
く、かつ人間の目にとって明るさの惑庇の低い青及び赤
の波長のうち43 onm−480Hm (青)におけ
る反射率が低くなっているため視認性も悪い。
11図から明らかなように本比較例の表面反射鏡は実施
例1〜6の表面反射鏡とは異なり暗順応比視感度とヘッ
ドライトの分光エネルギーの積の高い領域J80nm−
550nmの反射率が高くなっているので、防眩性が悪
く、かつ人間の目にとって明るさの惑庇の低い青及び赤
の波長のうち43 onm−480Hm (青)におけ
る反射率が低くなっているため視認性も悪い。
前記実施例および比較例の結果から、防眩性と視認性を
有する表面反射鏡を得るためには、L層の誘電体膜では
不十分であり、前記所定膜厚の、1層の低屈折率膜層膜
と、前記所定膜厚の、1層の高屈折率物質膜からなる誘
電体多層膜が必要であることが判明した。
有する表面反射鏡を得るためには、L層の誘電体膜では
不十分であり、前記所定膜厚の、1層の低屈折率膜層膜
と、前記所定膜厚の、1層の高屈折率物質膜からなる誘
電体多層膜が必要であることが判明した。
[発明の効果]
本発明の多層膜表面反射鏡は次のよう・な技術的効果を
有する。
有する。
(i) 防眩性にすぐれている。
本発明の反射鏡は第2〜7図から明らかなように、第8
図、曲線(3)によって示されるP(λ)XV’(λ)
の値の大きな480nmから550nmで反射率が低い
ので防眩効果にすぐれている。
図、曲線(3)によって示されるP(λ)XV’(λ)
の値の大きな480nmから550nmで反射率が低い
ので防眩効果にすぐれている。
(ii) 視認性にすぐれている。
本発明の反射鏡は第2〜7図に示すように防眩に必要な
波長領域では反射率が低く、その他の波長領域で反射率
が高くなっているので、すぐれた視認性が確保される。
波長領域では反射率が低く、その他の波長領域で反射率
が高くなっているので、すぐれた視認性が確保される。
また本発明の反射鏡は明るさの感度の良い緑の領域(4
90nm〜580nm)の反射率を青の領域(400n
m〜480nm)や赤の領域(590nm〜750nm
)よりも下げてあり、結果として青、赤の目の感度の低
い色を増感することから色の分別性(コントラスト)が
向上するという利点もある。
90nm〜580nm)の反射率を青の領域(400n
m〜480nm)や赤の領域(590nm〜750nm
)よりも下げてあり、結果として青、赤の目の感度の低
い色を増感することから色の分別性(コントラスト)が
向上するという利点もある。
(iii)装飾性、ファツション性にすぐれている。
本発明の反射鏡は防眩性及び視認性を追及した結果、そ
の反射色がマゼンタ色を帯びている。このマゼンタ色は
高級感を与え、他の反射鏡との差別化が可能となる。
の反射色がマゼンタ色を帯びている。このマゼンタ色は
高級感を与え、他の反射鏡との差別化が可能となる。
(iV) 生産性、コスト性にすぐれている。
本発明の反射鏡の製造においては、形成される誘電体多
層膜の層数が少ないことおよびこの誘電体多層膜と金属
ないし半導体膜とを同一の成膜手段によって形成するこ
とができること等の利点を有するので、形成される誘電
体多層膜の層数が多く、かつ光吸収体膜の塗装、焼成の
必要な、前記特開昭63−165805号公報の反射鏡
の場合と異なり、生産性及びコスト性にすぐれている。
層膜の層数が少ないことおよびこの誘電体多層膜と金属
ないし半導体膜とを同一の成膜手段によって形成するこ
とができること等の利点を有するので、形成される誘電
体多層膜の層数が多く、かつ光吸収体膜の塗装、焼成の
必要な、前記特開昭63−165805号公報の反射鏡
の場合と異なり、生産性及びコスト性にすぐれている。
以上、要するに本発明によれば、誘電体多層膜の層数が
少ないにも拘らず、防眩性、視認性、装飾性、有害光カ
ット性等の利点を有する多層膜表面反射鏡を生産性、コ
スト性良く提供することができる。
少ないにも拘らず、防眩性、視認性、装飾性、有害光カ
ット性等の利点を有する多層膜表面反射鏡を生産性、コ
スト性良く提供することができる。
第1図は本発明の多層膜表面反射鏡の要部拡大断面図、
第2図、第3図、第4図、第5図、第6図は及び第7図
は本発明の反射鏡の分光反射特性図、第8図は人間の目
の暗順応比視感度および自動車ヘッドライトの分光エネ
ルギー特性並びにそれらの積である人間の目に感じる自
動車ヘッドライトの分光エネルギー特性図、第9図は特
開昭63−165805号公報に記載の多層膜表面反射
鏡の分光反射特性図、第10図は比較例の多層膜表面反
射鏡の要部拡大断面図、第11図は比較例の多層膜表面
反射鏡の分光反射特性図である。 1.11,21,31,41,51.61・・・ガラス
基板、2,12,22,32,42,52゜62・・・
金属ないし半導体膜、3,4.1B、1423.24,
33,34,43,44,45,53.54,55.6
3・・・誘電体膜。
第2図、第3図、第4図、第5図、第6図は及び第7図
は本発明の反射鏡の分光反射特性図、第8図は人間の目
の暗順応比視感度および自動車ヘッドライトの分光エネ
ルギー特性並びにそれらの積である人間の目に感じる自
動車ヘッドライトの分光エネルギー特性図、第9図は特
開昭63−165805号公報に記載の多層膜表面反射
鏡の分光反射特性図、第10図は比較例の多層膜表面反
射鏡の要部拡大断面図、第11図は比較例の多層膜表面
反射鏡の分光反射特性図である。 1.11,21,31,41,51.61・・・ガラス
基板、2,12,22,32,42,52゜62・・・
金属ないし半導体膜、3,4.1B、1423.24,
33,34,43,44,45,53.54,55.6
3・・・誘電体膜。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、基材の片面に金属ないし半導体膜を設け、さらにそ
の上に誘電体多層膜を設けてなり、前記誘電体多層膜は
、1層の、光学膜厚が 0.05〜0.4λ_0(λ_0は設計の中心となる波
長である)の低屈折率物質膜と、1層の、光学膜厚がλ
_0/2の高屈折率物質膜とを有し、 前記低屈折率物質膜は、前記高屈折率物質 膜との関係において前記金属ないし半導体膜側に存在し
、一方、前記高屈折率物質膜は、前記低屈折率物質膜と
の関係において空気側に存在する ことを特徴とする多層膜表面反射鏡。 2、前記低屈折率物質膜の光学膜厚が、λ_0/8又は
λ_0/4である、請求項1に記載の多層膜表面反射鏡
。 3、光学膜厚がλ_0/2の前記高屈折率物質膜が、光
学膜厚がλ_0/4の1種の高屈折率物質膜と、これに
隣接する、光学膜厚がλ_0/4の他種の高屈折率物質
膜とによって形成されている、請求項1に記載の多層膜
表面反射鏡。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63275097A JP2719367B2 (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | 多層膜表面反射鏡 |
US07/425,119 US5007710A (en) | 1988-10-31 | 1989-10-23 | Multi-layered surface reflecting mirror |
GB8923984A GB2224366B (en) | 1988-10-31 | 1989-10-25 | Multi-layered surface reflecting mirror |
IT06792889A IT1238097B (it) | 1988-10-31 | 1989-10-30 | Specchio riflettente a superficie multi-strato. |
DE3936282A DE3936282C2 (de) | 1988-10-31 | 1989-10-31 | Mehrschichtiger Oberflächenreflektierspiegel |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63275097A JP2719367B2 (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | 多層膜表面反射鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02120801A true JPH02120801A (ja) | 1990-05-08 |
JP2719367B2 JP2719367B2 (ja) | 1998-02-25 |
Family
ID=17550733
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63275097A Expired - Lifetime JP2719367B2 (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | 多層膜表面反射鏡 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5007710A (ja) |
JP (1) | JP2719367B2 (ja) |
DE (1) | DE3936282C2 (ja) |
GB (1) | GB2224366B (ja) |
IT (1) | IT1238097B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0933959A (ja) * | 1995-07-14 | 1997-02-07 | Olympus Optical Co Ltd | 位相制御膜構造体 |
JPWO2004074887A1 (ja) * | 2003-02-21 | 2006-06-01 | 三井化学株式会社 | 反射体およびその用途 |
Families Citing this family (47)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5282084A (en) * | 1989-05-19 | 1994-01-25 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Multi-layered coating for optical part comprising YF3 layer |
US5179318A (en) * | 1989-07-05 | 1993-01-12 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Cathode-ray tube with interference filter |
US5169229A (en) * | 1990-01-09 | 1992-12-08 | Bausch & Lomb Incorporated | Enhanced metal filter/mirror coatings for use on engineering plastics |
US5194989A (en) * | 1990-05-07 | 1993-03-16 | Mcdonnell Douglas Corporation | Dielectric combiner including first and second dielectric materials having indices of refraction greater than 2.0 |
ZA912915B (en) * | 1990-05-10 | 1992-04-29 | Boc Group Inc | Novel monolithic front surface mirror |
US5105310A (en) * | 1990-10-11 | 1992-04-14 | Viratec Thin Films, Inc. | Dc reactively sputtered antireflection coatings |
US5270858A (en) * | 1990-10-11 | 1993-12-14 | Viratec Thin Films Inc | D.C. reactively sputtered antireflection coatings |
US5535056A (en) * | 1991-05-15 | 1996-07-09 | Donnelly Corporation | Method for making elemental semiconductor mirror for vehicles |
US6065840A (en) * | 1991-05-15 | 2000-05-23 | Donnelly Corporation | Elemental semiconductor mirror |
ATE145195T1 (de) * | 1992-07-11 | 1996-11-15 | Pilkington Uk Ltd | Verfahren zur herstellung von reflektierenden schichten auf glas und nach diesem verfahren hergestellte spiegel |
US5828493A (en) * | 1992-07-24 | 1998-10-27 | Dielectric Coating Industries | Reflectors |
GB9400321D0 (en) * | 1994-01-10 | 1994-03-09 | Pilkington Glass Ltd | Coatings on glass |
GB9400320D0 (en) * | 1994-01-10 | 1994-03-09 | Pilkington Glass Ltd | Coating on glass |
GB9400323D0 (en) * | 1994-01-10 | 1994-03-09 | Pilkington Glass Ltd | Coatings on glass |
GB9400319D0 (en) * | 1994-01-10 | 1994-03-09 | Pilkington Glass Ltd | Coatings on glass |
DE9407322U1 (de) * | 1994-04-08 | 1994-06-30 | PMD-Papierdruck GmbH & Co. KG, 48599 Gronau | Spiegel mit Transferdruck |
US6142642A (en) * | 1995-06-29 | 2000-11-07 | Cardinal Ig Company | Bendable mirrors and method of manufacture |
US6064525A (en) * | 1997-03-25 | 2000-05-16 | Glaverbel | Optical device including a dichromatic mirror |
US6124912A (en) * | 1997-06-09 | 2000-09-26 | National Semiconductor Corporation | Reflectance enhancing thin film stack in which pairs of dielectric layers are on a reflector and liquid crystal is on the dielectric layers |
ATE215911T1 (de) | 1997-10-31 | 2002-04-15 | Cardinal Cg Co | Hitzebiegbare spiegel |
DE59707066D1 (de) * | 1997-11-17 | 2002-05-29 | Alanod Al Veredlung Gmbh | Verbundmaterial, insbesondere für Reflektoren |
US6416194B1 (en) * | 1999-02-11 | 2002-07-09 | Turkiye Sise Ve Cam Fabrikalari A.S. | Thermostable back-surface mirrors |
JP2002107518A (ja) * | 2000-10-03 | 2002-04-10 | Tokai Rika Co Ltd | 半透過反射鏡 |
US6783253B2 (en) | 2002-03-21 | 2004-08-31 | Guardian Industries Corp. | First surface mirror with DLC coating |
US6786624B2 (en) | 2002-05-06 | 2004-09-07 | North American Lighting, Inc. | High temperature lighting bulb shield |
US20040027694A1 (en) * | 2002-08-06 | 2004-02-12 | Mediaview Technologies Corporation | Adjustable segmented dual function mirror with video display |
JP5311757B2 (ja) * | 2007-03-29 | 2013-10-09 | キヤノン株式会社 | 反射光学素子、露光装置およびデバイス製造方法 |
US9739917B2 (en) | 2007-08-12 | 2017-08-22 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Red omnidirectional structural color made from metal and dielectric layers |
US10048415B2 (en) | 2007-08-12 | 2018-08-14 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Non-dichroic omnidirectional structural color |
US10870740B2 (en) | 2007-08-12 | 2020-12-22 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Non-color shifting multilayer structures and protective coatings thereon |
US9612369B2 (en) | 2007-08-12 | 2017-04-04 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Red omnidirectional structural color made from metal and dielectric layers |
US8593728B2 (en) * | 2009-02-19 | 2013-11-26 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Multilayer photonic structures |
US10788608B2 (en) | 2007-08-12 | 2020-09-29 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Non-color shifting multilayer structures |
US8861087B2 (en) | 2007-08-12 | 2014-10-14 | Toyota Motor Corporation | Multi-layer photonic structures having omni-directional reflectivity and coatings incorporating the same |
US8329247B2 (en) | 2009-02-19 | 2012-12-11 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Methods for producing omni-directional multi-layer photonic structures |
US10690823B2 (en) | 2007-08-12 | 2020-06-23 | Toyota Motor Corporation | Omnidirectional structural color made from metal and dielectric layers |
US20110228415A1 (en) * | 2010-03-18 | 2011-09-22 | Shih-Chang Shei | High-reflection multilayer coating |
US8196823B2 (en) | 2010-08-10 | 2012-06-12 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Optical lock systems and methods |
US8257784B2 (en) | 2010-08-10 | 2012-09-04 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Methods for identifying articles of manufacture |
US10067265B2 (en) | 2010-10-12 | 2018-09-04 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Semi-transparent reflectors |
US9678260B2 (en) | 2012-08-10 | 2017-06-13 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Omnidirectional high chroma red structural color with semiconductor absorber layer |
US9658375B2 (en) | 2012-08-10 | 2017-05-23 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Omnidirectional high chroma red structural color with combination metal absorber and dielectric absorber layers |
US9664832B2 (en) | 2012-08-10 | 2017-05-30 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Omnidirectional high chroma red structural color with combination semiconductor absorber and dielectric absorber layers |
WO2014047724A1 (en) | 2012-09-26 | 2014-04-03 | Ledtech International Inc. | Multilayer optical interference filter |
DE112015001639B4 (de) | 2014-04-01 | 2023-12-14 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Nicht-farbverschiebende mehrschichtige strukturen |
US9810824B2 (en) | 2015-01-28 | 2017-11-07 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Omnidirectional high chroma red structural colors |
KR102496476B1 (ko) * | 2015-11-19 | 2023-02-06 | 삼성전자주식회사 | 전자기파 반사체 및 이를 포함하는 광학소자 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60181704A (ja) * | 1984-02-29 | 1985-09-17 | Canon Inc | 真空紫外用反射ミラー |
JPS63165805A (ja) * | 1986-12-27 | 1988-07-09 | Hoya Corp | 多層膜表面反射鏡 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3033701A (en) * | 1957-05-20 | 1962-05-08 | Eastman Kodak Co | Infrared transmitting optical element |
US3679291A (en) * | 1970-04-21 | 1972-07-25 | Optical Coating Laboratory Inc | Filter with neutral transmitting multilayer coating having asymmetric reflectance |
GB1595907A (en) * | 1977-05-05 | 1981-08-19 | Bfg Glassgroup | Mirrors |
JPS5424046A (en) * | 1977-07-25 | 1979-02-23 | Canon Inc | Reflecting mirror |
JPS5628487A (en) * | 1979-08-14 | 1981-03-20 | Tokyo Shibaura Electric Co | Heat reflecting plate |
JPS56162702A (en) * | 1980-05-19 | 1981-12-14 | Ricoh Co Ltd | Manufacture of reflecting mirror |
JPS6015604A (ja) * | 1983-07-07 | 1985-01-26 | Nippon Soken Inc | 自動車用反射鏡 |
US4673248A (en) * | 1983-04-11 | 1987-06-16 | Nippon Soken, Inc. | Reflecting mirror for an automobile |
JPS60212704A (ja) * | 1984-04-06 | 1985-10-25 | Murakami Kaimeidou:Kk | 反射鏡 |
JPS61219004A (ja) * | 1985-03-25 | 1986-09-29 | Canon Inc | 多層膜反射鏡 |
JPH0679092B2 (ja) * | 1985-11-06 | 1994-10-05 | 株式会社東海理化電機製作所 | 着色鏡 |
JPS6374005A (ja) * | 1986-09-18 | 1988-04-04 | Hoya Corp | 多層膜裏面反射鏡 |
JP2629693B2 (ja) * | 1987-02-26 | 1997-07-09 | 松下電器産業株式会社 | エキシマレーザ用ミラー |
-
1988
- 1988-10-31 JP JP63275097A patent/JP2719367B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-10-23 US US07/425,119 patent/US5007710A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-10-25 GB GB8923984A patent/GB2224366B/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-10-30 IT IT06792889A patent/IT1238097B/it active IP Right Grant
- 1989-10-31 DE DE3936282A patent/DE3936282C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60181704A (ja) * | 1984-02-29 | 1985-09-17 | Canon Inc | 真空紫外用反射ミラー |
JPS63165805A (ja) * | 1986-12-27 | 1988-07-09 | Hoya Corp | 多層膜表面反射鏡 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0933959A (ja) * | 1995-07-14 | 1997-02-07 | Olympus Optical Co Ltd | 位相制御膜構造体 |
JPWO2004074887A1 (ja) * | 2003-02-21 | 2006-06-01 | 三井化学株式会社 | 反射体およびその用途 |
JP4498273B2 (ja) * | 2003-02-21 | 2010-07-07 | 三井化学株式会社 | 反射体及びその用途 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2224366B (en) | 1992-11-18 |
IT8967928A0 (it) | 1989-10-30 |
DE3936282A1 (de) | 1990-05-03 |
US5007710A (en) | 1991-04-16 |
IT1238097B (it) | 1993-07-07 |
DE3936282C2 (de) | 1997-06-12 |
GB8923984D0 (en) | 1989-12-13 |
GB2224366A (en) | 1990-05-02 |
JP2719367B2 (ja) | 1998-02-25 |
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