JPH0744826A - 薄膜ｍｒヘッド - Google Patents
薄膜ｍｒヘッドInfo
- Publication number
- JPH0744826A JPH0744826A JP21085493A JP21085493A JPH0744826A JP H0744826 A JPH0744826 A JP H0744826A JP 21085493 A JP21085493 A JP 21085493A JP 21085493 A JP21085493 A JP 21085493A JP H0744826 A JPH0744826 A JP H0744826A
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- JP
- Japan
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- film
- head
- magnetic
- thin film
- magnetic film
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3967—Composite structural arrangements of transducers, e.g. inductive write and magnetoresistive read
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 超高密度記録が可能なハードディスクドライ
ブ装置に使用され、帯磁を防止する薄膜ＭＲヘッドを得
ること。 【構成】 下部シールド磁性膜７の両端部を下部シール
ド磁性膜３に接合させ、ＭＲ素子５を閉の磁気回路でシ
ールドする。こうすると外部からの浮遊磁界に対して影
響を受けず、安定した記録再生特性が得られる。
ブ装置に使用され、帯磁を防止する薄膜ＭＲヘッドを得
ること。 【構成】 下部シールド磁性膜７の両端部を下部シール
ド磁性膜３に接合させ、ＭＲ素子５を閉の磁気回路でシ
ールドする。こうすると外部からの浮遊磁界に対して影
響を受けず、安定した記録再生特性が得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超高密度記録が可能なハ
ードディスクドライブ装置に使用される薄膜ＭＲヘッド
に関するものである。
ードディスクドライブ装置に使用される薄膜ＭＲヘッド
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気記憶装置であるハードディス
クドライブ装置の高密度記録化に伴い、その記録再生用
の磁気ヘッドとして薄膜磁気ヘッド（インダクティブヘ
ッド）が実用化されるようになった。しかしながら更に
記録の超高密度化を図るためには、磁気抵抗効果（Ｍ
Ｒ）素子を使った薄膜ＭＲヘッドが必要になってきた。
そこで薄膜ＭＲヘッドの実用化に向けて研究開発がさか
んに行われている。
クドライブ装置の高密度記録化に伴い、その記録再生用
の磁気ヘッドとして薄膜磁気ヘッド（インダクティブヘ
ッド）が実用化されるようになった。しかしながら更に
記録の超高密度化を図るためには、磁気抵抗効果（Ｍ
Ｒ）素子を使った薄膜ＭＲヘッドが必要になってきた。
そこで薄膜ＭＲヘッドの実用化に向けて研究開発がさか
んに行われている。
【０００３】従来の薄膜ＭＲヘッドの構造について図５
及び図６を用いて説明する。図５は磁気ヘッドとディス
クが対面する面（ＡＢＳ面）から見た薄膜ＭＲヘッドの
断面図である。図５に示すようにスライダとなる基板２
１の上にアルミナの絶縁膜２２が形成され、その上にセ
ンダストの下部シールド磁性膜２３，アルミナ膜である
ＭＲ下部ギャップ絶縁膜２４，ＦｅＮｉ膜のＭＲ素子２
５，アルミナ膜であるＭＲ上部ギャップ絶縁膜２６，Ｆ
ｅＮｉ膜の下部シールド磁性膜２７が夫々この順序で形
成され、再生ヘッド部が構成される。
及び図６を用いて説明する。図５は磁気ヘッドとディス
クが対面する面（ＡＢＳ面）から見た薄膜ＭＲヘッドの
断面図である。図５に示すようにスライダとなる基板２
１の上にアルミナの絶縁膜２２が形成され、その上にセ
ンダストの下部シールド磁性膜２３，アルミナ膜である
ＭＲ下部ギャップ絶縁膜２４，ＦｅＮｉ膜のＭＲ素子２
５，アルミナ膜であるＭＲ上部ギャップ絶縁膜２６，Ｆ
ｅＮｉ膜の下部シールド磁性膜２７が夫々この順序で形
成され、再生ヘッド部が構成される。
【０００４】又再生ヘッド部の上面には下部コアとして
アルミナのＷＲＩＴＥ／ＲＥＡＤ分離絶縁膜２８，下部
コアとしてＦｅＮｉ膜のＷＲＩＴＥ用下部磁性膜２９，
アルミナのＷＲＩＴＥギャップ絶縁膜３０，上部コアと
してＷＲＩＴＥ用上部磁性膜３１，アルミナの保護用絶
縁膜３２がこの順序で形成され、記録ヘッドが構成され
る。
アルミナのＷＲＩＴＥ／ＲＥＡＤ分離絶縁膜２８，下部
コアとしてＦｅＮｉ膜のＷＲＩＴＥ用下部磁性膜２９，
アルミナのＷＲＩＴＥギャップ絶縁膜３０，上部コアと
してＷＲＩＴＥ用上部磁性膜３１，アルミナの保護用絶
縁膜３２がこの順序で形成され、記録ヘッドが構成され
る。
【０００５】図６は従来の薄膜ＭＲヘッドをＡＢＳ面に
対して垂直な方向から見た断面図である。図６に示すよ
うにＷＲＩＴＥ用下部磁性膜２９とＷＲＩＴＥ用上部磁
性膜３１の間にＷＲＩＴＥ用のコイル３３が形成されて
いる。
対して垂直な方向から見た断面図である。図６に示すよ
うにＷＲＩＴＥ用下部磁性膜２９とＷＲＩＴＥ用上部磁
性膜３１の間にＷＲＩＴＥ用のコイル３３が形成されて
いる。
【０００６】尚図６に示すように下部シールド磁性膜２
３，上部シールド磁性膜２７，ＷＲＩＴＥ用下部及び上
部磁性膜は、夫々絶縁膜（アルミナ膜）によって電気的
に独立しているのが一般的である。又図５に示すように
下部シールド磁性膜２３と上部シールド磁性膜２７はほ
ぼ平行な位置にあり、その間隔が再生（ＲＥＡＤ）時の
ＲＥＡＤギャップ距離となるので、この距離の寸法精度
が重要な因子となっている。
３，上部シールド磁性膜２７，ＷＲＩＴＥ用下部及び上
部磁性膜は、夫々絶縁膜（アルミナ膜）によって電気的
に独立しているのが一般的である。又図５に示すように
下部シールド磁性膜２３と上部シールド磁性膜２７はほ
ぼ平行な位置にあり、その間隔が再生（ＲＥＡＤ）時の
ＲＥＡＤギャップ距離となるので、この距離の寸法精度
が重要な因子となっている。
【０００７】以上のように薄膜ＭＲヘッドは積層構造に
よって構成されており、記録ヘッド部（ＷＲＩＴＥ部）
と再生ヘッド部（ＲＥＡＤ部）に分かれている。即ちＷ
ＲＩＴＥ部で記録を行い、ＲＥＡＤ部で再生を行うこと
により、超高密度な磁気記録再生が可能となる。
よって構成されており、記録ヘッド部（ＷＲＩＴＥ部）
と再生ヘッド部（ＲＥＡＤ部）に分かれている。即ちＷ
ＲＩＴＥ部で記録を行い、ＲＥＡＤ部で再生を行うこと
により、超高密度な磁気記録再生が可能となる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら薄膜ＭＲ
ヘッドには数多くの問題点があり、実用化のための量産
製造が困難であった。その一つとして帯磁の問題があ
る。帯磁とは外部からの浮遊磁界（外乱磁界）、例えば
ハードディスクドライブ装置の内部にあるディスク回転
用のスピンドルモータに用いられる永久磁石や、ヘッド
をシークさせるアクチュエータに用いられる永久磁石
等、あるいはドライブ装置の組立時に自動化設備に含ま
れる永久磁石等、いろいろな状況で外乱磁界にさらされ
ることをいう。又磁気ヘッドの性能評価を行うときに
も、同じように外乱磁界にさらされる可能性がある。
ヘッドには数多くの問題点があり、実用化のための量産
製造が困難であった。その一つとして帯磁の問題があ
る。帯磁とは外部からの浮遊磁界（外乱磁界）、例えば
ハードディスクドライブ装置の内部にあるディスク回転
用のスピンドルモータに用いられる永久磁石や、ヘッド
をシークさせるアクチュエータに用いられる永久磁石
等、あるいはドライブ装置の組立時に自動化設備に含ま
れる永久磁石等、いろいろな状況で外乱磁界にさらされ
ることをいう。又磁気ヘッドの性能評価を行うときに
も、同じように外乱磁界にさらされる可能性がある。
【０００９】このように外部からの浮遊磁界によるヘッ
ドの磁化は一般的に帯磁といわれているが、薄膜ＭＲヘ
ッドにおいてもこの帯磁が問題となっている。例えば薄
膜ＭＲヘッドの性能評価のために電気特性を数回同じ様
に測定すると、同一条件の測定であっても測定データが
ばらついてしまうことがある。その原因を詳しく調べる
と外部磁界による帯磁であることが判明した。
ドの磁化は一般的に帯磁といわれているが、薄膜ＭＲヘ
ッドにおいてもこの帯磁が問題となっている。例えば薄
膜ＭＲヘッドの性能評価のために電気特性を数回同じ様
に測定すると、同一条件の測定であっても測定データが
ばらついてしまうことがある。その原因を詳しく調べる
と外部磁界による帯磁であることが判明した。
【００１０】本発明はこのような従来の問題点に鑑みて
なされたものであって、外部磁界の影響を受けにくい薄
膜ＭＲヘッドを実現することを目的とする。
なされたものであって、外部磁界の影響を受けにくい薄
膜ＭＲヘッドを実現することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は磁気記録媒体の
トラック面と対面する浮上面の一部に設けられ、磁気抵
抗効果素子と磁気抵抗効果素子を周辺層からシールドす
る上部シールド磁性膜及び下部シールド磁性膜とが浮上
面から見て層状に形成され、磁気抵抗効果素子の磁気抵
抗変化により信号を再生する再生ヘッド部を含む薄膜Ｍ
Ｒヘッドであって、上部シールド磁性膜及び下部シール
ド磁性膜を、浮上面から見てヘッドのトラック方向と垂
直な方向の両端部で互いに接合したことを特徴とするも
のである。
トラック面と対面する浮上面の一部に設けられ、磁気抵
抗効果素子と磁気抵抗効果素子を周辺層からシールドす
る上部シールド磁性膜及び下部シールド磁性膜とが浮上
面から見て層状に形成され、磁気抵抗効果素子の磁気抵
抗変化により信号を再生する再生ヘッド部を含む薄膜Ｍ
Ｒヘッドであって、上部シールド磁性膜及び下部シール
ド磁性膜を、浮上面から見てヘッドのトラック方向と垂
直な方向の両端部で互いに接合したことを特徴とするも
のである。
【００１２】
【作用】このような特徴を有する本発明によれば、磁気
抵抗効果素子が上部シールド磁性膜及び下部シールド磁
性膜によってシールドされているので、外部からＭＲ素
子に侵入する外乱磁界を防止できる。又上部シールド磁
性膜及び下部シールド磁性膜の両端部に発生していた磁
極が磁気回路を閉じたことにより消滅し、帯磁による記
録再生特性のばらつきがなくなる。本発明の薄膜ＭＲヘ
ッドを使用することで、従来より安定した記録再生特性
が得られることとなる。
抵抗効果素子が上部シールド磁性膜及び下部シールド磁
性膜によってシールドされているので、外部からＭＲ素
子に侵入する外乱磁界を防止できる。又上部シールド磁
性膜及び下部シールド磁性膜の両端部に発生していた磁
極が磁気回路を閉じたことにより消滅し、帯磁による記
録再生特性のばらつきがなくなる。本発明の薄膜ＭＲヘ
ッドを使用することで、従来より安定した記録再生特性
が得られることとなる。
【００１３】
【実施例】まず本発明の一実施例における薄膜ＭＲヘッ
ドの構造について図１を参照しつつ説明する。図１は本
実施例の薄膜ＭＲヘッドをディスクの対面する方向から
見たときの断面図である。本図に示すように薄膜ＭＲヘ
ッドのＡＢＳ面から見てスライダとなる基板１の上にア
ルミナの絶縁膜２が形成され、その上にセンダストの下
部シールド磁性膜３，アルミナのＭＲ下部ギャップ絶縁
膜４，ＦｅＮｉ膜のＭＲ素子５，アルミナのＭＲ上部ギ
ャップ絶縁膜６，ＦｅＮｉ膜の上部シールド磁性膜７に
より再生ヘッド部が構成される。
ドの構造について図１を参照しつつ説明する。図１は本
実施例の薄膜ＭＲヘッドをディスクの対面する方向から
見たときの断面図である。本図に示すように薄膜ＭＲヘ
ッドのＡＢＳ面から見てスライダとなる基板１の上にア
ルミナの絶縁膜２が形成され、その上にセンダストの下
部シールド磁性膜３，アルミナのＭＲ下部ギャップ絶縁
膜４，ＦｅＮｉ膜のＭＲ素子５，アルミナのＭＲ上部ギ
ャップ絶縁膜６，ＦｅＮｉ膜の上部シールド磁性膜７に
より再生ヘッド部が構成される。
【００１４】又記録ヘッド部はアルミナのＷＲＩＴＥ／
ＲＥＡＤ分離絶縁膜８が形成され、更にその上に下部コ
アとしてＦｅＮｉ膜のＷＲＩＴＥ用下部磁性膜９，アル
ミナのＷＲＩＴＥギャップ絶縁膜１０，上部コアとして
ＦｅＮｉ膜のＷＲＩＴＥ用上部磁性膜１１，アルミナの
保護用絶縁膜１２が夫々形成されている。
ＲＥＡＤ分離絶縁膜８が形成され、更にその上に下部コ
アとしてＦｅＮｉ膜のＷＲＩＴＥ用下部磁性膜９，アル
ミナのＷＲＩＴＥギャップ絶縁膜１０，上部コアとして
ＦｅＮｉ膜のＷＲＩＴＥ用上部磁性膜１１，アルミナの
保護用絶縁膜１２が夫々形成されている。
【００１５】図１に示すように本実施例の薄膜ＭＲヘッ
ドは、上部シールド磁性膜７の両端部で下部シールド磁
性膜３に接合していることが特徴である。即ち上部シー
ルド磁性膜７が下部シールド磁性膜３に接合することに
よって、２つの磁気的効果が生じる。
ドは、上部シールド磁性膜７の両端部で下部シールド磁
性膜３に接合していることが特徴である。即ち上部シー
ルド磁性膜７が下部シールド磁性膜３に接合することに
よって、２つの磁気的効果が生じる。
【００１６】まず第１に、従来では図６の上部シールド
磁性膜２７及び下部シールド磁性膜２３の両端部に磁極
を形成していたが、本従来の構成にすることにより両端
部に磁極が発生しない。
磁性膜２７及び下部シールド磁性膜２３の両端部に磁極
を形成していたが、本従来の構成にすることにより両端
部に磁極が発生しない。
【００１７】第２に、従来では上部シールド磁性膜２７
と下部シールド磁性膜２３が平行に位置して離れていた
ため、外部からの外乱磁界がＭＲ素子２５の部分まで影
響を与え易い構造になっていた。これに対して本実施例
の構成では、図１に示すように上部シールド磁性膜７と
下部シールド磁性膜３が接合しているため、磁気的に閉
じた状態になっている。このため外部からの外乱磁界が
内部に侵入しにくい。
と下部シールド磁性膜２３が平行に位置して離れていた
ため、外部からの外乱磁界がＭＲ素子２５の部分まで影
響を与え易い構造になっていた。これに対して本実施例
の構成では、図１に示すように上部シールド磁性膜７と
下部シールド磁性膜３が接合しているため、磁気的に閉
じた状態になっている。このため外部からの外乱磁界が
内部に侵入しにくい。
【００１８】次に本実施例の薄膜ＭＲヘッドと従来の薄
膜ＭＲヘッドの電気磁気変換特性について図２を用いて
説明する。図２は薄膜ＭＲヘッドの再生出力の周波数依
存特性を示すグラフである。ここでは同一条件で記録再
生を行ったときの再生出力を示している。尚縦軸のスケ
ールは正規化してあり、本実施例を実線で、従来例を破
線で示す。図２に示すように実施例と従来例ではほとん
ど特性の差はなかった。
膜ＭＲヘッドの電気磁気変換特性について図２を用いて
説明する。図２は薄膜ＭＲヘッドの再生出力の周波数依
存特性を示すグラフである。ここでは同一条件で記録再
生を行ったときの再生出力を示している。尚縦軸のスケ
ールは正規化してあり、本実施例を実線で、従来例を破
線で示す。図２に示すように実施例と従来例ではほとん
ど特性の差はなかった。
【００１９】しかしながら記録及び再生を繰り返して測
定を行うと、従来例の薄膜ＭＲヘッドは再生出力にばら
つきが大きくなることがわかった。その結果を図３に示
す。図３は記録再生の周波数を１ＭHzに固定して、２０
回測定したときの再生出力のヒストグラムである。図３
（ａ）に示すように従来の薄膜ＭＲヘッドでは、中心値
に対して左右に大きくばらつきが生じている。これに比
較して図３（ｂ）に示すように本実施例の薄膜ＭＲヘッ
ドでは、ほぼ中心値に集中していることが明らかとなっ
た。
定を行うと、従来例の薄膜ＭＲヘッドは再生出力にばら
つきが大きくなることがわかった。その結果を図３に示
す。図３は記録再生の周波数を１ＭHzに固定して、２０
回測定したときの再生出力のヒストグラムである。図３
（ａ）に示すように従来の薄膜ＭＲヘッドでは、中心値
に対して左右に大きくばらつきが生じている。これに比
較して図３（ｂ）に示すように本実施例の薄膜ＭＲヘッ
ドでは、ほぼ中心値に集中していることが明らかとなっ
た。
【００２０】このように本実施例の薄膜ＭＲヘッドは従
来の薄膜ＭＲに比較してより安定な特性が得られること
が明らかとなった。そこで更にこの効果を明確にさせる
ために、外乱磁界として永久磁石を近づけて強制的に帯
磁させたときの影響を確認した。この結果を図４に示
す。図４に示すヒストグラムは記録再生の周波数を１Ｍ
Hzに固定して、毎回永久磁石により帯磁させながら２０
回測定したときの再生出力である。図４（ａ）に示すよ
うに従来の薄膜ＭＲヘッドでは図３（ａ）に示したもの
よりも更に激しくばらついていることが判った。これに
対して本実施例の薄膜ＭＲヘッドでは、図４（ｂ）に示
すように図３（ｂ）とほぼ同等の結果を得た。このこと
から本実施例の薄膜ＭＲヘッドは外部からの浮遊磁界の
影響をほとんど受けないことがはっきりした。
来の薄膜ＭＲに比較してより安定な特性が得られること
が明らかとなった。そこで更にこの効果を明確にさせる
ために、外乱磁界として永久磁石を近づけて強制的に帯
磁させたときの影響を確認した。この結果を図４に示
す。図４に示すヒストグラムは記録再生の周波数を１Ｍ
Hzに固定して、毎回永久磁石により帯磁させながら２０
回測定したときの再生出力である。図４（ａ）に示すよ
うに従来の薄膜ＭＲヘッドでは図３（ａ）に示したもの
よりも更に激しくばらついていることが判った。これに
対して本実施例の薄膜ＭＲヘッドでは、図４（ｂ）に示
すように図３（ｂ）とほぼ同等の結果を得た。このこと
から本実施例の薄膜ＭＲヘッドは外部からの浮遊磁界の
影響をほとんど受けないことがはっきりした。
【００２１】以上のように本実施例の薄膜ＭＲヘッドは
従来の薄膜ＭＲヘッドに比較して、記録再生を繰り返し
ても再生出力が常に安定している。従って薄膜ＭＲヘッ
ドの量産製造における歩留りが向上し、従来よりも安定
した超高密度記録の可能なハードディスクドライブ装置
が実現できる。
従来の薄膜ＭＲヘッドに比較して、記録再生を繰り返し
ても再生出力が常に安定している。従って薄膜ＭＲヘッ
ドの量産製造における歩留りが向上し、従来よりも安定
した超高密度記録の可能なハードディスクドライブ装置
が実現できる。
【００２２】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、上部シールド磁性膜の両端部が下部シールド磁性膜
に接合しているため、外乱磁界に対して磁気的に閉じた
磁気回路が構成される。このため外部からの浮遊磁界に
よって電気磁気変換特性が変動するということがなく、
非常に安定な薄膜ＭＲヘッドが実現できる。従って本発
明の薄膜ＭＲヘッドを使用することによって超高密度記
録の可能なハードディスクドライブ装置が実現できる。
ば、上部シールド磁性膜の両端部が下部シールド磁性膜
に接合しているため、外乱磁界に対して磁気的に閉じた
磁気回路が構成される。このため外部からの浮遊磁界に
よって電気磁気変換特性が変動するということがなく、
非常に安定な薄膜ＭＲヘッドが実現できる。従って本発
明の薄膜ＭＲヘッドを使用することによって超高密度記
録の可能なハードディスクドライブ装置が実現できる。
【図１】本発明の一実施例における薄膜ＭＲヘッドの構
造を示す断面図である。
造を示す断面図である。
【図２】本実施例と従来の薄膜ＭＲヘッドを用いて記録
再生を行った際の再生出力の周波数依存性を示すグラフ
である。
再生を行った際の再生出力の周波数依存性を示すグラフ
である。
【図３】記録再生周波数を１ＭHzに固定して２０回測定
したとき薄膜ＭＲヘッドの再生出力のヒストグラムであ
る。
したとき薄膜ＭＲヘッドの再生出力のヒストグラムであ
る。
【図４】外部から強制的に外乱磁界を与えたとき薄膜Ｍ
Ｒヘッドの再生出力のヒストグラムである。
Ｒヘッドの再生出力のヒストグラムである。
【図５】従来の薄膜ＭＲヘッドの構造例を示す断面図で
ある。
ある。
【図６】従来の薄膜ＭＲヘッドの構造を示す縦断面図で
ある。
ある。
１，２１ 基板 ２，２２ 絶縁膜 ３，２３ 下部シールド磁性膜 ４，２４ ＭＲ下部ギャップ絶縁膜 ５，２５ ＭＲ素子 ６，２６ ＭＲ上部ギャップ絶縁膜 ７，２７ 上部シールド磁性膜 ８，２８ ＷＲＩＴＥ／ＲＥＡＤ分離絶縁膜 ９，２９ ＷＲＩＴＥ用下部磁性膜 １０，３０ ＷＲＩＴＥギャップ絶縁膜 １１，３１ ＷＲＩＴＥ用上部磁性膜１ １２，３２ 保護用絶縁膜 ３３ ＷＲＩＴＥ用のコイル
Claims (1)
- 【請求項１】 磁気記録媒体のトラック面と対面する浮
上面の一部に設けられ、磁気抵抗効果素子と前記磁気抵
抗効果素子を周辺層からシールドする上部シールド磁性
膜及び下部シールド磁性膜とが前記浮上面から見て層状
に形成され、前記磁気抵抗効果素子の磁気抵抗変化によ
り信号を再生する再生ヘッド部を含む薄膜ＭＲヘッドに
おいて、 前記上部シールド磁性膜及び前記下部シールド磁性膜
を、前記浮上面から見てヘッドのトラック方向と垂直な
方向の両端部で互いに接合したことを特徴とする薄膜Ｍ
Ｒヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21085493A JPH0744826A (ja) | 1993-08-02 | 1993-08-02 | 薄膜ｍｒヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21085493A JPH0744826A (ja) | 1993-08-02 | 1993-08-02 | 薄膜ｍｒヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0744826A true JPH0744826A (ja) | 1995-02-14 |
Family
ID=16596207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21085493A Pending JPH0744826A (ja) | 1993-08-02 | 1993-08-02 | 薄膜ｍｒヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0744826A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7505232B2 (en) * | 2004-06-24 | 2009-03-17 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic head with side shield and manufacturing method thereof |
| US8014108B2 (en) | 2008-02-08 | 2011-09-06 | Tdk Corporation | Magnetoresistive device of the CPP type, utilizing insulating layers interposed in shield layers to form a closed magnetic path usable in a disk system |
-
1993
- 1993-08-02 JP JP21085493A patent/JPH0744826A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7505232B2 (en) * | 2004-06-24 | 2009-03-17 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic head with side shield and manufacturing method thereof |
| US8014108B2 (en) | 2008-02-08 | 2011-09-06 | Tdk Corporation | Magnetoresistive device of the CPP type, utilizing insulating layers interposed in shield layers to form a closed magnetic path usable in a disk system |
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