JPS58208154A - 多層膜反射鏡の製造方法 - Google Patents
多層膜反射鏡の製造方法Info
- Publication number
- JPS58208154A JPS58208154A JP9136982A JP9136982A JPS58208154A JP S58208154 A JPS58208154 A JP S58208154A JP 9136982 A JP9136982 A JP 9136982A JP 9136982 A JP9136982 A JP 9136982A JP S58208154 A JPS58208154 A JP S58208154A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- deposited
- tio2
- reflecting mirror
- multilayer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/42—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating of an organic material and at least one non-metal coating
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ンプレーテングなどの真空めっき法による光学的多層反
射被膜と塗装法や印刷法による有機高分子系を被着して
成る反射鏡の製造法に関するもので、自動車用、室内用
、化粧具用又は内外装建材用に通用するものである。
射被膜と塗装法や印刷法による有機高分子系を被着して
成る反射鏡の製造法に関するもので、自動車用、室内用
、化粧具用又は内外装建材用に通用するものである。
従来自動車用灯具の反射鏡や後写鏡などや家庭用とか化
粧用のｍ類は第１図・（イ）、（口）の断面拡大図に示
すように、銀（ Ａｇ ）とかアルミニューム（Ａｌ）
或いはクローム（ Ｃｒ ）等の単金属を基材８面上に
化学めっき法とか真空めっき法により被着している。Ｉ
Ｋ 、（（）ではａの基材のガラス又は透明セラミック
の裏面にｂのＡｓ 、 ＡＩ又はＣｒ等の金属反射膜を
形成し更に保！！塗＆Ｃを直着して反射膜を保護する役
をしている。又図（ロ）は基材ａの表面に前記反射性金
属膜ｂを被着するか、更に透光付保護膜ｄを塗着し表向
きとして使用する場合である。上記の従来の欽は比較的
容易に被膜形成が可能である。
粧用のｍ類は第１図・（イ）、（口）の断面拡大図に示
すように、銀（ Ａｇ ）とかアルミニューム（Ａｌ）
或いはクローム（ Ｃｒ ）等の単金属を基材８面上に
化学めっき法とか真空めっき法により被着している。Ｉ
Ｋ 、（（）ではａの基材のガラス又は透明セラミック
の裏面にｂのＡｓ 、 ＡＩ又はＣｒ等の金属反射膜を
形成し更に保！！塗＆Ｃを直着して反射膜を保護する役
をしている。又図（ロ）は基材ａの表面に前記反射性金
属膜ｂを被着するか、更に透光付保護膜ｄを塗着し表向
きとして使用する場合である。上記の従来の欽は比較的
容易に被膜形成が可能である。
一般に薄膜形成法には次の方法があることが知られてい
る。
る。
１）真空蒸着法＝最つとも多く適用されている製造法で
、粉本又は粒子状の材料をル ツボに入扛、真空中で加熱し、蒸 発させて、基板に薄膜を析出させ る。
、粉本又は粒子状の材料をル ツボに入扛、真空中で加熱し、蒸 発させて、基板に薄膜を析出させ る。
２） ｙ，−：ツタリング法＝上記と同材料を溶解や院
結などによシダーゲットとし、これを真空 中でアルゴンイオンでスパッター させ基板に薄膜を析出させる。
結などによシダーゲットとし、これを真空 中でアルゴンイオンでスパッター させ基板に薄膜を析出させる。
３）イオンブレーティング法＝真空中で、基板Ｋ １０
０〜６００ｖ程度の負のバイアス電圧を与え、 蒸発材料を直流や高周波によって イオン化させて、基板に薄膜を析 出させる。
０〜６００ｖ程度の負のバイアス電圧を与え、 蒸発材料を直流や高周波によって イオン化させて、基板に薄膜を析 出させる。
４）気相反応法＝酸化物薄膜の製造法で、揮発性の亮い
塩化物と水蒸気や炭酸ガスな どを接触させ加水分解を起し生じ た水酸化物を、加熱基板上に分解、 析出させる。、公害の危険がめるた め、あまり採用されない。
塩化物と水蒸気や炭酸ガスな どを接触させ加水分解を起し生じ た水酸化物を、加熱基板上に分解、 析出させる。、公害の危険がめるた め、あまり採用されない。
５）液相反応法＝４と同様に酸化物薄膜の製造法で、基
板に金属アルコオキサイド溶液 をスプレーや浸漬法によって塗布 し、これを加熱分解させて薄膜を 析出させる。
板に金属アルコオキサイド溶液 をスプレーや浸漬法によって塗布 し、これを加熱分解させて薄膜を 析出させる。
＠）上記１）〜３）を真空めっき法と総称する。
従来農面跳としては第１図（イ）のようにガラスの基材
ａの清浄なる面にＡｇ 、 Ａｌその他Ｃｒ等の金属膜
すを真空めっきにより蒸着させて、保護膜Ｃとして有機
高分子材の塗料をぬ！ｌｌ焼付乾燥する。図（ロ）の表
面鏡の場合ではＣｒ等の硬い金属すを蒸着して表面の反
射を用いる。しかし、１輯のような金属膜では反射光は
モノクロームの状態で使用される場合が多い。
ａの清浄なる面にＡｇ 、 Ａｌその他Ｃｒ等の金属膜
すを真空めっきにより蒸着させて、保護膜Ｃとして有機
高分子材の塗料をぬ！ｌｌ焼付乾燥する。図（ロ）の表
面鏡の場合ではＣｒ等の硬い金属すを蒸着して表面の反
射を用いる。しかし、１輯のような金属膜では反射光は
モノクロームの状態で使用される場合が多い。
しかるに近年特に目勤車後写鏡には青色に着色した反射
鏡が、特に欧州では可成り採用されて防眩効果やテザイ
ン性に於てすぐれている。この要求には前記の従来法で
は着色及び反射率に関して満足させることが困難である
。すなわち前記従来の方法で青色のａｔ作成しようとす
るならば図（イ）の場合の裏面鏡では透明なガラス基材
ａ自体に青色の染料（有機又は無機質）を混合して金属
ｇｂからの反射光を着色するか、図（ロ）の表面鏡では
透光性保護膜ｄに前記同様青色に着色するかしなければ
ならないが、倒れも染料や顔料の混入を必要とし、単元
性染料の製造が困難で且つ着色のバラツキが出ること、
染料等の耐候性がよくない又吸収がおシ鮮やかな色にな
！ｌｌ難い等の問題がある。
鏡が、特に欧州では可成り採用されて防眩効果やテザイ
ン性に於てすぐれている。この要求には前記の従来法で
は着色及び反射率に関して満足させることが困難である
。すなわち前記従来の方法で青色のａｔ作成しようとす
るならば図（イ）の場合の裏面鏡では透明なガラス基材
ａ自体に青色の染料（有機又は無機質）を混合して金属
ｇｂからの反射光を着色するか、図（ロ）の表面鏡では
透光性保護膜ｄに前記同様青色に着色するかしなければ
ならないが、倒れも染料や顔料の混入を必要とし、単元
性染料の製造が困難で且つ着色のバラツキが出ること、
染料等の耐候性がよくない又吸収がおシ鮮やかな色にな
！ｌｌ難い等の問題がある。
しかして従来光’４ｇ器関係の反射防止膜としてのレン
ズコーテングや干渉フィルターでは酸化物、弗化物又は
硫化物などの非金属膜の多層膜が適用されており光学的
効果を発揮していることはよく知られている。例えば青
色を呈する反射鏡はいわゆる上記の非金属膜の光の干渉
作用による干渉色を応用したもので、この方法の反射鏡
が自動車への採用に遅れていたのは、前記従来の金属膜
に比べてコスト高であシ且有色のために使用範囲が限ら
れてくることの理由であると推定される。しかし前記の
ように青色の鋭は機能性が高く外観も美しいことから要
求が高まっておシ前記従来工法では得られ力い色の精度
と反射性を発揮し得るものでめる。
ズコーテングや干渉フィルターでは酸化物、弗化物又は
硫化物などの非金属膜の多層膜が適用されており光学的
効果を発揮していることはよく知られている。例えば青
色を呈する反射鏡はいわゆる上記の非金属膜の光の干渉
作用による干渉色を応用したもので、この方法の反射鏡
が自動車への採用に遅れていたのは、前記従来の金属膜
に比べてコスト高であシ且有色のために使用範囲が限ら
れてくることの理由であると推定される。しかし前記の
ように青色の鋭は機能性が高く外観も美しいことから要
求が高まっておシ前記従来工法では得られ力い色の精度
と反射性を発揮し得るものでめる。
第１図の従来例、（・）図は、近年ドイツ製の鏡に見ら
れる活色鏡で、特に５）の液相反応法と見られ、ガラス
ａを液に浸漬して多層膜ｅを両面に形成させｇの黒色産
膜を塗着して−いるが詳細な方法は不明である。又図に
）は上記１）乃至３）の方法の多層膜ｆを形成させ同じ
く保護膜ｇを塗着しており、例えば多層膜ｆは第１層ｆ
】にはＴｉＯ２，ｆ２にＭｇＦ２゜第３のｆｎにＴｉ０
１を形成している例である。基本的には酸化物、フッ化
物及び硫化物等の各薄膜はそれぞれ固有の屈折率を有し
基板より高い屈折率の単層膜を形成させた場合、膜の光
学的厚さがλ／４（λは波長）の奇数倍となる波長位置
で反射率が最大となることが知られており、また単層で
はあまり高い反射率が得られないために、その目的に応
じて、光学的厚さの等しい高屈折率膜と低屈折率膜とを
交互に重ねて多層膜を形成させるものである。父上記非
金属膜は前記金属膜（Ａｇ等）に比べて吸収の極めて少
ない透明体であるために有色の反射体として利用するに
は何らかの吸収体が必要であるために黒色系の塗料によ
る保護膜ｇを塗着している。
れる活色鏡で、特に５）の液相反応法と見られ、ガラス
ａを液に浸漬して多層膜ｅを両面に形成させｇの黒色産
膜を塗着して−いるが詳細な方法は不明である。又図に
）は上記１）乃至３）の方法の多層膜ｆを形成させ同じ
く保護膜ｇを塗着しており、例えば多層膜ｆは第１層ｆ
】にはＴｉＯ２，ｆ２にＭｇＦ２゜第３のｆｎにＴｉ０
１を形成している例である。基本的には酸化物、フッ化
物及び硫化物等の各薄膜はそれぞれ固有の屈折率を有し
基板より高い屈折率の単層膜を形成させた場合、膜の光
学的厚さがλ／４（λは波長）の奇数倍となる波長位置
で反射率が最大となることが知られており、また単層で
はあまり高い反射率が得られないために、その目的に応
じて、光学的厚さの等しい高屈折率膜と低屈折率膜とを
交互に重ねて多層膜を形成させるものである。父上記非
金属膜は前記金属膜（Ａｇ等）に比べて吸収の極めて少
ない透明体であるために有色の反射体として利用するに
は何らかの吸収体が必要であるために黒色系の塗料によ
る保護膜ｇを塗着している。
前述のような従来の工法による反射鏡では特に後者の真
空めっき法の多層膜の中のＴｉ０２膜は保護膜などの有
機高分子膜やあるいは有機高分子膜のアンダーコート処
理された表皮層と直接接する面との付着性が悪いため、
特に耐候性評価試験（サンシャインウェーザーテストや
天然１１１ｇテスト）女とで付層刀が劣化し、実用化が
困難である。この付着力改良のため、上記有機分子膜の
改質が要求されるがコスト高とカシ技術的にも容易でな
い。
空めっき法の多層膜の中のＴｉ０２膜は保護膜などの有
機高分子膜やあるいは有機高分子膜のアンダーコート処
理された表皮層と直接接する面との付着性が悪いため、
特に耐候性評価試験（サンシャインウェーザーテストや
天然１１１ｇテスト）女とで付層刀が劣化し、実用化が
困難である。この付着力改良のため、上記有機分子膜の
改質が要求されるがコスト高とカシ技術的にも容易でな
い。
又従来例の液相反応法による図（ハ）の方法では、膜質
が無定形模造のため真空めっき法に比し軟質であるため
、きすもつきやすく且屈折率が低いため反射率も・低い
上、浸漬により基材両側の被膜析出により反射像が１像
となる。又これをさけるために丸面の膜を除去して用い
るとしても表面鏡°として使用することになり、−寸し
たきすや付着物がおると色の変化が目立つ欠陥を有する
。
が無定形模造のため真空めっき法に比し軟質であるため
、きすもつきやすく且屈折率が低いため反射率も・低い
上、浸漬により基材両側の被膜析出により反射像が１像
となる。又これをさけるために丸面の膜を除去して用い
るとしても表面鏡°として使用することになり、−寸し
たきすや付着物がおると色の変化が目立つ欠陥を有する
。
不発明は上述したような従来の工法による反射鏡の欠点
である反射被膜の付着力劣化を改良して且餠面の１鴇性
を向上させた耐久性のある良質の多層膜反射鏡の製造方
法を提供するものである。
である反射被膜の付着力劣化を改良して且餠面の１鴇性
を向上させた耐久性のある良質の多層膜反射鏡の製造方
法を提供するものである。
第２図乃至第４図は本発明の製造法により構成した多層
膜反射鏡の一部断面の拡大図でおる。先づ第２図は本発
明の製造法の代表的実施例を示し、特に後述の谷種耐久
計試験の対称例としたものである。
膜反射鏡の一部断面の拡大図でおる。先づ第２図は本発
明の製造法の代表的実施例を示し、特に後述の谷種耐久
計試験の対称例としたものである。
第２図Ｖｃ於て基本構成にｉ材Ｇのガラス又はセフミッ
クの透明体に真空めっ＠法により（’ｉ”ｉ０２十Ｍｇ
Ｆｘ ＋ Ｔｉ０ｇ ）の多ノー膜りを蒸着して核層し
、更に安定酸化＠Ｉ＊Ａとして５ｉＯｚ （又はＵ ２
０ ｍ或いはＳｉｎｇとＡｌｇＯｓの混合物）を蒸着し
、上ノーにＭ機制分子系の塗料を塗着して保護膜Ｃを形
成させている。巣に詳しく工程例を萩明すると、 １、基材の前処理工程 ２ｆｆ厚さの板ガラス基材Ｇｆ況罰（ティーボールンの
２１溶液甲で超音波伏伊（３００Ｗ峰上電機製）後水洗
−ｆルコール仇浄−水切シー温風（６０Ｃ）で乾燥。
クの透明体に真空めっ＠法により（’ｉ”ｉ０２十Ｍｇ
Ｆｘ ＋ Ｔｉ０ｇ ）の多ノー膜りを蒸着して核層し
、更に安定酸化＠Ｉ＊Ａとして５ｉＯｚ （又はＵ ２
０ ｍ或いはＳｉｎｇとＡｌｇＯｓの混合物）を蒸着し
、上ノーにＭ機制分子系の塗料を塗着して保護膜Ｃを形
成させている。巣に詳しく工程例を萩明すると、 １、基材の前処理工程 ２ｆｆ厚さの板ガラス基材Ｇｆ況罰（ティーボールンの
２１溶液甲で超音波伏伊（３００Ｗ峰上電機製）後水洗
−ｆルコール仇浄−水切シー温風（６０Ｃ）で乾燥。
ｉ＋、 真空めっき工程
真空装置ｔ（ＢＭＣ型）に前記ガラスを装着して、真空
ボンダで排気し乍らガラスの温ｔ′に２５０Ｃに刀Ω熱
。一方電子線蒸発装置（ＴＫＢＧ１０２ＵＢ） ノミ子
ビーＪＡＫより ＴｉＬ）２の粉本ｔ６ ＫＶ 、 ４
００ ｍＡで蒸発し、更にＭｇＦ２を６ ＫＶ 。
ボンダで排気し乍らガラスの温ｔ′に２５０Ｃに刀Ω熱
。一方電子線蒸発装置（ＴＫＢＧ１０２ＵＢ） ノミ子
ビーＪＡＫより ＴｉＬ）２の粉本ｔ６ ＫＶ 、 ４
００ ｍＡで蒸発し、更にＭｇＦ２を６ ＫＶ 。
８０ｍＡでそれぞれ光学的膜厚、すなわちλ／４が等し
くなるように両者を又互に蒸着し、更に酸化物膜Ａとし
てＳｉｎｇ ｆ ６ ＫＷ ２００ｍＡで光学的膜厚が
λ／２になるように蒸着を行う。ガラスは均−膜厚の多
層膜りになるように水平回転させる。蒸発材料はすべて
純度９９．９を使用する。又この場合のλ＝ ４８０
ｎｍの所を設定する。
くなるように両者を又互に蒸着し、更に酸化物膜Ａとし
てＳｉｎｇ ｆ ６ ＫＷ ２００ｍＡで光学的膜厚が
λ／２になるように蒸着を行う。ガラスは均−膜厚の多
層膜りになるように水平回転させる。蒸発材料はすべて
純度９９．９を使用する。又この場合のλ＝ ４８０
ｎｍの所を設定する。
Ｉｌｌ、 Ｗ護膜の塗着
蒸着されたガラスを真空タンクから取出し、常温に冷え
てから前記被膜面上に市販資料（ｆ％色ＰＲＸ１００Ｏ
） ｉスプレーしてセツテングした後熱風炉１５０°の
中で３０分間焼付乾燥し保護膜Ｃをカバーする。
てから前記被膜面上に市販資料（ｆ％色ＰＲＸ１００Ｏ
） ｉスプレーしてセツテングした後熱風炉１５０°の
中で３０分間焼付乾燥し保護膜Ｃをカバーする。
以上の工程に於て峙に基材Ｇに接するＴｉ０ｇとの間に
は５ｉ０２の層は必要でないが保護膜Ｃとの間には必ず
５ｉ０２層を必要としているのが特徴でるる。上記実施
例の反射鏡の耐久性を比較するために、５ｉ０２層を省
略した試料とその試験データは次表の通りでおる。
は５ｉ０２の層は必要でないが保護膜Ｃとの間には必ず
５ｉ０２層を必要としているのが特徴でるる。上記実施
例の反射鏡の耐久性を比較するために、５ｉ０２層を省
略した試料とその試験データは次表の通りでおる。
上表のデータで明らかなように５ｔｏｐの効果が明瞭に
埃われている結果を示した。
埃われている結果を示した。
史に他の実施例で特に裏面鏡では代表例として第３図（
イ）、（ロ）に示す場合で、図（イ）はＴｉＯ２の単層
の場合でＴｉ０ｇを蒸着し更に安定酸化物膜を被着した
後保護膜Ｃが塗着されてる。図（ロ）では基材０面にＴ
ｉＯ２以外の物質を第１層として最終層をＴｉ ０２と
した多層膜りとし安定酸化物膜Ａと更に保護膜Ｃを塗着
する。
イ）、（ロ）に示す場合で、図（イ）はＴｉＯ２の単層
の場合でＴｉ０ｇを蒸着し更に安定酸化物膜を被着した
後保護膜Ｃが塗着されてる。図（ロ）では基材０面にＴ
ｉＯ２以外の物質を第１層として最終層をＴｉ ０２と
した多層膜りとし安定酸化物膜Ａと更に保護膜Ｃを塗着
する。
表面鏡として使用する場合の工程では、第４図（イ）乃
至（ハ）の場合である。図（イ）はＴ ｉ Ｏ２の単層
を蒸着した後５ｉ０２を蒸着した上にクリヤーのトップ
コートをしで保護族ＴとしＣいる。図（ロ）は最終層を
ＴｉＯ２とした多層膜りに酸化物膜Ａ、更にクリヤーの
・−−ｍｌＴケ被殖したものである。図（ハ）は第１層
と最終層をＴｉＯ２とした多層膜りに５ｉｎｓ更に保護
族Ｔの場合でめる。その他種々の組甘わせが前述裏面鏡
の場合も含めて適用可能である。
至（ハ）の場合である。図（イ）はＴ ｉ Ｏ２の単層
を蒸着した後５ｉ０２を蒸着した上にクリヤーのトップ
コートをしで保護族ＴとしＣいる。図（ロ）は最終層を
ＴｉＯ２とした多層膜りに酸化物膜Ａ、更にクリヤーの
・−−ｍｌＴケ被殖したものである。図（ハ）は第１層
と最終層をＴｉＯ２とした多層膜りに５ｉｎｓ更に保護
族Ｔの場合でめる。その他種々の組甘わせが前述裏面鏡
の場合も含めて適用可能である。
第５図は分光反射率を比較した曲線でりる。曲＃Ａｇ、
Ｃｒは従来の壬Ｍｉｈ ＶＣよる単層蒸着膜の反射率曲
線でモノクロームであり、ＳＨは前述の液相反応法によ
るｗ色糸のものである。本発明の真空めっき法の多盾膜
反ＪＡ鋭の曲線は＝ｘｐ ｉ〜３で、Ｅｘｐ １はＨ１
ｊ記実験に供した試料の場合でｌ−膜（ＴｉＯ２＋Ｍｇ
Ｆ２−１− ＴｉＯ２）にＳ ｆｏｇと保護膜の裏面−
１ＥＸＰ ２１１’ｌ ＥＸＰ １のＳｉｎｇの代りに
Ａ１２０１に代替した場合で特にＡｌｇＯａを２０ＯＡ
の厚み１点、シた両者の反射率に殆んど類似している。
Ｃｒは従来の壬Ｍｉｈ ＶＣよる単層蒸着膜の反射率曲
線でモノクロームであり、ＳＨは前述の液相反応法によ
るｗ色糸のものである。本発明の真空めっき法の多盾膜
反ＪＡ鋭の曲線は＝ｘｐ ｉ〜３で、Ｅｘｐ １はＨ１
ｊ記実験に供した試料の場合でｌ−膜（ＴｉＯ２＋Ｍｇ
Ｆ２−１− ＴｉＯ２）にＳ ｆｏｇと保護膜の裏面−
１ＥＸＰ ２１１’ｌ ＥＸＰ １のＳｉｎｇの代りに
Ａ１２０１に代替した場合で特にＡｌｇＯａを２０ＯＡ
の厚み１点、シた両者の反射率に殆んど類似している。
Ｅｘｐ ３はＴｉＯ２単層をλ／４としてＭ２Ｏ３と５
ｉｎ２の混合を１：３に混ぜ同じくλ／４の厚みとした
場合でおる。
ｉｎ２の混合を１：３に混ぜ同じくλ／４の厚みとした
場合でおる。
尚上述の多層族は芙除Ｖこは、＾ノｍｌ折率物負として
ＴｉＣｈｋＭ本として形成させてるが、中間にはＺｒ０
ｇ ＋ Ｃｅｎｔ ＊ ＺｎＳでもよい。又低屈折＊物
資はＡ７Ｆｓ３Ｎａ ＋ ｍｇＦｇ 、 ＣｅＦ３又ｉ
’ｍ５ｉｏ２等でよくこれ等を前記法則により最通膜厚
になるように久互に積層することによシ多層膜りを形成
し、その上に更にＳｉｎｇ又はＡ７ｇＯａ或いは両省の
混合物質から成る安定酸化物膜Ａを板層し、史に肩愼渦
ガ子から成る不透光性の保護膜Ｃを堡看することにより
鏡面を形成する。この場合安定酸化物膜Ａの膜厚は低屈
折率膜としてλ／４やλ／２になるように光学的膜厚を
制御すれば向有効であるが漬水さｆる色調、すなわち波
長λや反射率により膜Ａの厚みは制約する必要はないの
で、結果的に多層族の構成をしても適時選択すれは艮い
。
ＴｉＣｈｋＭ本として形成させてるが、中間にはＺｒ０
ｇ ＋ Ｃｅｎｔ ＊ ＺｎＳでもよい。又低屈折＊物
資はＡ７Ｆｓ３Ｎａ ＋ ｍｇＦｇ 、 ＣｅＦ３又ｉ
’ｍ５ｉｏ２等でよくこれ等を前記法則により最通膜厚
になるように久互に積層することによシ多層膜りを形成
し、その上に更にＳｉｎｇ又はＡ７ｇＯａ或いは両省の
混合物質から成る安定酸化物膜Ａを板層し、史に肩愼渦
ガ子から成る不透光性の保護膜Ｃを堡看することにより
鏡面を形成する。この場合安定酸化物膜Ａの膜厚は低屈
折率膜としてλ／４やλ／２になるように光学的膜厚を
制御すれば向有効であるが漬水さｆる色調、すなわち波
長λや反射率により膜Ａの厚みは制約する必要はないの
で、結果的に多層族の構成をしても適時選択すれは艮い
。
以上本発明による多層膜反射鏡をガラスやでラミックを
基材とする製造方法でに、ＴｉＯ２の単ｍ又は多層膜の
形成後の保Ｗ！ＩＬ膜（裏打又はクリヤーのトップコー
ト）の有機高分子膜の層とが直接コンタクトすることを
回避するために５ｉＯｓ＋等の安定酸化物膜を介在させ
る工程をとっていることを特徴としているためにＴｉＯ
２と保護膜との層間付着性が安定酸化物の存在により著
しく改吾し、極めてすぐれた耐久性を具備した鏡を得る
ことが可能である。又耐湿性や耐温水性も良好で過酷な
る環境でも耐用し得る。この理由については明らかでな
いが、ＴｉＯ２膜と有機質基体の相互の間で何らかの光
化学的反応が促進されるものと思われ、且この傾向が真
空めっき法で強いのはＴｉ０ｇの膜構造に関連するもの
と推測される。この反応を阻止するものとして酸化物膜
の５ｉｎ２等が奏効している。
基材とする製造方法でに、ＴｉＯ２の単ｍ又は多層膜の
形成後の保Ｗ！ＩＬ膜（裏打又はクリヤーのトップコー
ト）の有機高分子膜の層とが直接コンタクトすることを
回避するために５ｉＯｓ＋等の安定酸化物膜を介在させ
る工程をとっていることを特徴としているためにＴｉＯ
２と保護膜との層間付着性が安定酸化物の存在により著
しく改吾し、極めてすぐれた耐久性を具備した鏡を得る
ことが可能である。又耐湿性や耐温水性も良好で過酷な
る環境でも耐用し得る。この理由については明らかでな
いが、ＴｉＯ２膜と有機質基体の相互の間で何らかの光
化学的反応が促進されるものと思われ、且この傾向が真
空めっき法で強いのはＴｉ０ｇの膜構造に関連するもの
と推測される。この反応を阻止するものとして酸化物膜
の５ｉｎ２等が奏効している。
次に本発明の製造法では従来技術の有機高分子膜やプラ
スチック材を採用し得るため特別な工程変更や配合を必
要としないので低コストが計れる。
スチック材を採用し得るため特別な工程変更や配合を必
要としないので低コストが計れる。
又真空めっき法によるＴｉＯ２膜の特徴すなわち結晶構
造（ルチル型やアナターゼ型）を作るため、硬くきすが
つきにくいことや屈折率が高いために反射率を高くでき
ることの特徴を生かして、表面や裏面のいずれの機能を
満たす反射鏡を作ることができるので、液相反応法のよ
うな欠点を改善し得た。
造（ルチル型やアナターゼ型）を作るため、硬くきすが
つきにくいことや屈折率が高いために反射率を高くでき
ることの特徴を生かして、表面や裏面のいずれの機能を
満たす反射鏡を作ることができるので、液相反応法のよ
うな欠点を改善し得た。
以上のように本発明の製造法により得られる反射鏡は耐
候性がよい上耐傷性と剛犀粍性が良好な上方ロエコスト
を安くすることができるのである。
候性がよい上耐傷性と剛犀粍性が良好な上方ロエコスト
を安くすることができるのである。
尚当然のこと乍ら、本発明による製造法は上記実施例に
のみ限定されるものではない。す々わち、薄膜の形成方
法や基本構成物質以外の物質及び保護族の有堕為分子系
物質はイ町ら限定するものではない。
のみ限定されるものではない。す々わち、薄膜の形成方
法や基本構成物質以外の物質及び保護族の有堕為分子系
物質はイ町ら限定するものではない。
第１図（イ）乃至に）は共に従来工法による反射鏡の一
部拡大断面を示す構成図である。第２図は本発明の製造
方法による多層膜反射鏡の拡大断面図で基本的溝底の場
合で、第３図（イ）、（ロ）は同じく裏面鏡の場合の他
の実施例、第４ ＺＣＷ） 、 ＜；”ｆ’Ｆｉ表面説
の場合である。第５図ａ種々の例の分光反射率曲想の説
明図である。 Ｇ・・・基材、Ａ・・・安定酸化物膜、Ｌ・・・多層膜
、ｃ。 Ｔ・・・保護膜。 特許出願人 久 保 樹 生 代理人 弁理士 秋 本 正 実第１図 （ざ） ゝ−９ （ニ） 第２図 第３図 （イ） ＼ Ａ ・−Ｃ （ロ）
部拡大断面を示す構成図である。第２図は本発明の製造
方法による多層膜反射鏡の拡大断面図で基本的溝底の場
合で、第３図（イ）、（ロ）は同じく裏面鏡の場合の他
の実施例、第４ ＺＣＷ） 、 ＜；”ｆ’Ｆｉ表面説
の場合である。第５図ａ種々の例の分光反射率曲想の説
明図である。 Ｇ・・・基材、Ａ・・・安定酸化物膜、Ｌ・・・多層膜
、ｃ。 Ｔ・・・保護膜。 特許出願人 久 保 樹 生 代理人 弁理士 秋 本 正 実第１図 （ざ） ゝ−９ （ニ） 第２図 第３図 （イ） ＼ Ａ ・−Ｃ （ロ）
Claims (1)
- （１） ガラス又はセラミックの基材面に反射被膜を
形成する多層膜反射鏡の製造方法であって、該基材に真
空めっき法によシ酸化チタン（ＴｉＯ２）層の単層又は
多層膜を被着する第一工程と、二酸化ケイ素（Ｓｉｎｇ
）又は７ ルミｆ （Ａｌ２Ｏ５） Ｏ何れが１つか
、或いは両者の混合物（Ａｌｇｏｓ・Ｓｉｎｇ ）の安
定酸化物膜を同じく真空めっき法により蒸着する第２工
程と、上記安定酸化層面上に有機高分子系の保護膜を塗
着する第３工程とからなることを特徴とする多層膜反射
鏡の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9136982A JPS58208154A (ja) | 1982-05-31 | 1982-05-31 | 多層膜反射鏡の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9136982A JPS58208154A (ja) | 1982-05-31 | 1982-05-31 | 多層膜反射鏡の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58208154A true JPS58208154A (ja) | 1983-12-03 |
| JPS6229383B2 JPS6229383B2 (ja) | 1987-06-25 |
Family
ID=14024458
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9136982A Granted JPS58208154A (ja) | 1982-05-31 | 1982-05-31 | 多層膜反射鏡の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58208154A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60212704A (ja) * | 1984-04-06 | 1985-10-25 | Murakami Kaimeidou:Kk | 反射鏡 |
| JPS62257102A (ja) * | 1986-04-30 | 1987-11-09 | Kyocera Corp | セラミツクスミラ− |
| JP2016503378A (ja) * | 2012-11-08 | 2016-02-04 | サン−ゴバン グラス フランスＳａｉｎｔ−Ｇｏｂａｉｎ Ｇｌａｓｓ Ｆｒａｎｃｅ | 切換可能な光学特性を備えた窓ガラス |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0523640Y2 (ja) * | 1986-10-14 | 1993-06-16 |
-
1982
- 1982-05-31 JP JP9136982A patent/JPS58208154A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60212704A (ja) * | 1984-04-06 | 1985-10-25 | Murakami Kaimeidou:Kk | 反射鏡 |
| JPH0446401B2 (ja) * | 1984-04-06 | 1992-07-29 | Murakami Kaimeido Kk | |
| JPS62257102A (ja) * | 1986-04-30 | 1987-11-09 | Kyocera Corp | セラミツクスミラ− |
| JP2016503378A (ja) * | 2012-11-08 | 2016-02-04 | サン−ゴバン グラス フランスＳａｉｎｔ−Ｇｏｂａｉｎ Ｇｌａｓｓ Ｆｒａｎｃｅ | 切換可能な光学特性を備えた窓ガラス |
| US10061178B2 (en) | 2012-11-08 | 2018-08-28 | Saint-Gobain Glass France | Glazing having switchable optical properties |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6229383B2 (ja) | 1987-06-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2041038C (en) | Durable low-emissivity thin film interference filter | |
| US4784467A (en) | Multi-layered anti-reflection coating | |
| RU2356075C2 (ru) | Гидрофильное отражающее изделие | |
| JPH08231248A (ja) | グレード・ベース層を有する多層非反射性コーティング | |
| JPS5833099B2 (ja) | 多層コ−テイング反射板 | |
| JPH0397865A (ja) | セラミックスコーティング金属板 | |
| JPH06511326A (ja) | 反射防止コーティング | |
| JPH08508004A (ja) | ガラス上のコーチング | |
| JP2008107425A (ja) | ミラーおよび光触媒活性を有する親水性複合膜 | |
| KR20010032163A (ko) | 저항성 표면을 갖는 반사기 | |
| JP2965698B2 (ja) | マグネシウム膜反射材 | |
| JPS58208154A (ja) | 多層膜反射鏡の製造方法 | |
| JPS62108207A (ja) | 着色鏡 | |
| JPS6135521B2 (ja) | ||
| JPS58208703A (ja) | 多層膜反射鏡の製造方法 | |
| JPS63139302A (ja) | 反射防止膜を有する光学成形物品 | |
| JPH08508005A (ja) | ガラス上の被覆 | |
| JPH0437805A (ja) | 積層薄膜よりなる反射鏡 | |
| JPS58208711A (ja) | 多層膜反射鏡 | |
| JP2576637B2 (ja) | 熱線反射ガラス | |
| JP4102203B2 (ja) | ステンレス鋼製光源用反射板 | |
| JPS61110101A (ja) | ハ−フミラ−の製造方法 | |
| JP3304396B2 (ja) | 反射鏡 | |
| JPH03171503A (ja) | 反射鏡及びその製造方法 | |
| JP2698623B2 (ja) | 反射鏡 |