JPS58189818A - 複合型薄膜磁気ヘツド - Google Patents
複合型薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS58189818A JPS58189818A JP7123182A JP7123182A JPS58189818A JP S58189818 A JPS58189818 A JP S58189818A JP 7123182 A JP7123182 A JP 7123182A JP 7123182 A JP7123182 A JP 7123182A JP S58189818 A JPS58189818 A JP S58189818A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- magnetic
- thickness
- film magnetic
- magnetic head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3967—Composite structural arrangements of transducers, e.g. inductive write and magnetoresistive read
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気ディスク、ＶＴＲなどの磁気ヘッドに係り
、特に超高密度磁気記録に好適な高性吐薄膜磁気ヘッド
に関する。
、特に超高密度磁気記録に好適な高性吐薄膜磁気ヘッド
に関する。
従来、誘導型薄膜磁気ヘッドと磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドとを複合化するに際し、特開昭５１−１４８４１１号
もしくは特開昭５２−１１９２１号で述べられているよ
うに、基板上の磁気抵抗効果型素子の上にさらに誘導型
薄膜磁気ヘッド素部を形成する構造（第１図）もしくは
誘導型薄膜ヘッド素子の磁極間に磁気抵抗効果型素子を
形成する構造（第２図）が提案されている。第１図にお
いて、１１はフェライトなどより成る厚い磁気シールド
用基板、１２は薄い磁気７−ルド薄膜、１３は磁気抵抗
素子、１４．１４’は誘導型薄膜磁気ヘッドを形成する
薄膜磁極、１５．１５’はそのコイル部である。第２図
においては、２１は非磁性基板、２２は誘導型薄膜磁気
ヘッドを形成する薄膜磁極、２３はそのコイル部、２４
．２５は該誘導型へラドギャップ内に形成された薄い磁
気シールド及びＩａ啜低抵抗素子それぞれ示す。ところ
が、＄２図に示した構造のヘッドにおいては、誘導型磁
徹ヘッドのギヤツブｇ内に磁性体２４、および２５があ
るために記録時の磁界分布は急峻ではなくなり、さらに
再生時にはギャップ間での磁束洩れが多くなるために再
生効率も低下するという欠点があった。さらに、該ヘッ
ドにおいては記録しながら再生し記録情報を確認すると
いうことは不可能であった。第１図に示した構造のヘッ
ドでは、導体を同図右方から走行すれば記録しながら再
生することは可能であったが、この場合に、記録に主に
寄与する磁気コア１４部からの磁束分布が磁性体１２，
１３のためにブロードとなり、高分解能な記録が出来ず
、磁気ディスク用に使用する場合には１４′の右側に浮
上用スライダ部を付着させる必恍があるためプロセス上
棟々の田無があるなどの欠点があった。
ドとを複合化するに際し、特開昭５１−１４８４１１号
もしくは特開昭５２−１１９２１号で述べられているよ
うに、基板上の磁気抵抗効果型素子の上にさらに誘導型
薄膜磁気ヘッド素部を形成する構造（第１図）もしくは
誘導型薄膜ヘッド素子の磁極間に磁気抵抗効果型素子を
形成する構造（第２図）が提案されている。第１図にお
いて、１１はフェライトなどより成る厚い磁気シールド
用基板、１２は薄い磁気７−ルド薄膜、１３は磁気抵抗
素子、１４．１４’は誘導型薄膜磁気ヘッドを形成する
薄膜磁極、１５．１５’はそのコイル部である。第２図
においては、２１は非磁性基板、２２は誘導型薄膜磁気
ヘッドを形成する薄膜磁極、２３はそのコイル部、２４
．２５は該誘導型へラドギャップ内に形成された薄い磁
気シールド及びＩａ啜低抵抗素子それぞれ示す。ところ
が、＄２図に示した構造のヘッドにおいては、誘導型磁
徹ヘッドのギヤツブｇ内に磁性体２４、および２５があ
るために記録時の磁界分布は急峻ではなくなり、さらに
再生時にはギャップ間での磁束洩れが多くなるために再
生効率も低下するという欠点があった。さらに、該ヘッ
ドにおいては記録しながら再生し記録情報を確認すると
いうことは不可能であった。第１図に示した構造のヘッ
ドでは、導体を同図右方から走行すれば記録しながら再
生することは可能であったが、この場合に、記録に主に
寄与する磁気コア１４部からの磁束分布が磁性体１２，
１３のためにブロードとなり、高分解能な記録が出来ず
、磁気ディスク用に使用する場合には１４′の右側に浮
上用スライダ部を付着させる必恍があるためプロセス上
棟々の田無があるなどの欠点があった。
本発明の目的は、記録しながら再生が出来、高分解能で
再生出力の大きな複合型薄膜５Ｉｉ気ヘツドを提供する
ことにある。
再生出力の大きな複合型薄膜５Ｉｉ気ヘツドを提供する
ことにある。
本発明は、高密＋１でも良好な記録ができ、かつ記録直
流効率が上がるよう、磁気記録渫体対向部で膜厚が小さ
くなっている上部薄漢磁他を有する誘導型薄膜磁気ヘッ
ドを爪板上に形成し、さらに記録しながら再生が出来る
よう該上部磁極の上に電気的？縁層を介して磁気抵抗効
果型磁界検出部を形成せしめたもので、透導型磁電ヘッ
ドの上部磁極を強磁性フェライト基板とし、基板側から
媒体を走行せしめることでより高分解能、高出力の記録
再生を行なうものである。
流効率が上がるよう、磁気記録渫体対向部で膜厚が小さ
くなっている上部薄漢磁他を有する誘導型薄膜磁気ヘッ
ドを爪板上に形成し、さらに記録しながら再生が出来る
よう該上部磁極の上に電気的？縁層を介して磁気抵抗効
果型磁界検出部を形成せしめたもので、透導型磁電ヘッ
ドの上部磁極を強磁性フェライト基板とし、基板側から
媒体を走行せしめることでより高分解能、高出力の記録
再生を行なうものである。
以下、本発明の一実施例を第３図により説明する。第３
図において、３１はＮｉ−ＺｎもしくはＭｎ−Ｚｎフェ
ライトなどの強磁性基板、３２はＮｉ−Ｆｅ％Ｎｉ −
Ｃｏ、 Ｃｏ−Ｆｅ、 Ｆｅ −ＡＩ！、Ｆｅ−８ｉ、
Ｆｅ−Ａ／−８ｉなどの強磁性合金薄膜磁極、３３．３
３’、 ３３〆／、３３７／／はＣｕ、 Ａｔ？などの
金＠導体コイル、３４，３４’、３４”はＡＩ！２０３
、ＳｉＯ２、ポリイミド系樹脂などの非磁性層・ ３５
はＮｉ−Ｆｅ合金薄膜などから成る磁気抵抗型磁界検出
部（シールド部は図には書いていない）である。第３図
において、基板３１としてＭｎ−Ｚｎフェライト単結晶
を用い、ギャップ層３４、Ｃｕコイル３３．３３ ’
、３３ ”、３３”４Ｃ対する充填材３４′をそれぞれ
２μｍのＳｉｎ、、５μｍのポリイミド系樹脂、上部磁
極３２として先端膜厚０，３μｍ１後部膜厚２μｍのＦ
ｅ−８ｉ磁性合金薄模とし、さらに０．２μｍのＳｉＯ
□絶縁層３４″を介して３５０λの磁電抵抗効果素子用
Ｎｉ−Ｆｅ合金４ｄ３５を形成した複合型磁気ヘッドの
記−再生特性を第４図に示す。４１，４２はそれぞれ磁
気ディスクの走行を基板側、基板と反対側からとした時
の、記録波長１０μｍでの記録再生特性を示す。さらに
第１図に示した構造で、形状等は同一とした複合型ヘッ
ドで、磁気ディスクの走行を基板側からと、基板と反対
側からとした時の、記録波長１０μｍでの記録再生特性
をそれぞれ４３，４４に示したが、第３図に示した構造
のヘッド特性、特にディスク走行方向を基板側からとし
た場合のヘッド特性が優れていることが分かる。また分
解能（５Ｍ）ｌｚと１０ＭＨｚとの出力の比）も第３図
に示した構造のヘッドの方が５％優れていた。ヘッド作
製プロセスの薇でも、第１図に示した構造のものと比べ
て、下部磁性層を形成する必要が無いだけ簡単で、工程
数が少ない上に歩留りも良かった。
図において、３１はＮｉ−ＺｎもしくはＭｎ−Ｚｎフェ
ライトなどの強磁性基板、３２はＮｉ−Ｆｅ％Ｎｉ −
Ｃｏ、 Ｃｏ−Ｆｅ、 Ｆｅ −ＡＩ！、Ｆｅ−８ｉ、
Ｆｅ−Ａ／−８ｉなどの強磁性合金薄膜磁極、３３．３
３’、 ３３〆／、３３７／／はＣｕ、 Ａｔ？などの
金＠導体コイル、３４，３４’、３４”はＡＩ！２０３
、ＳｉＯ２、ポリイミド系樹脂などの非磁性層・ ３５
はＮｉ−Ｆｅ合金薄膜などから成る磁気抵抗型磁界検出
部（シールド部は図には書いていない）である。第３図
において、基板３１としてＭｎ−Ｚｎフェライト単結晶
を用い、ギャップ層３４、Ｃｕコイル３３．３３ ’
、３３ ”、３３”４Ｃ対する充填材３４′をそれぞれ
２μｍのＳｉｎ、、５μｍのポリイミド系樹脂、上部磁
極３２として先端膜厚０，３μｍ１後部膜厚２μｍのＦ
ｅ−８ｉ磁性合金薄模とし、さらに０．２μｍのＳｉＯ
□絶縁層３４″を介して３５０λの磁電抵抗効果素子用
Ｎｉ−Ｆｅ合金４ｄ３５を形成した複合型磁気ヘッドの
記−再生特性を第４図に示す。４１，４２はそれぞれ磁
気ディスクの走行を基板側、基板と反対側からとした時
の、記録波長１０μｍでの記録再生特性を示す。さらに
第１図に示した構造で、形状等は同一とした複合型ヘッ
ドで、磁気ディスクの走行を基板側からと、基板と反対
側からとした時の、記録波長１０μｍでの記録再生特性
をそれぞれ４３，４４に示したが、第３図に示した構造
のヘッド特性、特にディスク走行方向を基板側からとし
た場合のヘッド特性が優れていることが分かる。また分
解能（５Ｍ）ｌｚと１０ＭＨｚとの出力の比）も第３図
に示した構造のヘッドの方が５％優れていた。ヘッド作
製プロセスの薇でも、第１図に示した構造のものと比べ
て、下部磁性層を形成する必要が無いだけ簡単で、工程
数が少ない上に歩留りも良かった。
第５図に、本発明より成る別の実施例を示す。
５１はＮｉ−Ｚｎフェライト、５２は先１部嗅厚０．５
μｍ、１部膜厚２ｐｍのＮｉ−Ｆｅ合金薄膜磁極、５３
ａ〜５３ｅはＡＩ！導体コイル、５４は５ｐｍの５ｉｎ
２ギャップ形ａｍ、５４／は０．２μｍのＳｉＯ□絶縁
層、５５は３５０人のＮｉ−Ｆｅ合金ＩＩＩ膜より成る
磁気抵抗検出部である。本ヘッドは、５５部を形成する
際に段差が小さいのでプロセス上はより作製し易く、ま
た特性上は第３図に示したヘッドと同各であった。
μｍ、１部膜厚２ｐｍのＮｉ−Ｆｅ合金薄膜磁極、５３
ａ〜５３ｅはＡＩ！導体コイル、５４は５ｐｍの５ｉｎ
２ギャップ形ａｍ、５４／は０．２μｍのＳｉＯ□絶縁
層、５５は３５０人のＮｉ−Ｆｅ合金ＩＩＩ膜より成る
磁気抵抗検出部である。本ヘッドは、５５部を形成する
際に段差が小さいのでプロセス上はより作製し易く、ま
た特性上は第３図に示したヘッドと同各であった。
なお、−ト記各磁気へ、ドの構造において、特に説明し
ていない部分は従来技術を踏襲すればよい。
ていない部分は従来技術を踏襲すればよい。
第１図、第２図は従来の複合型薄膜磁気ヘッドの概略断
面図、第３図は本発明の一実施例における複合型薄膜磁
電ヘッドの概略断面図、第４図は本発明の一実施例なら
びに従来の複合型薄膜磁気ヘッドの記録再生特性を示す
グラフ、第５図は本発明の他の実施例に裕ける複合型薄
膜磁気ヘッドの概略断面図を示す。 ３２． １４、１４’、２心４２ 、・薄膜磁極、１５．１５’
、２３．３３．３３′、３３／′、３３Ｉ／／、５３ａ
〜５３ｅ・・・・導体コイル、１２．２４・・・・・・
磁気シールド、１３．２５・・・・磁電抵抗効果を有す
る薄膜、３５．５５・・・・磁気抵抗効果型磁界検出部
、２１．５１・・・・フェライト基板。 第１図 ８／図
面図、第３図は本発明の一実施例における複合型薄膜磁
電ヘッドの概略断面図、第４図は本発明の一実施例なら
びに従来の複合型薄膜磁気ヘッドの記録再生特性を示す
グラフ、第５図は本発明の他の実施例に裕ける複合型薄
膜磁気ヘッドの概略断面図を示す。 ３２． １４、１４’、２心４２ 、・薄膜磁極、１５．１５’
、２３．３３．３３′、３３／′、３３Ｉ／／、５３ａ
〜５３ｅ・・・・導体コイル、１２．２４・・・・・・
磁気シールド、１３．２５・・・・磁電抵抗効果を有す
る薄膜、３５．５５・・・・磁気抵抗効果型磁界検出部
、２１．５１・・・・フェライト基板。 第１図 ８／図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、磁気記録媒体対向部で膜厚が小さくなっている上部
薄膜磁極を有する誘導型薄膜磁気ヘッドの上に、さらに
電気的絶縁層を介して磁気抵抗効果型磁界検出部を有す
ることを特徴とする複合型薄膜磁気ヘッド。 ２ 下部磁極を強磁性フェライト基板とし、基板側から
媒体を走行せしめることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の複合型薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7123182A JPS58189818A (ja) | 1982-04-30 | 1982-04-30 | 複合型薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7123182A JPS58189818A (ja) | 1982-04-30 | 1982-04-30 | 複合型薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58189818A true JPS58189818A (ja) | 1983-11-05 |
Family
ID=13454704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7123182A Pending JPS58189818A (ja) | 1982-04-30 | 1982-04-30 | 複合型薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58189818A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61120318A (ja) * | 1984-11-15 | 1986-06-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 一体化薄膜磁気ヘツド |
| JPS61260382A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-18 | 富士電機株式会社 | センサおよびセンサ回路 |
| US6259585B1 (en) | 1997-01-25 | 2001-07-10 | Tdk Corporation | Inverted hybrid thin film magnetic head and method of manufacturing the same |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4929119A (ja) * | 1972-07-08 | 1974-03-15 | ||
| JPS5564622A (en) * | 1978-11-06 | 1980-05-15 | Fujitsu Ltd | Magnetic head |
-
1982
- 1982-04-30 JP JP7123182A patent/JPS58189818A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4929119A (ja) * | 1972-07-08 | 1974-03-15 | ||
| JPS5564622A (en) * | 1978-11-06 | 1980-05-15 | Fujitsu Ltd | Magnetic head |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61120318A (ja) * | 1984-11-15 | 1986-06-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 一体化薄膜磁気ヘツド |
| JPS61260382A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-18 | 富士電機株式会社 | センサおよびセンサ回路 |
| US6259585B1 (en) | 1997-01-25 | 2001-07-10 | Tdk Corporation | Inverted hybrid thin film magnetic head and method of manufacturing the same |
| US6542339B1 (en) | 1997-01-25 | 2003-04-01 | Tdk Corporation | Inverted hybrid thin film magnetic head and method of manufacturing the same |
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