JPS58201054A - ガス検知素子 - Google Patents
ガス検知素子Info
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- JPS58201054A JPS58201054A JP8589582A JP8589582A JPS58201054A JP S58201054 A JPS58201054 A JP S58201054A JP 8589582 A JP8589582 A JP 8589582A JP 8589582 A JP8589582 A JP 8589582A JP S58201054 A JPS58201054 A JP S58201054A
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- methane
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
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- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は可燃性ガスを検知するガス検知素子に関するも
のである。
のである。
近年、可燃性ガスの検知素子材料について種々の研究開
発が活発化してきている。これは、一般家庭を中心に各
種工場などで可燃性ガスによる爆発事故や有毒ガスによ
る中毒事故が多発し、大きな社会問題となっていること
に強く起因している。
発が活発化してきている。これは、一般家庭を中心に各
種工場などで可燃性ガスによる爆発事故や有毒ガスによ
る中毒事故が多発し、大きな社会問題となっていること
に強く起因している。
２ページ
特にプロパンガスは、爆発下限界（ＬＥＬ）が低く、か
つ比重が空気よりも太きく、部屋に停滞しやすいために
事故があとを断たず、毎年多数の死傷者を出している。
つ比重が空気よりも太きく、部屋に停滞しやすいために
事故があとを断たず、毎年多数の死傷者を出している。
近年になって、酸化第二錫（Ｓ ｎ０２ ）やガンマ型
酸化第二鉄（γ−Ｆｅ２Ｏ３）などの金属酸化物を用い
たガス検知素子が実用化され、ガス漏れ警報器などに応
用されている。そして、ガス漏れなどの事態が発生して
もＬＥＬに至るまでの間に、プロパンガスの存在をいち
早く検知し、爆発を未然に防げるようになっている。
酸化第二鉄（γ−Ｆｅ２Ｏ３）などの金属酸化物を用い
たガス検知素子が実用化され、ガス漏れ警報器などに応
用されている。そして、ガス漏れなどの事態が発生して
もＬＥＬに至るまでの間に、プロパンガスの存在をいち
早く検知し、爆発を未然に防げるようになっている。
ところで、日本でもメタンガスを主成分とする液化天然
ガス（ＬＮＣｉ）が一般家庭用として用いられるように
なり、徐々に普及して来ている。したがって、このＬＮ
Ｇの主成分であるメタンガスを選択性よく検出するガス
検知素子の要請も非常に犬きくなってきている。
ガス（ＬＮＣｉ）が一般家庭用として用いられるように
なり、徐々に普及して来ている。したがって、このＬＮ
Ｇの主成分であるメタンガスを選択性よく検出するガス
検知素子の要請も非常に犬きくなってきている。
勿論、すでにメタンガスに感応するガス検知素子は開発
されてはいるが、その多くは感応体材料に増感剤として
貴金属触媒を用いているため、種３１”− 々のガスによる触媒被毒の問題、メタンガスに対する選
択度が小さい点、あるいは周囲湿度に対する依存性が大
きい点などの課題を抱えている。したがって、実用に際
しては未だ不十分な特性であるのが現状である。
されてはいるが、その多くは感応体材料に増感剤として
貴金属触媒を用いているため、種３１”− 々のガスによる触媒被毒の問題、メタンガスに対する選
択度が小さい点、あるいは周囲湿度に対する依存性が大
きい点などの課題を抱えている。したがって、実用に際
しては未だ不十分な特性であるのが現状である。
本発明はこのような状況に鑑みてなされたもので、メタ
ンガスに対しても実用上十分大きな感度を持ったガス検
知素子を提供するものである。メタンガスはそれ自身非
常に安定なガスであるだけに、これに十分な感度を有す
る検知素子は非常に高活性である必要がある。したがっ
て、メタンガスに対して大きな感度を実現するためには
、従来は、貴金属触媒を感応体材料に添加して用いるか
、あるいは感応体をかなり高い温度で動作させるなどの
工夫がなされてきた。これに対し、本発明は貴金属触媒
を一切添加することなく、また比較的低い動作温度でも
対メタン感度の大きい素子を実現するものである。
ンガスに対しても実用上十分大きな感度を持ったガス検
知素子を提供するものである。メタンガスはそれ自身非
常に安定なガスであるだけに、これに十分な感度を有す
る検知素子は非常に高活性である必要がある。したがっ
て、メタンガスに対して大きな感度を実現するためには
、従来は、貴金属触媒を感応体材料に添加して用いるか
、あるいは感応体をかなり高い温度で動作させるなどの
工夫がなされてきた。これに対し、本発明は貴金属触媒
を一切添加することなく、また比較的低い動作温度でも
対メタン感度の大きい素子を実現するものである。
本発明は酸化インジウム（Ｉｎ２０３）をガス感応体と
して用いたガス検知素子において、これに含捷れる種々
の陰イオンのガス感応特性に及ぼす影響について検討し
ている中で見出されたものである。すなわち、ガス感応
体の母材料であるＩ ｎ ２０３が硫酸イオン（ＳＯ２
−一）を含有することによりガス感応特性が飛躍的に向
上し、しかも先述のメタンガスに対しても実用上十分大
きな感度を実現し得ることを見出したことによってなさ
れたものである。
して用いたガス検知素子において、これに含捷れる種々
の陰イオンのガス感応特性に及ぼす影響について検討し
ている中で見出されたものである。すなわち、ガス感応
体の母材料であるＩ ｎ ２０３が硫酸イオン（ＳＯ２
−一）を含有することによりガス感応特性が飛躍的に向
上し、しかも先述のメタンガスに対しても実用上十分大
きな感度を実現し得ることを見出したことによってなさ
れたものである。
以下、本発明を具体的な実施例に基づいて説明する。
〔実施例１〕
市販の酸化インジウム（Ｉｎｚ○３）試薬に、硫酸イオ
ンを含有させるための添加物として種々の量の硫酸イン
ジウム（工ｎ２（Ｓ０４）３−９Ｈ２０）粉末をそれぞ
れ添加混合し、さらにこれに有機バインダーを加えて１
００〜２００μの大きさの粒子に整粒したいくつかの粉
体を作製した。このようにして得られた、硫酸インジウ
ムの含まれる量の異るそれぞれの粉体を直方体形状に加
圧成形し、空気中でｅ ｏ ｏ ’Ｃの温度で１時間焼
成した。この６ベー′！ 焼結体の表面にＡｕを蒸着して一対の櫛形電極を形成し
、その裏面には白金発熱体を無機接着剤で貼りつけてヒ
ータとし検知素子を作製した。この発熱体に電流を通じ
、その電流値を調節して素子の動作温度を制御した。素
体温度を４００′Ｃに保持して、そのガス感応特性を測
定した。
ンを含有させるための添加物として種々の量の硫酸イン
ジウム（工ｎ２（Ｓ０４）３−９Ｈ２０）粉末をそれぞ
れ添加混合し、さらにこれに有機バインダーを加えて１
００〜２００μの大きさの粒子に整粒したいくつかの粉
体を作製した。このようにして得られた、硫酸インジウ
ムの含まれる量の異るそれぞれの粉体を直方体形状に加
圧成形し、空気中でｅ ｏ ｏ ’Ｃの温度で１時間焼
成した。この６ベー′！ 焼結体の表面にＡｕを蒸着して一対の櫛形電極を形成し
、その裏面には白金発熱体を無機接着剤で貼りつけてヒ
ータとし検知素子を作製した。この発熱体に電流を通じ
、その電流値を調節して素子の動作温度を制御した。素
体温度を４００′Ｃに保持して、そのガス感応特性を測
定した。
空気中における抵抗値（Ｒａ）については、乾燥した空
気が乱流のできない程度にゆっくり攪拌されている容積
５０！！の測定容器中で測定し、ガス中での抵抗値（Ｒ
ｑ）はこの容器の中に純度９９チ以上のメタン（ＣＨ４
）、プロパン（Ｃ３Ｈ８）、イソブタン（ｉ−Ｃ４Ｈ１
゜）及び水素（Ｈ２）の各ガスを容量比率にして１０
ｐｐｍ７秒の割合で流入させ、その濃度が０．１容量係
に達した時にそれぞれ測定した。測定するガス濃度を０
．１係に選んだのは、ガス検知素子として実用上要望さ
れる検知濃度がそのガスの爆発下限界濃度（ＬＥＬ ）
の数１０分の１から数分の１の範囲であり、上記のガス
のそれぞれのＬＥＬが約２容量係から６容量係であるか
らである。
気が乱流のできない程度にゆっくり攪拌されている容積
５０！！の測定容器中で測定し、ガス中での抵抗値（Ｒ
ｑ）はこの容器の中に純度９９チ以上のメタン（ＣＨ４
）、プロパン（Ｃ３Ｈ８）、イソブタン（ｉ−Ｃ４Ｈ１
゜）及び水素（Ｈ２）の各ガスを容量比率にして１０
ｐｐｍ７秒の割合で流入させ、その濃度が０．１容量係
に達した時にそれぞれ測定した。測定するガス濃度を０
．１係に選んだのは、ガス検知素子として実用上要望さ
れる検知濃度がそのガスの爆発下限界濃度（ＬＥＬ ）
の数１０分の１から数分の１の範囲であり、上記のガス
のそれぞれのＬＥＬが約２容量係から６容量係であるか
らである。
６ベ〜・・
１だガス感応体に含まれる硫酸イオン（Ｓ０４一つの存
在は赤外線吸収スペクトルで確認し、含有されている量
はＴＧ−ＤＴＡ曲線及び螢光Ｘ線分析から同定した。次
表に種々の硫酸イオン量を含むガス感応体の感応特性を
示す。また、第１図（ａ）。
在は赤外線吸収スペクトルで確認し、含有されている量
はＴＧ−ＤＴＡ曲線及び螢光Ｘ線分析から同定した。次
表に種々の硫酸イオン量を含むガス感応体の感応特性を
示す。また、第１図（ａ）。
（ｂ）はこれを（Ｒａ／Ｒｃｙ）で表わしたものであり
、第１図（−）にはメタンとプロパン、第１図（ｂ）に
はイソブタンと水素に対する特性を示す。
、第１図（−）にはメタンとプロパン、第１図（ｂ）に
はイソブタンと水素に対する特性を示す。
（以下余白）
γ″−゛
上記表および第１図から明らかなように、硫酸イオン（
ＳＯ２−’″）を０．００５〜１０．０重量係含有する
ことによって、ガス感応特性、特にメタンに対する感度
が飛躍的に向上していることがわかる。なお、本実施例
において含有される硫酸イオ７ （５Ｏ４−−） ノ量
を０．００５〜１０．０重量係に重量上たのは、まず０
．００６重量重量溝では上記表に見られるようにガス感
応特性を向上せしめる効果が見られず、逆に１０．０重
量％を超えると特性の安定性、あるいは機械的強度の面
で実用性に欠けるからである。上記表において■印を付
したものはこれに該当するものであり、表中では比較例
として記載しておいた。表中の歿１に示されている様に
、通常の工ｎ２ｏ３そのものではガス感応特性が極めて
小さく、その！、までは実用に供し得るものではない。
ＳＯ２−’″）を０．００５〜１０．０重量係含有する
ことによって、ガス感応特性、特にメタンに対する感度
が飛躍的に向上していることがわかる。なお、本実施例
において含有される硫酸イオ７ （５Ｏ４−−） ノ量
を０．００５〜１０．０重量係に重量上たのは、まず０
．００６重量重量溝では上記表に見られるようにガス感
応特性を向上せしめる効果が見られず、逆に１０．０重
量％を超えると特性の安定性、あるいは機械的強度の面
で実用性に欠けるからである。上記表において■印を付
したものはこれに該当するものであり、表中では比較例
として記載しておいた。表中の歿１に示されている様に
、通常の工ｎ２ｏ３そのものではガス感応特性が極めて
小さく、その！、までは実用に供し得るものではない。
しかしこれに硫酸イオンが含有されることによって、上
記表及び第１図に見られる様に、メタンをはじめとする
種々の可燃性ガスに対して大きな感度が現出するわけで
ある。
記表及び第１図に見られる様に、メタンをはじめとする
種々の可燃性ガスに対して大きな感度が現出するわけで
ある。
また一般的には、ある程度非晶質の状態の金属９ハ′−
−ミ′ 酸化物の方が、結晶化されているものより、可燃性ガス
に対する吸着現象彦どの物理化学現象が活性になり易い
と云われている。しかし、はぼ完全に近く結晶化されて
いる本実施例で使用した市販試薬のＩ ｎ ２０ ｓで
も、硫酸イオンを含有することにより極めて高い活性度
を示し、結果的には非常に大きなガス感応特性を示すこ
とになる。
−ミ′ 酸化物の方が、結晶化されているものより、可燃性ガス
に対する吸着現象彦どの物理化学現象が活性になり易い
と云われている。しかし、はぼ完全に近く結晶化されて
いる本実施例で使用した市販試薬のＩ ｎ ２０ ｓで
も、硫酸イオンを含有することにより極めて高い活性度
を示し、結果的には非常に大きなガス感応特性を示すこ
とになる。
この実施例１では、感応体が焼結体の場合について述べ
たが、本発明が焼結体を感応体にした時のみならず焼結
膜の場合も同様に有効であることを次の実施例２を用い
て説明する。また、実施例１では動作温度が４ｏ○°Ｃ
の場合のみについて述べたが、動作温度を変えることに
よって本発明による素子のガス選択性（ある特定のガス
を選択的に検出する能力を示す要素）が著しく変化する
こと、すなわち、動作温度によって選択性を大幅に制御
し得るという本発明のいまひとつの重要な効果について
も次に示す実施例２で具体的に説明することにする。な
お、実施例２においては、被検ガスとしてプロパンガス
とはぼ同じ特性を示すイ１０ ｔ−−：： ンブタンガスの代りにエタノールを用いて測定した○ 〔実施例２〕 市販の酸化インジウム（工ｎ２０３）の試薬と、硫酸イ
オンを含有させる添加物としての種々の濃度に調製した
硫酸インジウム（Ｉ ”２ （５Ｏ４）３−９Ｈ２０）
の水溶液を準備した。次に、上記酸化インジウムの試薬
を１０１づつ秤取し、これらに上記の硫酸インジウムの
水溶液をそれぞれ滴下し混合した。
たが、本発明が焼結体を感応体にした時のみならず焼結
膜の場合も同様に有効であることを次の実施例２を用い
て説明する。また、実施例１では動作温度が４ｏ○°Ｃ
の場合のみについて述べたが、動作温度を変えることに
よって本発明による素子のガス選択性（ある特定のガス
を選択的に検出する能力を示す要素）が著しく変化する
こと、すなわち、動作温度によって選択性を大幅に制御
し得るという本発明のいまひとつの重要な効果について
も次に示す実施例２で具体的に説明することにする。な
お、実施例２においては、被検ガスとしてプロパンガス
とはぼ同じ特性を示すイ１０ ｔ−−：： ンブタンガスの代りにエタノールを用いて測定した○ 〔実施例２〕 市販の酸化インジウム（工ｎ２０３）の試薬と、硫酸イ
オンを含有させる添加物としての種々の濃度に調製した
硫酸インジウム（Ｉ ”２ （５Ｏ４）３−９Ｈ２０）
の水溶液を準備した。次に、上記酸化インジウムの試薬
を１０１づつ秤取し、これらに上記の硫酸インジウムの
水溶液をそれぞれ滴下し混合した。
このようにして得られたい〈１かの混合粉体を空気中で
４ｏ○°Ｃの温度で２時間熱処理した。さらにこの粉体
を６ｏ〜１００μに整粒し、トリエタノールアミンを加
えてペースト化した。一方、ガス検知素子の基板として
縦、横それぞれ５間、厚み０．６順のアルミナ基板を用
意し、この表面に０．６胴の間隔に櫛形に金ペース）ｋ
印刷し、焼きつけて一対の櫛形電極を形成した。そして
、アルミナ基板の裏面には金電極の間に市販の酸化ルテ
ニウムのグレーズ抵抗体を印刷し、焼きつけてヒータと
した。
４ｏ○°Ｃの温度で２時間熱処理した。さらにこの粉体
を６ｏ〜１００μに整粒し、トリエタノールアミンを加
えてペースト化した。一方、ガス検知素子の基板として
縦、横それぞれ５間、厚み０．６順のアルミナ基板を用
意し、この表面に０．６胴の間隔に櫛形に金ペース）ｋ
印刷し、焼きつけて一対の櫛形電極を形成した。そして
、アルミナ基板の裏面には金電極の間に市販の酸化ルテ
ニウムのグレーズ抵抗体を印刷し、焼きつけてヒータと
した。
１１べ一部
次に、上述のペーストラ基板の表面に約７０μの厚みに
印刷し、室温で自然乾燥させた後、（℃゛Ｃの温度にな
るまで徐々に加熱し、この温度で１時間保持した。この
段階でペーストが蒸発し硫酸イオンを含有する酸化イン
ジウム（Ｉｎ２０３）の焼結膜になった。このガス感応
体の厚みは約６５μであった。このようにしてガス検知
素子を得た。
印刷し、室温で自然乾燥させた後、（℃゛Ｃの温度にな
るまで徐々に加熱し、この温度で１時間保持した。この
段階でペーストが蒸発し硫酸イオンを含有する酸化イン
ジウム（Ｉｎ２０３）の焼結膜になった。このガス感応
体の厚みは約６５μであった。このようにしてガス検知
素子を得た。
またガス感応膜に含まれる硫酸イオン量の同定は、上記
の各ペーストの一部を、アルミナ基板に印刷するのでは
なく、ペーストのまま上述と同じ様に４００′Ｃの温度
で徐加熱し、これをＴＧ−ＤＴＡならびに螢光Ｘ線分析
にかけて行なった０まだ硫酸イオンの存在は実施例１と
同じく赤外線吸収スペクトルを分析することにより行な
った０このようにして得られた検知素子について、動作
温度を３５ｏ ’Ｃおよび４５０″Ｃの２点とした以外
は実施例１と同じ方法でガス感応特性を測定した。第２
図（ａ）〜第２図（ｄ）は硫酸イオン含有量と各種可燃
性ガスに対する感度（Ｒａ／Ｒｑ ）の関係を示す特性
図であり５、第２図（ａ）はメタン、第２図（ｂ）はプ
ロパン、第２図（Ｃ）は水素、第２図（ｄ）はエタノー
ルに対する特性を示している。
の各ペーストの一部を、アルミナ基板に印刷するのでは
なく、ペーストのまま上述と同じ様に４００′Ｃの温度
で徐加熱し、これをＴＧ−ＤＴＡならびに螢光Ｘ線分析
にかけて行なった０まだ硫酸イオンの存在は実施例１と
同じく赤外線吸収スペクトルを分析することにより行な
った０このようにして得られた検知素子について、動作
温度を３５ｏ ’Ｃおよび４５０″Ｃの２点とした以外
は実施例１と同じ方法でガス感応特性を測定した。第２
図（ａ）〜第２図（ｄ）は硫酸イオン含有量と各種可燃
性ガスに対する感度（Ｒａ／Ｒｑ ）の関係を示す特性
図であり５、第２図（ａ）はメタン、第２図（ｂ）はプ
ロパン、第２図（Ｃ）は水素、第２図（ｄ）はエタノー
ルに対する特性を示している。
第２図から明らかなように、硫酸イオン（ＳＣ２−）が
０．００６重量重量上含まれることにより、３６゜’Ｃ
，４５０°Ｃのいずれの動作温度においてもガス感応特
性が飛躍的に向上していることがわかる。
０．００６重量重量上含まれることにより、３６゜’Ｃ
，４５０°Ｃのいずれの動作温度においてもガス感応特
性が飛躍的に向上していることがわかる。
（ただ、この硫酸イオンが１０重量％を超えて含まれる
と、実施例１の場合と同様に特性が安定せず、また機械
的強度も弱くなり実用素子としては不適当であるため第
２図ではデータを記載していない。）い捷ひとつ重要な
点は、動作温度によってガス選択性が大幅に異る点であ
る。−例として硫酸イオンが０．６重量％含着れている
時の感度と動作温度の関係を第３図に示す。第３図から
明らかなように、３６０°Ｃの動作温度においてはエタ
ノールに対する感度が他のガスのそれに比べて著しく犬
きく、エタノールに対する選択性が非常に高いことがわ
かる。一方、４６０′Ｃの動作温度においては逆にエタ
ノールに対する感度が非常に小さく、他のメタン、プロ
パン及び水素に対する感１３ ｌ’−−シ 度が相対的に極めて犬きくなっている。換言すれば、こ
の素子は動作温度を変えることによって、エタノールと
それ以外のガスとの相対感度を容易に制御出来る特徴を
持っているということになる。
と、実施例１の場合と同様に特性が安定せず、また機械
的強度も弱くなり実用素子としては不適当であるため第
２図ではデータを記載していない。）い捷ひとつ重要な
点は、動作温度によってガス選択性が大幅に異る点であ
る。−例として硫酸イオンが０．６重量％含着れている
時の感度と動作温度の関係を第３図に示す。第３図から
明らかなように、３６０°Ｃの動作温度においてはエタ
ノールに対する感度が他のガスのそれに比べて著しく犬
きく、エタノールに対する選択性が非常に高いことがわ
かる。一方、４６０′Ｃの動作温度においては逆にエタ
ノールに対する感度が非常に小さく、他のメタン、プロ
パン及び水素に対する感１３ ｌ’−−シ 度が相対的に極めて犬きくなっている。換言すれば、こ
の素子は動作温度を変えることによって、エタノールと
それ以外のガスとの相対感度を容易に制御出来る特徴を
持っているということになる。
これは実用的な見地から見れば、動作温度を周期的に変
えるなり、あるいは動作温度の異る２つの素子を併用す
るなシの工夫をすることによシ、エタノールとそれ以外
のガスとを容易に識別出来る機能を有したガス検知素子
を形成することができるということを意味するものでも
ある。この点も本発明の大きな効果のひとつであシ、本
発明の効用範囲を犬きく広げるものである。
えるなり、あるいは動作温度の異る２つの素子を併用す
るなシの工夫をすることによシ、エタノールとそれ以外
のガスとを容易に識別出来る機能を有したガス検知素子
を形成することができるということを意味するものでも
ある。この点も本発明の大きな効果のひとつであシ、本
発明の効用範囲を犬きく広げるものである。
なお、上記各実施例においては、出発原料として酸化イ
ンジウム（Ｉｎ２０３）の市販試薬を用いたが、本発明
は何ら出発原料や製造工法を限定するものではない。ま
た特性を向上させるために更に添加物を加えることも勿
論可能である。
ンジウム（Ｉｎ２０３）の市販試薬を用いたが、本発明
は何ら出発原料や製造工法を限定するものではない。ま
た特性を向上させるために更に添加物を加えることも勿
論可能である。
以上述べたように、本発明のガス検知素子はガス感応体
の母材料である酸化インジウム（工ｎ２０３）が硫酸イ
オンを含有することによシガス感応特性１４ページ が飛躍的に向上し、これまで貴金属触媒を用いずには微
量検知が難かしいとされてきたメタンガスに対しても非
常に大きい感度を実現し得るものである。これは都市ガ
スの天然ガス（主成分：メタンガス）化に伴って要求が
大きくな如つつある社会ニーズに的確に対応するもので
あシ、その効果は極めて犬なるものがある。
の母材料である酸化インジウム（工ｎ２０３）が硫酸イ
オンを含有することによシガス感応特性１４ページ が飛躍的に向上し、これまで貴金属触媒を用いずには微
量検知が難かしいとされてきたメタンガスに対しても非
常に大きい感度を実現し得るものである。これは都市ガ
スの天然ガス（主成分：メタンガス）化に伴って要求が
大きくな如つつある社会ニーズに的確に対応するもので
あシ、その効果は極めて犬なるものがある。
またすでに述べたように、動作温度によってガス選択性
を大幅に制御することが出来る点も本発明の実用面から
見た大きな効果である。このように、本発明のガス検知
素子はますます重要性が増しつつある種々のガス防災分
野に極めて大きな貢献をするものと期待される。
を大幅に制御することが出来る点も本発明の実用面から
見た大きな効果である。このように、本発明のガス検知
素子はますます重要性が増しつつある種々のガス防災分
野に極めて大きな貢献をするものと期待される。
第１図（ａ） 、 （ｂ）は本発明の一実施例における
硫酸イオン含有量と感度（Ｒａ／Ｒｃｒ）との関係を示
す特性図、第２図（ａ） 、 （ｂ） 、 （（＋）
、 （ｄ）は本発明の他の実施例におけるメタン、プロ
パン、水素、エタノールの各可燃性ガスに対する硫酸イ
オン含有量と感度（Ｒａ／Ｒｑ）の関係を動作温度全パ
ラメータに１６ベ、−二。 して表わした特性図、第３図は同実施例における感度（
Ｒａ／Ｒｑ）の動作温度依存性を示す特性図である。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ｔど２ノ ２糺厳Ｉ、４ンめ０１（重量・／、） 第１図 （ｂｌ 第２図 （（ｉｔ 躇ｊ鯖イオンめ含有量（童量匍 第２図 （ム） 石り鍛Ａオンめ金屑−］（ｉ量γ、） 第２図 （Ｃ） 石汽酋叉イオンめ 金屑ｔ （＊ ｔ ’／＝＞
第２図 ６λ〈） ｚ、を腋イオンめ含有量（章４％） 第３図 動 イ￥ ンＡ ＆ （’Ｃ）
硫酸イオン含有量と感度（Ｒａ／Ｒｃｒ）との関係を示
す特性図、第２図（ａ） 、 （ｂ） 、 （（＋）
、 （ｄ）は本発明の他の実施例におけるメタン、プロ
パン、水素、エタノールの各可燃性ガスに対する硫酸イ
オン含有量と感度（Ｒａ／Ｒｑ）の関係を動作温度全パ
ラメータに１６ベ、−二。 して表わした特性図、第３図は同実施例における感度（
Ｒａ／Ｒｑ）の動作温度依存性を示す特性図である。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ｔど２ノ ２糺厳Ｉ、４ンめ０１（重量・／、） 第１図 （ｂｌ 第２図 （（ｉｔ 躇ｊ鯖イオンめ含有量（童量匍 第２図 （ム） 石り鍛Ａオンめ金屑−］（ｉ量γ、） 第２図 （Ｃ） 石汽酋叉イオンめ 金屑ｔ （＊ ｔ ’／＝＞
第２図 ６λ〈） ｚ、を腋イオンめ含有量（章４％） 第３図 動 イ￥ ンＡ ＆ （’Ｃ）
Claims (1)
- （１）酸化インジウム（工ｎ２０３）を主成分とし、硫
酸イオンが０．００５〜１０重量％含有されたものをガ
ス感応体として用いることを特徴とするガス検知素子。 に）ガス感応体が加圧成型し焼成して得られる焼結体、
またはペーストを印刷して焼成して得られる焼結膜であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第０）項記載のガス
検知素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8589582A JPS58201054A (ja) | 1982-05-20 | 1982-05-20 | ガス検知素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8589582A JPS58201054A (ja) | 1982-05-20 | 1982-05-20 | ガス検知素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58201054A true JPS58201054A (ja) | 1983-11-22 |
| JPS6160382B2 JPS6160382B2 (ja) | 1986-12-20 |
Family
ID=13871612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8589582A Granted JPS58201054A (ja) | 1982-05-20 | 1982-05-20 | ガス検知素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58201054A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112014438A (zh) * | 2020-08-17 | 2020-12-01 | 合肥微纳传感技术有限公司 | 一种In2O3基气敏材料的制备方法、制得的气敏材料及其应用 |
-
1982
- 1982-05-20 JP JP8589582A patent/JPS58201054A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112014438A (zh) * | 2020-08-17 | 2020-12-01 | 合肥微纳传感技术有限公司 | 一种In2O3基气敏材料的制备方法、制得的气敏材料及其应用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6160382B2 (ja) | 1986-12-20 |
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